DE3516794A1 - Direkt beheizte gasstroemungsmessvorrichtung - Google Patents
Direkt beheizte gasstroemungsmessvorrichtungInfo
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Description
NJ(ND)-4831-DE
Direkt beheizte Gasströmungsmeßvorrichtung
Die Erfindung betrifft eine direkt beheizte Gasströmungsmeßvorrichtung
mit einem Schichtwiderstand, der als Temperaturdetektoreinrichtung sowie als elektrische Heizung
dient. Eine derartige direkt beheizte Gasströmungsmeßvorrichtung kann beispielsweise zum Messen des Durchsatzes der
in eine Brennkraftmaschine eingesaugten Luft verwandt werden,
Bei einer Brennkraftmaschine ist die Menge an angesaugter Luft im allgemeinen einer der wichtigsten Parameter zum
Steuern der eingespritzten Kraftstoffmenge, des Zündzeitpunktes und ähnlichem. Eine Gasströmungsmeßvorrichtung, d.
h. ein Luftströmungsmesser ist zu diesem Zweck vorgesehen. Einer der herkömmlichen Luftströmungsmesser ist vom Flügelradtyp,
der jedoch hinsichtlich seiner Abmessungen,
seiner Ansprechgeschwindigkeit und ähnlichem nachteilig ist. In der letzten Zeit sind Luftströmungsmesser mit
temperaturabhängigen Widerständen entwickelt worden, die hinsichtlich ihrer Abmessungen, ihrer Ansprechgeschwindigkeit
und ähnlichem vorteilhaft sind.
Es gibt zwei Arten von Luftströmungsmessern mit temperaturabhängigen
Widerständen, nämlich den Luftströmungsmesser vom Heizungstyp und den direkt beheizten Typ. Ein Luftströmungsmesser
vom Heizungstyp kann aus einem elektrischen Heizwiderstand, der im Luftansaugkanal der Maschine vorgesehen
ist, und zwei temperaturabhängigen Widerständen bestehen, die stromaufwärts und stromabwärts vom elektrischen
Heizwiderstand angeordnet sind, in diesem Fall dient der
temperaturabhängige Widerstand auf der stromabwärts liegenden Seite dazu, die Temperatur der durch den Heizwiderstand
erwärmten Luft wahrzunehmen, während der temperaturabhängige Widerstand auf der stromaufwärts 1 legenden Seite dazu dient,
die Temperatur der nicht erwärmten Luft wahrzunehmen. Der durch den Heizwiderstand fließende Strom wird so gesteuert,
daß sich ein konstanter Temperaturunterschied zwischen den beiden temperaturabhängigen Widerständen ergibt, so daß die
am Heizwiderstand liegende Spannung als Maß für den Luftmassendurchsatz genommen wird.
Wenn bei einem derartigen Luftströmungsmesser vom Heizungstyp kein temperaturabhängiger Widerstand auf der stromaufwärts
liegenden Seite vorgesehen ist.und der Strom im Heizwiderstand so gesteuert wird, daß der stromabwärts liegende
temperaturabhängige Widerstand eine konstante Temperatur hat, so wird die am Heizwiderstand liegende Spannung als Maß
für den Luftvolumendurchsatz genommen.
Ein direkt beheizter Luftströmungsmesser kann andererseits aus einem Schichtwiderstand bestehen, der nicht nur als
elektrische Heizung sondern auch als Temperaturdetektoreinrichtung zum Wahrnehmen der Temperatur der erwärmten
Luft dient. Der direkt beheizte Luftströmungsmesser kann auch aus einem temperaturabhängigen Widerstand bestehen,
der die Temperatur der nicht erwärmten Luft wahrnimmt. Der durch den Schichtwiderstand fließende Strom wird somit so
gesteuert, daß sich ein konstanter Temperaturunterschied
zwischen dem Schichtwiderstand und dem temperaturabhängigen Widerstand ergibt, um somit die am Schichtwiderstand liegende
Spannung als Maß für den Luftmassendurchsatz zu nehmen. Wenn bei einem derartigen direkt beheizten Luftströmungsmesser
kein temperaturabhängiger Widerstand vorgesehen ist und der Strom des Heizwiderstandes so gesteuert wird, daß der Schichtwiderstand
eine konstante Temperatur hat, so wird gleichfalls die am Schichtwiderstand liegende Spannung als Maß
für den Luftvolumendurchsatz genommen.
