DE3215608A1 - Verfahren zum herstellen von duesenkanaelen und tintenstrahldrucker mit einem nach diesem verfahren hergestellten duesenkanal - Google Patents
Verfahren zum herstellen von duesenkanaelen und tintenstrahldrucker mit einem nach diesem verfahren hergestellten duesenkanalInfo
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Description
PHN 10039 * 3 20.11.81
Verfahren zum Herstellen von Dttsenkanälen und Tintenstrahldrucker
mit einem nach diesem Verfahren hergestellten Düsenkanal.
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Düsenkanälen, insbesondere für Tintenstrahldrucker,
bei denen um einen Teil eines jeden zu bildenden DUsenkanals herum zur Bildung eines Pumpenabschnitts ein
etwa radial polarisiertes rohrförmiges piezoelektrisches
Pumpenorgan angebracht wird. Die Erfindung bezieht stich gleichfalls auf einen Tintenstrahldrucker mit einem
Schreibkopf, der zumindest einen nach dem Verfahren hergestellten Düsenkanal enthält.
Aus der US-PS 3 832 579 ist ein Tintenstrahldrucker
mit einem Düsenkanal bekannt, der zum Teil aus einem zylinderförmigen Glasrohr besteht, um das herum mit
Hilfe eines Klebmittels ein Pumpenorgan zur Bildung eines Pumpenabschnitts befestigt ist. Das Pumpenorgan besteht
aus einem Rohr aus radial polarisiertem, piezoelektrischem keramischem Werkstoff, beispielsweise Bleizirkonat-Titanat
(PXE), das an seiner inneren und äusseren Oberfläche
mit Moteü-leloktroden uusfyerlletüt iat. Wenn dem Pumpen organ
über die Elektroden eine elektrische Spannung zuguführt
wird, tritt mechanische Verzerrung auf. Hierdurch verkleinert sich der Durchmesser des Pumpenorgans und wird
auch das Glasrohr etwas zusammengedrückt. Die Folge davon ist, dass in einer Flüssigkeit (Tinte), mit der das Glasrohr
gefüllt ist, eine Stossweile auftritt, so dass ein
Tropfen der Flüssigkeit über eine an einem Ende des Rohrs vorhandene Düse ausgestossen wird. Das andere Ende des
Rohrs ist mit einem Tintenbehälter verbunden. Diese Verbindung
enthält eine Einengung oder einen Teil mit einer
¥ans aus energieabsorbierendem Werkstoff, um die Forton
Pflanzung der Stosswelle auch in der Richtung des Behfilters
zu vermeiden. Ausser in Tintenstrahldruckern können
derartige Dttsenkanäle auch in anderen Vorrichtungen, wie
PHN 10039 S-H 20. 11. S1
in Flüssigkeitsverstäubern beispielsweise für medizinische Anwendungen, benutzt werden.
Es ist in der Praxis schwer, piezoelektrische Rohre für Pumpenorgane mit ausreichender Genauigkeit herzustellen.
Die dazu normalerweise angewandten Strangpress verfahr en ergeben Rohre mit ziemlich mangelhaft reproduzierbaren
Abmessungen und piezoelektrischen Eigenschaften.
Ausserdem ist die Montage einer Elektrode an der Innenfläche technisch schwer und teuer.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde ein Verfahren eingangs erwähnter Art anzugeben, mit dem auf
einfache und ;rut reproduzierbare Weise Pumpenorgane um
Pumpenabschnitte von Düsenkanälen angebracht werden können.
Diese Ausgabe wird erfindungsgemäss mit einem
Verfahren gelöst, bei dem zur Bildung der Pumpenorgane
von zwei Platten aus piezoelektrischem Werkstoff ausgegangen wird, in einer ersten Hauptfläche zumindest der
ersten Platte zueinander parallele Kanäle gebildet werden,
^0 die sich von oinem Rand der ersten Hauptfläche iium gegenüberliegenden
Rand erstrecken, an den beiden Hauptflächen der ersten Platte und an den beiden Hauptflächen der zweiten
Platte Metallschichten angebracht werden, die beiden
Platten durch die Zufuhr elektrischer Spannung zwischen
2!> (J611 Metallschichten polarisiert werden, die erste Hauptfläche
der ersten Platte und die erste Hauptfläche der zweiten Platte mit einer Haftmittelschicht bedeckt werden,
die zweite Platte auf der ersten Platte angeordnet wird, wobei die beiden mit Haftmittel versöi enen Hauptflächen
einander zugewandt sind, und bei dem das Haftmittel einer Härtung unterworfen wird.
