DE3151480A1 - "traeger fuer zu verarbeitende siliciumscheiben" - Google Patents

Description

• Träger für zu bearbeitende Siliciumscheiben
• Die Erfindung bezieht sich auf einen geformten Kunststoffträger für Siliciumscheiben während deren Behandlung im Zuge der Fertigung von Chips für integrierte Schaltkreise.
• Bei der Bearbeitung solcher Silicumscheiben werden die Träger denselben Badtemperaturen ausgesetzt, in denen auch die Scheiben selbst in Tauchvorgängen zu behandeln sind. Diese Bäder umfassen verschieden korrosive Chemikalien, und bestimmte Bäder sind extrem heiß in der Größenordnung von 180°C. Demgemäß fertigt man die Träger zum Halten der Siliciumscheiben während der Bearbeitung aus einem Kunststoff, der im wesentlichen inert ist und hoch resistent gegen korrosive Wirkungen der Chemikalien, die eingesetzt werden, wie auch hoch resistent gegen die hohen Badtemperaturen, die regulär während der Bearbeitung zur Anwendung gelangen. Üblicherweise ist der verwendete Kunststoff für die Träger PFA-Teflon (PerfluorÄalkoxy-substituiertes PolytetrafluoräthySlenharz).
• Es ist festzuhalten, daß die Siliciumscheiben extrem emPfindlich und spröde sind und nur eine Dicke von wenigen hundertstel Millimetern aufweisen können. Der Durchmesser solcher Scheiben oder Platten kann in der Größenordnung von 1o cm oder mehr liegen. Die Siliciumscheiben sind extrem teuer und das Zubruchgehen einer Scheibe bedeutet einen empfindlichen Verlust wegen Ausschuß Eines der zahlreichen Probleme, mit denen man bei der Håndhabung dieser großflächigen, ~aber sehr dünnen Siliciumscheiben konfrontiert ist, besteht darin, daß die Scheibenkörbe, die bekannt geworden sind, erweichen, wenn sie man Temperaturen von 180 bis 2000cm aussetzt, und es tritt auch ein Verwerfen der Körbe ein. Das Verwerfen und Ausbeulen der Träger hat die Tendenz, zusätzliche Kompressionsdrücke auf die Kanten der empfindlichen Scheiben auszuüben. Ein Zubruchgehen beruht vor allem auf den Kräften, die von dem Träger und durch dessen Verwerfung gegenüber seiner gewünschten und normalen rechteckigen Form ausgeübt werden. Die Ausübung von Druck auf die.Scheibenkanten durch den Träger hat die Tendenz, die Scheiben im Träger festzuklemmen, so daß das Entnehmen der Scheiben aus dem Träger sowohl schwierig als auch gefährlich sein kann bezüglich möglichen Zubruchgehens.
• Ein weiteres Problem mit den bisherigen üblichen Trägern ist die ungenügende Fähigkeit des Trägers, den Durchtritt von Flüssigkeit durch den Träger und über die Oberflächen der darin aufgenommenen Scheiben zu ermöglichen. Darüberhinaus wurden Bruchprobleme beobachtet beim Entnehmen der Scheiben aus dem Träger, wenn die Scheiben in Richtung auf die offene Oberseite hin rollen, nachdem der Träger in eine Schrägposition gekippt worden ist.
• Aufgabe der Erfindung ist es, einen verbesserten Träger der eingangs genannten Gattung zu schaffen, der einfach und kostengünstig in der Herstellung ist. Der Aufbau soll so sein, daß Verwerfungen und Verformungen des Trägers minimal gehalten werden, wenn die Scheiben, welche in dem Träger aufgenommen sind, in extrem heiße Bäder eingetaucht werden, wobei das Kunststoffmaterial des Trägers erweichen kann. Ferner soll trotz dieser vorteilhaften Eigenschaften ein leichter Durchtritt von Flüssigkeit zu den Scheibenflächen möglich sein.
