DE3211734A1 - Ultraschall-applikator und verfahren zur herstellung desselben - Google Patents
Ultraschall-applikator und verfahren zur herstellung desselbenInfo
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Description
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT Unser Zeichen Berlin und München VPA 82 P 3730 DE
Ultraschall-Applika.tor und Verfahren zur Herstellung
desselben
Die Erfindung bezieht sich auf einen Ultraschall-Applikator
gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Sie bezieht sich ebenfalls auf ein Verfahren zur Herstellung
eines solchen Ultraschall-Applikators.
Durch die DE-OS 30 19 410 sind bereits ein Ultraschall-Applikator
sowie ein Verfahren zur Herstellung desselben vorbekannt, bei dem die Wandlerelemente am Schallkopf
feingeteilt sind. Jeweils mehrere Wandlerelemente sind durch einzelne Kontaktbleche je eines Kontaktblechkammes
elektrisch zu Gruppen zusammengefaßt. Insgesamt sind für die Gegenflächen der Wandlerelemente
zwei Kontaktblechkämme vorhanden, von denen der eine auf der Seite der Gegenflächen entlang der linken
Kante der Wandlerelementanordnung und der andere auf den Gegenflächen entlang der rechten Kante der Wandlerelementanordnung
angebracht ist. Die Kontaktbleche beider Kontaktblechkämme haben die Form von dreieckigen
Kontaktfahnen aus Folienmaterial. Jede dreieckige Kontaktfahne ist entgegengesetzt zur Abstrahlrichtung des
Schallkopfes leicht gebogen. Entlang den Mitten der Abstrahlflächen der Wandlerelemente verläuft ein gemeinsamer
stabförmiger Rückleiter. Das Grundprinzip der Feinteilung von Wandlerelementen ist an sich in
der US-PS 43 05 014 näher beschrieben. Was die Ausführungsform des Ultraschall-Applikators der DE-OS
30 19 410 betrifft, so ergibt sich der folgende wesentliehe Nachteil: Gemäß dem in der DE-OS beschriebenen
Herstellungsverfahren ergibt sich die Feinstruktur der
Kue 5 Kof / 26.03.1982
- / - VPA 82 P 3730 DE
einzelnen Wandlerelemente durch Sägen einer kompletten
Keramikplatte mit den äußeren Abmessungen des späteren Schallkopfes. Diese Keramikplatte ist bereits mit den
jeweiligen Kontaktfahnen der Kontaktkämme auf den Seiten der späteren Gegenflächen der Wandlerelemente bestückt.
Das Sägen muß nun so exakt erfolgen, daß jeder Sägeschritt, der zwei benachbarte Gruppen von feingeteilten
Wandlerelementen trennen soll, exakt genau dort liegt, wo sich die Basisbreiten zweier benachbarter
Dreieck-Kontaktfahnen des Kontaktkammes berühren. Nur dann wird auch die Dreieck-Kontaktfahne exakt von der
jeweils benachbarten getrennt und es ergibt sich eine eindeutige elektrische Kontaktzuordnung einer solchen
Fahne zu einer Gruppe von Wandlerelementen. Es ist leicht einzusehen, daß ein solch präziser Sägeschritt
nur unter äußerst strenger Einhaltung besonders eng gefaßter Toleranzen erfolgen muß. Damit wird jedoch
der Herstellungsvorgang insgesamt sehr kompliziert und der Anfall von Ausschuß ist entsprechend hoch.
Aufgabe vorliegender Erfindung ist es, einen Ultraschall-Applikator
der eingangs genannten Art dahingehend auszubilden, daß ohne Berücksichtigung allzu
strenger Toleranzvorschriften dennoch eine äußerst präzise Abtrennung benachbarter Kammabschnitte, die
eine Gruppe feingeteilter Wandlerelemente elektrisch zusammenfassen sollen, erreicht wird.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden
Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Ultraschall-Applikators
ergibt sich gemäß der Erfindung aus den Merkmalen des Anspruchs 9.