Das Anbringen der Kanäle kann besonders einfach durch eine Säfye- oder Schleifbearbeitung erfolgen und die
Hauptflächen der beiden Platten sind beim Anbringen der
Elektroden noch Aussenl'lächen, so dass sich auch dabei
keine grossen Schwierigkeiten ergeben.
In manchen Fällen werden in den Düsenlcanälen
PHN" 10039 *r ff 20.11.81
Flüssigkeiten benutzt, die die Metallschichten angreifen.
Deshalb ist eine bevorzugte Ausführungsform des erfindungsgemässen
Verfahrens dadurch gekennzeichnet, dass nach
dem Anbringen des Haftmittels in jedem Kanal ein Rohr ahgeordnet wird, dessen Länge zumindest genau so gross wie
die Länge des Kanals ist.
Die Düsenkanäle können nach Ablauf des Verfahrens nach der Erfindung zur Bildung eines Schreibkop±*s
miteinander verbunden bleiben. Eine bevorzugte Ausfühx-ungsform des Verfahrens, bei dem die Düsenkanäle getrennt für
die ¥eiterbearbeitung zur Verfügung stehen, ist dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Aushärten des Haftmittels
die einzelnen Pumpenabschnitte voneinander nach Trennflächen
völlig getrennt werden, die parallel zu den Achsen
^ der Rohre und senkrecht zu den Hauptflächen der Platten
verlaufen.
Ein Tintenstrahldrucker mit einem Schreibkopf, der zumindest einen Düsenkanal enthält, der nach dem Verfahren
der Erfindung hergestellt ist, ist dadurch gekenn-
2" zeichnet, dass das Pumpenorgan aus zwei Teilen besteht,
die mit ililfe eines Haftmittels aufeinander befestigt sind.
Ein Ausführungsbeispxel der Erfindung wird
nachstehend an Hand der Zeichnung näher erläutert. Es
^5 zeigen
Fig. 1 einen Längsschnitt durch einen Teil eines Schreibkopfs eines Tintenstrahldruckers mit einem im Verfahren
nach der Erfindung hergestellten Düsenkanal.
Fig. 2 einen Querschnitt durch zwei Platten aus
'" piezoelektrischem ¥erkstoff, die zur Herstellung von
Pumpenorganen dienen,
Fig. 3 einen Querschnitt durch die in Fig. 2 dargestellten Platten nach dem Anbringen der Kanäle in
einer der Platten,,
Fig. h einen Querschnitt durch die Platten nach
dem Anbringen der Metallschichten und nach dem Polariüieren,
PHN 10039 Jr · 20.11.81
Fig. 5 einen Querschnitt durch ein mit den Platten hergestelltes Gefüge, das eine Anzahl von Düsenkanälen
enthält,
Fig. 6 einen der Fig. 4 entsprechenden Querschnitt durch zwei Platten aus piezoelektrischem Material,
die nach einer Abwandlung des Verfahrens bearbeitet sind und
Fig. 7 einen Querschnitt durch ein Gefüge aus zwei Platten, das nach einer weiteren Abwandlung des
Verfahrens bearbeitet wird.
In Fig. 1 ist schematisch ein einziger Düsenkanal 1 dargestellt, der einem Schreibkopf eines Tintenstrahldruckers
zugeordnet ist. Dieser Schreibkopf kann gegebenenfalls mehrere derartiger Düsenkanäle enthalten.
Der Düsonkanal 1 besteht aus einem zylinderförmigen Rohr 3 beispielsweise aus Glas oder Metall, an
dessen Aussenwand mit Hilfe einer Haftmittelschicht 5 ©in
rohrförmiges Pumpenorgan 7 starr befestigt ist. Das Pumpenorgan
7 besteht aus einem Rohr 9 von ungefähr radial ^ polarisiertem piezoelektrischem Werkstoff, beispielsweise
PXE, das an seiner Innen- und Aussenfläche mit Elektroden 11 bzw. 13 versehen ist, die beispielsweise aus Aufdampf—
nickelschichten gebildet sind. Die beiden Stirnflächen sind in diesem Beispiel nicht mit Elektrodenwerkstoff bedeckt.
