DE3434225A1

DE3434225A1 - Magnetisches aufzeichnungsmedium

Info

Publication number: DE3434225A1
Application number: DE19843434225
Authority: DE
Inventors: Osamu Kitakami; Kazuo Kanagawa Shiiki; Yoshihiro Hachioji Tokio/Tokyo Shiroishi; Yasutaro Kokubunji Tokio/Tokyo Uesaka
Original assignee: Hitachi Ltd; Hitachi Maxell Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Maxell Holdings Ltd
Priority date: 1983-09-19
Filing date: 1984-09-18
Publication date: 1985-04-11
Also published as: US4576876A; JPS6063710A; DE3434225C2; JPH0587888B2

Description

Die Erfindung betrifft ein zusammengesetztes, vertikales magnetisches Aufzeichnungsmedium/ das eine untere Schicht aus einem weich-magnetischen Film von hoher Permeabilität und eine auf dieser Unterschicht befindliche Aufzeichriungsmediums-Schicht aufweist; insbesondere bezieht sich die Erfindung auf ein mehrteiliges, vertikales magnetisches Aufzeichnungsmedium, das verbesserte Aufnahme- und Wiedergabeeigenschaften hat.

Ein zusammengesetztes, vertikales magnetisches Aufzeichnungsmedium umfaßt eine untere Schicht aus einem weichmagnetischen Film von hoher Permeabilität und eine Aufzeichnungsmediums-Schicht mit senkrechter Anisotropie, · die auf der Unterschicht direkt oder indirekt über einer Zwischenschicht angeordnet ist; es liefert ein helleres Wiedergabe-Ausgangssignal und erfordert einen kleineren Aufzeichnungsstrom als ein vertikales magnetisches Aufzeichnungsmedium, das keine solche untere Schicht von hoher Permeabilität besitzt. Das frühere vertikale magnetische Aufzeichnungsmedium kann mit hoher Effizienz eingesetzt werden, und es ist praktisch das bevorzugte vertikale magnetische Aufzeichnungsmedium. Wenn jedoch eine magnetische Platte, die aus einem konventionellen vertikalen magnetischen Aufzeichnungsmedium besteht, das eine Unterschicht von hoher Permeabilität besitzt, im praktischen Betrieb eingesetzt wird, so variieren deren Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaften entsprechend der Fig'. 1 (die die Einhüllende der Wellenform eines Wiedergabe-Ausgangssignals darstellt) während einer Drehung der Scheibe sehr stark aufgrund magnetischer Anisotropie der Unterschicht. Daher ist eine solche magnetische Platte praktisch nicht einsatzfähig. Wenn* die Permeabilität der Unterschicht auf ein niedriges Niveau reduziert wird, so wird dessen magnetische

Anisotropie niedrig, und das Leistungsvermögen der Platte nimmt ab. Demzufolge wird das Vorsehen der Unterschicht in einem vertikalen magnetischen Aufzeichnungsmedium bedeutungslos.

Ein solches,oben beschriebenes,komplexes vertikales magnetisches Aufzeichnungsmedium ist beispielsweise in dem US-Patent 4 2.10 946 beschrieben.

Demzufolge ist.es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein zusammengesetztes (komplexes) vertikales, magnetisches Aufzeichnungsmedium anzugeben, das solche Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaften hat, die sich nicht wesentlich ändern (oder nur in einem praktisch vernachlässigbaren Ausmaß ändern), wenn eine Magnetplatte aus diesem Medium in Drehung versetzt wird, und das weiterhin ein hohes Leistungsvermögen besitzt.

Diese Aufgabe wird durciP ein magnetisches Aufzeichnungsmedium nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1 gelöst, das erfindungsgemäß die im kennzeichnenden Teil aufgeführten Merkmale besitzt.

Weitere, vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen. ■

Gemäß der Erfindung "besteht das Aufzeichnungsmedium aus einem Substrat, einer auf dem Substrat aufgebrachten Unterschicht und wenigstens einer Schicht aus einem magnetischen Film hoher Permeabilität und mit einer relativen Permeabilität in allen Richtungen der Filmoberfläche von nicht weniger als 80 0, und aus einer das Aufzeichnungsmedium bildenden Schicht, die auf der Unterschicht direkt oder indirekt auf einer Zwischenschicht vorgesehen ist.

