DE3242002C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Ausrichtmarkierungserfassungsvorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Eine solche Ausrichtmarkierungserfassungsvorrichtung ist aus der US 36 83 195 bekannt. Bei dieser bekannten Vorrichtung sind auf zwei Körpern stabförmige Ausrichtmarken in einer ersten und einer zweiten Richtung bezüglich einer Abtastlinie geneigt aufgebracht. Die Beleuchtung erfolgt offensichtlich ganzflächig. Reflektiertes Licht aus einem größeren Umgebungsbereich der Marken tritt durch entsprechend der Richtung der Marken geformte längliche bzw. stabförmige Öffnungen einer Abschirmung der Erfassungseinrichtung. Falls eine entsprechende Marke mit einer solchen schlitzförmigen Öffnung zur Deckung kommt, wird durch die Öffnung fallendes Licht unterbrochen, so daß an den Marken entsprechende Impulse erhalten werden. Gegenüber einer punktartigen Abtastung von Ausrichtmarkierungen arbeitet eine solche Ausrichtmarkierungserfassungsvorrichtung zuverlässiger, da in Folge der länglichen und örtlichen Ausdehnung des erfaßten Strahlenbündels Strahlen durch eventuell vorhandene störende Partikel oder durch Beschädigungen der Marke kaum ins Gewicht fallen. Jedoch ist auch bei einer solchen Ausrichtmarkierungserfassungsvorrichtung die Erfassung der Ausrichtmarken noch mit Schwierigkeiten verbunden, woraus Fehler bei der Erfassung resultieren.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Ausrichtmarkierungserfassungsvorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 derart weiterzubilden, daß Fehler bei der Erfassung der Ausrichtmarken weitgehend unterbunden sind.

Diese Aufgabe wird mit den im Patentanspruch 1 angegebenen Maßnahmen gelöst.

Erfindungsgemäß werden mittels einer Strahlerzeugungsvorrichtung den verschiedenen Orientierungen der Ausrichtmarken entsprechend im Querschnitt stabförmige Lichtstrahlenbündel erzeugt. Mit diesen stabförmigen Lichtstrahlenbündeln wird die Bestrahlung der stabförmigen Ausrichtmarken entsprechend deren Orientierung vorgenommen, d. h. die in der ersten Richtung orientierten Ausrichtmarken werden mit einem in der ersten Richtung orientierten stabförmigen Lichtstrahlenbündel und die in der zweiten Richtung orientierten Ausrichtmarken mit dem in der zweiten Richtung orientierten stabförmigen Lichtstrahlenbündel abgetastet. Durch diese erfindungsgemäße Maßnahme wird das Licht praktisch vollkommen zur Abtastung der Marken ausgenutzt. Es entsteht ein zeitlich sehr scharfer hell-dunkel-Wechsel beim Abtasten der Marken aufgrund dessen diese sehr sicher und auch schnell erfaßbar sind; d. h. bei einem sehr guten Signal-zu-Rausch-Verhältnis wird eine schnelle Ausrichtmarkenabtastung möglich. Durch die Konzentration des Lichtes ausschließlich auf die benötigte Stelle kann die Strahlungsleistung der Lichtquelle zu dem sehr gering gehalten werden, wodurch der Einsatz einer kleinen, energiesparenden Lichtquelle möglich wird. Dies trägt wesentlich zur Verkleinerung der Ausrichtmarkierungserfassungsvorrichtung bei.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Beschreibung von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 eine optische Anordnung der erfindungsgemäßen, automatischen Ausrichtmarkierungserfassungsvorrichtung,

Fig. 2 eine z. T. abgeänderte optische Anordnung gemäß Fig. 1,

Fig. 3 Ausrichtmarken,

Fig. 4 und 5 abgelesene Signale der Ausrichtmarken in Fig. 3,

Fig. 6 ein Blockdiagramm eines signalverarbeitenden Schaltkreises in der erfindungsgemäßen automatischen Ausrichtmarkierungserfassungsvorrichtung und

Fig. 7 bis 10 Abänderungen eines das lineare Bild erzeugenden Teils in Fig. 1.