• Trotzdem sollen im wesentlichen ununterbrochene Anlageflächen für die Scheibenkanten vorliegen, die es ermöglichen, daß die Scheiben sanft in und aus den Trägern heraus rillen können, während sie beschiitetwerden oder während die Scheiben entnommen werden.
• Die zur Lösung der obigen Aufgabe gemäß der Erfindung vorgeseheneii Merkmale ergeben sich au; den Patentan- sprüchen. Wesentliche Merkmale sind das Vorsehen von ununterbrochenen Flächen in den oberen Abschnitten der Seitenwandungen, so daß die Kanten der Scheiben an Stellen zwischen Ober- und Unterkante der Seitenwandungen erfaßt werden, welche Seitenwände auf der Außenseite langgestreckte horizontale Verstärkungsschienen aufweisen. Damit wird einerseits die Wahrscheinlichkeit von Scheibenbruch erheblich verringert, weil jede rauhe Behandlung der Scheiben vermieden wird und auch kaum Druckkräfte auf die Seitenkanten der Scheiben ausgeübt werden. Die in den Unteransprüchen genannten Merkmale unterstützen die Wirkung dieser Maßnahme. Wesentlich ist dabei, daß Seitenwände und Endwände je für sich versteift werden. Dabei sind nach außen vorragende Rippen auf der Außenseite des Mittelabschnitts der- ~1-förmigen Endwandung des Trägers vorgesehen; diese Rippen auf den Endwandungen enden im Abstand von aufrechten Ausfluchtungsschienen auf der Außenseite der Endwandung und nahe der Seitenwandung. Die Rippen auf der Querfläche der H-förmigen Endwandung in der besonderen Konstruktion, daß sie mit ihren Enden im Abstand von den Ausfluchtungsschienen li$gen, tragen merkbar dazu bei, das Verwinden des Trägers zu verhindern, wenn dieser extrem heißen Bädern ausgesetzt wird.
• Weitere Merkmale der Erfindung sind abwärts ragende Verlängerungen der Seitenwandungen bis unter die Unterkante der Endwandungen und unter die untersten Enden der vorstehenden Ausfluchtungsschienen an den Endwandungen. Auch dies trägt dazu bei, den Träger verwindungssteif bei hohen Temperaturen zu machen Die nach außen von den Seitenwänden vorstehenden Längsrippen halten in unerwartet starkem Maße das nach einwärts Ausbeulen der Seitenwände minimal, so daß nur sehr geringe Kompressionsdruckkräfte vom Träger auf die Kanten der Scheiben ausgeübt werden. Bruch der Scheiben wird damit minimal gehalten, und auch das Entnehmen der Scheiben aus dem Träger wird nicht behindert. Die Spülsch~litze, die sich in Vertikalrichtung sowie auch in Querrichtung durch die Schrägabschnitte der Seitenwandungen öffnen, erlauben einen wirksamen Durchtritt von Bearbeitungsflüssigkeiten über die im Träger angeordneten Scheiben. Dies ist besonders nützlich bei Zentrifugalbearbeitungsvorgängen der Scheiben in dem Träger bei Rotationsachsen parallel zu der Achse, die sich in Endrichtung durch die im Abstand ausgefluchtet im Träger angeordneten Scheiben erstreckt. Da sich die Scheibeneinschlußflächen im oberen Bereich der Seitenwände nach unten bis unter die Mitte der Scheiben erstrecken, brauchen die Scheiben, wenn sie aus dem Träger oder in den Träger rollen, nicht über irgendwelche Kanten von Flächen zu laufen oder irgendwelche Vertiefungen oder andere erhebliche Hindernisse zu überwinden.
• Ein Ausführungsbeispiel des Gegenstandes der Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert.