Da der Schichtwiderstand eines direkt beheizten Luft-
Strömungsmessers als Temperaturdetektoreinrichtung für die erwärmte Luft dient, d.h. keine zusätzliche Temperaturdetektoreinrichtung
für die erwärmte Luft notwendig ist, hat ein direkt beheizter; Luftströmungsmesser eine geringere
Größe als ein Luftströmungsmesser vom Heizungstyp.
Bei einem direkt beheizten Luftströmungsmesser kann der Schichtwiderstand aus einem isolierenden Substrat, wie beispielsweise
einem keramischen Substrat oder einem Substrat aus einkristal1inem Silizium, einem Widerstandsmuster aus
Platin (Pt), Gold (Au) usw. auf dem isolierenden Substrat und einem wärmebeständigen Harzüberzug auf dem Widerstandsmuster
bestehen.
Üblicherweise hängen die Ansprechcharakteristik und der
dynamische Bereich eines direkt beheizten Luftströmungsmessers von der Heizmasse und dem adiabatischen Wirkungsgrad
des Widerstandsmusters ab, das nicht nur als Heizeinrichtung sondern auch als Temperaturdetektoreinrichtung dient. Um
eine möglichst gute Ansprechcharakteristik und den möglichst größten dynamischen Bereich zu erzielen, sollte das Widerstandsmuster
im idealen Fall im Luftstrom vollständig schwebend sein. Bei den bekannten Luftströmungsmessern hatte
jedoch der Schichtwiderstand, der das Widerstandsmuster aufweist, eine annähernd genau bestimmte Breite in seiner
Längsrichtung. Dementsprechend war der adiabatische Wirkungsgrad relativ niedrig, was die Ansprechcharakteristik und
den dynamischen Bereich des direkt beheizten Luftströmungsmessers beeinträchtigt.
Durch die Erfindung soll eine direkt beheizte Gasströmungsmeßvorrichtung
mit besserer Ansprechcharakteristik und größerem dynamischen Bereich geschaffen werden.
Die erfindungsgemäße direkt beheizte Gasströmungsmeßvor-
ir
richtung umfaßt ein Meßrohr, das im Gasstrom angeordnet ist, einen Schichtwiderstand, der Wärme erzeugt und seine
Temperatur wahrnimmt,und eine Steuerschaltung mit Rückkopplung
zum Steuern der durch den Schichtwiderstand erzeugten Wärme derart, daß die Temperatur des Schichtwiderstandes
auf einem vorbestimmten Wert liegt. In einem Halteteil des Schichtwiderstandes, der dazu dient, diesen am
Meßrohr zu halten, ist eine öffnung zum Drosseln seiner Wärmeübertragung vorgesehen.
Im folgenden werden anhand der zugehörigen Zeichnung besonders bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung-näher
beschrieben. Es zeigen
Fig. 1 schematisch den Gesamtaufbau einer Brenn
kraftmaschine mit einem Ausführungsbeispiel
der erfindungsgemäßen direkt beheizten Gasströmungsmeßvorrichtung,
Fig. 2 und 3 eine Längs- und eine Querschnittsansicht
jeweils des in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiels
der erfindungsgemäßen Gasströmungsmeßvorrichtung,
Fig. 4A und 4B eine Draufsicht und eine Querschnittsansicht jeweils eines ersten Ausführungsbeispiels
eines Schichtwiderstandes gemäß der Erfindung,
Fig. 5A eine Draufsicht auf ein zweites Ausführungsbeispiel
eines Schichtwiderstandes gemäß der Erfindung,
Fig. 5B und 5C Querschnittsansichten längs der Linie
B-B und C-C in Fig. 5A,
Sf
Fig. 6A eine Draufsicht auf ein drittes Aus-
f ührungsbeispi-el eines Schichtwiderstandes gemäß der Erfindung,
Fig. 6B und 6C Querschnittsansichten längs der Linie B-B
und C-C in Fig. 6A und
Fig. 7 das Schaltbild der Sensorschaltung von
Fig. 1.
