DE3427047A1 - Einrichtung zur fotoelektrischen abtastung von teilungen im auflicht - Google Patents
Einrichtung zur fotoelektrischen abtastung von teilungen im auflichtInfo
- Publication number
- DE3427047A1 DE3427047A1 DE19843427047 DE3427047A DE3427047A1 DE 3427047 A1 DE3427047 A1 DE 3427047A1 DE 19843427047 DE19843427047 DE 19843427047 DE 3427047 A DE3427047 A DE 3427047A DE 3427047 A1 DE3427047 A1 DE 3427047A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- scanning
- receiver
- division
- divisions
- photoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000007115 recruitment Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
- G01D5/34715—Scale reading or illumination devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
Einrichtung zur fotoelektrischen Abtastung von Teilungen
im Auflicht
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur fotoelektrischen
Abtastung von Teilungen im Auflicht, insbesondere für. numerische Weg- und Winkelmeßsysteme»
Bekannte Einrichtungen (DD-PS 139 897) zur fotoelektrischen Abtastung von Teilungen besitzen eine zentrale Lichtquelle,
die direkt oder unter Zwischenschaltung eines Kondensorsyetems eine mit einer Rasterteilung versehene Abtastplatte
und die abzutastende Teilung einer Maßverkörperung beleuchtet, wobei Lichtquelle und Abtastplatte relativ zur
Teilung der Maßverkb'rperung verschiebbar sind. Die durch
die Relativbewegung von Abtastplatte und Teilung hervorgerufenen
Helligkeit sschvva nkungen des Lichtes werden von fotoelektrisch^ Abtastelementen in elektrische Signale
umgewandelt und zur Ermittlung von Meßwerten weiterverarbeitet. Dabei werden vielfach zur Erzeugung von phasenverschobenen,
elektrischen Signalen die Abtastelemente um Teile der Rasterkonstante der Teilung versetzt angeordnet
·
Aus der DD-PS 207 762 und WP G 01 D/250 438/7 geht
hervor, daß zur Beleuchtung der Teilung auf Chips angeordnete Leuchtdioden angewendet werden·
4318
Aus der DE-AS 2510 273 ist eine fotoelektrische Auflichtmsßeinrichtung
mit einem als Reflexionsgitter ausgebildeten Maßstab bekannt. Die Abtastbaueinheit, die dieses
Gitter abtastet, enthält in einem Gehäuse eine Lampe, einen Kondensor, einen Umlenkspiegel, eine mit einer
Rasterteilung versehene Abtastplatte und mehrere in der Verschieberichtung der Abtastbaueinheit hintereinander
angeordnete, fotoelektrische Abtastelemente.
Diese bekannten Lösungen mit einer zentralen Lichtquelle für alle Abtastelemente besitzen den IJachteil, daß das
ausgeleuchtete Feld begrenzt ist und damit die mögliche Größe der Abtaststellen durch die Anzahl der Abtastkanäle
bestimmt wird. Die räumliche Ausdehnung des Beleuchtungsund Abtastsystems ist vergleichsweise groß und technisch
aufwendig. Sine vollständige Ausnutzung des im Leuchtfeld vorhandenen Lichtstromes wird nicht erreicht, da
die Summe der Flächen der Abtastkanäle kleiner als die beleuchtete Fläche ist.
