DE3131213C2 - Mikrowellenheizvorrichtung - Google Patents

Mikrowellenheizvorrichtung

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DE3131213C2
DE3131213C2 DE3131213A DE3131213A DE3131213C2 DE 3131213 C2 DE3131213 C2 DE 3131213C2 DE 3131213 A DE3131213 A DE 3131213A DE 3131213 A DE3131213 A DE 3131213A DE 3131213 C2 DE3131213 C2 DE 3131213C2
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conductor
coaxial line
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Yoshio Hirakata Osaka Yasuoka
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Abstract

Die Mikrowellenheizvorrichtung weist eine Streifenleitung auf, die von einem Koaxialkabel mit einem Mikrowellensignal versorgt wird. Die Streifenleitung weist einen zentralen Stromleiter auf, der auf einer dielektrischen Grundplatte ausgebildet ist, deren Rückfläche mit einem Masseleiter versehen ist, wobei eine Vielzahl von Schlitzen verteilt in der Ausbreitungsrichtung der Mikrowelle auf dem Zentralleiter oder dem Masseleiter angeordnet sind, um so einen Leiterschaltkreis zu bilden. Das zu heizende Material, wie z.B. Papierblätter, wird zum Leiterschaltkreisteil übertragen, wo es aufgeheizt wird durch die Mikrowellen, die durch die Schlitze im Zentral- oder Masseleiter herauslecken.

Description

Die Erfindung betrifft eine Mikrowellenheizvorrichtung mit einem Schlitzstralilerteil, dem das zu 'beheizende Material ausgesetzt wird, und mit eintr Zuführungsvorrichtung für Mikrowellen zum Schlitzstrahlerteil.
Es ist bekannt, Material mit Hilfe von Mikrowellen aufzuheizen. Wenn aber ein Material aufgeheizt wird, das im Vergleich zu seinem Volumen eine sehr große Oberfläche hat, wie z. B. ein Papierblatt, wird bei der Verwendung von herkömmlichen Mikrowellenheizvorrichtungen der Wirkungsgrad verringert, so daß die elektrische Feldstärke der Mikrowellen vergrößert werden muß. Daher war es kaum möglich, durch konventionelle Mikrowellenheizvorrichtungen blattförmiges Material effektiv und gleichförmig aufzuheizen.
Kürzlich wurde eine Mikrowellenheizvorrichtung "vorgeschlagen, die in der Lage ist. blattförmiges Material aufzuheizen. Zu dieser wird ein rechteckiger Hohlleiter verwendet, wie dies z. B. in der japanischen Patentschrift Nr. 373/1980 offenbart ist Fig. 1 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Teils eines Beispiels einer herkömmlichen Mikrowellenheizvorrichtung, welche den Hintergrund der Erfindung bildet. Die herkömmliche Mikrowellenheizvorrichtung i/eist einen rechteckigen Hohlleiter 1 auf, der Streuöffnurtgen 2 in seiner oberen Fläche aufweist. Wenn Mikrowellen von z. B. 2450 MHz an den rechteckigen Wellenleiter 1 angelegt werden, werden die Mikrowe!!en durch die öffnungen 2 nach außen gestreut Deshalb wird ein blattförmiges Material, wie z. B. ein Papierblatt das nahe an den Hohlleiter 1 herangebracht wird, durch die ausgetretenen Mikrowellen aufgeheizt Mit dieser herkömmlichen Lösung ist es möglich, ein blattförmiges Material oder die Oberfläche eines aufzuheizenden Materials einer bestimmten Dicke gleichförmig aufzuheizen.
Die herkömmliche Lösung gemäß Fig. 1 weist aber noch folgende Nachteile auf. Die Gr^ße des rechteckigen Hohlleiters von F i g. 1 hängt von Grenzfrequenz und Mode ab. Ist die gewählte Frequenz wie erwähnt 2450 MHz, müssen die inneren Abmessungen 109,2 mm χ 54,6 mm sein. Folglich nimmt die Mikrowel lenheizvorr.chiung.die den rechteckigen Hohlleiter von Fig. 1 verwendet viel Rausn em.
Andererseits war es auch bekannt, Mikrowdlenhei/ vorrichtungen /um 1 ifiiichinelzen eines Toners in einem elektrofotografischen Geräi zu verwenden. Neuerdmgs besteht große Nachfrage nach kleinen oder kompakten elektrofotografischen Geräten. Der Einbau von Mikro-
μ welleriheizvorrichiungen, die die oben beschriebenen rechteckigen Hohlleiter mit großem Volumen verwenden, macht es aber unmöglich, der Anforderung nach kleinen oder kompakten Geräten gerecht zu werden. Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine
ι -, Mikrowellenheizvorrichtung zu schaffen, die kompakten A.ifbau hat und billig herzustellen ist.