In Fig. 1, die den Gesamtaufbau einer Brennkraftmaschine mit einem Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Gasströmungsmeßvorrichtung
zeigt, ist eine Maschine 1 mit Funkenzündung zum Antreiben eines Kraftfahrzeuges dargestellt,
in die Luft zur Verbrennung über ein Luftfilter 2, eine Ausrichtungsgitter 3, das die Luftströmung vergleichmäßigt,
und einen Luftansaugkanal 4 eingesaugt wird. Im Luftansaugkanal 4 ist ein Drosselventil 5 vorgesehen, das
willkürlich durch den Fahrer betätigt wird. Die Gasströmungsmeßvorrichtung ist im Luftansaugkanal 4 zwischen
dem Ausrichtungsgitter 3 und dem Drosselventil 5 vorgesehen.
Die Gasströmungsmeßvorrichtung umfaßt einen Sensorteil im Inneren des Luftansaugkanals 4 und eine Sensorschaltung
außerhalb des Luftansaugkanals 4. Der Sensorteil weist ein Meßrohroder eine Meßleitung 6 auf, die über eine
Halterung oder eine Stütze 7 am Luftansaugkanal 4 befestigt
ist. Ein Schichtwiderstand 8 ist im Inneren der Leitung 6 vorgesehen, während ein temperaturabhängiger Widerstand 9
zum Wahrnehmen der Temperatur der nicht erwärmten Luft außerhalb der Leitung 6 vorgesehen ist. Der Schichtwiderstand
und der temperaturabhängige Widerstand 9 sind mit der Sensorschaltung 10 verbunden, die in eine Hybridplatte
eingeschlossen ist. Der temperaturabhängige Widerstand 9
Jo
kann auch innerhalb der Leitung 6 unter der Voraussetzung angeordnet sein, daß der Widerstand 9 im wesentlichen nicht
durch die Wärme beeinfluß wird, die vom Schichtwiderstand erzeugt wird. Die Sensorschaltung 10 steuert den Strom, der
zum Schichtwiderstand 8 fließt, derart, daß dieser soviel Wärme erzeugt, daß ein konstanter Temperaturunterschied
zwischen dem Schichtwiderstand 7 und dem temperaturabhängigen Widerstand 9 besteht. Die Sensorschaltung 10 erzeugt auch
eine Ausgangsspannung VQ und überträgt diese auf eine Steuerschaltung 11, die beispielsweise einen Mikrocomputer
umfaßt. Die Steuerschaltung 11 empfängt auch verschiedene Arten von Detektorsignalen, wie beispielsweise ein nicht
dargestelltes Signal Ne für die Drehzahl der Maschine und ein nicht dargestelltes Signal THW für die Temperatur .des
Kühlmittels "der Maschine, und steuert das Ventilöffnungszeitinterval1
eines Kraftstoffeinspritzventiles 12 und ähnl iches.
Wie es in den Fig. 2 und 3 dargestellt ist, die das Ausführungsbeispiel
der erfindungsgemäßen Gasströmungsmeßvorrichtung
von Fig. 1 zeigen,.sind die Enden des Scbichtwiderstandes 8 fest an Halterungen 13a und 13b der Leitung
6 angebracht.