• Fig. 1 ist eine Seitenansicht des Korbes, wobei ein Teil weggebrochen ist und die Darstellung teilweise im Schnitt erfolgt, Fig. 2 ist eine Draufsicht, wobei Teile weggebrochen und Teile geschnitten dargestellt sind, Fig. 3 ist eine Endansicht des Korbes, Fig. 4 zeigt eine Detailschnittdarstellung, etwa nach Linie 4-4 der Fig. 2 und Fig. 5 ist eine Ansicht des Korbendes von d#anderen Seite als Fig. 3 gesehen.
• Eine Ausführungsform des Gegenstandes der Erfindung ist in den Zeichnungen dargestellt und wird nachstehend beschrieben. Der Korb insgesamt ist mit 10 bezeichnet und umfaßt ein einstückig und einteilig aus PFA-Teflon geformtes Behältnis (PFA-Teflon = Perfluorpalkoxy-substituiertes Polytetrafluoräthylenharz); auch andere geeignete Kunststoffe können eingesetzt werden, wenn sie hohen Temperaturen ~in der Größenordnung von 180 bis 2000C standhalten und ebenso hochwiderstandsfähig sind gegenüber aggressiven Chemikalien, während der Bearbeitung von Silciumplatten W, die bei der Herstellung von integrierten Schaltkreischips eingesetzt werden.
• Das Behältnis 11 umfaßt zwei Seitenwandungen 12 und 13 sowie ein Paar von Endwandungen 14 bzw. 15. Das Behältnis 11 ist an seiner Oberseite 16 offen, so daß die Platten W durch diese öffnung in das Behältnis eingesetzt und entnommen werden können1 und auch der Boden 17 ist offen, so daß die bei der Bearbeitung der Platten W, die in den Korb eingesetzt werden, benutzten Flüssigkeiten leichten Zugang finden.
• Die Seitenwandungen 12 und 13 haben voneinander einen Abstand, der etwas größer ist als der Durchmesser der Platten W und haben eine Gesamthöhe, die ebenfalls etwas größer ist als der Durchmesser der Platten W, so daß die Platten W von dem Behältnis vollständig aufgenommen oder umschlossen werden.
• Jede der Seitenwandungen 12 und 13 ist bei 18 nach innen abgewinkelt, so daß der offene Boden 17 etwas schmaler ist als die obere oeffnung 16. Die Seitenwandungen 12 und 13 umfassen schräg angeordnete Plattenabstützflächen 19 und 20, die tangential verlaufen bezüglich eines Kreises mit dem Durchmesser der Platten W derart, daß die Kanten der Platten in dem Korb in Kontakt gelangen und unterstützt werden.
• Die Seitenwandungen 12 und 13 weisen ferner vertikal verlaufende Distanzschienen 21 bzw. 22 auf, die von den unteren Kantenabschnitten der Plattenabstützflächen 19 bzw. 20 abwärts ragen. Diese Distanzschienen 21 und 22 dienen als Füße für das Behältnis, um auf der Oberfläche eines Supports aufzustehen, während zugleich die unteren Kantenabschnitte der Platten W in angemessenem Abstand weiter oben liegen und so geschützt sind.
• Die oberen Abschnitte der Seitenwandungen 12 und 13 weisen Plattenabstützflächen 23 und 24 auf, die sich von einem zum anderen Ende des Behältnisses erstrecken und nach unten von den oberen Rippen 25 bzw. 26 bis zu einer Stelle etwa in der Mitte der Seitenwandhöhe reichen. Die unteren Abschnitte der Flächen23 und 24 sind ebenfalls tangential bezüglich desselben Kreises wie die Flächen 19 und 20 so daß diese unteren Bereiche 23.1,~24.1 tangential verlaufen bezüglich der runden Platten W und diese gegen größere seitliche Bewegungen abstützen, was sich Fig. 4 entnehmen läßt.
• Diese Seitenwandungen sind ferner mit~vorstehenden Plattendistanzrippen 26 bzw. 27 versehen, die sich vertikal abwärts längs der Flächen 23 und 24 erstrecken und bei 18 abgewinkelt verlaufen und sich dann schräg abwärts längs der Stützflächen 19 bzw. 20 erstrecken.