Gemäß der Erfindung ist der Kamm aus elektrischen Kontaktblechen durch die Breite der Aussparungen entspre-
-τ-
- / - VPA 82 P 3730 DE
chend grob vorstrukturiert. Dies gestattet große Toleranzen
beim Sägen der Keramik. Benachbarte Kammabschnitte, die eine Gruppe feingeteilter Wandlerelemente
elektrisch zusammenfassen sollen, werden auch bei Toleranzschwankungen der Sägeschritte immer äußerst
präzise voneinander getrennt. Der Herstellungsvorgang wird damit insgesamt sehr viel einfacher und die Ausschußrate
ist äußerst gering.
Ultraschall-Applikatoren mit vorstrukturierten Kammkontaktblechen
sind an sich auch noch aus der US-PS 39 52 387 vorbekannt. Die Schallköpfe dieser Applikatoren
sind aber hinsichtlich der Wandlerelemente nicht feingeteilt. Eine Gruppenkontaktierung mit der vorstehend
beschriebenen Problematik ist von vornherein nicht nötig.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen. Von besonderer Bedeutung ist
dabei der Anspruch 4, da hier die Toleranzbreite entsprechend der relativ großen Breite im Bereich der
Größeneinschnittiefe besonders groß ist. Von Vorteil ist auch die Ausgestaltung des Unteranspruchs 6. Wegen
des mittig auf den Gegenflächen der einzelnen Wandlerelemente verlaufenden Kontaktblechkammes ergeben
sich optimale Symmetriebedingungen. Die Last an den einzelnen Wandlerelementen wirkt sich nicht unsymmetrisch
aus und es ergeben sich sowohl für den Sendeais auch für den Empfangsfall optimale Schwingungsformen.
Der Gegenstand der Erfindung erlaubt nach Anspruch 8 eine Linienlötung statt Flächenlötung. Dies
ist eine besonders einfache Lötmethode, die es erlaubt, daß auch bei höheren Frequenzen relativ dicke und damit
stabile Folien als Kontaktkamm eingesetzt werden können.
-S-
- /- VPA 82 P 3730 DE
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels
anhand der Zeichnung und in Verbindung mit den restlichen Unteransprüchen. 5
Es zeigen:
Figur 1 einen Ultraschall-Applikator gemäß der
Erfindung,
Figur 2 ein erstes, bevorzugtes Ausführungsbeispiel für eine Kammstruktur in Ausschnittsvergrößerung ,
Figur 3 ein zweites mögliches Ausführungsbeispiel für eine solche Kammstruktür,
Figur 4 eine Ausschnittsvergrößerung der Figur 2, die den Sägeplan im Detail zeigt,
Figur 5 bis
Figur 8 eine Explosivdarstellung, die das erfindungsgemäße Herstellungsverfahren zeigt,
Figur 9 eine erste mögliche Art der Kontaktierung eines Kontaktblechkammes,
Figur 10 eine zweite mögliche Art der Kontaktierung eines Kontaktblechkammes,
Figur 11 eine Modifikation der Art, in der ein Trägerkörper auf der Keramik angebracht ist.
Die Figur 1 zeigt ein feingeteiltes Einzeilen-Array
Dieses umfaßt eine Vielzahl von hintereinander angeordneten feingeteilten Wandlerelementen 2. Die Wandlerelemente
sind elektrisch zu Gruppen 3 zusammengefaßt. Im
- 5^- VPA 82 P 3730 DE
Ausführungsbeispiel der Figur 1 umfaßt jede Gruppe 3 z.B. fünf feingeteilte Wandlerelemente 2. Die Gesamtzahl
aller Gruppen entlang dem Wandler-Array beträgt z.B. 71. Jedes Wandlerelement besteht in der üblichen
Weise aus einem stabförmigen Piezokeramikkörper 4, der auf der Abstrahlfläche 5 und auf der Gegenfläche 6 metallisch
beschichtet ist. Die Metallschicht besteht z.B. aus aufgedampftem oder eingebranntem Silber.