Der Düsonkanal 1 läuft an einem Ende (das rechte Ende in Fig. 1) in eine Düse 15 aus und ist on seinem
anderen Ende über eine Drossel 17 mit einer Tintenzuführungsleitung
19 verbunden, die mit einem Tintenbehälter 21 und gegebenenfalls mit (nicht dargestellten) weiteren
Düsenkanälen in Verbindung steht. Im dargestellten Ausführungsbeispiel bilden die Düse 15 und die Drossel 17
eine Einheit mit jenem Teil des Rohrs 3> auf dem sich das
Pumpenorgan 7 befindet und einen Pumpenabschnitt bildet.
Jedoch ist es auch möglich das Pumpenorgan 7 (mit oder ohne Rohr 3)» dio Düse 15 und ein Rohr mit einer Drossel
17 als einzelne Teile auszuführen und später zu einem
PHN 10039 S^ 20.11.81
kompletten Düsenkanal zusammenzusetzen.
¥enn zwischen den Elektroden 11 und 13 eine
elektrische Spannung angelegt wird, dehnt sich das Pumpenorgan 7 in der Längsrichtung aus und zieht sich infolgedessen
in radialer Richtung zusammen, so dass sich das Rohr 3 eineingt. Im Normalbetrieb des Tintenstrahldruckers
sind der Tintenbehälter, die Tintenzuführungsleitung I9 und der Düsenkanal 1 mit Tinte gefüllt, in der eine Stosswelle
auftritt, wenn sich das Rohr 3 sprunghaft einengt, Diese Stosswelle pflanzt sich nicht durch die Drossel 17
fort, sondern in der Richtung der Düse 15« Infolgedessen
wird ein Tintentropfen kräftig aus der Düse 15 he rausgestossen.
Dieser Tropfen trifft einen rechts von der Düse angeordneten Papierbogen (nicht dargestellt). Durch die
Bewegung des Schreibkopfs in bezug auf das Papier und durch die Erregung des Pumpenorgans 7 zu geeigneten Augenblocken
ist es möglich, auf dem Papier Zeichen oder Abbildungen anzubringen. ■
Zur Herstellung von DUsenkanälen, wie in Fig.
ersichtlich, wird von zwei Platten 23 und 25 aus piezoelektrischem
Werkstoff ausgegangen, die in Fig. 2 im Querschnitt dargestellt sind. Der Übersichtlichkeit halber
sind die Platten 23 und 25 nicht schraffiert. Die
Länge und die Breite dieser beiden Platten sind vorzugs-
*° weise nahezu gleich, aber die Dicke der ersten Platte 23
ist grosser als die der zweiten Platte Z^>, Die erste Platte
23 hat eine erste Hauptfläche 27 und eine zweite Hauptfläche 29 und die zweite Platte 25 hat eine erste
Hauptfläche 31 und eine zweite Hauptfläche 33.
Anschliessend werden, wie in Fig. 3 ersichtlich
in der ersten Hauptfläche 27 der ersten Platte 23 ein oder mehrere zueinander parallel verlaufende Kanäle
35 gebildet, die sich von einem Rand der ersten Hauptflache
zum gegenüberliegenden Rand erstrecken und also
genau so lang wie die erste Hauptfläche sind. Die Breite und die Tiefe der Kanäle 35 sind etwas grosser als der
Durchmesser des Rohrs 3 (Fig. 1), so dass ein jeder Kanal
PIlN 10039 6* ff 20.11.81
ein derartiges Rohr mit einigem Spielraum aufnehmen kann.
Die Kanäle 35 können beispielsweise durch Profilsägen oder durch Schleifen gebildet werden* Selbstverständlich
ist es möglich, die Dicke beider Platten 23 und 25 ungefähr
gleich zu wählen und in den ersten Hauptflachen 27 und 31 beider Platten Kanäle 35 anzubringen, deren Tiefe
etwa die Hälfte des Durchmessers des Rohrs 3 ist.
Anschliessend werden'^ wie in Fig. 4 ersichtlich, die beiden Hauptfläclxen 27 und 29 der ersten Platte 23
und die beiden Hauptflächen 31 und 33 der zweiten Platte
25 mit Metallfcichichton mit den Besiugsziffura 37, 39, 41
bzw. 43 versehen. Diese Metallschichten können beispiels—
weise Aufdampfnickelschichten sein. Sie dienen zur Bildung
der Elektroden 11 und 13 (Fig. 1).
Zwischen den Metallschichten 37 und 39 der ersten Platte 23 wird dann eine elektrische Spannung angelegt,
so dass in der Platte ein kräftiges elektrisches Feld entsteht, wodurch der Werkstoff dieser Platte polarisiert
wird. Die Polarisationsrichtung ist mit den Pfeilen 45 angegeben. Gleiches erfolgt mit der zweiten Platte
25, indem auch zwischen den Metallschichten 41 und 43 eine
elektrische Spannung angelegt wird. Die daraus entstehende Polarisationsrichtung ist mit den Pfeilen 47 angegeben.