Es ist Ziel der Erfindung, die Nachteile des Standes der
•Technik zu beseitigen und den technischen Aufwand bei geringem Leistungsverbrauch zu senken.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zur fotoelektrischen Abtastung von Teilungen im. Auflicht
zu schaffen, die bei umfassender Ausnutzung des von der Lichtquelle ausgehenden Lichtstromes zur Signalerzeugung
eine kleine Baugröße besitzt und eine freie Wahl der Größe, Anzahl und Lage der Äbtaststellen ermöglicht.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einer Einrichtung
zur iotoelektrischen Abtastung von Teilungen im Auflicht,
umfassend eine Lichtquelle, eine mit Rasterteilungen versehene Abtastplatte und fotoelektrische Abtastelemente,
wobei Lichtquelle, Abtastplatte und die Abtastelemente relativ zur Teilung verschiebbar sind, dadurch gelöst,
da3 ein Abtastsystem vorgesehen ist, welches vorzugsweise
4318
mehrere optisch voneinander getrennte, unabhängige Abtastkanäle umfaßt, wobei jeder Abtastkanal aus einem
Strahler, einer Abbildungsoptik und einem Empfänger besteht und Strahler und Empfänger auf einer Leiterplatte
angeordnet sind·
Dabei sind zur optischen Trennung der Abtastkanäle Rohrblenden vorgesehen. Vorteilhafterweise sind Strahler
und Empfänger Halbleiterbauelemente, und es ist jedem Abtastkanal eine Teilung einer Abtastplatte zugeordnet·
Es ist weiter vorteilhaft, daß Strahler und Empfänger eines jeden Abtastkanals in Richtung der Rasterelemente
der abzutastenden Teilung auf der Leiterplatte angeordnet sind.
Durch die Erfindung wird der Aufbau von Miniatur-Weg-und
-Winkelmeßsystemen mit geringem Leistungsbedarf bei geringem
technischem Aufwand ermöglicht, welche im Auflicht die Teilung der Maßverkörperung abtasten· Insbesondere
durch die kleine Baugröße kann die Anzahl und die Lage der Abtast stellen im Meßsystem weitest gehend frei gewählt
werden· Bei geringer Leistungsaufnahme ist eine nahezu
vollständige Ausnutzung des vom Strahler erzeugten Lichtstromes bei geringer thermischer Belastung des gesamten
Meßsystems erzielbar·
Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel
näher erläutert werden.
In der Zeichnung zeigen
In der Zeichnung zeigen
Figur 1 ein Abtastsystem mit einem Abtastkanalj Jigur 2 ein aus vier Abtastkanälen zusammengesetztes
Abtastsystem mit einer Längenteilung und Figur 3 die Anordnung von vier versetzten Abtastkanälen
bei einer Kreisteilung.
Die Einrichtung zur fotoelektrischen Abtastung von 'Teilungen 1 von Maßverkörperungen 2 im Auflicht besitzt
ein Abtastsystem, welches vorzijgpweise mehrere optisch
voneinander getrennte, unabhängige Abtastkanäle umfaßt.
Gemäß Figur 1 besteht ein solcher Abtastkanal aus einem lichtaussendenden Strahler 3 , einer Abbildungsoptik
und einem fotoelektrischen Smpfänger 5, wobei Strahler
3 und Empfänger 5 vorteilhaft Halbleiterbauelemente sind und auf einer gemeinsamen Leiterpfette 6 angeordnet
sind. Zur optischen Trennung mehrerer Abtastkanäle ist einem jeden Abtastkanal eine Hohrblende 7 zugeordnet,
die zwischen Leiterplatte 6 und einer der Abbildungsoptik 4 nachgeordneten, mit einer Teilung
versehenen Abtastplatte 9 vorgesehen ist. Das Abtastsystem ist zusammen mit der Abtastplatte 9 relativ
zur Maßverkörperung 2 verschiebbar oder umgekehrt. Strahler 3 und Empfänger 5 eines jeden Abtastkanals
sind In Richtung der Rasterelemente (Teilungsstriche) der abzutastenden Teilung 1 auf der Leiterplatte 6 angeordnet.
Der Strahler 3 wird in an sich bekannter Weise mittels der Abbildungsoptik 4, z. B. einer Plankonvexlinse,
durch die Abtastplatte 9 mit einem nichtreflektierenden
Transmissionsraster nach Unendlich abgebildet. Nach Reflexion an der reflektierenden Teilung 1 der Maßverkörperung
2 wird der Strahler 3 moduliert durch die Relativbewegung zwischen Maßverkörperung 2 und Abtastplatte
9 auf den Empfänger 5 abgebildet, welcher ein periodisches elektrisches Signal zur Weiterverarbeitung
liefert«
Durch die Anordnung mehrerer optisch getrennter Abtastkanäle 10; 11; 12; 13 gemäß Figur 2, die in Längserstreckung
der Maßverkörperung 2 hintereinanderliegen, ist es möglich, je nach Anzahl und Lage der Abtastkanäle
phasenversetzte elektrische Signale und gegebenenfalls Referenzmarken zu bilden und eine Interpolation zu ermöglichen.