Die erfindungsgemäße Lösung besteht darin, daß die Mikrowellenheizvorrichtung eine Mikrostreifenleitung mit iinem Zentralster und einem MasseJeiter mit
an dazwischen liegendem Dielektrikum aufweist, wobei der Schlitzstrahlerteil dadurch ausgebildet ist, daß mindestens einer der vom Zentral- und Masseleiter gebildeten Leiter mit Schlitzen versehen ist.
Erfindungsgemäß kann auf den rechteckigen Hohlleiter mit großem Volumen, der herkömmlich verwendet wurde, verzichtet werden. Dadurch ist eine Mikrowellenheizvorrichtung von im Vergleich zu den herkömmlichen sehr kleinen Abmessungen geschaffen. Die erfindungsgemäße Mikrowellenheizvorrichtung kann deshalb vorteilhaft z. B. als Tonerfixiervorrichtung eines elektrofotografischen Kopiergerätes verwendet werden. Es ist aber selbstverständlich, daß die erfindungsgemäße Mikrowellenheizvorrichtung allgemein in den Fällen verwendet werden kann, bei denen ein blattförmiges Material oder die Oberfläche eines Materials mit gegebener Dicke gleichförmig aufgeheizt werden soll. Ferner reduziert die Verwendung der Mikrostreifenleitung statt des rechteckigen Hohlleiters die Materialkosten und Herstellungskosten im Vergleich zu den herkömmlichen erheblich.
Es ist zwar eine Mikrowellenheizeinrichtung mit einer leitenden Fläche und einem darauf aufgebrachten Dielektrikum bekannt, bei dem aber auf der vom Leiter entgegengesetzten Fläche des Dielektrikums kein weiterer Leiter angebracht ist (DE-OS 23 27 423). Em solcher Leiter würde auch zu einer vollständig anderen Konfiguration der Mikrowellenfelder führen, die bekanntlich sehr empfindlich auf Metallteile reagieren, so daß die in der vorbekannten Vorrichtung erstrebten
so Vorteile nicht mehr erreicht werden dürften. Das die erfindungsgemäß angestrebten Vorteile mit einem Schlitzstrahlerteil. der auf dem Dielektrikum angebracht ist, erreicht werden können, ist der Entgegenhaltung, die sich eher mit dem Aufheizen verhältnismäßig dicker Gegenstände beschäftigt, nicht einmal andeutungsweise zu entnehmen.
In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird eine Koaxialleitung verwendet, um die Mikrowelle an die Mikrostreifenleitung anzulegen. Die Koaxialleitung weist einen inneren und einen äußeren Leiter auf und der Zentralleiter oder der Masseleiter der Mikrostreifenleitung ist mit dem Zentralleiter der Koaxialleitung verbunden, während der Masseleiter oder der Zentralleiter der Mikrostreifenleitung mit dem äußeren Leiter der Koaxialleitung verbunden ist. Mindestens an einer der aus Mikrostreifenleitung und Koaxialleitung bestehenden Leitungen sind auch Mittel zur Impedanzanpassung vorgesehen.
31 31 2ί3
Um eine Impedanzanpassung auf der Seite der Mikrostreifenleitung zu erreichen, ist eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung so gestaltet, daß die Breite des Mittelleiters oder Masseieiters am Verbindungspunkt zwischen Mikrostreifenleitung und Koaxialleitung schmaler gemacht ist als die Breite des Schlitzstrahlerteils, und vorzugsweise ist die Breite des Zentralleiters oder Masseieiters der Mikrostreifenleitung so zugespitzt, daß sie sich in Richtung zur Koaxialleitung hin verengt. Durch die oben beschriebene bevorzugte Ausführungsform der Erfindung kann eine Impedanzanpassung der charakteristischen impedanzen der Mikrostreifenleitung und der Koaxialleitung leicht erreicht werden, wodurch die Mikrowellen effektiv durch die Verbindung zwischen Mikrostreifenleitung und Koaxialleitung übertragen werden können.
Im Falle, daß die Impedanzanpassung auf der Seite der Koaxialleitung erreicht wird, ist ein dielektrischer Teil mit einer vorbestimmten Dielektrizitätskonstante am Kupplungsteil und zwischen dem inneren und äußeren Leiter der Koaxialleitung befestigt. Die Länge des dielektrischen Materials ist vorzugsweise zu einem Viertel der effektiven Wellenlänge der benutzten Mikrowelle gewählt. Durch das Einfügen eines dielektrischen Materials zwischen innerem und äußerem Leiter der Koaxialleitung ist der Nachteil der Notwendigkeit einer vergrößerten Länge der Mikrostreifenleitung durch Impedanzanpassung auf der Seite der Mikrostreifenleitung vermieden, und folglich kann die Impedanzanpassung der charakteristischen Impedanzen der Mikrostreifenleitung und der Koaxialleitung leicht erreicht werden. Wird zusätzlich der innere Leiter der Koaxialleitung zugespitzt ausgestaltet, um in Richtung der Mikrostreifenleitung allmählich breiter zu werden, se werden unerwünschte Funken zwischen innerem und äußerem Leiter als Funktion des dielektrischen Materials vermieden.