In Fig. 1 bezeichnen die Bezugszeichen 2 und 4 jeweils die Stellen einer Platte 1 und einer Abgleichmaske 3, an denen der Strahl auftrifft. Stabförmige Ausrichtmarken 38 und 39 (in Fig. 3) sind unter einem Winkel von 45° in Bezug auf die Abtastlinie auf der Platte 1 vorgesehen. Stabförmige Ausricht- bzw. Abgleichmarken 34, 35, 36 und 37 (in Fig. 3) sind unter einem Winkel von 45° bezüglich der Abtastlinie ebenfalls auf der Abgleichmaske 3 angebracht. Diese Marken können natürlich mikroskopisch stabförmig sein und eine Anhäufung von Punkten oder kleinen viereckigen Teilen umfassen.

In Fig. 1 sind eine Strahlquelle 27 eines kohärenten Lichtes, z. B. ein Laser, und ein um eine Drehachse 33 drehbarer Polygonspiegel 24 dargestellt. Der sich drehende Polygonspiegel 24 kann selbstverständlich durch andere optische Elemente wie z. B. einen Galvano-Spiegel oder ein akustisch-optisches Element ersetzt werden. Linsen 11, 19 und 23 sind im Strahlengang eingefügt. Ein telezentrisches Objektiv 5 ist ebenfalls dargestellt. Die eingefügten Linsen 11, 19 und 23 bilden den Ablenkursprung 25 (nämlich den Schwingungsursprung) des von dem sich drehenden Polygonspiegel 24 abgelenkten Lichts an der Stelle 7 in die Pupillenlage 6 des Objektivs 5 ab. Demgemäß tastet der Laserstrahl mittels Drehung des Polygonspiegels die Abgleichmaske und die Platte ab. Ein halbdurchlässiger Spiegel 8 dient für ein Beleuchtungssystem 9, 10 als visuellem Beobachtungssystem. Ferner sind dargestellt: Eine Lampe 10, ein den optischen Weg aufteilender Spiegel 18, ein halbdurchlässiger Spiegel 20, der für das visuelle Beobachtungssystem 21, 22 dient, eine Linse 21, die im Zusammenspiel mit den Linsen 5, 11, 19 Bilder der Abgleichmaske 3 und der Platte 1 erzeugt, ein Okular 22, ein halbdurchlässiger Spiegel 12, der für ein fotoelektrisches Empfangssystem 13 bis 17 dient, ein Spiegel 13, eine Linse 14, die im Zusammenwirken mit der Linse 11 ein Schwingungsursprungbild 7 von Neuem gestaltet. Ein Raumfilter 15 weist einen lichtunterbrechenden Abschnitt von der Größe des Schwingungs-Ursprungsbildes auf. Demgemäß hat dieser Filter 15 eine Eigenschaft, die das Licht von einem Abschnitt, der keinen Rand einer Schablone beinhaltet, abfängt und das zerstreute Licht vom Schablonenrand hindurchläßt. Eine Kondensorlinse 16 und ein Fotoempfangsvermittler 17 sind dargestellt. Eine zylindrische Linse 26 formt den Laserstrahl in einen stabförmigen Strahl um, welcher einen länglichen Bestrahlungsbereich wie die Bezugszeichen 40 oder 41 in Fig. 3 zeigen, hat. Falls die Linienbreite und Länge des Strahls dieselbe Größe wie diejenigen der Abgleichmarken aufweisen, wird ein gutes Ergebnis erreicht. Die Bezugszeichen 29 und 30 bezeichnen Zahnräder, wobei das Zahnrad 29 an einem Gehäuse 28 der zylindrischen Linse befestigt ist. Ferner ist eine Betätigungseinrichtung 31 rotierenden Typs wie z. B. ein Schrittmotor vorgesehen, wobei ein Steuersystem 32 auf den Motor wirkt. Die Elemente 26 bis 31 bilden dabei eine Strahlerzeugungsvorrichtung.

Mittels einem Befehl des Steuersystems ist der längliche stabförmige Strahl in jede Richtung innerhalb einer zur optischen Achse senkrechten Ebene drehbar. Die mit Strichindex versehenen Bezugszeichen bezeichnen gleiche, symmetrisch angeordnete Bauteile, die somit nicht beschrieben werden müssen.

