DE3501848C2 - - Google Patents

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DE3501848C2 DE19853501848 DE3501848A DE3501848C2 DE 3501848 C2 DE3501848 C2 DE 3501848C2 DE 19853501848 DE19853501848 DE 19853501848 DE 3501848 A DE3501848 A DE 3501848A DE 3501848 C2 DE3501848 C2 DE 3501848C2
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Wolfram Dipl.-Phys. Dr. 7803 Gundelfingen De Rothemund
Christian Dipl.-Phys. Dr. 7800 Freiburg De Fritzsche
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    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/039Macromolecular compounds which are photodegradable, e.g. positive electron resists
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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