DE3306246A1 - Verfahren und vorrichtung zur feinschleifbearbeitung an einem werkstueck mit einer duennen bearbeitungswand - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zur feinschleifbearbeitung an einem werkstueck mit einer duennen bearbeitungswandInfo
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Description
Die.Erfindung bezieht sich gattungsgemäß auf ein Verfahren zur
Feinschleifbearbeitung einer Oberfläche an einem Werkstück mit einer dünnen Bearbeitungswand,
wobei das Werkstück mit der zu bearbeitenden Oberfläche freiliegend in eine Werkstückaufnahme eingesetzt, die
Werkstückaufnahme mit dem Werkstück in Rotation versetzt und auf die zu bearbeitende Oberfläche ein rotierendes
Feinschleifwerkzeug, vorzugsweise ein topfförmiges Feinschleifwerkzeug, aufgesetzt wird,
wobei ferner ein Kühlmittel zugeführt wird. Die Erfindung bezieht
sich fernerhin auf eine Vorrichtung für die Durchführung eines solchen Verfahrens mit rotierender Werkstückaufnahme,
rotierendem Feinschleifwerkzeug und Einrichtung für eine Kühlmittelzuführung. - Feinschleifen steht im Rahmen der Erfindung
auch für andere Feinbearbeitungsmaßnahmen, insbesondere für das sogenannte Diamantdrehen.
Bei den (aus der Praxis) bekannten gattungsgemäßen Maßnahmen ist
das Kühlmittel ein Schleiföl oder eine Schleifemulsion. Es wird
zumeist in feinem Strahl und mit verhältnismäßig geringem Druck im Bearbeitungsbereich auf das Werkzeug und/oder auf die zu bearbeitende
Oberfläche gerichtet. Das verhindert nicht, daß bei dünnen und sehr dünnen Bearbeitungswänden störende, unkontrollierbare
Bearbeitungstoleranzen auftreten, die nach Erkenntnissen, die der Erfindung zugrundeliegen, auf unkontrolliertem
Verzug der Werkstücke bei der Feinschleifbearbeitung beruhen.
Das ist ein Phänomen, welches in den folgenden technologischen Zusammenhang gehört:
Im Zuge der steigenden Forderungen auf Gewichtsminderung kommen
im verstärkten Umfang Werkstücke mit dünnen Bearbeitungswänden zur Anwendung. Durch die gleichzeitige Einengung der zulässigen
Toleranzen ergeben sich Schwierigkeiten bei der spanabhebenden Bearbeitung, zu der auch die Feinschleifbearbeitung gehört. Bekanntlich
entstehen insbesondere beim Schleifen und Feinschleifen an den Berührungsflächen zwischen Werkstück und Werkzeug
hohe Temperaturen, die trotz des wie beschrieben zugeführten Kühlmittels bis zu 800 0C und darüber hinaus reichen können.
Tatsächlich wird bei der Bearbeitung insbesondere von Planflächen durch das Werkzeug ein erheblicher Flächenanteil überdeckt,
die Wärmeableitung wird entsprechend beeinträchtigt. Die Schwierigkeiten sind dann besonders groß, wenn es sich um Werkstücke
aus Verbundwerkstoffen mit unterschiedlicher thermischer Ausdehnungszahl und unterschiedlicher thermischer Leitfähigkeit
handelt. Das gleiche gilt für Werkstücke, die infolge ihrer Gestaltung, beispielsweise durch QuerSchnittsVerengung, eine Behinderung
des Wärmeabflusses aufweisen. Bei all diesen Werkstücken
tritt schon in relativ kurzen Bearbeitungszeiten von 5 bis 10 Sekunden eine thermisch verursachte Verformung auf, die
sich nach dem Erkalten wieder zurückbildet. Dadurch ist es häufig nicht möglich, die verlangten geometrischen Forderungen
zu erfüllen, beispielsweise eine Ebenheit oder eine Sphärizität im Bereich von 1 bis 3 μπι einzuhalten.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das gattungsgemäße Verfahren
so zu führen, daß der beschriebene, unkontrollierte Verzug und die darauf beruhenden Ungenauigkeiten nicht mehr auf-
— 7 —
treten. Der Erfindung liegt fernerhin die Aufgabe zugrunde, für die Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens besonders einfache
und funktionssichere Vorrichtungen anzugeben.