Fig. 4A zeigt eine Draufsicht auf ein erstes Ausführungsbeispiel des Schichtwiderstandes gemäß der Erfindung,
während Fig. 4B eine Querschnittsansicht längs der Linie B-B von Fig. 4A zeigt. Wie es if den Fig. 4A und 4B dargestellt
ist, weist der Schichtwiderstand 8 eine Metallplatte 41 mit einer Stärke von etwa 20 bis 50 um auf, auf der eine
Isolierschicht 42, beispielsweise aus Siliziumdioxid SiO2
oder Siliziumnitrid Si3N4 ausgebildet ist. Weiterhin ist
darauf eine leitende Schicht 43 aus Pt oder Au ausgebildet. Die leitende Schicht 43 ist in der in Fig. 4A dargestellten
Weise über ein herkömmliches photolithographisches Verfahren
gemustert. Insbesondere dient der Teil 43a der gemusterten leitenden Schicht 43 nicht nur als Heizeinrichtung, sondern
auch als Temperaturdetektoreinrichtung. Gemäß der Erfindung sind öffnungen 44a und 44b an den Halteteilen des Schichtwiderstandes
8 vorgesehen, um damit den adiabatischen Wirkungsgrad des Heiz- und Temperaturdetektorteils 43a zu
erhöhen.
In den Fig. 4A und 4B sind weiterhin die Teile 43b und 43c dargestellt, an die die Spannung angelegt wird. Eine
isolierende Schicht oder eine Passivierungsschicht, beispielsweise aus SiO2 oder Si3N4, die nicht dargestellt ist,
ist weiterhin auf der leitenden Schicht 43 ausgebildet.
Wie es in den Fig. 5A, 5B und 5C dargestellt ist, die ein
zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigen, umfaßt
der Schichtwiderstand 8 ein Substrat 51 aus p"leitendem einkristallinen Silizium, auf dem eine Schicht 52 aus
N leitendem einkristallinem Silizium über ein herkömmliches
Epitaxialaufwachsverfahren aufwachsen gelassen ist. In der Schicht 52 aus N leitendem einkristallinen Silizium sind
N+ leitende Diffusionsbereiche 53a und 53b, die als Schichr
ten mit niedrigem Widerstand dienen, sowie ein P+ leitender
Diffusionsbereich 54 als Isolation zwischen den Bereichen
53a und 53b ausgebildet. Es sind weiterhin Aluminiumelektroden P. und ?2 an den Bereichen 53a und 53b jeweils vorgesehen.
Gemäß der Erfindung sind öffnungen 55a und 55b auf beiden Seiten des Bereiches 52 ausgebildet, der nicht nur
als Heizeinrichtung sondern auch als Temperaturdetektoreinrichtung dient, und ist eine öffnung 56 an der Rückseite
des Substrates 51 vorgesehen. In dieser Weise kann der adiabatische Wirkungsgrad des Bereiches 52 verbessert
werden.
Die Öffnungen 55a, 55b und 56 gemäß Fig. 5A, 5B und 5C
AO
können durch anisotropes Ätzen ausgebildet werden. Der gesamte Schichtwiderstand 8 ist gleichfalls von einer nicht
dargestellten Passivierungsschicht überzogen.
Wie es in den Fig. 6A, 6B und 6C dargestellt ist, die ein drittes Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigen, sind zusätzliche
Öffnungen 57a und 57b in dem Schichtwiderstand 8 gemäß Fig. 5A, 5B und 5C ausgebildet. In dieser Weise
kann der adiabatische Wirkungsgrad des Bereiches 52 weiter verbessert werden.
Bei dem oben beschriebenen zweiten und dritten Ausführungsbeispiel ist es möglich, eine leitende Schicht aus Pt oder
Au statt der Diffusionsbereiche 52,53a und 53b auszubilden.
Ein Schichtwiderstand 8 mit Diffusionsbereichen hat jedoch den Vorteil, daß der durch die Pfeile Y1 und Y2 in Fig. 5A
und 6A bezeichnete Brückenbereich einen niedrigeren Widerstand als der Heiz--und Temperaturdetektorbereich 52 hat,
wodurch dessen Wärmverteilung verbessert ist. Ein Schichtwiderstand
8 mit Diffusionsbereichen hat weiterhin den Vorteil, daß für die leitenden Schichten weder das Haftvermögen,
noch das Wärmeausdehnungsverhältnis oder ähnliches berücksichtigt werden müssen.
Bei dem oben beschriebenen ersten Ausführungsbeispiel kann
das Substrat 31 aus einer dünnen Harzschicht, beispielsweise aus wärmebeständigem Polyimid bestehen, ..auf der eine
leitende Schicht oder ähnliches ausgebildet ist.