Die Polarisationsrichtung soll für beide Platten gleich sein, d.h. für beide Platten von der zweiten Hauptfläche
zur ersten Hauptfläche (wie in Fig. 4) oder für beide Platten von der ersten Hauptfläche zur zweiten
Hauptfläche gerichtet sein. Wenn die Polarisationsrichtung in den zwei Platten entgegengesetzt wäre, würden beim Zu—
sammenfügen der Platten keine ungefähr radial polarisierten Pumporgane entstehen.
Die Metallschicht 37 auf der ersten Hauptfläche
27 der ersten Platte 23 und die Metallschicht 4i auf der
ersten Hauptfläche 3I der zweiten Platte 25 werden nunmehr
mit einem Haftmittelschicht bedeckt, beispielsweise mit Epoxydharz oder mit Lötmittel. Darauf wird in jedem
Kanal 35 «in Rohr 3 angeordnet und dio zweite Platto 25
PEDNT 10039 ? 9 20.11.81
derart dockend auf der ersten Platte 23 angeordnet, dass
die mit Haftmittel versehenen Hauptflächen 27 und 31 der beiden Platten einander· zugewandt sixid. Das Haftmittel
fliesst dabei um die Rohre 3 herum, so dass sie vollständig in das Haftmittel eingebettet werden. Dies ist in
Fig. 5 klar ersichtlich, in der das Haftmittel wie in Fig, 1 mit 5 bezeichnet ist. Nach dem Aushärten des Haftmittels
5 sind die beiden Platten 23 und 25 miteinander fest verbunden
und die Rohre 3 unbeweglich in den Kanälen 35 befestigt.
Jedes Rohr 3 ist jetzt von einem Pumpenorgan 7 umgeben, dass aus Teilen der beiden Platten 23 und 25 besteht.
Ein jedes, von einem Pumpenorgan umgebene Rohr 3 bildet einen Pumpenabschnitt eines DüsenkanaXs 1. Wenn
die Rohre 3 an einem Ende mit oinor Düse 15 und nahe dem
'5 anderen Ende mit einer Drossel 17 versehen sind, bilden
sie nicht nur Pumpenabschnitte, sondern komplette Düsenkanäle
.
Die einzelnen Pumpenabschnitte können nach Bedarf
entlang Trennflächen 51 (mit punktierten Linien in ' Fig. 5 angegeben) voneinander getrennt werden, welche
Trennflächen parallel zu den Achsen der Rohre 3 und senkrecht
zu den Hauptflächen 27, 29, 31, 33 der Platten 23
und 25 vorlaufen. Dies kann beispielsweise durch Durchsägen der Platte 23 und 25 entlang der Flächen 51 erfolgen.
Nach dieser Bearbeitung bilden die Querschnitte der Aussenf lachen der Pumpenorgane ein ungefähres Quadrat, das
von den Schnitten der Metallschichten 39 und 43 und von
den Trennflächen 51 begrenzt wird.
ITm den Elektroden 11 und 13 S teuer spannung zuführen
zu können, sind die Metallschichten 37, 39, 41 und 4-3 mit Leitern (nicht dargestellt) zu verbinden. Dies kann
mit einer bekannten Verbindungstechnik erfolgen, beispielsweise
durch Druckkontakte oder durch Anl'oten von Verbindungsdrähten. Die äussere Elektrode 13 ist zur Herstellung
dieser Verbindung leicht erreichbar. Mit der inneren Elektrode 11 kann beispielsweise über die an den Seiten
des Pumponorgans die Oberflache erreichenden Metallschich-
PHN 10039 % 40 20^11.81
ten 37» 41 oder über eine mit diesen Metallschichten
verbundene Metallisierung der linken oder rechten Stirnfläche des Pumpenorgans 7 Kontakt hergestellt werden. Weiter
ist es möglich, die Aussenflache des Rohrs 3 mit einer
bis ausserhalb des Pumpenorgans herausragenden Metallschicht
zu bedecken, die über das in diesem Fall leitende Haftmittel 5 (z.B. Lötmittel) mit der inneren Elektrode
11 in Verbindung steht. Über diese Metallschicht kann dabei
eine Verbindung mit dieser Elektrode hergestellt werden. Wenn das Rohr 3 selbst aus Metall ist, wird diese zusätzliche
Metallschicht selbstverständlich nicht benötigt. Wie in Fig. 5 ersichtlich, ist die mit den Pfeilen
45 und 47 angegebene Polarisationsrichtung nur annäherungsweise
radial. Eine weitere Entfernung nach links
^ und nach rechts von der Achse der Rohre 3 bedeutet gleichzeitig
eine sich ständig vergrösserende Abweichung von
der Radialrichtung. Es zeigt sich in der Praxis, dass diese
Abweichungen die gute Wirkung der Pumpenorgane 7 nur geringfügig beeinflussen. Jedoch können nach Bedarf diese
Abweichungen weiter verkleinert werden, indem die Form der zweiten Hauptflächen 29 und 33 der Platten. 23 und 25
etwas angepasst wird. Dazu werden, beispielsweise gleichzeitig mit der Bildung der Kanäle 35 (also in der in Fig.