• Die Distanzrippen 26 bzw. 27 stehen einander gegenüber und haben Abstände voneinander derart, daß die Platten Aufnahmenuten 28 bzw. 29 zwischen ihnen ergeben.
• Man erkennt ferner, daß die Seitenwandungen 12 und 13 außerdem mit einer Vielzahl von Flüssigkeitsspülschlitzen 30 und 31 zwischen den Plattendistanzrippen 26 und 27 im unteren Bereich der Seitenwandungen versehen sind. Die Spülschlitze erstrecken sich vertikal von den unteren Kanten 23.1 und 24.1 der Stützflächen 23 und 24 abwärts über die Abschrägung 18 hinaus bis zu den oberen Kanten der Plattenstützflächen 19 und 20. Man erkennt, daß die Spülschlitze 30 und 31 sich vertikal durch den schrägen Abschnitt der Seitenwandungen erstrecken, so daß ein vertikaler Durchtritt von Flüssigkeit durch diese Schlitze ermöglicht wird, wie auch im übrigen durch den offenen Boden 17 des Behältnisses. Demgemäß wird die Möglichkeit geschaffen, daß Spül- und andere Flüssigkeiten durch den Korb und über die Platten fließen können.
• Die Seitenwandungen 12 und 13 sind mit langgestreckten kanalartigen Versteifungsschienen 32 und 33 versehen, die einstückig angeformt sind und sich über die gesamte# Länge der Stützflächen 23 und 24 im wesentlichen zwischen den Enden des Behältnisses erstreckt. Die Versteifungsschienen 32 und 33 öffnen sich mit ihrer Kanalrinne nach unten und befinden sich unmittelbar nahe den unteren Abschnitten 23.1, 24.1 der Flächen 23 bzw. 24 und in ziemlich großem Abstand unterhalb der oberen Lippen 25 und 26 der Seitenwände.
• Man erkennt, daß die Plattenabstützflächen 23 und 24 Versetzungen 34.1 bzw. 35.1 an ihren Enden nahe den letzten Plattenaufnahmenuten 28 und 29 aufweisen, jedoch im Abstand von den Endwand#ungen 14 und 15. Die Wandungsversteifungsschienen 32 und 33 enden kurz vor den Versetzungen 34. 1, 35.1.
• Aus Fig. 4 entnimmt man, daß die Wandungsversteifungsschienen 32 abwärtsragende Lippen an ihren Außenkanten aufweisen, so daß sidiabwärtsgerichtete. Kanalöffnungen 32.1 und 33.1 ergeben.
• Die Endwandung 14 ist im wesentlichen H-förmig und erstreckt sich zwischen den Seitenwandungen 12 und 13. Sie weist eine Querfläche 34 auf und Lappenabschnitte 35, die im wesentlichen dreieckig sind zur Versteifung der Endwandung und zum Minimalhalten von Bewegungen der Seitenwandungen 12 und 13 relativ zu den Endwandungen. Die Endwandung 14 hat außerdem untere Lappenabschnitte 36, die ebenfalls mit den Seitenwandungen zusammenhängen Die Endwandung 14 ist mit einem Paar von langgestreckten Versteifungs- oder Verdrehsicherungsrippen 37 versehen, die voneinander im Abstand angeordnet sind und sich quer über die gesamte Breite der Endwandung 14 im Abstand von den Seitenwandungen 12 und 13 erstrecken~ Im Hinblick auf die Tatsache, daß zwei solche ~ Rippen 37 vorgesehen sind, die sich im wesentlichen über die gesamte Breite der Endwandung 14 erstrecken, jedoch im Abstand von den Seitenwandungen enden, wird die Endwandung 14 erheblich versteift und gegen Verwindung geschützt Da ferner die Rippen 37 mit ihren Enden im Abstand zu den Seitenwandungen 12 und 13 vorgesehen sind, führt eine etwaige Deformation der Seitenwandungen nicht notwendigerweise zu einer Deformation der-Endwandungen, die durch dieRippen 37 versteift sind.