Sämtliche hintereinander angeordneten feingeteilten Wandlerelemente 2 sind entlang den Mitten ihrer Gegenflächen
6 mit einem Folienkamm 7 versehen. Der Folienkamm 7 besteht in der in der Figur 1 dargestellten Weise
aus Kontaktfahnen 8 mit dazwischenliegenden Aussparungen 9. Als Folienmaterial dient z.B. Ag, Cu oder eine
Cu-Legierung. Die Einschnittiefe h der Aussparungen
ist geringer als die Gesamthöhe H des Kontaktkammes 7, wie in der Figur 2 näher dargestellt ist. Es verbleibt
also an der den Gegenflächen der Wandlerelemente zugewandten
Folienkante ein Streifenteil 10 mit der Höhe B. In dieses Streifenteil 10 ragen von unten Sägeschlitze
11 und 12. Die Sägeschlitze 11 stammen von der Feinzersägung
der Wandlerelemente 2. Sie reichen nur teilweise von unten in das Streifenteil 10. Wie in der Figur 2
angedeutet ist, beträgt die Gesamtsägetiefe durch das Keramikmaterial hindurch bis in das Streifenteil 10
hinein t. Die Sägeschlitze 12 haben demgegenüber grössere Tiefe. Sie ragen über das Streifenteil 10 bis in
den freien Bereich der Aussparungen 9 des Kammes 7.
Die längeren Schlitze 12 teilen den Kamm 7 in die einzelnen,
elektrisch voneinander getrennten Kontaktfahnen 8. Die Rasterbreite R der Kontaktfahnen 8 entlang
dem Kamm 7 beträgt, wi-e wieder in Figur 2 näher dargestellt ist, R=A. Sie entspricht damit jeweils immer
der Gruppenbreite A einer Gruppe 3 von feingeteilten
Wandlerelementen 2, die elektrisch zusammenkontaktiert
werden sollen.
- Jef- VPA 82 P 3730 DE
Die Aussparungen 9 können wie die Aussparungen des Kammes der Figur 3 reine Rechteckform aufweisen. Es empfiehlt
sich jedoch, wie in den Figuren 1 und 2 dargestellt ist, die Aussparungen 9 an ihrem offenen oberen
Ende weniger breit (Breite b) auszubilden als im Bereich der größten Einschnittiefe (Breite c). Die in
der Tiefe breitere Aussparung c gestattet große Toleranzbreiten beim Sägen der Keramik. Im Ausführungsbeispiel
der Figur 2 entspricht die Toleranzbreite z.B.
der Breite c des unteren breitesten Aussparungsteiles. In der Figur 2 ist die Gesamttiefe der Gruppenteilungsschnitte
mit T angegeben. Die Teilungsschnittbreite für die Feinteilung beträgt hingegen a. Die Sägeschlitze
zur Feinteilung der Wandlerelemente im Piezomaterial sind mit 13 angedeutet. Die Sägeschlitze, die
gleichzeitig die Gruppen unterteilen, sind mit 14 bezeichnet.
Im Ausführungsbeispiel der Figur 1 ist das Bauteil 15 ein Trägerkörper für die feingeteilten Wandlerelemente
2. Der Kamm 7 aus Kontaktfahnen 8 ist im Trägerkörper 15 eingebettet. Der Trägerkörper 15 .besteht aus
einem Material, das Ultraschallwellen gut dämpft. Z.B. kann er aus Epoxydharz mit eingebrachtem, oxidiertem
Wolframpulver bestehen.