Im folgenden wird anhand von Fig. 7 die in Fig. 1 dargestellte Sensorschaltung beschrieben. Wie es in Fig. 7 dargestellt
ist, enthält die Sensorschaltung Widerstände 101 und 102, die mit dem Schichtwiderstand 8 und dem temperaturabhängigen
Widerstand 9 eine Brückenschaltung bilden, einen Komparator 103, einen vom Komparator 103 angesteuerten
Sf
Transistor 104 und einen Spannungspuffer 105. Die Sensorschaltung
10 arbeitet in der folgenden Weise. Wenn die Menge an Luft, die durch den Luftansaugkanal 4 strömt, zunimmt,
so daß die Temperatur des Schichtwiderstandes 8 abnimmt, der in diesem Fall als Thermistor arbeitet, nimmt
sein Widerstandswert ab, so daß die folgende Bedingung erfüllt ist:
V1 ^ VR1'
wobei V. das Potential am Knotenpunkt zwischen dem Widerstand
101 und dem Schichtwiderstand 8 bezeichnet und VR1
das Potential am Knotenpunkt zwischen dem Widerstand 102 und dem femperaturabhängigen Widerstand 9 ist. Das hat zur
Folge, daß das Ausgangspotential des Komparators 103 abnimmt, wodurch das Leitvermögen des Transistors 104 zunimmt.
Die vom Schichtwiderstand 8 erzeugte Wärme nimmt daher zu ,und gleichzeitig nimmt das Kollektorpotential des
Transistors 104 zu, so daß auch die Ausgangsspannung Vq
des Spannungspuffers 105 zunimmt.
Wenn im Gegensatz dazu die Menge an Luft, die durch den Luftansaugkanal 4 strömt, abnimmt, so daß die Temperatur
des Schichtwiderstandes 8 ansteigt, dann nimmt sein Widerstandswert zu, so daß die folgende Bedingung erfüllt ist:
V1 > hv
Das hat zur Folge, daß das Ausgangspotential des Komparators
103 zunimmt, wodurch das Leitvermögen des Transistors 104 abnimmt. Die vom Schichtwiderstand 8 erzeugte Wärme nimmt
daher ab, und gleichzeitig nimmt das Kollektorpotential
des Transistors 104 ab, so daß auch die .Ausgangsspannung Vq des Spannungspuffers 105 abnimmt.
In dieser Weise erfolgt eine Selbsreglung mit Rückkopplung
AX
bezüglich der Temperatur des Schichtwiderstandes 8 derart, daß ein konstanter Temperaturunterschied zwischen dem
Schichtwiderstand 8 und dem temperaturabhängigen Widerstand 9 besteht, der in diesem Fall die Temperatur der
Umgebungsluft wahrnimmt. Die Ausgangsspannung Vq des
Spannungspuffers 105 zeigt daher die Menge an Luft an, die durch den Luftansaugkanal 4 strömt.
Schichtwiderstand 8 und dem temperaturabhängigen Widerstand 9 besteht, der in diesem Fall die Temperatur der
Umgebungsluft wahrnimmt. Die Ausgangsspannung Vq des
Spannungspuffers 105 zeigt daher die Menge an Luft an, die durch den Luftansaugkanal 4 strömt.
Wie es oben beschrieben wurde* kann aufgrund der Drosselung
der Wärmeübertragung für den Heiz- und Temperaturdetektorteil des Schichtwiderstandes der adiabatische Wirkungsgrad
verbessert werden, wodurch die Ansprechcharakteristik und
der dynamische Bereich der Gasströmungsmeßvorrichtung verbessert werden.
der dynamische Bereich der Gasströmungsmeßvorrichtung verbessert werden.