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Wenn ein magnetischer Film hoher Permeabilität durch Aufdampfen oder Aufsputtern gebildet wird, so tritt darin aufgrund des externen Magnetfeldes, wie z.B. des Erdmagnetfeldes, eine Anisotropie der magnetischen Induktion auf, oder es tritt aufgrund ungleicher interner Spannungen eine einachsige magnetische Anisotropie auf, so daß die Permeabilität an_ der Oberfläche des Magnetfilmes anisotrop wird. Es ist sehr schwer, eine solche Anisotropie vollständig aus dem Magnetfilm zu entfernen. Die Ergebnisse einer gründlichen Untersuchung des Einflusses einer Unterschicht auf die Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaften eines magnetischen Aufzeichnungsmediums haben das folgende ergeben. Wenn die Permeabilität des Unterschicht-Filmes in einem niedrigen Bereich liegt, so wird der Leistungsgrad des magnetischen Aufzeichnungsmediums im wesentlichen im Verhältnis zu der Permeabilität des Unterschicht-Filmes verbessert. Wenn die Permeabilität des Filmes auf einen hohen Pegel ansteigt, so ist die Leistungsfähigkeit des Aufzeichnungsmediums gesättigt. Wenn nämlich die Permeabilität des Unterschicht-Filmes nicht kleiner ist. als ein bestimmter Pegel, z.B. 800, so können die Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaften des magnetischen Aufzeichnungsmediums als praktisch konstant angesehen werden. Es wurde festgestellt, daß dann, wenn ein Unterschicht-Film aus einem Material mit niedriger magnetischer Anisotropie oder mehrachsiger magnetischer Anisotropie hergestellt wird um eine Unterschicht mit einer vergleichsweise hohen Permeabilität in allen Richtungen der Filmoberfläche zu erzielen, so sind die oben erwähnten Hindernisse, die ein konventionelles zusammengesetztes magnetisches Aufzeichnungsmedium besitzt, beseitigt.

Die vorliegende Erfindung beruht auf den oben beschriebenen Entdeckungen der Erfinder der vorliegenden Erfindung.

Wie allgemein bekannt ist, besteht die oben erwähnte Aufzeichnunnsmediumschicht aus einem Film aus magnetischem

Aufzeichnungsmaterial mit einer senkrechten magnetischen Anisotropie, beispielsweise- aus einem Co-Cr-Legierungsfilm, der z.B. 5-25 Gew.% an Cr enthält. Dieser Film wird gewöhnlich mit einem Sputter-Verfahren, mit einem Vakuum-Aufdampfverfahren und einem Verfahren des chemischen Abscheidens aus der Gasphase gebildet, wobei Material aus der Gasphase abgeschieden wird. Insbesondere wird das Sputter-Verfahren in weitem Umfang angewendet. Die Dicke eines solchen Filmes ist gewöhnlich 0,1-3 Jim. Der'bei der vorliegenden Erfindung angewendete Film kann mit solcher Dicke ausgebildet werden, die Dicke des Filmes ist jedoch nicht darauf beschränkt.

Die unter der Aufzeichnungsmedium-Schicht befindliche Unterschicht, auf der sich ein Magnetfilm von hoher Permeabilität befindet, kann aus irgendeinem magnetischen Material beste-. hen, dessen relative Permeabilität in allen Richtungen der Filmoberfläche nicht kleiner als 800 bei der Maximalfrequenz des angewendeten Aufzeichnungsstromes ist, beispielsweise Permalloy mit einer typischen Zusammensetzung aus Ni-19Gew.%Fe, Sendust aus einer Fe-Si-A£-Legierung, eine Fe-Si-Legierung (alle diese Legierungen sind kristalline Legierungen) und eine ferromagnetische amorphe Legierung. Eine ferromagnetische amorphe Legierung enthält meistens Co, Fe oder Ni als Hauptkomponenten.