Die Wirkungsweise des Abgleichgeräts gemäß Fig. 1 wird nachstehend erläutert. Es sei angenommen, daß die Abgleichmarken auf der Abgleichmaske 3 und der Platte 1 gemäß Fig. 3 angeordnet sind, worin auch eine Abtastlinie bzw. eine Abtastachse 42 gezeigt ist. Die Abgleichmarken 34, 35 und 36, 37 auf der Abgleichmaske sind so gesetzt, daß sie jeweils zueinander parallel und in Bezug auf die Abtastachse 42 unter den Winkeln R bzw. R′ geneigt sind. Die zylindrische Linse bzw. optische System 26 wird gemäß dem Befehl des Steuersystems 32 über die Zahnräder 29 und 30 um ein gewisses Maß gedreht und ist unter dem Winkel R in bezug auf die Abtastachse geneigt, wie der abtastende Strahl 40 darstellt. Das Ausgabesignal des Fotoempfangsvermittlers, wenn Abtastung unter diesen Voraussetzungen durchgeführt wird, ist in Fig. 4 dargestellt: P₁-P₃ sind die jeweils den Abgleichmarken 34, 38 und 35 entsprechenden Signale. Diese Signale sind ebenfalls, selbst wenn sich geringer Staub auf der Abtastoberfläche befindet, gemittelt, wie es bei einem punktförmigen Strahl nicht der Fall ist, und daher nicht wie die Ausgabe in der Praxis ermittelt. Die Ausgabesignale der Seiten mit anderer Neigung, d. h. die Abschnitte der Abgleichmarken 36, 39 und 37 gemäß Fig. 3, können praktisch vernachlässigt werden.

Dieses Ausgabesignal dient als Eingabe für einen impulsaufteilenden Empfangsvermittler-Schaltkreis 43 gemäß Fig. 6. Dieser Schaltkreis weist einen Metallspitzen-Impulserzeuger auf und beginnt mittels einem Abtastimpulssignal die Metallspitzenimpulse zu zählen und beendigt die Zählung dieser beim nächsten Abtastimpulssignal, wodurch der Abstand zwischen den Impulsen gemessen wird. Die gemessenen Werte W₁ und W₂ des Impulsabstandes werden übereinstimmend mit dem Befehl des Steuersystems 32 in einen Speicher 44 eingegeben und dort gespeichert. Die oben beschriebene Datenerfassung wird gespeichert und wiederholt, bis n Datensätze gemäß dem Befehl des Steuersystems 32 eingegeben sind. Wenn die n Datensätze eingegeben sind, gibt das Steuersystem 32 der Antriebsquelle 31 den Befehl, die zylindrische Linse 26 in diesem Beispiel um 90° zu drehen. Demgemäß ist der Abtaststrahl, wie durch Bezugszeichen 41 in Fig. 3 gezeigt, angeordnet und beginnt das Abtasten. Die Ausgabe des Fotoempfangsvermittlers in diesem Fall ist in Fig. 5 dargestellt. Das Signal wird gleichermaßen dem impulsaufteilenden Meß-Schaltkreis 43 eingegeben, von dem die gemessenen Werte W₃ und W₄ übereinstimmend mit dem Befehl des Steuersystems 32 in einen Speicher 45 gegeben und dort gespeichert werden. Ebenso werden anschließend n Datensätze eingegeben. Wenn eine vorbestimmte Anzahl von gemessenen Datensätzen W₁-W₄ eingegeben ist, werden diese durch das Steuersystem 32 an einen Verarbeitungsschaltkreis 46 abgegeben, der das Maß der Abweichung zwischen den Abgleichmarken der Abgleichmaske und Platte errechnet, d. h. das Maß der Abweichung zwischen der Abgleichmaske und der Platte.

Das Maß der Abweichung zwischen der Abgleichmaske und der Platte kann wie folgt ausgedrückt werden:

Im Vorstehenden wurde der Vorgang für eine der beiden Achsen auf der Abgleichmaske und der Platte beschrieben, wobei in Bezug auf die andere Achse ein ähnlicher Ablauf durchgeführt wird und so das Maß der Abweichung in X-Richtung und Y-Richtung angezeigt werden. Das Maß der Abweichung in der Winkelrichtung R ergibt sich daher als die Differenz zwischen den Abweichungen in linker und rechter Y-Richtung.

Aufgrund der oben beschriebenen Maße der Abweichung in X-, Y- und R-Richtung werden die Abgleichmaske und die Platte mittels eines herkömmlichen XYR Abgleichmechanismus (nicht gezeigt) relativ zueinander bewegt, wodurch die Abgleichmaske und die Platte abgeglichen werden. Zum besseren Verständnis sind in Fig. 1 die Abgleichmaske 3 und die Platte 1 im Abstand voneinander dargestellt, tatsächlich jedoch befinden sie sich nah beisammen. Alternativ können die Abgleichmaske 3 und die Platte 1 gemäß Fig. 2 voneinander entfernt sein und ein Projektionssystem 60 kann zwischen ihnen angeordnet sein. Das Vergrößerungsverhältnis des Projektionssystems spielt keine Rolle.