- Leerseite -
Claims (5)
1. Direkt beheizte Gasströmungsmeßvorrichtung. gekennzeichnet "durch
ein Meßrohr, das im Gasstrom angeordnet ist, einen Schichtwiderstand, der im Meßrohr angeordnet ist, wobei
der Schichtwiderstand einen ersten Teil zum Erzeugen von Wärme und zum Wahrnehmen seiner Temperatur und einen
zweiten Teil zum Halten des ersten Teils am Meßrohr aufweist und der zweite Teil mit einer öffnung zum Drosseln
seiner Wärmeübertragung versehen ist, und eine Steuereinrichtung mit Rückkopplung, die mit dem Schichtwiderstand
verbunden ist und die vom Schichtwiderstand erzeugte Wärme so steuert, daß dessen Temperatur auf
einem vorbestimmten Wert liegt.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
dadurch gekennzeichnet,
daß eine öffnung an jeder Seite des ersten Teils des
Schichtwiderstandes vorgesehen ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1,
gekennzeichnet durch
gekennzeichnet durch
einen temperaturabhängigen Widerstand, der im Meßrohr oder außerhalb des Meßrohres angeordnet ist: und die
Temperatur des nicht erwärmten Gases im Gasstrom wahrnimmt, wobei der temperaturabhängige Widerstand im
wesentlichen nicht durch die Wärme beeinflußt wird, die vom Schichtwiderstand erzeugt wird, und die Steuereinrichtung
mit Rückkopplung die vom Schichtwiderstand erzeugte Wärme so steuert, daß sich ein konstanter Temperaturunterschied
zwischen dem Schichtwiderstand und dem temperaturabhängigen Widerstand ergibt.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Schichtwiderstand ein Substrat aus einkristallinem Silizium umfaßt, in dem ein Störstellendiffusionsbereich
als erster Teil ausgebildet ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
dadurch gekennzeichnet,
daß der zweite Teil des Schichtwiderstandes einen niedrigeren Widerstand als sein erster Teil hat.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59091041A JPS60236024A (ja) | 1984-05-09 | 1984-05-09 | 直熱型空気流量センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3516794A1 true DE3516794A1 (de) | 1985-11-14 |
DE3516794C2 DE3516794C2 (de) | 1995-01-26 |
Family
ID=14015414
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3516794A Expired - Lifetime DE3516794C2 (de) | 1984-05-09 | 1985-05-09 | Direkt beheizte Gasströmungsmeßvorrichtung |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4735099A (de) |
JP (1) | JPS60236024A (de) |
DE (1) | DE3516794C2 (de) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3542788A1 (de) * | 1985-12-04 | 1987-06-19 | Degussa | Vorrichtung zur thermischen massenstrommessung von gasen und fluessigkeiten |
EP0235358A2 (de) * | 1986-03-03 | 1987-09-09 | VDO Adolf Schindling AG | Anordnung zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit |
EP0235357A2 (de) * | 1986-03-03 | 1987-09-09 | VDO Adolf Schindling AG | Anordnung zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit |
EP0235359A2 (de) * | 1986-03-03 | 1987-09-09 | VDO Adolf Schindling AG | Anordnung zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit |
EP0235362A2 (de) * | 1986-03-03 | 1987-09-09 | VDO Adolf Schindling AG | Anordnung zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit |
WO1994020824A1 (de) * | 1993-03-10 | 1994-09-15 | Robert Bosch Gmbh | Messelement |
WO1994020823A1 (de) * | 1993-03-10 | 1994-09-15 | Robert Bosch Gmbh | Messelement |
DE4417679C1 (de) * | 1994-05-17 | 1995-07-06 | Gfai Ges Zur Foerderung Angewa | Heißfilmfolie für strömungstechnische Messungen und Verfahren zu ihrer Herstellung |
DE4439222A1 (de) * | 1994-11-03 | 1996-05-09 | Bosch Gmbh Robert | Massenflußsensor mit Druckkompensation |
DE10035543A1 (de) * | 2000-07-21 | 2002-02-07 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Bestimmung zumindest eines Parameters eines strömenden Mediums |