Wenn jedoch ein Magnetfilm durch Abscheiden dieser magnetischen Materialien zur Bildung einer Unterschicht in üblicher Weise in der Gasphase abgeschieden wird, so tritt eine große magnetische Anisotropie in einem Film aus irgendeinem dieser Materialien auf, und die relative Permeabilität in Richtung der niedrigen Permeabilität des Filmes wird kleiner als 800. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird auf das magnetische^ Material während seines Abscheidens auf einem Substrat in der Gasphase ein Magnetfeld ausgeübt, wobei

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das Magnetfeld relativ zu dem Substrat gedreht wird. Der so gebildete Magnetfilm hat eine vergleichsweise hohe Permeabilität oder eine kleine Anisotropie der Permeabilität. Wenn daher dieser Film als Unterschicht verwendet wird, so kann man ein zusammengesetztes magnetisches Aufzeichnungsmedium mit ausgezeichneten Auf zeichnungs- und Wiedergabeeigenschaf-¹-ten erzielen. Das Magnetfeld kann kontinuierlich oder inter-• mittierend zu vorgegebenen"Zeitintervallen gedreht werden. Das Magnetfeld wird wenigstens eine halbe Drehung (180°) bis zum Abschluß der Bildung der Unterschicht gedreht. Die Intensität des auf das Magnetfeld auszuübenden Magnetfeldes wird auf 20 Oe bis 15 kOe (1,6 χ 10³ A/m - 17,9 χ 10⁶ A/m) eingestellt.Es ist schwierig, ein Magnetfeld von mehr als 15 kOe in einer Scheibe als Ganzes gleichmäßig zu erzeugen.

Wenn das Magnetfeld kleiner als 20 Oe ist, so kann die Auswirkung eines externen Magnetfeldes nicht ausreichend eliminiert werden. Deswegen ist es vorzuziehen, ein Magnetfeld mit einer in dem erwähnten Bereich liegenden Intensität anzuwenden. Außer den oben beschriebenen Verfahren kann natürlich auch irgendein anderes Verfahren zur Bildung eines Magnetfeldes eingesetzt werden, vorausgesetzt, daß es in der Lage ist, die magnetische Anisotropie in dem Film zu reduzieren und seine minimale relative Permeabilität auf nicht weniger als 800 zu erhöhen.

Es wurde bereits gesagt, daß die geeignete Dicke der Unterschicht nicht kleiner als 0,1 μπι beträgt, wie beispielsweise in dem US-Patent 4 210 946 dargestellt ist, und bei der vorliegenden Erfindung besteht keine besondere Notwendigkeit, diese Dicke zu ändern. Die Ausbildung eines Unterschicht-Filmes auf einem Substrat wird mit einem Sputter-Verfahren, einem Vakuum-Aufdampfverfahren und einem Verfahren des chemischen Abscheidens aus der Gasphase ausgeführt, bei denen das magnetische Material in einer Gas-' phase abgeschieden wird, und es ist auch ein Plattierverfahren (galvanisches Verfahren) möglich. Insbesondere "wird das Sputter-Verfahren in weitem Umfang angewendet.

Zur Verbesserung der Magneteigenschaften eines magnetischen Mediums im Hochfrequenzbereich wird allgemein das Einfügen eines nicht-magnetischen Filmes zwischen zwei magnetischen Filmen oder das abwechselnde. Auflaminieren von einigen nicht-magnetischen und einigen magnetischen Filmen angewendet. Diese Verfahren können zur Bildung des oben erwähnten Unterschicht-Filmes. eingesetzt werden. Weiterhin kann ein Verfahren eingesetzt werden, das in der japanischen Patentanmeldung Nr. 4270/1983 beschrieben ist, ebenso wie in der US-Patentanmeldung 571 099 und der europäischen Patentanmeldung 84 100 437.7, die unter Benennung von Großbritannien, Westdeutschland, Frankreich und der Niederlande eingereicht wurde, bei denen die Priorität der erwähnten japanischen Anmeldung beansprucht wurde (alle diese Anmeldungen sind lediglich ältere Anmeldungen, ihr Inhalt ist kein Stand der Technik); das bedeutet, daß zur Bildung des Unterschicht-Filmes ein Verfahren angewendet werden kann, bei dem ein ferromagnetischer Film ^der ein anti-ferromagnetischer Film zwischen zwei primären Magnetfilmen eingefügt wird, wobei jeder von ihnen aus einem ferromagnetischen Material besteht, das sich von dem ferromagnetischen Film unterscheidet, oder bei dem abwechselnd einige Stücke von diesen beiden Arten von Filmen auflaminiert werden, um die Aniso- -tropie zu reduzieren und die Permeabilität des resultierenden Filmes zu erhöhen. Wenn nicht weniger als drei primäre Magnetfilme eingesetzt werden, so können sowohl ein Magnetfilm aus einem von den primären Magnetfilmen verschiedenen Material und ein nicht-magnetischer Film zwischen sie gesetzt werden. · '