• Die Seitenwandungen 12 und 13 haben vertikale Ausfluchtungsschienen 38 und 39, die in Querrichtung ebenfalls im Abstand auswärts von den Enden der Versteifungsrippen 37 angeordnet sind.
• Man erkennt aus Fig. 3, ~daß die Endwandung 14 an Plattenabstützflächen 19 und 20 endet, und daß die hochstehenden Flächen 21 und 22 natfih unten leber den Boden der Endwandung 14 hinausragen. In ähnlicher Weise erstrecken sich die zum Ende hin vorkragenden Ausfluchtungsschienen 38 nach unten von der Oberseite der Seitenwandungen, jedoch nur bis zu den Plattenabstützflächen 19 und 20.
• Beim Einsatz des Korbes 1o werden üblicherweise 25 Platten W in dichtem Abstand voneinander in die Nuten 28 und 29 eingesetzt und abgestützt-von den Flächen 19 und 20 der Seitenwandungen, sowie geschützt von den hochstehenden Flächen 23 und 24. Wenn der Korb mit den Platten in heiße Bäder mit Temperaturen in der Größenordnung von 180 bis 200°C eingesetzt wird, wird der Kunststoff des Korbes erweicht. Die kanalförmigen Versteifungsschienen. 32 und 33 jedoch, die zwischen den Vertikalenden der Seitenwandungen vorgesehen sind, verhindern ein Ausbeulen der Seitenwandungen in Einwärtsrichtung auf die Platten zu. Da die Versteifungsrippen 32 und 33 kurz vor den Enden der Flächen 23 und 24 im Abstand von den Versetzungen 34.1 und 35.1 enden, haben irgendwelche Deformationen anderer Teile des Korbes nur minimalen Einfluß auf die Seitenwandungen, und die Seitenwandungen werden notwendigerweise verwunden oder ausgebeult infolge irgendwelcher Störungen bei anderen Teilen des Korbes.
• In etwa ähnlicher Weise wirken die Rippen 37 zusammen beim Unterbinden von Verwindungen der Endwandung 14. Da die Enden dieser Rippen 37 im Abstand von den Seitenwandungen liegen, wird die Endwandung 14 versteift unabhängig von irgendwelchen Störungen oder Bewegungen in den Seitenwandungen 12 und 13. Demgemäß tragen die Versteifungsrippen 37 erheblich dazu bei, den Korb 1o als Ganzes formstabil zu halten Die Spülschlitze 30 und 31 ermöglichen das Fließen von Flüssigkeit durch sie hindurch in Vertikalrichtung und parallel zu-den Flächen 23 sowie in Richtungen quer zu dem Korb in Horizontalrichtung und senkrecht zu den Flachen 23 und 24. Diesbezüglich ist festzuhalten, daß die oberen Kanten der Flächen 19 und 20 voneinander einen Abstand haben, der erheblich geringer ist als der Abstand zwischen den Flächen 23 und 24.
• Deformationen des Korbes werden ferner erheblich verringert durch Verkürzung der Endwandunqen 14 und 15 nahe ihren unteren Kanten, so daß cSle gesamten hochstehenden Flächen 21 und 22 nach unten von den unteren Abschnitten der Endwandungen 14 und 15 erstrecken.
• Die Endwandung 15 erstreckt sich im wesentlichen von oben nach unten bezüglich des Korbes 11 mit Ausnahme der Oberkante der Endwandung 15, die einen abwärtsgerichteten Ausschnitt aufweist bis etwas unter die Höhe der Lippen 25 und 26 der Seitenwandungen. Die Endwandung 15 hat eine im wesentlichen bogenförmige Rippe 15.1, die sich zwischen den Seitenwandungen nahe dem unteren Abschnitt der Endwandung erstreckt. Die bogenförmige Rippe 15.1 ragt nach innen bezüglich des Korbes von der Endwandung 15 und hält die Deformation dieser Endwandung minimal, wenn der Korb extrem heißen Umgebungsbedingungen ausgesetzt wird, etwa in Bädern bei der Bearbeitung von Siliciumscheiben.