Wird die Endfläche des dielektrischen Materials zwischen innerem und äußerem Leiter der Koaxialleitung auf der der Mikrostreifenleitung gegenüberliegenden Seite so gewählt, daß sie bezüglich der Achse der Koaxialleitung einen spitzen Winkel bildet, so werden Reflexionen der Mikrowellen am dielektrischen Material vermieden und folglich die Mikrowellen effektiver übertragen.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist eine Mikrostreifenleitung in einer Heizkammer untergebracht. Die Kammer weist eine Einführungsöffnung für das aufzuheizende Material in die Kammer auf und eine Auslaßöffnung zum Herausführen desselben aus der Kammer. Eine Vielzahl von dielektrischen Resonatoren des TE-Modes sind in der Heizkammer in Verbindung mit der Einlaß- und/oder Auslaßöffnung vorgesehen, um ein He^ausstreuen von Mikrowellen zu vermeiden. Die Resonanzfrequenz der dielektrischen Resonatoren ist verknüpft mit der Frequenz der Mikrowellen, deren Abstrahlung vermieden v/erden solL So kann durch Verwendung der dielektrischen Resonatoren zum Vermeiden des Herausleckens von Mikrowellen eine Leckverhinderungsvorrichtung von extremer Kleinheit im Vergleich zu den zum gleichen Zweck verwendeten sogenannten Drosselhohlräumer/ eingebaut werden.
Im folgenden wird die Erfindung anhand der Zeichnungen genauer beschrieben. Es zeigt
Fig. I eine perspektivische Ansicht eines Beispiels eines herkömmlichen Mikrowellenheizgerätes, welches den Hintergrund der Erfindung bildet:
Fig.2 eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Heizvorrichtung;
Fig.3 einen Querschnitt einer Variante der Ausführungsform von F i g. 2;
Fig.4 eine perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform;
Fig.5 und 6 Querschnitte des Hauptteiles einer weiteren Ausführungsform;
Fig.7 bis 9 Querschnitte zur Erläuterung der Anpassung der charakteristischen Impedanz auf der Seite der Koaxialleitung, wobei Fig.8 und 9 Querschnitte entlang der Linien VIII-VIII und IX-IX von F i g. 7 sind.
Fig. 10 einen Querschnitt durch eine weitere erfindungsgemäße Ausführungsform;
Fig. 11, 12A und 12B Schnittansichten weiterer erfindungsgemäßer Ausführungsformen;
Fig. 13 einen Schnitt durch eine Modifikation der Ausführungsform von F i g. 11;
Fig. 14 und 15 perspektivische Ansichten einer weiteren Modifikation, wobei Fig. 14 eine Draufsicht und F i g. 15 eine Bodenansicht sind;
Fig. 16 bis 18 eine erfindungsgemäße Heizkammer, wobei Fig. 16 ein Schnitt, Fig. Π eine Draufsicht und F i g. 18 eine perspektivische Ansicht ist; und
Fig. 19 eine Variante der Ausführungsform von Fig. 16.
F i g. 2 ist eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform der Erfindung. Die gezeigte Ausführungsform weist eine Mikrostreifenleitung 10, eine Koaxialleitung 20 zum Zuführen der Mikrowellen zur Mikrostreifenteitung «0 und eine Ersatzlast 30 auf. Die Mikrostreifenleitung 10 weist eine dielektrische Grundplatte 11 aus z. B. Aluminiumoxidkeramik auf, und auf der Oberfläche der dielektrischen Grundplatte 11 ist ein Zentralleiter 12 ausgebildet Der Zentralleiter 12 ist aus einem elektrisch gut leitfähigen Material, wie z. B. Silber gebildet, und in einem Teil des Zentralleiters 12 ist in Längsrichtung ein Schlitzstrahlerteil 13 ausgebildet Der Schlitzstrahlerteil 13 weist eine Vielzahl von Streuöffnungen oder Schlitzen 14 auf, die in Längsrichtung, d. h. der Ausbreitungsrichtung der Mikrowellen angeordnet verteilt sind. Die Mikfosireifenieitiirig !0 weist ferner eine Grundplatte oder einen Masseleiter 15 aus z. B. Silber oder Kupfer auf, der auf der Rückseite der dielektrischen Grundplatte 11 ausgebildet ist und daran anhaftet Die Koaxialleitung 20 weist einen inneren Leiter 21 und einen äußeren Leiter 22 auf, und der innere Leiter 21 ist mit dem Zentralleiter 12 der Mikrostreifenleitung 10 und der äußere Leiter 22 mit dem Masseleiter 15 verbunden. Alternativ können der Zentralleiter 12 der Mikrostreifenleitung 10 und der äußere Leiter 22 der Koaxialleitung 20 und der Masseleiter 15 und der innere Leiter 21 miteinander verbunden sein, da das durch die Mikrowellen angelegte elektrische Feld ein Wechselspannungsfeld ist. Genauer gesagt gibt es keine Beschränkung der Polarität zwischen innerem und äußerem Leiter 21 bzw. 22 der Koaxialleitung 20 und zwischen dem Zentralleiter 12 und dem Masseleiter 15 der Mikrostreifenleitung. Ein Mikrowellenoszillator, wie z.B. ein (nicht gezeigtes) Magnetron ist auf der Eingangsseite, d. h. in F i g. 2 links, der Koaxialleitung 20 vorgesehen, so daß die Koaxialleitung 20 mit Mikrowellen vom Mikrowellenoszülator versorgt wird, um dieselben an die Mikrostreifenleitung 10 zu leiten. Eine Ersatzlast 30 ist auf der der Eingangsseite gegenüberliegenden Seite der Mikrostreifenleitung 10 vorgesehen. Die Ersatzlast 30 ist so
bemessen, daß sie die nicht vom Leiterschaltkreis 13 verbrauchten Mikrowellen absorbiert, um dadurch den Mikrowellenoszillator zu schützen. Die Länge der Streuöffnungen oder Schlitze 14, d. h. die Länge in die Richtung, die die Ausbreitungsrichtung der Mikrowelle kreuzt, ist so gewählt, daß sie ein wenig kürzer als die Hälfte der effektiven Wellenlänge der benutzten Mikrowellen ist.