Einige Abänderungen werden nachstehend beschrieben. Die in den Fig. 7 bis 10 gezeigten Beispiele sind Abänderungen der Strahlerzeugungsvorrichtung (Bezugszeichen 26 bis 31 in Fig. 1) zur Drehung des Abtaststrahles um einen bestimmten Winkel in einer zur optischen Achse senkrechten Ebene. In anderen Punkten sind diese Abänderungen dem ersten Ausführungsbeispiel ähnlich.

Im ersten Ausführungsbeispiel können die Neigung R und R′ des Abtaststrahles relativ zur Abtastachse nach Wunsch geändert werden, wohingegen das Merkmal dieser Beispiele ist, daß der Abtaststrahl nur im Bereich der anfänglich festgesetzten Neigungen R und R′ beweglich ist, das Antriebsverfahren jedoch einfach ist.

In Fig. 7 sind ein drehbarer Polygonspiegel 24 und ein erstes bzw. zweites optisches System in Form von zylindrischen Linsen 26 sowie 26′ mit gleichen Eigenschaften dargestellt. Die zylindrischen Linsen 26 und 26′ sind derart angeordnet, daß der Abtaststrahl vorbestimmte Neigungen R und R′ relativ zur Abtastachse annimmt, wie in Fig. 3 gezeigt. Das Bezugszeichen 47 bezeichnet eine Halteeinrichtung. Eine herkömmliche Antriebsquelle 48, so z. B. ein Zylinder- oder ein Linearbewegungs-Solenoid bewegt die zylindrischen Linsen 26 und 26′ geradlinig in einer zur optischen Achse senkrechten Richtung. Der Bereich der linearen Bewegung ist durch einen Anschlag (nicht gezeigt) begrenzt, so daß die zylindrischen Linsen in die vorbestimmte optische Achse eingepaßt sind.

Die Drehvorrichtung bzw. Antriebsquelle 48 wird selbstverständlich mittels der Steuerung des in Fig. 1 dargestellten Steuersystems 32 wie beim ersten Ausführungsbeispiel betrieben.

Folglich wird die Antriebsquelle durch den Befehl des Steuersystems 32 angetrieben und die zylindrischen Linsen wechseln derart, daß der Abtaststrahl in die Position gemäß Bezugszeichen 40 oder 41 wie in Fig. 3 gezeigt, gesetzt wird.

In dem in Fig. 8 gezeigten Beispiel sind zylindrische Linsen 26 und 26′ mit den gleichen Eigenschaften unter einer vorbestimmten Winkelbeziehung in vorbestimmten Positionen einer Halteeinrichtung 58, die eine Drehachse 57 aufweist, d. h. auf einem konzentrischen Umfangskreis dieser, angeordnet. Übereinstimmend mit dem Befehl des Steuersystems 32 werden die zylindrischen Linsen 26 und 26′ mittels der Wirkung einer herkömmlichen Antriebsquelle, z. B. ein Drehsolenoid, und eines Drehbegrenzungsanschlags (beide nicht gezeigt) gedreht, um so in die optische Achse 59 eingepaßt zu werden. Da die zylindrischen Linsen 26 und 26′ in der optischen Achse in vorbestimmter Winkelbeziehung stehen, wird der Abtaststrahl in Positionen gemäß den Bezugszeichen 40 oder 41 in Fig. 3 gesetzt. In anderen Punkten ist dieses Beispiel dem ersten Ausführungsbeispiel ähnlich.

Fig. 9 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel. Hierbei sind zylindrische Linsen 26 und 26′ in vorbestimmter Winkelbeziehung in einer zur optischen Achse senkrechten Ebene angeordnet. Die Bezugszeichen 51 und 52 bezeichnen Spiegel. Polarisierte Strahlteiler 49 und 50 besitzen eine Eigenschaft, Licht in Abhängigkeit der Polarisationsrichtung entweder zu reflektieren oder hindurchzulassen.