• Man erkennt, daß gemsiß der Erfindung zusammenwirkende: Rippen und Schientn an den Sei t('nw#ndunqen und den H-förmigen Endwandungen des Korbes vorgesehen sind, die, obwohl sie voneinander isoliert sind, zusammenwirken beim Sicherstellen der Formstabilität der Seiten- und Endwandungen, ohne daß eine trotzdem eintretende Deformationen einen erheblichen Einfluß auf die anderen Wandungen ausüben,womit ein Verwinden des Korbes als Ganzes unterbunden wird.

Claims (14)

1. P at e .n t a n s p r ü c h e Träger für Siliciumscheiben, die bei der Fertigung von integrierten Schaltkreischips bestimmten Arbeitsgängen unterworfen werden, gekennzeichnet durch einen rechteckigen Korb aus geformtem, gegen hohe Temperaturen und korrosive Chemikalien der Verarbeitungsbäder für die Siliciumscheiben widerstandsfähigen Kunststoff, der an der Oberseite für das Einsetzen und Entnehmen der Scheiben offen ist und einen offenen Boden aufweist sowie mit End- und Seitenwandungen versehen ist, wobei die Seitenwandungen einen oberen Abschnitt mit einer Scheibeneinschließfläche zwischen Ober-und Unterende der Wandung im Eingriff mit den Kanten von in den Korb eingesetzten Scheiben, sowie einen demgegenüber versetzt verlaufenden unteren Abschnitt aufweisen mit einer Scheibenstützfläche, die schräg verläuft relativ zu den Scheibeneinschlußflächen und wobei die Seitenwandungen ferner eine Mehrzahl von einstückig angeformten Scheibendistanzrippen.auf der Innenseite aufweisen, die eine Mehrzahl von Scheibenaufnahmenuten zwische n einander begrenzen, wobei jede der Seitenwandungen ferner eine Mehrzahl von Durchflußspülschlitzen zwischen den Distanzrlppen besitzen, und wobei jede der Seitenwandungen eine langgestreckte Wandungsversteifungsschiene einstückig an die Scheibeneinschlußfläche angeformt aufweist, die sich an der Außenseite der Wandung befindet und sich horizontal längs der Flächen länge an einer Stelle zwischen Ober-und Unterseite der Seitenwandung erstrecken, welche Schiene das Einwärts ausbeulen der Seitenwandungen und Festklemmen der Scheibeneinschlußflächen an die Kanten der Scheiben verhindert, wenn der Träger den hohen Badtemperaturen während der Verarbeitung der Scheiben ausgesetzt wird.
2. 2. Träger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandungsversteifungsschienen auf den Seitenwandungen mit ihren Enden in Abstand von den Endwandungen des Korbes liegen zum Minimalhalten von Verformungen der Seitenwandungen unabhängig vom Einfluß von Verformungen der Endwandungen unter den Umgebungsbedingungen hoher Temperatur, womit ingesamt -die Verwerfung des Korbes als Ganzes minimal gehalten wird.
3. 3. Träger nach Anspruch 1, dadurch# gekennzeichnet, daß die Scheibeneinschlußflächen jeder Seitenwandung elne Winkelabsetzung an ihren Enden aufweisen nahe der endseitigen Scheibendistanzrippe und -aufnahmenut, wobei sich die Enden der Wandungsversteifungsschienen bis zu# den Abwinkelungen der Scheibeneinschlußflächen erstrecken.