Die Kontaktfahnen 8 des Kammes 7 dienen als Heißanschlüsse. Für den Erdanschluß sind zwei Kontaktfolien
16 und 17 vorgesehen, die z.B. aus demselben Material' wie der Kamm 9 bestehen und die entlang der linken und
rechten unteren Kante der Reihe der Wandlerelemente 2 an den Abstrahlflächen 5 der Wandlerelemente angelötet
sind. Die Metallfolien 16 und 17, die in Gegenrichtung zur Abstrahlrichtung der Ultraschall-Wandlerelemente
nach oben gebogen sind, sind in Höhe der Sägespalten bzw. 14 der Wandlerelemente ebenfalls geschlitzt. Die
VPA 82 P 3730 DE Schlitze 18 reichen jedoch nicht bis zum oberen Folienrand;
sie sind nur teilweise in die jeweilige Folie eingeschnitten. Das Bauelement 19 ist ein Anpassungskörper, mit dem das Array der Figur 1 applikationsseitig
abgeschlossen ist. Dieser Anpassungskörper besteht z.B. aus Epoxydharz.
Wie in der Figur 2 dargestellt ist, wird als Grundkörper für den Kamm 7 ein Folienstreifen 20 benutzt, der
zuerst in sich geschlossene fensterförmige Aussparungen 9 umfaßt. Durch Abschneiden des oberen Streifenteiles
entlang der Schnittlinie S-S erhält man dann einen Kamm mit Aussparungen, die entsprechend der Figur 1 oben
offen sind.
Wie schon vorstehend erwähnt, stellt das Beispiel der Figur 3 eine mögliche Alternativlösung zu jenem der
Figur 2 dar, die jedoch weniger vorteilhaft ist als jene der Figur 2. Einziger Unterschied zum Ausführungsbeispiel
der Figur 2 ist, daß die Aussparungen 21 im Streifen 22 Rechteckform haben. Die Breite b1 dieser
rechteckförmigen Aussparungen ist also über die gesamte Einschnittiefe h1 gleich. Die Toleranzbreite der in
diesen Bereich fallenden Sägeschritte für Gruppen (Sägeschritte 14) ist bei dieser Art Aussparung geringer
als bei jenen der Figur 2.
Die Figur 4 zeigt im Detail den Sägeplan für das Ausführungsbeispiel
der Figuren 1 und 2. Die Spaltbreite der Sägeschlitze 13 und 14 beträgt s.
Die Figuren 5 "bis 8 zeigen in einer Explosivdarstellung
das erfindungsgemäße Herstellungsverfahren für ein Array gemäß der Figur 1.
ν ρλ α? ρ 3730 de
Wir vorstehend schon erwähnt, dient als Grundkörper für die späteren !'eingeteilten Wandler elemente 2 eine
Keramikplatte 30 mit den äußeren Abmessungen des späteren Arrays. Die Keramikplatte 30 ist auf der Unterflache
31 (spätere Abstrahlflache der Wandlerelemente)
und der Oberfläche 32 (spätere Gegenfläche der Wandlerelemente) mit einer dünnen Ag-Schicht versehen.
Gemäß dein ersten Herstellungsschritt der Figur 5 wird
auf die Keramikplatte 30 in Mittenposition der Platte ein in Längsrichtung der Platte gerichteter Folienstreifen
20 mit den geschlossenen Aussparungsfenstern aufgelötet. Zum Löten dient eine Kante 33 des Streifens
20.
Die Figur 6 zeigt den zweiten Herstellungsschritt. In diesem Herstellungsschritt werden entlang der rechten
und linken unteren Kanten der Keramikplatte 30 die jetzt noch nicht geschlitzten Kontaktfolien 16 und 17
aufgelötet.
Im dritten Herstellungsschritt der Figur 7 werden die
Keramikplatte 30 und der Kontaktstreifen 20 mit dem Trägerkörper 15 umgössen. Die Figur 7 zeigt auch noch
gleich einen vierten Herstellungsschritt, der aus dem Schneiden des Kontaktstreifens 20 entlang der Schnittlinie
S-S besteht. Durch dieses Schneiden entsteht die eigentliche Kammform mit oben offenen Aussparungen 9
und den Kontaktfolien 8.