DE10124964B4 (de) * | 2001-05-21 | 2004-02-05 | Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh | Sensor zur Messung von Strömungsgeschwindigkeiten und Verfahren zu dessen Betrieb |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3604202C2 (de) * | 1985-02-14 | 1997-01-09 | Nippon Denso Co | Direkt beheizte Strömungsmeßvorrichtung |
US5231877A (en) * | 1990-12-12 | 1993-08-03 | University Of Cincinnati | Solid state microanemometer |
DE4041578C2 (de) * | 1990-12-22 | 1997-07-17 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Herstellung eines Sensors zur Messung der Geschwindigkeit bzw. der Durchflußmenge eines strömenden Mediums |
US5201221A (en) * | 1991-03-15 | 1993-04-13 | Ford Motor Company | Flow sensor and method of manufacture |
JP3461469B2 (ja) * | 1999-07-27 | 2003-10-27 | 株式会社日立製作所 | 熱式空気流量センサ及び内燃機関制御装置 |
US6631638B2 (en) | 2001-01-30 | 2003-10-14 | Rosemount Aerospace Inc. | Fluid flow sensor |
JP5109376B2 (ja) * | 2007-01-22 | 2012-12-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 加熱装置、加熱方法及び記憶媒体 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4210016A (en) * | 1977-11-05 | 1980-07-01 | Robert Bosch Gmbh | Flow rate meter with temperature-dependent resistor |
US4321825A (en) * | 1980-05-05 | 1982-03-30 | Texas Instruments Incorporated | Convective cooling rate sensor |
DE3208096A1 (de) * | 1982-03-06 | 1983-09-15 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Messsonde zur bestimmung der masse und/oder temperatur eines stroemenden mediums |
US4445369A (en) * | 1982-10-27 | 1984-05-01 | General Motors Corporation | Hot film sensor for air flow meter |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1557134A (de) * | 1967-12-29 | 1969-02-14 | ||
US3900819A (en) * | 1973-02-07 | 1975-08-19 | Environmental Instruments | Thermal directional fluid flow transducer |
US3996799A (en) * | 1975-09-29 | 1976-12-14 | Putten Antonius Ferdinandus Pe | Device for measuring the flow velocity of a medium |
DE2750050C2 (de) * | 1977-11-09 | 1983-12-08 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Einrichtung zur Luftmengenmessung |
DE2827780A1 (de) * | 1978-06-24 | 1980-01-03 | Degussa | Hitzdrahtanemometer zur messung der stroemungsgeschwindigkeit von gasen und fluessigkeiten (i) |
DE2845662C2 (de) * | 1978-10-20 | 1987-03-19 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Vorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums |
DE2900210A1 (de) * | 1979-01-04 | 1980-07-17 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
DE2904154A1 (de) * | 1979-02-03 | 1980-08-14 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
DE2919433C2 (de) * | 1979-05-15 | 1987-01-22 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Meßsonde zur Messung der Masse und/oder Temperatur eines strömenden Mediums |
DE2925975A1 (de) * | 1979-06-27 | 1981-01-15 | Siemens Ag | Mengendurchflussmesser |
DE2929434A1 (de) * | 1979-07-20 | 1981-02-05 | Bosch Gmbh Robert | Einrichtung zum freibrennen eines widerstandes, insbesondere eines hitzdrahtes in einem luftmassenmesser einer brennkraftmaschine |
DE3009382A1 (de) * | 1980-03-12 | 1981-09-24 | Degussa Ag, 6000 Frankfurt | Vorrichtung zur messung der stroemungsgeschwindigkeiten von gasen und fluessigkeiten |
JPS56162014A (en) * | 1980-05-16 | 1981-12-12 | Nippon Denso Co Ltd | Measuring device for flow rate of gas |
DE3109608A1 (de) * | 1981-03-13 | 1982-09-23 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
JPS57169618A (en) * | 1981-04-10 | 1982-10-19 | Nippon Soken Inc | Measuring device for air flow rate |
US4472239A (en) * | 1981-10-09 | 1984-09-18 | Honeywell, Inc. | Method of making semiconductor device |