Eine Halteeinrichtung 54, ein Polarisationslaser 27′ und eine Antriebswelle geradliniger Bewegung, die im Zusammenhang mit dem Beispiel in Fig. 6 beschrieben wurde, sind dargestellt.

Es sei angenommen, daß der Strahl des Lasers 27′ ein polarisiertes Licht in Richtung der Ebene des Zeichenpapiers ist. Dieser wird als P-polarisiertes Licht bezeichnet. Wenn das P-polarisierte Licht in eine λ/2-Platte 53 eintritt, wird es in ein S-polarisiertes Licht senkrecht zur Zeichenebene umgewandelt und mittels der reflektierenden Oberfläche 50′ des polarisierten Strahlteilers 50 vollkommen reflektiert. Das S-polarisierte Licht tritt dann über den Spiegel 51 in die zylindrische Linse 26 ein, wodurch es die Form eines stabförmigen Strahls erlangt. Folglich wird es an der reflektierenden Oberfläche 49′ des polarisierten Strahlteilers 49 vollkommen reflektiert und wandert in Richtung des sich drehenden Polygonspiegels 24. Aufgrund eines Befehls des Steuersystems 32 an die Antriebsquelle 48 wird die λ/2-Platte 53 aus dem optischen Weg zurückgezogen und der Laserstrahl, der P-polarisiertes Licht bleibt, tritt in den Strahlteiler 50 ein und wird im Gegensatz zum vorherigen Fall vollkommen hindurchgelassen. Er läuft dann in Richtung des Spiegels 52 und wird mittels der zylindrischen Linse 26′ in einen stabförmigen Strahl umgeformt und vollkommen durch den Strahlteiler 49 ähnlich dem vorhergehenden Fall hindurchgelassen und läuft in Richtung des sich drehenden Polygonspiegels 24.

Der optische Weg kann so ohne jeden Verlust an Lichtmenge mittels dem Stellungswechsel der λ/2-Platte 53 gewechselt werden und als Ergebnis dessen kann die Drehrichtung des stabförmigen Strahls in einer zur optischen Achse senkrechten Ebene in eine gemäß dem Bezugszeichen 40 oder 41 in Fig. 3 vorbestimmte Richtung geändert werden.

In diesem Beispiel kann die λ/2-Platte durch ein anderes optisches Element wie z. B. ein elektrooptisches Element ersetzt sein, und in diesem Fall ist die geradlinige Antriebsquelle 48 unnötig und so die Konstruktion vereinfacht.

Das Beispiel in Fig. 10 ist im wesentlichen dem Beispiel in Fig. 9 ähnlich mit der Ausnahme, daß eine die Länge des optischen Wegs ausgleichende Linse 54′ sowie eine weitere λ/2-Platte 53 vorgesehen ist, so daß die Strahlen nach dem Durchgang durch zwei optische Wege in der Polarisationsrichtung identisch sind. Folglich wird dieses Ausführungsbeispiel in einem Fall wirksam sein, wo die Länge des optischen Weges korrigiert werden und die Polarisationsrichtung des Strahls konstant gehalten werden muß.

Wie vorstehend beschrieben, hat die Erfindung die Nachteile aufgrund der Tatsachen bewältigt, daß ein kompliziertes optisches System verwendet wird, das eine fehlerhafte Ausbildung des herkömmlichen Typs ist, daß das beleuchtende Licht nicht wirksam ausgenützt wird und daß wie in anderen Ausführungsformen des Geräts eine Punktstrahlabtastung verwendet wird, d. h. die Nachteile, daß im Fall des Vorhandenseins von Staub auf der Abtastlinie oder abgenützter Abgleichmarken Fehler im Abgleich oder Minderung der Genauigkeit auftreten können, indem eine einen stabförmigen Strahl erzeugende Einrichtung verwendet wird, die ein einfaches optisches Element sowie eine Vorrichtung umfaßt, die zu einem gewünschten Zeitpunkt während dem Abtasten der Abgleichmarken den abtastenden stabförmigen Strahl in eine gewünschte Neigung bringt. Obwohl Beispiele unter Verwendung zylindrischer Linsen beschrieben wurden, kann der stabförmige Strahl mittels eines herkömmlichen optischen Verzerrsystems gebildet sein (nämlich einem optischen System, in welchem sich die Brechkraft in zwei zueinander senkrechten Richtungen unterscheidet). Als Beispiel eines anamorphotischen optischen Systems kann eine Kombination aus einer zylindrischen Linse und einer sphärischen Linse genannt sein.