4. 4. Träger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Scheibenstützflächen schräg bezüglich der Vertikalen verlaufen und tangential bezüglich eines Kreises mit der Größe einer Scheibe, daß die Scheibeneinschlußflächen aufrecht verlaufen und einen unteren Abschnitt aufweisen, der ebenfalls tangential bezüglich #desselben Kreises--verläuft, und daß die Wandungsversteifungsschienen auf den Seitenwandungen nahe den unteren Abschnitten der Scheibeneinschlußfläche angeordnetsind.
5. 5. Träger nach-Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandungsversteifungsschienen im wesentlichen kanalförmig sind mit abwärtsragenden äußeren Kantenabschnitten und einer Längsnut, die sich nach unten erstreckt.
6. 6. Träger für Siliciumscheiben, die bei der Fertigung von integrierten Schaltkreischips bestimmten Atbeitsgängen unterworfen werden, gekennzeichnet durch einen rechteckigen Korb aus geformtem, gegen hohe Temseraturen und korrosive Chemikalien der Verarbeitungsbäder für die Siliciumscheiben widerstandSfä1#ige#nKunststoff, der an der Oberseite für das Einsetzen und Entnehmen der Scheiben offen ist und einen offenen Boden aufweist sowie mit End- und Seitenwandungen versehen ist, wobei die Seitenwandungen.einen oberen Abschnitt mit einer Scheibeneinschließfläche zwischen Ober- und Unterende der Wandung im Eingriff mit den Kanten von in den Korb eingesetzten Scheiben, sowie einen demgegenüber versetzt verlaufenden unteren Abschnitt aufweisen mit einer Scheibenstützfläche, die schräg verläuft relativ zu den Scheibeneinschlußflächen und wobei die Seitenwandungen eine Mehrzahl von einstückig angeformten Scheibendistanzrippen auf der Innenseite aufweisen, die eine Mehrzahl von Scheibenaufnahmenuten zwischeneinander begrenzen, und wobei eine der aufrechtverlaufenden Endwandungen im wesentlichen 11-förmige Kontur aufweist mit einer Querfläche, die sich zwischen den Seitenwandungen erstreckt und mit einem Paar von im Abstand liegenden, zueinander parallelen auswärts vorkragenden Antiverwindungsrippen versehen ist, die einstückig mit der Wandung geformt sind und sich horizontal erstrecken im Abstand von den Seitenwandungen, so daß sie die Deformation der Querfläche der Endwandung minimal halten, unabhängig vom Einfluß etwaiger Verformungen der Seitenwandungen unter den Umgebungsbedingungen hoher Temperatur, womit insgesamt die Deformation des Korbes minimalgehalten wird.
7. 7 Träger nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Scheibeneinschlußflächen mit ihren Unterkanten in der Mitte der Höhe der. Seitenwandungen angeordnet sind, und daß das Paar von Anti-Verwerfungsrippen auf den Endwandungen ebenfalls auf einer Höhe angeordnet ist, die im wesentlichen zwischen der Höhe der Seitenwandungen liegt.
8. 8. Träger nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die versetzten unteren Abschnitte der Seitenwandui en nach untenragende Kanten aufweisen, ciLe vollcWlnatnclzBr L'I zitn Abstand besitzen, der erheblich kleiner ist als der Abstand zwischen den Platteneinschlußflächen der Seitenwandungen, wobei die Anti-Verwerfungsrippen eine Länge besitzen, die erheblich größer ist als dieser Abstand zwischen den unteren Kanten der Seitenwandungen.
9. 9. Träger nach Anspruch 6, gekennzeichnet- durch ein Paar von starren, aufrechten Ausfluchtungsschienen, die einstückig an die H-förmige Endwandung angeformt sind und jeweils nahe benachbarten Seitenwandungen liegen, wobei diese Ausfluchtungsschienen sich nach außen von der.H-förmigen Endwandung im Abstand bezüglich der Enden der Anti-Verwerfungsrippen befinden.