Das Substrat, auf dem die Unterschicht ausgebildet wird, besteht bekanntlich aus nicht-magnetischem Material, bei-» spielsweise Glas, Quarz, Siliziumdioxid, einem polymeren Harz, Aluminium oder aus einer Aluminium-Legierung. Das magnetische Aufzeichnungsmedium nach der vorliegenden Er-

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findung ist insbesondere dann nützlich, wenn es bei einer Magnetplatte eingesetzt wird. In diesem Fall wird gewöhnlich ein kreisförmiges oder zylindrisches Substrat verwendet. Zwischen dem Substrat und der Unterschicht kann eine nichtmagnetische Schicht, die beispielsweise aus SiO₂, AJl₂O₃ oder TiO „ besteht, in bekannter Weise zur Verbesserung der Bindungsstärke vorgesehen werden. Eine Zwischenschicht aus nicht-magnetischem Material, z.B. aus SiO₃, TiO₂' ^A^2°V ■ Ti, Cr, Ai, Ge, Si, Mo, W, Cu und Au kann ebenfalls zwischen einer Unterschicht und einer das Aufzeichnungsmedium bildenden Schicht in bekannter Art und Weise vorgesehen werden. Damit wird eine Verbesserung der Bindungsstärken dieser Schichten erreicht. Insbesondere dann, wenn eine Kristalle des Hexagonalsystems, wie z.B. Ti und Zn, enthaltende Zwischenschicht so ausgebildet wird, daß die c-Achse der Schicht sich im rechten Winkel zur Substratoberfläche erstreckt, wird die senkrechte Anisotropie einer auf der oberen Oberfläche der Zwischenschicht gebildeten Aufzeichnungsmediumsschicht verbessert.

Bezüglich der in der Darstellung der vorliegenden Erfindung nicht näher beschriebenen Umstände kann das Fachwissen dieses technischen Gebietes eingesetzt werden.

Die Erfindung wird nun anhand der in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispielen beschrieben und näher erläutert. 25

Fig. .1 ,..

zeigt in einem Diagramm die Schwankungen des Ausgangssignals einer Magnetplatte bezüglich des Winkels ihrer Drehung, wobei diese Magnetplatte, ein konventionelles, zusammengesetztes vertikales magnetisches Aufzeichnungsmedium besitzt, das mit einer Unter

schicht hoher Permeabilität versehen ist;

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Fig. 2 zeigt einen Querschnitt durch ein Ausführungsbeispiel eines magnetischen Aufzeichnungsmediums nach der vorliegenden Erfindung;

Fig. 3 zeigt die Beziehung zwischen dem Ausgangssignal einer Magnetplatte, die mit einem Ausführungsbeispiel eines magnetischen Aufzeichnungsmediums nach der vorliegenden Erfindung versehen ist, und den Drehwinkel der Platte; und

Fig. 4 zeigt die Verteilung der Magnetisierungs-Vorzugsachsen in Richtung der Dicke einer Unterschicht hoher Permeabilität bei einem magnetischen Aufzeichnungsmedium nach der vorliegenden Erfindung.

Das in Fig. 2 dargestellte Ausführungsbeispiel ist ein zusammengesetztes (mehrteiliges), vertikales magnetisches Aufzeichnungsmedium, das aus einer Unterschicht 1 aus einem nicht-kristallinen Legierungsfilm aus Co₇^Zr₁₅Mo₁₂ ^un<^ einem in senkrechter Richtung anisotropen Film 2 aus COg₀Cr₂₀ besteht. Der Co₈₀Cr₂₀-FiIm ist 0,2 μπι dick, der Co₇₃Zr₁₅Mo₁₂-FiIm hat eine Dicke von 1 μΐη. Diese Filme sind auf einer Glasplatte 3 mit einem Durchmesser von 4,5 cm auflaminiert, um eine-Platte zu bilden.

