DE3325003C2 - - Google Patents

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DE3325003C2
DE3325003C2 DE19833325003 DE3325003A DE3325003C2 DE 3325003 C2 DE3325003 C2 DE 3325003C2 DE 19833325003 DE19833325003 DE 19833325003 DE 3325003 A DE3325003 A DE 3325003A DE 3325003 C2 DE3325003 C2 DE 3325003C2
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Germany
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diameter
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television
lines
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DE19833325003
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Guenter Dipl.-Ing. 7520 Bruchsal De Gerner
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Siemens AG
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    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/022Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of tv-camera scanning
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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JPS63269003A (ja) * 1987-04-27 1988-11-07 Shin Etsu Handotai Co Ltd 晶出界面位置検出装置
EP0903428A3 (de) 1997-09-03 2000-07-19 Leybold Systems GmbH Einrichtung und Verfahren für die Bestimmung von Durchmessern eines Kristalls

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