Durch die Koaxialleitung 20 werden bei Einschalten des nicht gezeigten Mikrowellenoszillators Mikrowellen an die Mikrostreifenleitung im oben beschriebenen Aufbau geliefert. Ein Teil der zugeführten Mikrowellen streut durch die jeweiligen Schlitze 14 im Schlitzstrahlerteil 13 im Zentralleiter 12 aus. Folglich wird ein blattförmiges aufzuheizendes Material 40, wie z. B. ein auf dem Schlitzstrahlerteil 13 angeordnetes Papierblatt durch die herausgestreuten Mikrowellen erhitzt. Durch Vorsehen einer nicht gezeigten Vorschubvorrichtung, wie z. B. eines nicht gezeigten Band- oder Walzenförderers, durch den das aufzuheizende Material in Pfeilrichtung transportiert wird, kann das aufzuheizende Material 40 nacheinander und kontinuierlich aufgeheizt werden.
Fig.3 ist eine Schnittansicht einer Variation der Ausführungsform von F i g. 2. In der Ausführungsform von Fig.3 sind die Mikrostreifenleitung 10 und Koaxialleitung 20 rechtwinklig miteinander verbunden. Eine Öffnung 15a ist im Masseleiter 15 der Mikrostreifenleitung 10 vorgesehen. Der innere Leiter 21 der Koaxialleitung 20 ist mit dem Zentralleiter 12 der Mikrostreifenleitung 10 durch die Öffnung 15a verbunden. Der äußere Leiter 22 der Koaxialleitung 20 ist mit dem Masseleiter 15 der Mikrostreifenleitung 10 z. B. mit Hilfe eines Flanschteils verbunden. So müssen die Mikrostreifenleitung 10 und die Koaxialleitung 20 nicht unbedingt, wie in Fig.2 gezeigt, in einer Ebene verbunden sein, sondern können auch rechtwinklig miteinander verbunden sein. Die oben beschriebene Verbindungsöffnung 15a ist vorzugsweise vom gleichen Durchmesser wie der innere Durchmesser des äußeren Leiters 22 der Koaxialleitung 20.
Da die vorliegende Erfindung die Mikrostreifenleitung 10 mit dem Schlitzstrahlerteil 13 verwendet, kann diese im Vergleich zu herkömmlichen mit einem Hohlleiter arbeitenden Geräten mit geringen Kosten und geringer Größe eingebaut werden. Da das elektrische Feld mit Hilfe des oben beschriebenen Schlitzstrahlerteils, konzentriert ausgebildet wird, kann Material in Blattform, wie z. B. Papierblätter effektiv aufgeheizt werden.
Fig.4 zeigt eine perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform der Erfindung. Im Vergleich zur Ausführungsform von Fig.2 zeichnet sich die gezeigte Ausführungsform aus durch eine Vorrichtung zur Impedanzanpassung ^wischen der Mikrostreifenleitung 10 und der Koaxialleitung 20. Die charakteristische Impedanz der Koaxialleitung 20 wird approximativ durch folgende Gleichung (1) ausgedrückt:
des inneren Durchmessers b des äußeren Leiters 22 und beträgt gewöhnlich etwa 50 Ω. Eine zu kleine charakteristische Impedanz vergrößert nur den Leiterwiderstand beim Zuführen von Mikrowellenleistung.