Das magnetische Aufzeichnungsmedium nach dem Stand der Technik, bei dem die minimale relative Permeabilität an der Filmoberfläche seiner Unterschicht 1 weniger als 800 beträgt, und das magnetische Aufzeichnungsmedium nach der vorliegenden Erfindung," bei dem die relative Permeabilität in alle Richtungen der Filmoberfläche seiner Unterschicht" nicht weniger als 80 0 beträgt, werden nachfolgend beschrieben.

Zunächst wurden die Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaften einer Magnetplatte bestimmt, die einen mit einem üblichen Sputter-Verfahreh hergestellten Co₇^Zr₁ ,-Mo..--Film besitzt. Es wurde ermittelt, daß das Ausgangssignäl der Platte sich in Abhän-

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gigkeit der Richtung, d.h. dem Drehwinkel entsprechend der Fig. 1, ändert. Fig. 1 zeigt die Einhüllende einer Wellenform eines Ausgangssignals bei einer Aufzeichnungsdichte von 50 --■ . KBPI (50 Kilobit/inch), d.h. die Ergebnisse einer bei einem ■ Aufzeichnungs- und Wiedergabevorgang ausgeführten Messung, bei einer relativen Drehgeschwindigkeit von 2 m/s, wobei ein Lesekopf mit einem Ferrit-Ring mit einer Spaltlänge von 0,3 μπι verwendet wurde. Die Abhängigkeit der Permeabilität des Co₇₃Zr₁5M0. -"Pil¹⁰⁶⁵ von der Richtung wurde zusätzlich bestimmt, und die Ergebnisse wurden entsprechend den Pegeln der Ausgangssignale der Scheibe diskutiert, wobei das nachfolgende entdeckt wurde. Die relative Permeabilität dieses Filmes ist am geringsten, d.h. etwa 200, in der Bewegungsrichtung des Aufzeichnungsmediums bei einem Drehwinkel, bei dem der Pegel des Ausgangssignals am niedrigsten wird; er ist am höchsten, d.h. etwa 1500,in Richtung der Bewegung des Aufzeichnungsmediums bei einem Drehwinkel, bei dem der Pegel des Ausgangssignals am höchsten wird. Es wurde ferner ermittelt, daß dann, wenn die relative Permeabilität einer Unterschicht nicht weniger als 800 beträgt, vorzugsweise nicht weniger als 1000, der Pegel eines Ausgangssignals der Platte im wesentlichen konstant ist. Es wurde festgestellt, daß die' Richtung, bei der die relative Permeabilität einer Unter-, schicht am niedrigsten wird, im wesentlichen mit der Richtung übereinstimmt, in der das Erdmagnetfeld verläuft. '

Gemäß der Erfindung wurde sodann ein Sputter-Verfahren für

ner

eine Stunde zur Bildung eines Co₇₃Zr₁5Mo₁„-Filmes mit ei Dicke von 1 um ausgeführt, wobei ein Magnetfeld mit einejr Intensität von etwa 500 Oe angelegt wurde, die Richtung des ! Magnetfeldes in Richtung der Filmoberfläche lag·und alle . zehn Minuten um 30° geändert wurde. Die mittlere Drehge-j schwindigkeit des Magnetfeldes betrug nämlich 0,5 Umdretiungen/h. Der magnetische Aufbau eines solchen Filmes untersucht.