Somit wurde die wirkungsvolle Verwendung eines einfachen optischen Systems, eines beleuchtenden Lichts, sowie Vergrößerung der Abgleichgenauigkeit und Abgleichwahrscheinlichkeit realisiert. Das heißt die aufgrund von Staub und unvollständigen Abschnitten wie z. B. abgenützten Abgleichmarken hervorgerufene fehlerhafte Anzahl ist verringert und vollständigere Signale werden erhalten, wodurch eine Verbesserung der Abgleichgenauigkeit und Abgleichwahrscheinlichkeit erreicht wurde.

Ferner ist die wirksame Nutzbarmachung des beleuchtenden Lichts zusammen mit der Anpassung der Laserlichtquelle in hohem Maße für den Anstieg der Anzahl ausschlaggebend, bei welcher automatischer Abgleich erreicht wird. Aufgrund der Beziehung, daß die Größe des Signals von der Abtastoberfläche proportional zur pro Flächeneinheit eingestrahlten Lichtmenge bei sonst unveränderten Werten ist, bedeutet ein Zusammenziehen des gesamten beleuchtenden Lichtbündels in einen stabförmigen Strahl, daß ein für einen automatischen Abgleich genügend großes Signal sogar von einem Körper wie z. B. einer Platte, die den Signalerhalt erschwert, erhalten werden kann und daß die Anzahl erfolgreicher automatischer Abgleiche ansteigt. Anders herum ausgedrückt ist eine kleinere Lichtquelle ausreichend, um eine vorbestimmte Signalausgabe zu erhalten, wobei dies zu einer Verminderung im Energieverbrauch und zu einer kompakten Bauform des Geräts führt.

Unter dem Gesichtspunkt der Abgleichgenauigkeit wird auch die Stabilität des Abtastgeräts, d. h. die Stabilität der Abtastgeschwindigkeit zu einem großen Problem und jede Stabilitätsverminderung kann zu einer reduzierten Abgleichgeschwindigkeit führen. In Anbetracht dessen wurde bei der vorliegenden Erfindung ein sich drehender Polygonspiegel, ein Galvano-Spiegel oder ein akustisch optisches Element als Abtastkörper verwendet und deshalb ist es baulich einfach, die Stabilität der Abtastgeschwindigkeit aufrecht zu erhalten und als Ergebnis dessen läßt sich eine Vergrößerung der Abgleichgenauigkeit erreichen.

Offenbart ist eine Ausrichtmarkierungserfassungsvorrichtung, die mittels eines stabförmigen Strahls mit länglichem Beleuchtungsgebiet zwei Körper wie z. B. eine Halbleitermaske und eine Platte, die längliche (bzw. stabförmige) Ausrichtmarken aufweisen, abtastet, wobei sich während des Abtastvorgangs die Neigungsrichtung des stabförmigen Strahls ändert; die örtliche Beziehung der beiden Körper zueinander wird ermittelt, wodurch ein Abgleich der Körper erreicht wird. Der stabförmige Strahl wird mit Hilfe eines anamorphotischen optischen Systems (z. B. einer zylindrischen Linse oder dergleichen) erzeugt. Der stabförmige Strahl tastet die Ausrichtmarken mittels eines Strahlabtastsystems ab, wobei die Neigung des Strahls durch ein Neigungsänderungselement zu einem gewünschten Zeitpunkt, z. B. nachdem der erste Abtastzyklus beendet wurde, geändert wird, und dann von neuem Abtasten erfolgt.

Claims (10)

1. Ausrichtmarkierungserfassungsvorrichtung zum Erfassen erster und zweiter stabförmiger Ausrichtmarken, die auf zwei miteinander auszurichtenden Körpern angebracht und in einer ersten und einer zweiten Richtung bezüglich einer Abtastlinie geneigt sind, wobei die Abtastung entlang der Abtastlinie erfolgt, dadurch gekennzeichnet, daß eine Strahlerzeugungsvorrichtung (26 bis 31; 49 bis 54) zum selektiven Erzeugen zweier in der ersten und in der zweiten Richtung geneigter stabförmiger Lichtstrahlenbündel zum Beleuchten der Körper (1, 3) vorgesehen ist, und daß die erste stabförmige Ausrichtmarke (34, 35, 38) durch Abtasten mit dem in der ersten Richtung geneigten stabförmigen Lichtstrahlenbündel und die zweite stabförmige Ausrichtmarke (36, 37, 39) durch Abtasten mit dem in der zweiten Richtung geneigten stabförmigen Lichtstrahlenbündel erfaßt werden.

2. Ausrichtmarkierungserfassungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlerzeugungsvorrichtung (26 bis 31; 49 bis 54) eine Wechselvorrichtung zum Wechseln zwischen zwei Zuständen aufweist, wobei in dem einen Zustand das in der ersten Richtung orientierte stabförmige Lichtstrahlenbündel und in dem anderen Zustand das in der zweiten Richtung orientierte stabförmige Lichtstrahlenbündel erzeugt werden kann.

3. Ausrichtmarkierungserfassungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das stabförmige Lichtstrahlenbündel näherungsweise die gleiche Länge und Breite wie die stabförmigen Ausrichtmarken besitzt.

4. Ausrichtmarkierungserfassungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlerzeugungsvorrichtung (26 bis 31; 49 bis 54) eine Strahlquelle (27), ein anamorphotisches optisches System (26) zum Umformen des Strahls (59) der Strahlquelle in das stabförmige Strahlenbündel und eine Drehvorrichtung (48) für das anamorphotische optische System aufweist.

5. Ausrichtmarkierungserfassungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlerzeugungsvorrichtung (26 bis 31; 49 bis 54) eine Strahlquelle (27), ein erstes anamorphotisches optisches System (26) zum Ändern des Strahls (59) der Strahlquelle in das in der ersten Richtung bezüglich der Abtastlinie (42) geneigte stabförmige Strahlenbündel, ein zweites anamorphotisches optisches System (26′) zum Ändern des Strahls (59) der Strahlquelle (27) in das bezüglich der zweiten Richtung relativ zu der Abtastlinie (42) geneigte Lichtstrahlenbündel und eine Stellvorrichtung (47, 48, 53, 54) aufweist, mit der bewirkt wird, daß der Strahl (59) der Strahlquelle (27) durch das erste oder zweite anamorphotische optische System hindurchgeht.

6. Ausrichtmarkierungserfassungsvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Stellvorrichtung (47, 48, 53, 54) das erste und das zweite anamorphotische optische System (26, 26′) bewegbar trägt, um eines der beiden anamorphotischen Systeme in den Strahlengang des Strahls (59) der Strahlquelle (27) zu positionieren.

7. Ausrichtmarkierungserfassungsvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlquelle (27) einen polarisierten Strahl (59) erzeugt und daß die Stellvorrichtung (47, 48, 43, 54) ein λ/2-Plättchen (53), das wahlweise in den Strahlengang des Strahls (59) der Strahlquelle (27) bringbar ist, um die Polarisationsrichtung des Strahls der Strahlquelle zu ändern, und einen Polarisationsstrahlteiler (50) aufweist, um den Strahl der Strahlquelle zum ersten oder zweiten anamorphotischen optischen System (26, 26′) in Abhängigkeit von der wahlweisen Positionierung des λ/2-Plättchens in den Strahlengang zu lenken.

8. Ausrichtmarkierungserfassungsvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Stellvorrichtung (47, 48, 53, 54) das λ/2-Plättchen (53) und ein optisches Glas bewegbar trägt, dessen optische Dicke gleich derjenigen des λ/2-Plättchens ist, so daß das λ/2-Plättchen und das optische Glas in den Strahlengang des Strahls (59) der Strahlquelle (27) bringbar sind.

9. Ausrichtmarkierungserfassungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlerzeugungsvorrichtung (26 bis 31; 49 bis 54) ein λ/2- Plättchen (53) aufweist, mit dem die Polarisationsrichtung des Strahlenbündels des ersten anamorphotischen optischen Systems (26) mit derjenigen des Strahlenbündels des zweiten anamorphotischen optischen Systems (26′) in Übereinstimmung gebracht wird.

10. Ausrichtmarkierungserfassungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlerzeugungsvorrichtung (26 bis 31; 49 bis 54) eine Strahlquelle (27), mehrere Zylinderlinsen (26, 26′), deren Erzeugendenrichtungen voneinander abweichen und eine Positioniervorrichtung (30, 31; 48) zum wahlweisen Positionieren einer der Zylinderlinsen (26) in den Strahlengang des Strahls (59) der Strahlenquelle (27) aufweist.