Auf der anderen Seite ist die charakteristische Impedanz der Mikrostreifenleitung ungefähr durch die folgende Gleichung (2) beschrieben:
Zo = * „ (2)
10
Zo
138 . b
—=- log —
■νε, α
wobei Br die relative Dielektrizitätskonstante des Mediums zwischen dem inneren und dem äußeren Leiter, a der Durchmesser des inneren Leiters und b der Durchmesser des äußeren Leiters sind. Die charakteristische Impedanz der Koaxialleitung 20 ist eine Funktion des Durchmessers a des inneren Leiters 21 und wobei Zr die relative Dielektrizitätskonstante der dielektrischen Grundplatte 11, h die Dicke der dielektrischen Grundplatte und c die Breite des Zentralleiters, d.h. die Länge in Querrichtung zur Mikrowellenausbreitungsrichtung sind. So wächst die charakteristische Impedanz der Mikrostreifenleitung 10, wenn die Dicke h der Basisplatte 11 vergrößert oder die Breite cdes Zentralleiters 12 verringert wird, vorausgesetzt, daß die Dielektrizitätskonstante der dielektrischen Grundplatte 11 konstant ist. Angenommen, daß Aluminiumoxid als Material der dielektrischen Grundplatte 11 verwendet wird, beträgt die Dielektrizitätskonstante 9. Angenommen, daß die Dicke h der dielektrischen Grundplatte 11 bzw. die Breite e des Zentralleiters 2 mm sind, ist die charakteristische Impedanz ungefähr 50 Ω, was bedeutet, daß eine Impedanzanpassung zur oben beschriebenen Koaxialleitung 20 erreicht ist. Die vorliegende Erfindung verwendet aber den Leiterschaltkreisteil 14, der eine größere Breite als der Zentralieiter hat. Die Länge der Schlitze im Schlitzstrahlerteil 13 ist so gewählt, daß sie etwas kürzer ist als die Hälfte der effektiven Wellenlänge der verwendeten Mikrowelle, wie oben beschrieben. Folglich ist, vorausgesetzt, daß die Frequenz der verwendeten Mikrowellen z. B. 2450 MHz ist, die Breite des Zentralleiters 12 im Schlitzstrahlerteil 13 mindestens 20 mm. Folglich wird die charakteristisehe Impedanz der Mikrostreifenleitung 10 beim Schlitzstrahjerteil 13 extrem klein im Vergleich zum Teil ohne den Schlitzstrahlerteil 13 mit der Folge, daß die Impedanz der Koaxialleitung 20 und der Mikrostreifenleitung 10 mit dem Schlitzstrahlerteil 13 verstimmt sind.
Die Beispiele von F i g. 4 und folgende zielen auf eine spezielle Struktur zum Erreichen einer Impedanzanpassung zwischen der Mikrostreifenleitung 10 Mnd der Koaxialleitung 20.
In F i g. 4 ist im Zentralleiter 12 der Mikrostreifenleitung 10 ein schmaler Teil J2a ausgebildet. Der enge Teil 12a ist zugespitzt ausgebildet, um vom Schlitzstrahlerteil 13 zum Verbindungspunkt \2b, d. h. zur Koaxialleitung 20 hin allmählich enger zu werden. Die Breite ist im Verbindungspunkt 126 ungefähr 2 mm. Da der enge Teil 12a im Zentralleiter 12 ausgebildet ist und dieser zugespitzt ist, um zum Verbindungspunkt mit der Koaxialleitung 20 hin allmählich enger zu werden, wächst die charakteristische Impedanz der Mikrostreifenleitung 10, wie aus der oben beschriebenen (1) 60 Gleichung (2) zu sehen ist, so daß diese ungefähr mit der charakteristischen Impedanz der koaxialen Leitung 20 übereinstimmt. So können die Mikrowellen effizient von der Koaxialleitung 20 zur Mikrostreifenleitung 10 übertragen werden.
F i g. 5 und 6 zeigen im Schnitt den Hauptteil einer anderen Ausführungsform der Erfindung. Die Ausführungsform der Fig.5 und 6 zielt darauf, eine Impedanzanpassung an die charakteristische Impedanz
der Koaxialleitung 20 durch Veränderung der Dicke h der dielektrischen Grundplatte 11 in der oben beschriebenen Gleichung (2) und durch Vergrößerung der charakteristischen Impedanz der Mikrostreifenleitung 10 zu ereichen. Im Fall der in Fig.5 und 6 gezeigten Ausführungsform wird die Dicke der dielektrischen Grundplatte 11 in der Mikrostreifenleitung 10 vom Schlitzstrahlerteil 13 in Richtung auf die Verbindungsstelle 126 allmählich vergrößert Durch das allmähliche Vergrößern der Dicke der dielektrischen Grundplatte 11 kann die charakteristische Impedanz am Eingangsende der Mikrostreifenleitung 10 ungefähr gleich der der Koaxialleitung 10 gemacht werden. Im Falle der Ausführungsform von Fig.5 wird der Zentralleiter 12 der Mikrostreifenleitung 10 flach gehalten, während die Dicke der Grundplatte 11 so geändert wird, daß der Masseleiter 15 einen geneigten Teil 156 aufweist Umgekehrt wird in der Ausführungsform von F i g. 6 die Dicke der dielektrischen Grundplatte 11 so geändert daß der Masseleiter 15 flach bleibt und der Zentralleiter 12 geneigt ist Durch Änderung der Dicke der die elektrischen Grundplatte 11, so daß der Masseleiter 15 das geneigte Teil 15f> bildet, wie im Falle der Ausführungsforrn von F i g. 5, hat der geneigte Teil 156 die Funktion eines Stegs, und folglich kann die elektrische Feldstärke der Mikrowellen, die aus dem Schlitzstrahlerteil 13 herausstreuen, vergrößert werden. Das gleiche gilt für die Ausführungsform von F i g. 6.
