DE345882C - - Google Patents
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- DE345882C DE345882C DENDAT345882D DE345882DA DE345882C DE 345882 C DE345882 C DE 345882C DE NDAT345882 D DENDAT345882 D DE NDAT345882D DE 345882D A DE345882D A DE 345882DA DE 345882 C DE345882 C DE 345882C
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- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 4
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
- H01J41/12—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps
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- Particle Accelerators (AREA)
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE345882C true DE345882C (enrdf_load_stackoverflow) |
Family
ID=573960
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DENDAT345882D Active DE345882C (enrdf_load_stackoverflow) |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE345882C (enrdf_load_stackoverflow) |
-
0
- DE DENDAT345882D patent/DE345882C/de active Active
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