3 dargestellten Phase), Rillen 53 und 55 in diesen Hauptflächen
gebildet, deren Achsen parallel zu den Achsen der Kanäle und in der Mitte zwischen den Achsen der Kanäle
verlaufen. Nach dem Anbringen der Metallschichten und
nach der Polarisierung ist das Aussehen der Platten wie in Fig. 6 angegeben. Es stellt sich dabei heraus, dass
die Metallschichten 39 und 43 etwas gebogen sind, so dass
die Polarisationsrichtungen 45 und 47 der radialen Richtung
näher kommen. Nach der Trennung der Pumpenabschnitte
voneinander entlang der Trennflächen 51 (Fig. 5) haben die Pumpenorgane dabei im Querschnitt etwa die Form eines
Vierecks mit runden Ecken.
Die Trennflächen 51 trennen die Pumpenabschnitte
vollständig voneinander. Jedoch ist es gleichfalls möglich
PHN 10039 9- ΑΛ 20.11.81
das in Fig. 5 dargestellte Gefüge als Einheit in einem
Schreibkopf für einen Tintenstrahldrucker zu montieren. Zum getrennten Aktivieren der Pumpenorgane in diesem Fall
ist es notwendig, die Metallschichten 39 und 43, die zusammen
die äussere Elektrode 13 des Pumpenorgans bilden, in zu den Rohren 3 parallel verlatif enden Streifen zu verteilen.
Dies kann dadurch erfolgen, dass an der Stelle der Schnittlinie zwischen diesen Metallschichten und den
Flächen 51 schmale Streifen dieser Metallschichten entfernt werden, beispielsweise durch Atzbearbeitung oder
durch Durchsägen oder Schleifen der Metallschichten. Wenn diese Bearbeitung durchgeführt wird, bevor die beiden
Platten 23 und 25 aufeinandergeklebt werden, also in der
in Fig. h dargestellten Phase, können nach Bedarf die Metallachichten
37 und 41, dio die innere Elektrode 11 des
Pumpenorgans bilden werden, auf gleichartige Weise unterteilt werden. Ein Nachteil dabei ist, dass die Pumpenabschnitte
mechanisch noch starr miteinander verbunden sind und dadurch ihre Wirkung gegenseitig beeinflussen können.
Dieser Nachteil ist mit der in Fig. 7 dargestellten Abwandlung
des Verfahrens beseitigt. Dabei wird nach dem Aushärten des Haftmittels 5 das Gefüge der beiden Platten
23 und 25 beispielsweise mit der zweiten Hauptfläche 29
der ersten Platte 23 auf einer Tragfläche 57 einer Trag-
" platte 59 befestigt, beispielsweise mit einem Klebmiütel
61. In der zweiten Hauptfläche 33 der zweiten Platte 25
werden dabei Einschnitte 63 entlang Flächen angebracht;, die parallel zu den Achsen der Rohre 3 und senkrecht υλχ
den Hauptflächen der Platten verlaufen. Die Tiefe dieser
Einschnitte ist nicht grosser als etwa die halbe Dicke
des Gefüges der beiden Platten. Die Einschnitte 63 werden
dabei mit einem (nicht dargestellten), nach dem Aushärten elastisch bleibenden Haftmittel (beispielsweise einem
elastischen Epoxydharz) gefüllt und das Gefügt wird von
der Tragfläche 57 gelöst. Anschliessend wird das Gefüge mit der zweiten Hauptfläche 33 der zweiten Platte auf der
Tragfläche 57 befestigt, wonach dio beechriobeneu Beaibei-
PHN 10039 TO /ti 20.11.81
tungen wiederholt werden. Nachdem das Gefüge erneut von der Tragfläche 57 gelöst ist, sind die Pumpenabschnitte
nur über das elastische Haftmittel (und gegebenenfalls über eine dünne BrIIcke aus piezoelektrischem Werkstoff) miteinander
verbunden, so dass sie sich im Betrieb nicht gegenseitig beeinflussen.