Der fünfte Herstellungsschritt besteht im Sägen der gesamten Anordnung. Dieses Sägen geschieht von der Abstrahlneite
her, so wie es in der Figur 8 dargestellt ist.
- tf - VPA 82 P 3730 DE
Der sechste und letzte Herstellungsschritt besteht darin, daß applikationsseitig die Anpassungsschicht
19 aufgebracht wird. Dieser letzte Herstellungsschritt ist ebenfalls in der Figur 8 angedeutet.
5
Selbstverständlich können einzelne Herstellungsschritte miteinander vertauscht werden. So kann beispielsweise
nach dem zweiten Verfahrensschritt (dargestellt in Figur 6) die Keramikplatte 30 gleich gesägt werden.
Erst dann wird der Trägerkörper 15 aufgebracht oder es wird zuerst die Anpassungsschicht 19 und dann der Trägerkörper
15 aufgebracht. Andere Vertauschungen sind ebenfalls denkbar, jedoch nicht unbedingt zweckmäßig.
In der Figur 9 ist nochmals in Vergrößerung angedeutet, wie der Folienkamm mittels Lötkante 31 auf dem Keramikkörper
30 angelötet oder auch angeschweißt werden kann. Ebensogut ist aber auch ein Anlöten oder Anschweißen
ohne Kante 31 möglich, wie dies in der Figur 10 durch
Lot- oder Schweißnähte 34 angedeutet ist.
Das Ausführungsbeispiel wird im nachfolgenden anhand einiger Zahlen für z.B. ein 3,5 MHz- und ein 7 MHz-Array
noch näher präzisiert:
3,5 MHz-Arrav
Hier beträgt das Feinteilungsraster für die Wandlerelemente z.B. 0,308 mm bei einer Sägespaltbreite im Bereich
0,07 bis 0,1 mm. Für den Folienkamm empfiehlt sich in diesem Fall eine Rasterbreite der Kontaktfahnen
von R = 1,54 mm. Die obere Breite der Aussparungen
liegt bei b = 0,4 mm, die untere Breite bei c = 0,8 mm.
7 MHz-Array
Das Feinteilungsraster für die Wandlerelemente liegt bei dieser Frequenz bei z.B. 0,192 mm und derselben
- VS - VPA 82 P 3730 DE
Sägecpaltbreite. Die Rasterbreite der Kontaktfahnen des Folienkammes beträgt R = 0,77 mm. Die obere Breite
der Aussparungen liegt bei b = 0,3 mm, die untere Breite bei c = 0,6 mm.
Das beschriebene Ausführungsbeispiel hat lediglich
exemplarischen Charakter. Es gibt selbstverständlich beliebig viele Modifikationen, die in den Bereich der
handwerklichen Fähigkeiten eines Fachmannes fallen und die damit alle im Schutzbereich der Erfindung liegen.
Z.B. kann der Dämpfungskörper auf dem Keramikkörper auch so aufgebracht werden, daß er dessen Ränder mitumfaßt
(Figur 11). Bei dieser Anordnung wird die unerwünschte randseitige Abstrahlung von Ultraschall-Energie
verhindert. Bei Anlöten oder Anschweißen des Folienkammes mittels Kante 33 können die Aussparungen
9 zwischen den Folienfahnen 8 auch bis an die Lötkante eingeschnitten sein. Das Kammstreifenteil für die
Sägeschnitte 12 (gegebenenfalls auch 11) wird dann durch die Kante 33 gebildet. Dieses modifizierte Ausführungsbeispiel
benötigt nur sehr geringe Sägetiefen.
11 Figuren
11 Patentansprüche
, -45-
Leerseite
Claims (11)
1. Ultraschall-Applikator mit einem Schallkopf, der
feingeteilte Wandlerelemente umfaßt, von denen immer mehrere durch Kontaktbleche, die in Form wenigstens
eines Kammes auf den den Abstrahlflächen gegenüberliegenden Gegenflächen der Wandlerelemente plaziert
sind, elektrisch zu Gruppen zusammengefaßt sind, dadurch gekennzeichnet, daß der Kamm (7) aus elektrischen Kontaktblechen (8) die
Form eines langgestreckten Streifens (20; 22) hat, der zur Vorgabe der Kammform mit einer Vielzahl von aufeinanderfolgenden
Aussparungen (9; 21) versehen ist, die auf der den Gegenflächen (6) der Wandlerelemente
(1) abgewandten Streifenkante offen sind und deren Einschnittiefe (h) in den Streifen in Richtung Gegenflächen
der Wandlerelemente geringer ist als die Gesamthöhe (H) des Streifens und daß der Streifen im Bereich
jeder Aussparung mit wenigstens einem Schlitz (12) versehen ist, der durch den Streifenrücken (10) hindurch
von der Aussparung bis zu einem Spalt (14) zwischen zwei benachbarten Wandlerelementen reicht und
daß der mittlere Abstand (A) zwischen immer jeweils zwei aufeinanderfolgenden Schlitzen (12) im Streifen,
die gleichzeitig in Ausnehmungen des Streifens und Zwischenräumen zwischen zwei benachbarten Wandlerelementen
liegen, so gewählt ist, daß der jeweils zwischen zwei benachbarten Schlitzen liegende Streifenteil die Zahl
der unter den Schlitzen liegenden feingeteilten Wandlerelemente (2) elektrisch zu einer Gruppe (3) zusammenfaßt
.
2. Ultraschall-Applikator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die aufgrund
der Form der Aussparungen (9) in der Form vorgegebenen Kontaktfahnen (8) des Kammstreifens (20) ein
VPA 82 P 3730 DE Rastermaß (R) haben, das in etwa mit der Breite (A)
einer Gruppe (3) aus elektrisch zusammenkontaktierten
feingeteilten Wandlerelementen (2) übereinstimmt.
3. Ultraschall-Applikator nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die Aussparungen (21) im Streifen (22) Rechteckform aufweisen (Figur 3).
4. Ultraschall-Applikator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß
die Aussparungen (9) im Streifen (20) an ihrem offenen oberen Ende geringere Breite (b) aufweisen als
jene Breite (c) im Bereich der größten Einschnitttiefe (h) (Figuren 1 und 2).
5. Ultraschall-Applikator nach einem der Ansprüche bis 4, dadurch gekennzeichnet,
daß jedes Streifenteil zwischen zwei durchgehenden Schlitzen (12) jeweils in Höhe der Trennspalten (13)
zwischen den einzelnen feingeteilten Wandlerelementen (2) ebenfalls mit Einschneidschlitzen (11) versehen
sein kann, die jedoch von der Streifenkante, mit der der Streifen auf den Gegenflächen (6) der Wandlerelemente
zu befestigen ist, nur geringfügig, auf keinen Fall jedoch bis in Höhe der Einschnittiefe der Kammaussparungen
(9; 21), in das Streifenteil (10) reichen
6. Ultraschall-Applikator nach einem der Ansprüche bis5, dadurch gekennzeichnet,
daß der Kamm (7) aus Kontaktblechen (8) auf den Gegenflächen (6) der einzelnen Wandlerelemente (2) etwa ent
lang deren Mitten verlaufend angeordnet ist.
VPA 82 P 3730 DE
7. Ultraschall-Applikator nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet,
daß an den Abstrahlflächen (5) Kontaktbleche (16, 17) ebenfalls in Form eines Kammes oder in Form eines gemeinsamen
durchgehenden Leitbleches oder in einer Misch form aus beiden angeordnet und ausgerichtet sind in der
Weise, daß sie nach Art einer Längsverlängerung der Wandlerelemente parallel zu den Abstrahlflächen oder
entgegen der Abstrahlrichtung unter vorgebbarem Winkel nach oben gebogen verlaufen.
8. Ultraschall-Applikator nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet,
daß der Kamm (7) auf den Gegenflächen (6) der Wandlerelemente (2) abgekantet oder direkt stirnseitig aufgelötet
ist (Figuren 9 und 10).
9. Verfahren zur Herstellung eines Ultraschall-Applikators
nach einem der Ansprüche 1 bis 8, gekennzeichnet durch die folgenden Verfahrensschritte
:
a) auf die Oberfläche (32) einer Keramikplatte (30), die die äußeren Abmessungen des späteren Arrays
hat und die auf der Unterfläche (31) und der Oberfläche (32) mit einer dünnen Metallschicht, z.B.
Ag-Schicht, versehen ist, wird ein Folienstreifen (20), der Aussparungen beinhaltet, aufgebracht
(Figur 5),
b) entlang der rechten und vorzugsweise auch linken Kante der Unterfläche (31) der Keramikplatte (30)
werden Streifen aus Kontaktfolien (16, 17) angebracht (Figur 6),
ι/ VPA 82 P 3730 DE
c) die Keramikplatte (30) wird auf der Oberfläche mit einem Trägerkörper (15) versehen, in den der
Kontaktstreifen (20) teilweise eingebettet ist (Figur 7),
d) das gesamte Gebilde wird von der Unterseite der Keramikplatte (30) her feingesägt, in der Weise,
daß Feinteilungssägeschritte (11, 13) für die Zerteilung innerhalb einer Gruppe weniger tief in das
Gebilde hineinragen als solche Feinteilungssägeschritte (12, 14), die bis zu den Aussparungen (9)
zur Zertrennung der einzelnen Gruppen reichen (Figur 8),
e) auf dem gesägten System wird applikationsseitig, d.h. auf die Abstrahlflächen (5) der feingeteilten
Wandlerelemente (2), eine Anpassungsschicht
(19) aufgebracht (Figur 8).
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet , daß der Folienstreifen (20),
der gemäß Verfahrensschritt a) auf die Keramikplatte (30). aufgebracht wird, zuerst geschlossene Aussparungsfenster (9) besitzt, wobei die einzelnen Kontaktbleche
(8) mit dazwischenliegenden offenen Aussparungen (9) dadurch gewonnen werden, daß der Kontaktstreifen (20)
oben entlang einer Schnittlinie (S-S) geschnitten wird.
11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet , daß der Dämpfungskörper
(15) auf der Keramikplatte (50) so aufgebracht ist, daß
er deren Ränder mitumfaßt (Figur 11).
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5592730A (en) * | 1994-07-29 | 1997-01-14 | Hewlett-Packard Company | Method for fabricating a Z-axis conductive backing layer for acoustic transducers using etched leadframes |
| EP2697838B1 (de) | 2011-04-11 | 2017-03-22 | Halliburton Energy Services, Inc. | Elektrische kontakte an einem ringwandler |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5512254B2 (de) * | 1973-07-03 | 1980-03-31 | ||
| JPS586132B2 (ja) * | 1978-04-25 | 1983-02-03 | 株式会社東芝 | 超音波探触子 |
| DE2829570C2 (de) * | 1978-07-05 | 1979-12-20 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Ultraschallkopf |
| EP0040374A1 (de) * | 1980-05-21 | 1981-11-25 | Siemens Aktiengesellschaft | Ultraschallwandleranordnung und Verfahren zu seiner Herstellung |
-
1982
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-
1983
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- 1983-03-16 DE DE8383102613T patent/DE3369758D1/de not_active Expired
- 1983-03-16 AT AT83102613T patent/ATE25439T1/de not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3369758D1 (en) | 1987-03-12 |
| EP0090267B1 (de) | 1987-02-04 |
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| EP0090267A1 (de) | 1983-10-05 |
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