Dabei können die Signale der einzelnen Abtastkanäle 10; 11; 12; 13, z. B. durch Einstellung
des Strahlerstromes, des Arbeitswiderstandes der Empfänger
oder durch Vignettxerung des Strahlenganges einzelner Abtastkanäle normiert werden.
Figur 3 zeigt die Anordnung von vier um 90° am Umfang versetzten Abtastkanälen 14; 15; 16; 17 zur Abtastung
der (Peilung 18 eines Teilkreises 19 zwecks Messung von Winkeln. Prinzipiell sind diese Abtastkanäle so aufgebaut,
wie bei der in Figur 1 dargestellten Form.
4318
Claims (5)
1. Einrichtung zur fotoelektrischen Abtastung von Teilungen im Auflicht, umfassend eine Lichtquelle, eine
mit Easterteilungen versehene Abtastplatte und fotoelektrische
Abtastelemente, wobei lichtquelle, Abtastplatte und die Abtastelemente relativ zur Teilung
verschiebbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß ein Abtastsystem vorgesehen ist, welches vorzugsweise
mehrere optisch voneinander getrennte, unabhängige Abtastkanäle umfaßt, wobei jeder Abtastkanal aus
einem Strahler, einer .Abbildungsoptik und einem Empfänger besteht und Strahler und Empfänger auf einer
Leiterplatte angeordnet sind.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur optischen Trennung der Abtastkanäle Rohrblenden
vorgesehen sind,
3. Einrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß Strahler und Empfänger Halbleiterbauelemente sind.
4· Einrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß jedem Abtastkanal eine Teilung einer Abtastplatte
zugeordnet ist.
5. Einrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß Strahler und Smpfänger eines jeden Abtastkanals
in Richtung der Rasterelemente der abzutastenden Teilung auf der Leiterplatte angeordnet sind.
4318
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DD25442183A DD221828A1 (de) | 1983-09-01 | 1983-09-01 | Einrichtung zur fotoelektrischen abtastung von teilungen im auflicht |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3427047A1 true DE3427047A1 (de) | 1985-03-21 |
Family
ID=5550124
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19843427047 Withdrawn DE3427047A1 (de) | 1983-09-01 | 1984-07-23 | Einrichtung zur fotoelektrischen abtastung von teilungen im auflicht |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
DD (1) | DD221828A1 (de) |
DE (1) | DE3427047A1 (de) |
GB (1) | GB2146765A (de) |
NL (1) | NL8402650A (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3702314C1 (de) * | 1987-01-27 | 1988-01-14 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Messeinrichtung |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3625327C1 (de) * | 1986-07-26 | 1988-02-18 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Positionsmesseinrichtung |
DE8717558U1 (de) * | 1987-02-21 | 1989-02-23 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Lichtelektrische Positionsmeßeinrichtung |
DE3918726C1 (de) * | 1989-06-08 | 1991-01-10 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut, De | |
GB9109501D0 (en) * | 1991-05-02 | 1991-06-26 | Orton Paul A | Shaft displacement measuring system |
FR2686689B1 (fr) * | 1992-01-24 | 1997-01-03 | Paris Sud Universite | Capteur de position et jauge d'indication du niveau d'un liquide dans un reservoir comportant un tel capteur. |
GB201916641D0 (en) | 2019-11-15 | 2020-01-01 | Renishaw Plc | Position measurement device |
GB201916662D0 (en) | 2019-11-15 | 2020-01-01 | Renishaw Plc | Encoder apparatus |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB822543A (en) * | 1955-02-14 | 1959-10-28 | Nat Res Dev | Improvements in or relating to optical measuring systems |
GB1380045A (en) * | 1970-12-21 | 1975-01-08 | Secretary Trade Ind Brit | Position detection and control devices |