Fig. 4 zeigt schematisch ein rechteckiges geschnittenes Stück eines Filmes, der während eines 3o-minütigen Sputter-Vorganges gebildet wurde. Entsprechend der Figur besteht der mit diesem Sputter-Verfahren gebildete Film 4 aus Schichten 5, 6, 7, die in jeweils zehn Minuten gebildet wurden, wobei in ihnen die Vorzugsachsen der Magnetisierung in unterschiedlichen Richtungen verlaufen. Entsprechend der Tatsache, daß der Film Vielfach-Vorzugsmagnetisierungsachsen besitzt, wird es verständlich, daß jedesmal dann, wenn die Richtung des Magnetfeldes während des Sputter-Vorganges geändert wird, die Vorzugs-Magnetisierungsrichtung des Filmes um eine Achse gedreht wird, die in senkrechter Richtung zu seiner Dicke verläuft, so daß in dem Film eine sogenannte spiralige Anisotropie auftritt. Die niedrigste relative Permeabilität dieses Filmes betrug 2000, seine höchste relative Permeabilität betrug 3000. Die Abhängigkeit der Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaften eines vertikalen magnetischen Aufzeichnungsmediums, das eine Unterschicht 1 aus einem solchen ^^^ einen darauf gebildeten,in senkrechter Richtung anisotropenmagnetischen Film 2 besitzt, von dem Drehwinkel der Platte wurde in der gleichen Weise wie in dem in Fig. 1 dargestellten Fall ermittelt, wobei man die in Fig. 3 dargestellten Ergebnisse erhielt. Anhand der Zeichnung ist ersichtlich, daß die Schwankungen des Pegels des Ausgangssignals der Platte, bei der ein Aufzeichnungsmedium nach der vorliegenden Erfindung verwendet ist, im Vergleich mit jenem der Fig. 1, bei einer ein konventionelles Aufzeichnungsmedium verwendenden Platte vernachlässigt werden können.

Bei dem voranstehenden Ausführungsbeispiel wurde der · Co₇₃Zr₁₅Mo₁₂-FiIm so ausgebildet, daß das an ihn angelegte Magnetfeld während des Sputter-Vorgangs intermittierend gedreht wurde. Wenn ein solcher Film bei sich kontinuierlich drehendem Magnetfeld gebildet wird, so erhält man die gleichen Ergebnisse. Die Drehgeschwindigkeit wurde auf 0,5 Umdrehungen/h

eingestellt. Der Sputter-Effekt in einem solchen Magnetfeld unterscheidet sich nach der Art des verwendeten Materials. Entsprechend den von den Erfindern erhaltenen experimentel- ----._ len Ergebnissen erhält man einen deutlichen Sputter-Effeki, wenn eine nicht-kristalline magnetische Legierung der . Co-Gruppe, bei der typische Beispiele Co₇₃Zr₁₅Mo₁₃ ^und (Co_ . .Fe, -,J₇₁-Si₁^B_1n sind, oder eine polykristalline Legierung verwendet wurde, bei der Ni und Fe die Hauptkomponenten sind, und bei der ein typisches Beispiel Ni-19Gew.%Fe

Ιο ist. Wenn diese Legierungen in üblicher Weise aufgesputtert werden, so tritt eine in einer Richtung große Anisotropie in dem resultierenden Film auf, und seine maximale und minimale Permeabilitäten unterscheiden sich stark Wenn jedoch das Sputtern bei einem sich drehenden, auf den Film ausgeübten Magnetfeld ausgeführt wird, um in ihm eine vielachsige Anisotropie zu erzielen, so steigt die gesamte Permeabilität des Filmes auf hohen Pegel an, und das Verhältnis der maximalen Permeabilität zu der minimalen Permeabilität geht auf ein niedriges Niveau zurück. DieHses Sputter-Verfahren hat eine so deutliche Wirkung, und es ist das bei der Ausführung der vorliegenden Erfindung besonders vorzuziehende Verfahren.

Allgemein wird ein Aufzeichnen mit hoher Dichte in einem ' Hochfrequenzgebiet ausgeführt, so daß das magnetische Aufzeichnungsmedium bei hohen Frequenzen eine hohe Permeabilitat besitzen muß. Das Aufzeichnen mit einer magnetischen Aufzeichnungsplatte,'die einen Unterschicht-Film von nicht weniger als 1 μΐη Dicke besitzt, kann ohne besondere Schwierigkeiten selbst in einem Frequenzgebiet von 10 bis 3 0 MHz ausgeführt werden. Wenn die Dicke des Unterschicht-Filmes nicht weniger als 2 bis 3 μΐη beträgt, so hat dessen Permeabilität die Neigung abzunehmen. Um ein Abnehmen der Permeabilität des Filmes zu verhindern, ist es weiter vorzuziehen, Filme mit einer dazwischengesetzten Schicht aus isolierendem Material, beispielsweise SiO₃ und AJi₂O., oder einer Schicht aus nicht-magnetischem Metall, aufzulaminieren, anstatt den Ab-

Scheidevorgang "kontinuierlich auszuführen, wobei lediglich das auf den Film ausgeübte Magnetfeld gedreht wird. Bei einem anderen Ausführungsbeispiel der Erfindung werden Schichten aus zwei Arten von ferromagnetischem Material, z.B. eine Fe-Si-Legierung und eine Ni-Fe-Legierung, oder eine Schicht aus ferromagnetischem Material und eine Schicht aus einem antiferromagnetischen Material,- wie z.B. Fe-Mn-Legierung, auf laminiert. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird die Anisotropie des Filmes gering, und seine Permeabilität wird hoch. Solch ein laminierter Film kann ebenfalls als Unterschicht-Film verwendet werden.

Ein Fe, Si und Al als Hauptkomponenten enthaltender Legierungsfilm hat eine vergleichsweise geringe Permeabilität von etwa 850, aber er hat eine kleine Anisotropie der Permeabili-.15 tat; der Film hat sich für den Unterschicht-Film als verwendbar herausgestellt.

Die voranstehende Erfindung liefert ein zusammengesetztes vertikales magnetisches Aufzeichnungsmedium mit ausgezeichneten Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaften, die sich selbst dann, wenn sich die Richtung seiner Bewegung bezüglich eines Magnetkopfes ändert, nicht wesentlich ändern, und das vorzugsweise für Magnetplatten verwendet werden kann.

• Es ist offensichtlich, daß verschiedene Abwandlungen und Änderungen der vorliegenden Erfindung unter dem Gesichtspunkt der voranstehenden Lehre möglich sind. Innerhalb der Patentansprüche ist die Erfindung daher nicht auf die be- . schriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt.

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Claims

Magnetisches Aufzeichnungsmedium

1. Zusammengesetztes magnetisches Aufzeichnungsmedium, gekennzeichnet durch
ein Substrat (3),

eine direkt oder indirekt auf dem Substrat (3) befindliche Unterschicht (1), die wenigstens einen weich-magnetischen Film (5-7) von hoher Permeabilität aufweist, und durch eine Aufzeichnungsmedium-Schicht (2), die direkt oder indirekt auf der Unterschicht vorgesehen ist, wobei die Unterschicht eine relative Permeabilität von nicht weniger als in allen Richtungen der Filmoberfläche besitzt.

2. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der magnetische Film (5-7) von hoher Permeabilität eine solche Verteilung der Vorzugsachsen der Magnetisierung besitzt, die sich kontinuierlich oder intermittierend entspre-

chend der Änderung ihrer Dicke und kreisförmig um eine im rechten Winkel zur Filmoberfläche erstreckende Achse ändert.

3. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, . daß die Aufzeichnungsmedium-Schicht (2) eine senkrechte Anisotropie besitzt.

4. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 3,

dadurch gekennzeichnet, daß die Aufzeichnungsmedium-Schicht aus einer Co-Cr-Legierung besteht.

5. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 4,

dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Substrat (3) und der Unterschicht (1) eine nicht-magnetische Zwischenschicht vorgesehen ist. ι

6. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 5,

dadurch gekennzeichnet, j

i daß zwischen der Unterschicht (1) und der Aufzeichnungsmeaium-

schicht (2) eine nicht-magnetische Zwischenschicht vorgesehen •ist. ! .

7. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 6,

dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens einer der magnetischen Filme von hoher Permeabilität aus~einer kristallinen Legierung besteht, die Ni oder Fe als Hauptkomponenten enthält, oder aus einer nicht-kristallinen Legierung besteht, die Co als Hauptkomponente besitzt. _

8. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 7,

dadurch gekennz e ichnet, daß die Unterschicht (1) wenigstens zwei magnetische Filme von hoher Permeabilität umfaßt, zwischen denen ein nicht-magnetischer*

m ·

Film oder ein sich von den Filmen hoher Permeabilität unterschei-* dender magnetischer Film vorgesehen ist.

9. Verfahren zur Herstellung eines Aufzeichnungsmediums nach einem der Ansprüche 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, daß während der Bildung der Unterschicht (1) ein sich in Oberflächenrichtung dieser Unterschicht erstreckendes Magnetfeld zur Einwirkung gebracht wird, und daß während der Ausbildung der Unterschicht die Richtung dieses Magnetfeldes um eine zur Oberfläche der Unterschicht senkrechten Achse gedreht wird.