Zur Lösung dieser Aufgabe lehrt die Erfindung in verfahrensmäßiger
Hinsicht zunächst, daß das Werkstück mit einer zumindest bereichsweise ebenfalls freiliegenden Gegenfläche in die Werkstückaufnahme
eingesetzt wird,
welche Gegenfläche der zu bearbeitenden Oberfläche an der Bearbeitungswand gegenüberliegt,
und daß die freiliegende Gegenfläche von dem Kühlmittel beaufschlagt
wird. - Die Erfindung geht von der Erkenntnis aus, daß es bei der Feinschleifbearbeitung möglich ist, eine Verformung
der Werkstücke durch starke konvektive Wärmeableitung an der Gegenfläche während der Bearbeitung nahezu zu beseitigen bzw.
so zu reduzieren, daß sich die Verformung störend nicht mehr bemerkbar macht. Voraussetzung ist, daß über die dünne Bearbeitungswand
ein entsprechender Wärmetransport hinreichend kurzfristig erfolgt. Untersuchungen haben gezeigt, daß, je nach Gesamtfläche
bzw. Gesamtvolumen, die dünne Bearbeitungswand eine Dicke von einigen Millimetern bis zu 10 Millimetern und unter
Umständen sogar mehr aufweisen kann. Die Temperatur des Kühl-"mitteTs
wird über die gesamte Maschinenlaufzeit durch ein Kühlaggregat konstant gehalten. Der Mengenstrom wird so gewählt, daß
die bei der Feinschleifbearbeitung entstehende Wärme mit Sicherheit abgeführt werden kann. Die Dosierung richtet sich folglich
nach Art, Größe und Werkstoff der Werkstücke, überraschenderweise
lassen sich durch die beschriebenen Maßnahmen der unkontrollierte
— 8 —
Verzug und die darauf beruhenden Ungenauigkeiten praktisch vollständig
eliminieren.
Das erfindungsgemäße Verfahren läßt sich so führen, daß der
.Kühlmittelstrom die Positionierung des Werkstückes in der Werkstückaufnahme
nicht stört, so daß große Aufspannkräfte nicht erforderlich sind und die Werkstücke, ζ. Β. zentriert durch einen
Zentrierkragen, in der Werkstückaufnahme frei aufliegen können. Dazu lehrt die Erfindung, daß das Kühlmittel in Form eines Kühlmittelstrahles
etwa senkrecht und in der Rotationsachse des Werk-r Stückes auf die Gegenfläche als Staufläche gelenkt und an der
Gegenfläche radial umgelenkt wird. Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung ist in diesem Zusammenhang dadurch gekennzeichnet,
daß das Kühlmittel mit Hilfe eines Diffusors senkrecht gegen die Gegenfläche als Staufläche gelenkt und das Werkstück
durch die Umlenkung des Kühlmittels an der Gegenfläche von dem Kühlmittel angesaugt wird. Die Erfindung nutzt dabei bekannte
hydrodynamische und aerodynamische Zusammenhänge, überraschender-r
weise führen diese Effekte auch zu einer besonders intensiven ;
Wärmeabfuhr und Kühlung. Arbeitet man in der beschriebenen Art und Weise und handelt es sich um Werkstücke, die um die Rotationsachse
des Bearbeitungsvorganges symmetrisch sind, so erreicht man bei der beschriebenen Kühlmittelführung gleichzeitig
besonders definierte Verhältnisse und extrem kleinen Verzug, so daß auch extreme Toleranzen eingehalten werden können. Dabei
kann sowohl mit einem flüssigen Kühlmittel gearbeitet werden, z. B. mit Schleiföl, mit einer Schleifemulsion oder mit Wasser.
Es kann aber auch mit einem gasförmigen Kühlmittel gearbeitet werden, im einfachsten Falle mit Luft.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung für die Durchführung des beschriebenen
Verfahrens, die den eingangs angegebenen grundsätzlichen Aufbau aufweist, ist dadurch gekennzeichnet, daß die
Werkstückaufnahme einen zentralen Innenraum aufweist, der von der dünnen Bearbeitungswand des Werkstückes abdeckbar ist, daß die
Einrichtung für die Kühlmittelzuführung einen in der Rotationsachse der Werkstückaufnahme verlaufenden Kühlmittelzuführungskanal
aufweist, der in den Innenraum einmündet, und daß in den Innenraum eingeführtes Kühlmittel im Randbereich der Bearbeitungswand
abführbar ist. Das kann im einzelnen auf verschiedene Weise verwirklicht werden. In der Ausführungsform für topfförmige
oder halbkugelförmige hohle Werkstücke ist eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung dadurch gekennzeichnet, daß die
Werkstückaufnahme als im wesentlichen zylinderförmiges, zum Werkzeug hin offenes Bauteil ausgeführt ist, dessen Zylinderraum
den Innenraum bildet, in den das Werkstück einsetzbar ist, welches dabei mit seiner Bearbeitungswand den Innenraum zum Werkzeug hin
abschließt, und daß der Kühlmittelkanal als Rohr ausgeführt ist sowie unter der Gegenfläche des eingesetzten Werkstückes mit
'freiem Kühlmittelaustritt mündet. Es empfiehlt sich, den Kühlmitte laus tr ittskanal im Bereich seiner Mündung mit einer diffusorartigen
Erweiterung zu versehen, was zu der vorstehend beschriebenen, hydrodynamisch oder aerodynamisch bestimmten Stabilisierung
der Positionierung beiträgt.
In der Ausführungsform für scheibenförmige Werkstücke lehrt die
Erfindung, daß die Werkstückaufnahme als Scheibe ausgeführt ist, die von einem z. B. feststehenden Zentrierkragen umgeben, auf
eine Antriebswelle aufgesetzt ist und auf ihrer der Gegenfläche zugewandten Seite mit radial verlaufenden Kühlmittelabführungs-
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rinnen versehen ist, wobei der Kühlmittelzuführungskanal im Zentrum der Antriebswelle angeordnet ist. In diesem Zusammenhang
ist eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung dadurch gekennzeichnet, daß der Kühlmittelzuführungskanal in die diffusorartige
Erweiterung ausläuft und daß an die diffusorartige Erweiterung die Kühlmittelabführungsrinnen angeschlossen sind.
Im folgenden wird die Erfindung anhand einer lediglich ein Ausführungsbeispiel
darstellenden Zeichnung ausführlicher erläutert,. Es zeigen in schematischer Darstellung '
Fig. 1 einen Axialschnitt durch eine Vorrichtung für die Durch- ; führung der beschriebenen Feinschleifbearbeitung in der
Ausführungsform für topfförmige oder halbkugelförmige
hohle Werkstücke,
Fig. 2 entsprechend der Fig. 1 eine Vorrichtung für die Fein- !
schleifbearbeitung von scheibenförmigen Werkstücken,
Fig. 3 in der Ansicht A das Werkstück auf dem Gegenstand nach Fig, 2 und
Fig. 4 in der Ansicht B die Werkstückaufnahme aus dem Gegenstand
nach Fig, 2,
Die in den Figuren dargestellten Vorrichtungen besitzen eine rotierende Werkstückaufnahme 1 und ein rotierendes Feinschleifwerkzeug
2. Die Rotation ist durch Bogenpfeile angedeutet worden. Zur Vorrichtung gehört auch eine Einrichtung 3 für die Kühlmittelzuführung.