GB1456366A (en) * | 1972-12-14 | 1976-11-24 | Hawker Siddeley Dynamics Ltd | Linear displacement devices |
DD143953B1 (de) * | 1979-07-31 | 1981-07-29 | Der Goenne Rainer Von | Optisch-elektronische Meßeinrichtung zur inkrementalen Winkelmessung |
DE2952106C2 (de) * | 1979-12-22 | 1982-11-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Lichtelektrische inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
US4427883A (en) * | 1981-05-27 | 1984-01-24 | The Stanley Works | Optical sensing system for extensible tape rules |
EP0074767B1 (de) * | 1981-09-07 | 1988-01-27 | Hugh-Peter Granville Kelly | Lineare Motoren und deren Regelschaltung |
US4475034A (en) * | 1982-06-24 | 1984-10-02 | International Business Machines Corporation | Modular shaft encoder |
-
1983
- 1983-09-01 DD DD25442183A patent/DD221828A1/de not_active IP Right Cessation
-
1984
- 1984-07-23 DE DE19843427047 patent/DE3427047A1/de not_active Withdrawn
- 1984-08-30 NL NL8402650A patent/NL8402650A/nl not_active Application Discontinuation
- 1984-08-31 GB GB08422016A patent/GB2146765A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3702314C1 (de) * | 1987-01-27 | 1988-01-14 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Messeinrichtung |
US4955718A (en) * | 1987-01-27 | 1990-09-11 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Photoelectric measuring system with integrated optical circuit including and illuminating system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DD221828A1 (de) | 1985-05-02 |
NL8402650A (nl) | 1985-04-01 |
GB2146765A (en) | 1985-04-24 |
GB8422016D0 (en) | 1984-10-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69116270T2 (de) | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der position von mindestens einer anschlussfahne eines elektronischen bauelements | |
EP0049764B1 (de) | Inkrementale Längen- oder Winkelmesseinrichtung | |
DE69419470T2 (de) | Messvorrichtung zur Determinierung der Verschiebung eines bewegbaren Objekts | |
DE2238413B2 (de) | Vorrichtung zum Messen der Verschiebung zweier gegeneinander beweglicher Teile | |
EP0425726A1 (de) | Positionsmesseinrichtung | |
DE2508583C3 (de) | Höhenmeßgerät für ein Flugzeug | |
DE3427047A1 (de) | Einrichtung zur fotoelektrischen abtastung von teilungen im auflicht | |
DE10022676A1 (de) | Optische Verschiebungsdetektoreinrichtung | |
DE69207958T2 (de) | Kodierer der absoluten Position | |
DE2451668A1 (de) | Anordnung zur geometrischen trennung von lichtfluessen in abbildungssystemen | |
DE2944162C2 (de) | Lichtelektrische digitale Meßeinrichtung | |
EP0184578A1 (de) | Inkrementales Messsystem zum Messen von Längen und Winkeln | |
DE3444878A1 (de) | Abtastkopf fuer schrittgeber, insbesondere winkelschrittgeber | |
EP0463565A1 (de) | Vorrichtung zur Darstellung einer Zielmarke | |
EP0418211B1 (de) | Inkrementales Messsystem | |
EP0209514A2 (de) | Messsystem, insbesondere inkrementales Messsystem für die Messung von Längen und Winkeln auf optoelektronischem Wege | |
DE2944363A1 (de) | Lichtelektrische digitale messeinrichtung | |
DD156290A1 (de) | Fotoelektrisches verfahren und empfaengeranordnung zur lageerkennung kantenfoermiger messstrukturen | |
DE3129890A1 (de) | "verfahren zur durchmessermessung von linear bewegtem strangfoermigem gut" | |
DE19604502A1 (de) | Optoelektronischer Lesekopf | |
DE4336729A1 (de) | Optischer Schalter | |
DE2124070C3 (de) | Lichtgriffel | |
DE3514014A1 (de) | Beleuchtungseinrichtung fuer automatisches lesen | |
AT397156B (de) | Inkrementales messsystem | |
DE69302100T2 (de) | Anzeigevorrichtung mit beleuchtetem Zeiger |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |