DE3501848C2 - - Google Patents
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- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2051—Exposure without an original mask, e.g. using a programmed deflection of a point source, by scanning, by drawing with a light beam, using an addressed light or corpuscular source
- G03F7/2059—Exposure without an original mask, e.g. using a programmed deflection of a point source, by scanning, by drawing with a light beam, using an addressed light or corpuscular source using a scanning corpuscular radiation beam, e.g. an electron beam
- G03F7/2065—Exposure without an original mask, e.g. using a programmed deflection of a point source, by scanning, by drawing with a light beam, using an addressed light or corpuscular source using a scanning corpuscular radiation beam, e.g. an electron beam using corpuscular radiation other than electron beams
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19853501848 DE3501848A1 (de) | 1985-01-22 | 1985-01-22 | Verfahren zur strukturierung einer maskierungsschicht fuer die mikrolithographie |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19853501848 DE3501848A1 (de) | 1985-01-22 | 1985-01-22 | Verfahren zur strukturierung einer maskierungsschicht fuer die mikrolithographie |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3501848A1 DE3501848A1 (de) | 1986-07-24 |
DE3501848C2 true DE3501848C2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1990-01-25 |
Family
ID=6260340
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19853501848 Granted DE3501848A1 (de) | 1985-01-22 | 1985-01-22 | Verfahren zur strukturierung einer maskierungsschicht fuer die mikrolithographie |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3501848A1 (enrdf_load_stackoverflow) |
-
1985
- 1985-01-22 DE DE19853501848 patent/DE3501848A1/de active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3501848A1 (de) | 1986-07-24 |
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