DE3227807A1 (de) * | 1982-07-24 | 1984-01-26 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Verfahren zur verhinderung einer beschaedigung eines in einem stroemungsquerschnitt angeordneten temperaturabhaengigen widerstandes durch ueberhitzung und luftmassenmessvorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
US4501144A (en) * | 1982-09-30 | 1985-02-26 | Honeywell Inc. | Flow sensor |
DE3328852A1 (de) * | 1983-08-10 | 1985-02-28 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
US4542650A (en) * | 1983-08-26 | 1985-09-24 | Innovus | Thermal mass flow meter |
-
1984
- 1984-05-09 JP JP59091041A patent/JPS60236024A/ja active Pending
-
1985
- 1985-05-09 DE DE3516794A patent/DE3516794C2/de not_active Expired - Lifetime
-
1986
- 1986-11-24 US US06/935,109 patent/US4735099A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4210016A (en) * | 1977-11-05 | 1980-07-01 | Robert Bosch Gmbh | Flow rate meter with temperature-dependent resistor |
US4321825A (en) * | 1980-05-05 | 1982-03-30 | Texas Instruments Incorporated | Convective cooling rate sensor |
DE3208096A1 (de) * | 1982-03-06 | 1983-09-15 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Messsonde zur bestimmung der masse und/oder temperatur eines stroemenden mediums |
US4445369A (en) * | 1982-10-27 | 1984-05-01 | General Motors Corporation | Hot film sensor for air flow meter |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3542788A1 (de) * | 1985-12-04 | 1987-06-19 | Degussa | Vorrichtung zur thermischen massenstrommessung von gasen und fluessigkeiten |
EP0235358A2 (de) * | 1986-03-03 | 1987-09-09 | VDO Adolf Schindling AG | Anordnung zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit |
EP0235357A2 (de) * | 1986-03-03 | 1987-09-09 | VDO Adolf Schindling AG | Anordnung zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit |
EP0235359A2 (de) * | 1986-03-03 | 1987-09-09 | VDO Adolf Schindling AG | Anordnung zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit |
EP0235362A2 (de) * | 1986-03-03 | 1987-09-09 | VDO Adolf Schindling AG | Anordnung zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit |
EP0235362A3 (en) * | 1986-03-03 | 1988-07-20 | Vdo Adolf Schindling Ag | Apparatus for measuring fluid-flow velocity |
EP0235358A3 (en) * | 1986-03-03 | 1988-07-20 | Vdo Adolf Schindling Ag | Apparatus for measuring fluid-flow velocity |
EP0235359A3 (de) * | 1986-03-03 | 1988-07-20 | VDO Adolf Schindling AG | Anordnung zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit |
EP0235357A3 (de) * | 1986-03-03 | 1988-07-20 | VDO Adolf Schindling AG | Anordnung zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit |
WO1994020824A1 (de) * | 1993-03-10 | 1994-09-15 | Robert Bosch Gmbh | Messelement |
WO1994020823A1 (de) * | 1993-03-10 | 1994-09-15 | Robert Bosch Gmbh | Messelement |
DE4417679C1 (de) * | 1994-05-17 | 1995-07-06 | Gfai Ges Zur Foerderung Angewa | Heißfilmfolie für strömungstechnische Messungen und Verfahren zu ihrer Herstellung |
DE4439222A1 (de) * | 1994-11-03 | 1996-05-09 | Bosch Gmbh Robert | Massenflußsensor mit Druckkompensation |
DE4439222C2 (de) * | 1994-11-03 | 1998-05-28 | Bosch Gmbh Robert | Massenflußsensor mit Druckkompensation |
DE10035543A1 (de) * | 2000-07-21 | 2002-02-07 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Bestimmung zumindest eines Parameters eines strömenden Mediums |
DE10035543C2 (de) * | 2000-07-21 | 2002-06-13 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Bestimmung zumindest eines Parameters eines strömenden Mediums |
DE10124964B4 (de) * | 2001-05-21 | 2004-02-05 | Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh | Sensor zur Messung von Strömungsgeschwindigkeiten und Verfahren zu dessen Betrieb |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3516794C2 (de) | 1995-01-26 |
JPS60236024A (ja) | 1985-11-22 |
US4735099A (en) | 1988-04-05 |
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