Diese Einrichtung für die Kühlmittelzuführung kann
- 11 -
zunächst, wie zeichnerisch nicht dargestellt wurde, ein Kühlmittel
im Bearbeitungsbereich der zu bearbeitenden Oberfläche 4 oder auch dem Werkzeug 2 zuführen.
Die Werkstückaufnahme 1 besitzt einen zentralen Innenraum 5, der !von der Bearbeitungswand 6 des Werkstückes 7 abdeckbar und nach
loben hin gleichsam verschließbar ist. In den Fig. 1 und 2 ist
der abgedeckte Zustand gezeichnet. Die Einrichtung 3 für die Kühlmittelzuführung besitzt einen in der Rotationsachse der
!Werkstückaufnahme 1 verlaufenden Kühlmittelzuführungskanal 8. Der Kühlmittelzuführungskanal 8 mündet in den Innenraum 5 ein
und das in den Innenraum 5 eingeführte Kühlmittel 9 ist im Randbereich der Gegenfläche abführbar, wie eingezeichnete Bogenpfeile
erkennen lassen.
!Die Fig. 1 zeigt eine solche Vorrichtung, die für topfförmige
oder halbkugelförmige hohle Werkstücke 7 eingerichtet ist. Gezeichnet
ist ein topfförmiges Werkstück 7. Die Werkstückaufmahme
1 ist als im wesentlichen zylinderförmiges, zum Werkzeug
hin offenes Bauteil ausgeführt, dessen Zylinderraum den Innenraum 5 bildet. In den Zylinderraum ist das Werkstück 7 einsetzbar,
es mag dabei randseitig eingespannt werden. Es schließt mit seiner Bearbeitungswand 6 den Innenraum 5 zum Werkzeug 2 hin ab.
Der Kühlmittel'zuführungskanal 8 ist als Rohr ausgeführt und
mündet unter der Gegenfläche 10 des Werkstückes 7 mit freiem
Kühlmittelaustritt. Im Bereich seiner Mündung ist der Kühlmittelzuführungskanal 8 mit einer diffusorartigen Erweiterung 11 versehen.
- 12 -
Bei der Ausführungsform nach den Fig. 2 bis 4 handelt es sich
um das Bearbeiten von scheibenförmigen Werkstücken 7. Die Werkstückaufnahme
1 ist als Scheibe ausgeführt r die von einem im
Ausführungsbeispiel feststehenden Zentrierkragen 12 umgeben und auf eine Antriebswelle 13 aufgesetzt ist. Sie ist auf ihrer der
Gegenfläche 10 zugewandten Seite mit radial verlaufenden Kühlmittelabführungsrinnen
14 versehen, die insbesondere in der Fig. 4 erkennbar sind. Der Kühlmittelzuführungskanal 8 ist im
Zentrum der Antriebswelle 13 angeordnet. Er läuft in eine diffusorartige
Erweiterung 11 aus, an die die Kühlmittelabführungsrinnen
14 angeschlossen sind.
Bei den erfindungsgemäßen Vorrichtungen wird das Werkstück 7 mit
seiner zumindest bereichsweise freiliegenden Gegenfläche 10 in die Werkstückaufnahme 1 eingesetzt und diese Gegenfläche 10 wird
von dem Kühlmittel 9 beaufschlagt. Dabei ist die Anordnung in den Ausführungsbeispielen so getroffen, daß der Kühlmittelstrahl
die Gegenfläche 10 wie eine Staufläche beaufschlagt und an der
Gegenfläche 10 radial umgelenkt wird. Auf diese Weise kann das Werkstück 7 gleichsam saugend festgehalten werden.
- Leerseite -
3306248
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Bei der Ausführungsform nach den Fig. 2 bis 4 handelt es sich
um das Bearbeiten von scheibenförmigen Werkstücken 7. Die Werkstückaufnahme 1 ist als Scheibe ausgeführtf die von einem im
Ausführungsbeispiel feststehenden Zentrierkragen 12 umgeben und auf eine Antriebswelle 13 aufgesetzt ist. Sie ist auf ihrer der
Gegenfläche 10 zugewandten Seite mit radial verlaufenden Kühlmittelabführungsrinnen
14 versehen, die insbesondere in der Fig. 4 erkennbar sind. Der Kühlmittelzuführungskanal 8 ist im
Zentrum der Antriebswelle 13 angeordnet. Er läuft in eine diffusorartige
Erweiterung 11 aus, an die die Kühlmittelabführungsrinnen 14 angeschlossen sind.
Bei den erfindungsgemäßen Vorrichtungen wird das Werkstück 7 mit seiner zumindest bereichsweise freiliegenden Gegenfläche 10 in
die Werkstückaufnahme 1 eingesetzt und diese Gegenfläche 10 wird von dem Kühlmittel 9 beaufschlagt. Dabei ist die Anordnung in
den Ausführungsbeispielen so getroffen, daß der Kühlmittelstrahl die Gegenfläche 10 wie eine Staufläche beaufschlagt und an der
Gegenfläche 10 radial umgelenkt wird. Auf diese Weise kann das Werkstück 7 gleichsam saugend festgehalten werden.
Claims (10)
- Andrejewski, Honke & Partner PatentanwälteDiplom-PhysikerDr. Walter AndrejewskiDiplom-IngenieurDr.-Ing. Manfred HoniceDiplom-PhysikerDr. Karl Gerhard MaschAnwaltsakte: 4300 EsMn 1, TiMaterpkitz 3, Posrf. 100254■59 923/kb- 22. Februar 1983ίPatent- und HilfsgebrauchsmusteranmeldungMaschinenfabrik Ernst Thielenhaus GmbH Schwesterstraße 50
5600 Wuppertal 2Verfahren und Vorrichtung zur Feinschleifbearbeitung an einem Werkstück mit einer dünnen BearbeitungswandPatentansprüche:Verfahren zur Feinschleifbearbeitung einer Oberfläche an einem Werkstück mit einer dünnen Bearbeitungswand,wobei das Werkstück mit der zu bearbeitenden Oberfläche freiliegend in eine Werkstückaufnahme eingesetzt, die Werkstückaufnahme mit dem Werkstück in Rotation versetzt und auf die zu bearbeitende Oberfläche ein rotierendes FeinschleifWerkzeug aufgesetzt wird,Andrejewski, Honke & Partner, Patentanwälte in Essen_ 2 —wobei ferner ein Kühlmittel zugeführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück mit einer zumindest bereichsweise ebenfalls freiliegenden Gegenfläche in die Werkstückaufnahme eingesetzt wird,welche Gegenfläche der zu bearbeitenden Oberfläche an der Bearbeitungswand gegenüberliegt,und daß die freiliegende Gegenfläche von dem Kühlmittel beaufschlagt wird. - 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Kühlmittel in Form eines Kühlmittelstrahles etwa senkrecht und in der Rotationsachse des Werkstückes auf die Gegenfläche als Staufläche gelenkt und an der Gegenfläche in radiale Richtung umgelenkt wird.
- 3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Kühlmittel mit Hilfe eines Diffusors senkrecht gegen die Gegenfläche als Staufläche gelenkt und das Werkstück durch die Umlenkung des Kühlmittels an der Gegenfläche von dem Kühlmittel angesaugt wird.
- 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß mit einem flüssigen Kühlmittel gearbeitet wird.
- 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß mit einem gasförmigen Kühlmittel gearbeitet wird.Andrejewski, Honke & Partner, Patentanwälte in Essen
- 6. Vorrichtung für die Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 5, - mitrotierender Werkstückaufnahme, : rotierendem Feinschleifwerkzeugund Einrichtung für eine Kühlmittelzuführung, dadurch ig e k e η η ζ e i c h η e tf daß die Werkstückaufnahme einen zentralen Innenraum aufweist, der von der dünnen Bearbeitungswand des Werkstückes abdeckbar ist, daß die Einrichtung für die Kühlmittelzuführung einen in der Rotationsachse der Werkstückaufnahme verlaufenden Kühlmittelzuführungskanal aufweist, der in den ,Innenraum einmündet, und daß in den Innenraum eingeführtes Kühlmittel im Randbereich der Bearbeitungswand abführbar ist.
- 7. Vorrichtung nach Anspruch 6 in der Ausführungsform für topf-■förmige oder halbkugelförmige hohle Werkstücke, dadurch gekennzeichnet, daß die Werkstückaufnahme als im wesentlichen zylin- ;derförmiges, zum Werkzeug hin offenes Bauteil ausgeführt ist,• . dessen Zylinderraum den Innenraum bildet, in den das Werkstück einsetzbar ist, welches dabei den Innenraum mit seiner Bearbeitungswand zum Werkzeug hin abschließt fund daß der Kühlmittelkanal als Rohr ausgeführt ist sowie unter der Gegenfläche des eingesetzten Werkstückes mit freiem Kühlmittelaustritt mündet.Andrejewski, Honlce & Partner, Patentanwälte in Essen
- 8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Kühlmittelaustrittskanal im Bereich seiner Mündung eine diffusorartige Erweiterung aufweist.
- 9. Vorrichtung nach Anspruch 6 in der Ausführungsform für scheibenförmige Werkstücke, dadurch gekennzeichnet, daß die Werkstückaufnahme als Scheibe ausgeführt ist, die, von einem Zentrierkragen umgeben, auf eine Antriebswelle aufgesetzt istund auf ihrer der Gegenfläche zugewandten Seite mit
radial verlaufenden Kühlmittelabführungsrinnen versehen
ist,und daß der Kühlmittelzuführungskanal im Zentrum der Antriebs- '. welle angeordnet ist. - 10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Kühlmittelzuführungskanal in die diffusorartige Erweiterung ausläuft und daß an die diffusorartige Erweiterung die Kühlmittelabführungsrinnen angeschlossen sind.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3306246A DE3306246C2 (de) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | Werkstückaufnahme zum Feinschleifen von zumindest bereichsweise kreiszylindrischen oder topfförmig ausgebildeten Werkstücken |
US06/483,249 US4513538A (en) | 1983-02-23 | 1983-04-08 | Method of and apparatus for the superfinishing of a thin-wall metal workpiece |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3306246A DE3306246C2 (de) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | Werkstückaufnahme zum Feinschleifen von zumindest bereichsweise kreiszylindrischen oder topfförmig ausgebildeten Werkstücken |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3306246A1 true DE3306246A1 (de) | 1984-08-23 |
DE3306246C2 DE3306246C2 (de) | 1984-12-06 |
Family
ID=6191597
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3306246A Expired DE3306246C2 (de) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | Werkstückaufnahme zum Feinschleifen von zumindest bereichsweise kreiszylindrischen oder topfförmig ausgebildeten Werkstücken |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4513538A (de) |
DE (1) | DE3306246C2 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010060936A1 (fr) * | 2008-11-28 | 2010-06-03 | European Aeronautic Defence And Space Company Eads France | Porte outils comportant des moyens de refroidissement |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA2006366A1 (en) * | 1988-12-22 | 1990-06-22 | Nicholas T. Falzetti | Sanding machine |
CA2012878C (en) * | 1989-03-24 | 1995-09-12 | Masanori Nishiguchi | Apparatus for grinding semiconductor wafer |
US5079821A (en) * | 1990-01-08 | 1992-01-14 | John T. Parsons | Matrix-supported machining of slender parts |
US5658183A (en) * | 1993-08-25 | 1997-08-19 | Micron Technology, Inc. | System for real-time control of semiconductor wafer polishing including optical monitoring |
US5643060A (en) * | 1993-08-25 | 1997-07-01 | Micron Technology, Inc. | System for real-time control of semiconductor wafer polishing including heater |
US5700180A (en) | 1993-08-25 | 1997-12-23 | Micron Technology, Inc. | System for real-time control of semiconductor wafer polishing |
