DE3325003C2 - - Google Patents
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- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19833325003 DE3325003A1 (de) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | Verfahren zum messen des druchmessers eines durch zonenschmelzen hergestellten halbleiterstabes |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19833325003 DE3325003A1 (de) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | Verfahren zum messen des druchmessers eines durch zonenschmelzen hergestellten halbleiterstabes |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3325003A1 DE3325003A1 (de) | 1985-01-24 |
DE3325003C2 true DE3325003C2 (ja) | 1988-05-26 |
Family
ID=6203705
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19833325003 Granted DE3325003A1 (de) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | Verfahren zum messen des druchmessers eines durch zonenschmelzen hergestellten halbleiterstabes |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3325003A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3640868A1 (de) * | 1986-11-29 | 1988-06-09 | Leybold Ag | Einrichtung zur bestimmung des durchmessers eines kristalls beim ziehen aus einer schmelze |
JPS63269003A (ja) * | 1987-04-27 | 1988-11-07 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 晶出界面位置検出装置 |
EP0903428A3 (de) | 1997-09-03 | 2000-07-19 | Leybold Systems GmbH | Einrichtung und Verfahren für die Bestimmung von Durchmessern eines Kristalls |
-
1983
- 1983-07-11 DE DE19833325003 patent/DE3325003A1/de active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3325003A1 (de) | 1985-01-24 |
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