DE345882C - - Google Patents

Info

Publication number
DE345882C
DE345882C DENDAT345882D DE345882DA DE345882C DE 345882 C DE345882 C DE 345882C DE NDAT345882 D DENDAT345882 D DE NDAT345882D DE 345882D A DE345882D A DE 345882DA DE 345882 C DE345882 C DE 345882C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
vacuum
anode
mercury
generated
charged particles
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
DENDAT345882D
Other languages
German (de)
English (en)
Publication of DE345882C publication Critical patent/DE345882C/de
Active legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J41/00Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
    • H01J41/12Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps

Landscapes

  • Particle Accelerators (AREA)
DENDAT345882D Active DE345882C (enrdf_load_stackoverflow)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE345882C true DE345882C (enrdf_load_stackoverflow)

Family

ID=573960

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DENDAT345882D Active DE345882C (enrdf_load_stackoverflow)

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE345882C (enrdf_load_stackoverflow)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1621599C2 (de) Einrichtung zum Abtragen von Verunrei nigungen einer auf einem Halbleiterkörper aufgebrachten metallischen Schicht im Be reich von kleinen Offnungen einer Isolier schicht durch Kathodenzerstäubung
DE1110877B (de) Verfahren zum Erschmelzen von Metallbloecken mittels Elektronenstrahlen
DE102013108850B4 (de) Ionenquellenvorrichtungen und -verfahren
DE102014226039A1 (de) Ionisierungseinrichtung und Massenspektrometer damit
Lozier A study of the velocities of H+ ions formed in hydrogen by dissociation following electron impact
US2219033A (en) Method and device for generating a beam of ions of high velocity
DE102015113656A1 (de) Plasmagenerator und Verfahren zur Einstellung eines Ionenverhältnisses
DE112015006730T5 (de) lonenstrahlvorrichtung und Reinigungsverfahren für eine Gasfeldionenquelle
DE112014001777T5 (de) Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung
DE345882C (enrdf_load_stackoverflow)
DE3424449A1 (de) Quelle fuer negative ionen
DE2138339B2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Anspitzen und/oder Reinigen einer Spitze
DE10057079C2 (de) Korpuskularstrahl-Belichtungsvorrichtung
DE10241549B4 (de) Orbitron-Pumpe
Varney Ionization of Gases by Collisions of Their Own Accelerated Atoms
DE394866C (de) Quecksilberdampfpumpe
DE1915367A1 (de) Ein- oder mehrstufige komprimierende Ionenpumpe
DE2855864A1 (de) Ionenquelle, insbesondere fuer ionenimplantationsanlagen
DE906132C (de) UEbermikroskop unter Verwendung von Ionenstrahlen
EP2586052B1 (de) Vorrichtung zur strukturierung von festkörperflächen mit ionenstrahlen aus einem ionenstrahlspektrum
DE3874386T2 (de) Vakuum-lichtbogen-ionenquelle.
DE2325727A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum evakuieren geschlossener systeme
Wayland The ionization of neon, krypton and xenon by bombardment with accelerated neutral argon atoms
DE265534C (enrdf_load_stackoverflow)
DE634981C (de) Einrichtung zur regelbaren Verstaerkung der Gasionisation in vorevakuierten Gluehkathodenroehren