US20070123151A1 (en) * | 1995-05-23 | 2007-05-31 | Nova Measuring Instruments Ltd | Apparatus for optical inspection of wafers during polishing |
US7169015B2 (en) * | 1995-05-23 | 2007-01-30 | Nova Measuring Instruments Ltd. | Apparatus for optical inspection of wafers during processing |
IL113829A (en) | 1995-05-23 | 2000-12-06 | Nova Measuring Instr Ltd | Apparatus for optical inspection of wafers during polishing |
KR100189970B1 (ko) * | 1995-08-07 | 1999-06-01 | 윤종용 | 웨이퍼 연마장치 |
US5655951A (en) * | 1995-09-29 | 1997-08-12 | Micron Technology, Inc. | Method for selectively reconditioning a polishing pad used in chemical-mechanical planarization of semiconductor wafers |
US5609718A (en) * | 1995-09-29 | 1997-03-11 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for measuring a change in the thickness of polishing pads used in chemical-mechanical planarization of semiconductor wafers |
US5873253A (en) * | 1997-04-03 | 1999-02-23 | Camphous; Catherine M. | Method and apparatus for cooling parts that are being worked |
US5957750A (en) | 1997-12-18 | 1999-09-28 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for controlling a temperature of a polishing pad used in planarizing substrates |
JP2000015557A (ja) * | 1998-04-27 | 2000-01-18 | Ebara Corp | 研磨装置 |
CN101437651B (zh) * | 2006-03-16 | 2012-09-26 | 专业工具制造有限责任公司 | 磨削切割工具的装置和方法 |
CN113427165A (zh) * | 2021-08-03 | 2021-09-24 | 湖南红太东方机电装备股份有限公司 | 一种大直径炉体及大直径炉体注水加压加工方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE7018627U (de) * | 1970-05-20 | 1970-09-17 | Ferd Klingenberg Soehne W | Magnetische spannplatte mit kuehleinrichtung. |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA450928A (en) * | 1948-08-31 | Norton Company | Method and apparatus for grinding | |
US822096A (en) * | 1905-06-24 | 1906-05-29 | Zoffer Plate Glass Mfg Company | Apparatus for grinding, smoothing, and polishing plate-glass. |
US1607292A (en) * | 1925-01-10 | 1926-11-16 | Miller Edward | Glassware-grinding machine |
US2214373A (en) * | 1937-10-30 | 1940-09-10 | Minnesota Mining & Mfg | Apparatus for surfacing metals |
US3611654A (en) * | 1969-09-30 | 1971-10-12 | Alliance Tool & Die Corp | Polishing machine or similar abrading apparatus |
CH577873A5 (de) * | 1975-02-25 | 1976-07-30 | Schenker Emil Storen Und Masch | |
SU835727A1 (ru) * | 1977-07-20 | 1981-06-07 | Предприятие П/Я В-8534 | Способ шлифовани отверсти в цилин-дРичЕСКОй дЕТАли |
-
1983
- 1983-02-23 DE DE3306246A patent/DE3306246C2/de not_active Expired
- 1983-04-08 US US06/483,249 patent/US4513538A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE7018627U (de) * | 1970-05-20 | 1970-09-17 | Ferd Klingenberg Soehne W | Magnetische spannplatte mit kuehleinrichtung. |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
S. 1783 * |
Z: American Machinist vom 15.02.1965, S. 107 * |
Z: Metalworking Production von 10.10.1958 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010060936A1 (fr) * | 2008-11-28 | 2010-06-03 | European Aeronautic Defence And Space Company Eads France | Porte outils comportant des moyens de refroidissement |
FR2939060A1 (fr) * | 2008-11-28 | 2010-06-04 | Eads Europ Aeronautic Defence | Porte outils comportant des moyens de refroidissement |
US9022701B2 (en) | 2008-11-28 | 2015-05-05 | European Aeronautic Defence And Space Company Eads France | Tool holder including cooling means |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4513538A (en) | 1985-04-30 |
DE3306246C2 (de) | 1984-12-06 |
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