10. 10. Träger für Siliciumscheiben während ihrer.chemischphysikalischen Behandlung im Zuge der Fertigung von integrierten Schaltkreischips, gekennzeichnet durch einen rechteckigen Korb aus geformtem, hohen Temperaturen und korrosiven Chemikalien im Zuge der Chip-Fertigung resistenten Kunststoff mit einer offenen Oberseite zum Einsetzen und Entnehmen von Scheiben und mit einem offenen Boden, welcher Korb Endwandungen und Seitenwandungen aufweist, wobei jede Seitenwandung einen oberen Abschnitt aufweist mit einer Scheibeneinschlußfläche zwischen der Höhe der -Wandung in Anlage an den Kanten der in den Korb eingesetzten Scheiben sowie mit einem dazu versetzten unteren Abschnitt mit einer Scheibenabstützfläche, die schräg verläuft gegenüber der Scheibeneinschlußfläche, wobei jede Seitenwandung ferner mit einstückig angeformten Scheibendistanzrippen auf ihrer Innenseite versehen ist zur Begrenzung einer Vielzahl von Scheibenaufnahmenuten dazwischen, welche Scheibendistanzrippen sich vertikal nach unten längs der Sc-ieibeneinschlußfläche erstrecken und schräg abwärts an dem versetzten unteren Abschnitt der Seitenwandung und längs der Scheibenabschlußfläche, wobei jede Seitenwandung langgestreckte Spülschlitze zwischen benachbarten Scheibendistanzrippen aufweist zum Ermöglichen der Durchströmung von Flüssigkeit, welche Spülschlitze sich zwischen der unteren Kante der Scheibeneinschlußfläche und der oberen Kante der schrägen Scheibenabstützfläche erstrecken, wobei die oberen Kanten der schrägen Scheibenabstützflächen voneinander in einem Abstand angeordnet sind, der deutlich kleiner ist als der Abstand zwischen den unteren Kanten der Scheibeneinschlußflächen, so daß die Spülschlitze in dem versetzten unteren Abschnitt der Seitenwandung eine merkbare vertikal aufwärts und abwärts gerichtete Strömung von Flüssigkeit durch sie hindurch ermöglichen, aber ebenso auch eine quer verlaufende Flüssigkeitsströmung durch die Schlitze.
11. 11. Träger nach Anspruch lo, dadurch gekennzeichnet, daß der untere Abschnitt jeder Seitenwandung eine hochstehende Verlängerungsfläche umfaßt, die von der unteren Kante der schrägen Scheibenstützfläche nach abwärts ragt und einen weiten Abstand von der anderen gegenüberliegenden Verlängerungsfläche aufweist, wobei der offene Boden des Korbes begrenzt ist.
12. 12. Träger nach Ansprüchen# 1 und 6,dadurch gekennzeichnet, daß die Versteifungsschienen der Seitenwände im Abstand bezüglich der Endwandungen des Korbes angeordnet sind, so daß die Seitenwandungen gegen Verformung geschützt werden unabhängig von einer etwaigen Verformung der Endwandungenbei Umgebungsbedingungen hoher Badtemperaturen, womit insgesamt ein Verwerfen des Korbes minimalgehalten wird.
13. 13. Träger nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandungsversteifungsschienen an den Seitenwandungen im wesentlichen kanalförmig sind mit einem abwärtsragenden äußeren Kantenabschnitt und sich nach unten öffnenden Längsnuten.
14. 14. Träger nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Endwandungen untere Abschnitte aufweisen, die sich nach unten nur bis zu dem abgeschrägt verlaufenden unteren Abschnitt der Seiten- wandungen erstrecken, und daß die unteren Abschnitte jeder Seitenwandung einen lotrecht verlaufenden Verlängerungsabschnitt aufweisen, der von der Unterkante der schrägen Scheibenabstützfläche nach unten ragt, wobei die beiden Verlängerungsabschnitte im weiten Abstand einander gegenüberstehen und den offenen Boden des Korbes begrenzen.