Λ3
Leerseite
Claims (5)
1. Verfahren zum Herstellen von Düsenkanälen (i),
insbesondere für Tintenstrahldrucker, wobei um einen Teil
eines jeden zu bildenden Düsenkanals herum zur Bildung eines Pumpenabschnitts ein etwa radial polarisiertes,
rohrfSrmiges piezoelektrisches Pumpenorgan (7) angebracht
wird, dadurch gekennzeichnet, dass zur Bildung der Pumpenorgane
(7) von zwei Platten (23, 25) aus piezoelektrischem
Werkstoff ausgegangen wird, dass in einer ersten Hauptflache
(27) zumindest von der ersten Platte (23) zueinan-
™ der parallel verlaufende Kanäle (35) gebildet werden, die
sich von einem Rand der ersten Hauptfläche zum gegenüberliegenden Rand erstrecken, dass auf den beiden Hauptflächen
(27, 29) der erste Platte und auf den beiden Hauptflächen (:31, 33) der zweiten Platte (25) Metallschichten
(37, 39t 41, 43) angebracht werden, dass die beiden Platten
durch das Zuführen einer elektrischen Spannung zwiscban den Metallschichten polarisiert werden, dass die erste
Hauptfläche der ersten Platte und die erste Hauptfläche
der zweiten Platte mit einer Haftmittelschicht (5) bedeckt werden, dass die zweite Platte auf der ersten Platte ungeordnet
wird, wobei die beiden mit Haftmittel versehenen Hauptflächen einander zugewandt sind und dass das Haftmittel
erinem Aus härtungs verfahr en unterworfen wird.
2. Verfahren nach Anaprucli 1, dadurch gekennzeichnet,
dass nach dem Anbringen des Haftmittels (5) in einem
jeden Kanal (35) ein Rohr (3) angeordnet wird, dessen Länge zumindest gleich der Länge des Kanals ist.
3· Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Aushärten des Haftmittels (5)
die einzelnen Pumpenabschnitte entlang Trennflächen (.51)
völlig voneinander getrennt werden, die parallel zu den Achsen der Rohre (3) und senkrecht zu den Hauptflächen
PHN 10039 JOi t 20.11.81
(27, 29, 31, 33) der Platten (23, 25) verlaufen.
4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
dass das nach dem Aushärten des Haftmittels (5) gebildete Gefüge der beiden Platten (23, 25) mit der
zweiten Hauptfläche (29, 33) einer der Platten (23, 25) auf einer Tragfläche (57) befestigt wird, dass in der
zweiten Hauptfläche (33, 29) der anderen Platte (25, 23) Einschnitte (63) entlang Flächen angebracht werden, die
parallel zu den Achsen der Rohren (3) und senkrecht zu den Hauptflächen der Platte verlaufen, wobei die Tiefe
der Einschnitte nicht grosser als etwa die Hälfte der Dicke des GefÜges der beiden Platten ist, dass die Einschnitte
mit einem nach dem Aushärten elastisch bleibenden
Haftmittel gefüllt werden, dass das Gefüge der Tragfläche gelöst und anschliessend mit der zweiten Hauptfläche
(33, 29), in der sich die Einschnitte befinden,
auf der Tragfläche befestigt wird, wonach die Bildung und Füllung der Einschnitte auf gleiche ¥eise wiederholt
wird, und dass das Gefüge schliesslich erneut von der Tragfläche gelöst wird.
5. Tintenstrahldrucker mit einem Schreibkopf mit zumindest einem Düsenkanal (i), der esinen Pump en ab schnitt
enthält, der von einem rohrförmigen Pumpenorgan (7) ringförmig umgeben ist, das aus etwa radial polarisiertem
2^ piezoelektrischem Werkstoff mit einer Aussenfläche, einer
Innenfläche und zwei Stirnflächen hergestellt ist, welche Innen- und Aussenflächen mit Elektroden (.11, 13) versehen
sind, welcher Düsenkanal in dem Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche hergestellt ist, dadurch gekennzeichnet,
dass das Pumpenorgan (7) aus zwei Teilen besteht, die mittels eines Haftmittels (5) aufeinander befestigt
sind.
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