F i g. 7 zeigt einen Querschnitt einer anderen Lösung zum Vermeiden der Nachteile der Ausführungsformen von F i g. 4 bis 6.
Im Falle, daß die charakteristische Impedanz der Koaxialleitung 20 auf ungefähr 50 Ω gehalten wird und die charakteristische Impedanz am Verbindungspunkt der Mikrostreifenleitung 10 daran angepaßt ist oder dem angenähert ist, wird die Länge der Mikrostreifenleitung in Ausbreitungsrichtung der Mikrowellen, d. h. der Abstand zwischen dem Schlitzstrahlertell 13 und dem Verbindungspunkt 12b, groß. Deshalb kann eine andere Lösung in Erwägung gezogen werden, in welcher ein Teil 21a mit großem Durchmesser im inneren Leiter 21 der Koaxialleitung 20 vorgesehen ist wie in den F i g. 7 bis 9 gezeigt ist. Der innere Leiter 2i der Koaxialleitung 20 ist so gestaltet, daß sein Durchmesser a am Eingang und am Ausgang der Mikrowellen verschieden ist, wie in F i g. 8 und 9 gezeigt ist, und daß der Durchmesser am Ausgang größer ist als am Eingang. Da die Impedanzanpassung zwischen beiden erreicht wird nicht durch Veränderung der charakteristischen Impedanz der Mikrostreifenleitung 10, wenn die oben beschriebene Ausführungsform verwendet wild, wird der Abstand zwischen dem Schlitzstrahlerteil 13 der Mikrostreifenleitung 10 und dem Verbindungspunkt 126 nicht unerwünscht verlängert, wie in F i g. 7 gezeigt. Ein zu großer Durchmesser des inneren Leiters 21 und damit ein zu geringer Unterschied zwischen den Durchmessern des inneren Leiters 21 und dem inneren Durchmesser des äußeren Leiters 20 kann aber Funkenüberschläge zwischen dem inneren Leiter 21 und dem äußeren Leiter 22 aufgrund der Mikrowellenleistung verursachen.
Deshalb zeigen die Fig. 10 bis 13 Ausführungen, die auf der Seite der Koaxialleitung Impedanzanpassungsvorrichtungen vorsehen, die keine Funken befürchten lassen. Die Ausführungsform von Fig. 10 weist die dielektrischen Materialien 23a, 236 und 23c auf, die am Ausgangsende der Koaxialleitung 20 eingefügt sind. Die dielektrischen Teile 23a, 236 und 23c haben unterschied-
liehe dielektrische Konstanten εΛ ε* und εο welche so gewählt sind, daß Ea<eb<ec- Allgemein treten, wenn verschiedene dielektrische Materialien laminiert geschichtet werden und eine Mikrowelle in der Laminationsrichtung sich ausbreitet, in der Lamellierung Vielfach-Reflexionen auf. Wenn aber die Dicke des dielektrischen Materials, d.h. die Länge in Ausbreitungsrichtung der Mikrowelle so gewählt ist, daß sie ein Viertel, der effektiven Wellänge der Mikrcvelle ist, werden die oben beschriebenen Reflexionen von den jeweiligen Lamellenebenen gelöscht wodurch unerwünschte Reflexionen nicht auftreten. Deshalb sind in der Ausführungsform von Fig. 10 die jeweiligen Längen der dielektrischen Teile 23a, 236 und 23c so
gewählt daß sie — Aa, — A6 bzw. — Ac betragen. Aa, A6
und Ac bezeichnen jeweils eine effektive Wellenlänge einer durch das dielektrische Material propagierenden Mikrowelle. So werden durch Einfügen eines dielektrisehen Materials zwischen dem inneren Leiter 21 und dem äußeren Leiter 22 der Koaxialleitung 20 die charakteristische Impedanz Zo der Koaxialleitung 20 vermindert, wie aus der oben beschriebenen Gleichung (1) zu sehen ist Durch geeignete Auswahl der Dielektrizitätskonstante des dielektrischen Materials kann die charakteristische Impedanz der Koaxialleitung 20 weiterhin kleiner gemacht werden als die oben beschriebenen 50 Ω und kann an die charakteristische Impedanz der Mikrostreifenleitung 10 angenähert
werden. In der gezeigten Ausführungsform kann eine Impedanzanpassung an die Koaxialleitung 20 leicht erreicht werden, auch wenn der Abstand zwischen Schlitzstrahlerteil 13 und dem Verbindungspunkt 12 in der Mikrostreifenleitung 10 langgestreckt ist Ferner ist
es nicht notwendig, den Durchmesser des inneren Leiters 21 zu verändern, und folglich können auch keine unerwünschten Funken zwischen dem inneren Leiter 21 und dem äußeren Leiter 22 auftreten. Auch wenn keramische Materialien, wie Aluminiumoxid, Titanoxid usw. vorzuziehen sind, kann dielektrisches Materia! eines jeden Typs benutzt werden.
F i g. 11 zeigt einen wesentlichen Teil einer weiteren AüsiübrüiigsionT! der vcrüegeiiden Erfindung, Auch im Falle der Ausführungsform von Fig. 11 ist ein dielektrischer Teil 23 zwischen dem inneren Leiter 21 und dem äußeren Leiter 22 am Ausgangsende der Koaxialleitung 20 eingefügt. Die Mikrowelleneinpangsendfläche 23c/ des dielektrischen Teils 23 ist von konischer Form, so daß der Durchmesser in Ausbreitungsrichtung der Mikrowellen allmählich wächst, wohei der innere Leiter 21 im Mittelpunkt liegt, wie aus Fig. 12A und 12B klar wird. Mit anderen Worten: die Endfläche 23ddes dielektrischen Teils 23 ist so geformt, daß die Oberfläche den inneren Leiter 21 der Koaxialleitung 20 in einem spitzen Winkel kreuzt. In der Ausführungsform von F i g. 11 werden Mikrowellen, die von einem nicht gezeigten Mikrowellenoszillator zugeführt werden, in Abhängigkeit von der Endoberfläche 23c/zur Mikrostreifenleitung 10 zugeführt, ohne daß sie am dielektrischen Teil 23 reflektiert werden, und folglich mit hoher Effizienz. Auch im Falle der gezeigten Ausführungsforrn kann die Impedanzanpassung mit Hilfe des dielektrischen Teils 23 leicht erreicht werden.
Fig. 13 zeigt eine weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Ausführungsform von Fig. 13 ist eine Kombination der Ausführungsformen von Fig.7 und von Fig. 11. Im inneren Leiter 21 der Koaxialleitung 20 ist ein vergrößerter Teil 21a
ausgebildet, und ein dielektrisches Teil 23 ist in der Koaxialleitung 20 untergebracht. Dadurch kann die Länge L des dielektrischen Teils 23 im Vergleich zur Ausführungsform von F i g. 11 verkürzt werden. Der Grund dafür ist, daß der Verringerungseffekt der „^ charakteristischen Impedanz in Abhängigkeit vom Teil 'f., 21a mit großem Durchmesser im inneren Leiter 21 und das Herabsetzen der charakteristischen Impedanz durch Einfügen des dielektrischen Teils 23 miteinander zusammenwirken. In der Ausführungsform von F i g. 13 können unerwünschte Funken zwischen innerem Leiter 21 und äußerem Leiter 22 durch den dielektrischen Teil 23 vermieden werden, auch wenn ein Teil 21a mit größerem Durchmesser im inneren Leiter 21 ausgebildet ist. Die Neigungsrichtung der Oberfläche auf der Seite des Mikrowelleneintritts des dielektrischen Teils 23 von Fig. 11 und 13 kann natürlich auch umgekehrt zur gezeigten sein.
Fig. 14 und 15 zeigen perspektivische Ansichten einer weiteren Ausführungsform der Erfindung, wobei :Fig. 14 eine Draufsicht und Fig. 15 eine Bodenansicht :smd. Wie aus den Figuren zu sehen ist, weist die Ausführungsform einen Schlitzstrahlerteil 13' auf, der im Masseleiter 15 der Mikrostreifenleitung 10 ausgebildet ist, wobei der Zentralleiter 12 mit konstanter Breite ^ausgebildet ist, wie im Falle einer normalen Mikrostripleitung, im Gegensatz zu den vorbeschriebenen Ausführungsformen. Ais Unterschied zu den vorbeschriebenen Ausführungsformen sind in den Ausführungsformen von Fig. 14 und 15 die Schlitze 14' und somit der Schlitzstrahlerteil 13' in einem Teil oder im ganzen des Masseleiters 15 ausgebildet.
Wie von der vorbeschriebenen Gleichung (2) klar wird, hängt die charakteristische Impedanz der Mikrostreifenleitung von der Breite c des Zentralleiters ab. Je schmaler die Breite c wird, desto größer wird die charakteristische Impedanz. Deshalb wird durch Schmalmachen des Zentralleiters 12 auf einen konstanten Wert, wie im Falle der Ausführungsform, die charakteristische impedanz der Mikrostreifenleitung 10 so vergrößert, daß sie etwa 50 Ω wird, im Vergleich zu dem Fall, wo die Breite durch Ausbilden des Leiterscbaltkreisieüs *,Z i,~ Zeniraüsiier 12 vergrößefi wurde, wie in den oben beschriebenen Ausführungsformen. Auf der anderen Seite ist die charakteristische Impedanz der koaxialen Leitung 20, wie oben beschrieben, auch ungefähr 50 Ω. Deswegen kann in der gezeigten Ausführungsform jegüche spezielle Struktur oder Vorrichtung zum Erreichen einer Impedanzanpassung zwischen Koaxialleitung 20 und Mikrostreifenleitung 10 weggelassen werden. Zum Beispiel ist im Falle der oben beschriebenen Ausführungsformen die charakteristische Impedanz der Mikrostreifenleitung 10 des Schlitzstrahlerteils 13 ungefähr 15 Ω und die charakteristische Impedanz der eben beschriebenen Ausführungsform ungefähr 50 Ω.
Auf der anderen Seite ist es bekannt, daß die charakteristische Impedanz Zo der Mikrostreifenleitung 10 Zo= — , wobei Eeine elektrische Feldkompo-
nente und H eine magnetische Feldkomponente sind. Die Mikrostreifenleitung der oben beschriebenen charakteristischen Impedanz von ungefähr 50 Ω weist eine große elektrische Feldkomponente E im Vergleich zu der charakteristischen Impedanz von ungefähr 15 Ω auf. So bedeutet die Tatsache, daß die elektrische Feldkomponente der propagierten Mikrowelle groß ist, daß die elektrische Feldkomponente der aus den Schlitzen 14' des Schlitzstrahlerteils 13 herausstreuenden Mikrowelle entsprechend groß wird. Deshalb ist die auf das aufzuheizende Material 40, z. B. das Paoierblatt, übertragene elektrische Energie entsprechend groß. So
ist in der Ausführungsform von F i g. 14 und 15, in denen der Schlitzstrahlerteil 13' nicht im Zantralleiter 12, sondern im Masseleiter 15 ausgebildet ist, die Heizeffizienz vergrößert. Bei Versuchen der Erfinder wurde beobachtet, daß die Mikrowellenleistung, die zum
Übertragen der gleichen Energie notwendig ist, in der diskutierten Ausführungsform ungefähr ein Zehntel der Mikrowellenleistung ist, die in den Ausführungsformen von Fig.2 bis 13 nötig war. Es soll hervorgehoben we. den, daß die vorliegende Erfindung sowohl den Fall erfaßt, wo der Schlitzstrahlerteil 13 im Zentralleiter 12 untergebracht isi, v».± ^ ' '~* c-n. wo er im Masseleiter 15 untergebracht ist.
Die Fig. 16 bis 18 zeigen eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung. Die gezeigte Ausführungsform zeigt eine Anwendung der Heizvorrichtung, die die Mikrostreifenleitung 10 verwendet, als Tonerfixiervorrichtung eines elektrofotografischen G iats. v.-Mikrostreifenleitung 10 ist in einer Heizkammer untergebracht, und die Heizkammer ist aus zwe.
Halbgehäusen 51 und 52 gebildet. Die Halbgehäuse 52 bestehen im Hinblick auf eine Abschirmfunktion vorzugsweise aus einem elektrisch gut leitfähigen Material, wie z. B. Metall, leitfähigem Plastik oder dgl.
Das Halbgehäuse 51 enthält und hält die Mikrostreifenleitung 10 über dem Papierblatt 40, welches mit Hilfe der Vorschubvorrichtung 55 vorgeschoben wird. Das Papierblatt 40 wird in eine Einlaßöffnung 53 der Heizkammer eingeführt und aus der Auslaßöffnung 54 ausgeführt. Der Transport des Papierblattes 40 wird mit Hilfe der Vorschubvorrichtung 55 durchgeführt, weiche im Halbgehäuse 52 untergebracht ist. Im Falle der gezeigten Ausführungsform haften Tonerschichten 41 teilweise auf dem Papierblatt 40. An beiden Enden des Halbgehäuses 51 in Transportrichtung des Papiers 40 sind Nuten 56 ausgebildet. Die Nuten 56 erstrecken sich in eine Richtung senkrecht zur Transportrichtung des Papiers 40, d.h. in der Ausbreitungsrichtung der Mikrowellen. Eine Vieizahi von dielektrischen Resonatoren 60 des TE-Modes sind in den Nuten 56 untergebracht und befestigt. Diese dielektrischen Resonatoren 60 sind vorgesehen, um ein Herauslecken von Mikrowellen aus der Heizkammer zu vermeiden, und die Resonanzfrequenz und somit die räumlichen Abmessungen sind optimai gewählt mit Blick auf die Frequenz der Mikrowellen, deren Herauslecken verhindert werden soll. Mikrowellen werden durch die Koaxialleitung 20 an die Mikrostreifenleitung dieses Aufbaus geliefert. Das Papierblatt 40 mit den nicht fixierten Tonerschichten 41 wird nacheinander von der Einlaßöffnung 53 zur Auslaßöffnung 54 mit Hufe der Vorschubvorrichtung 55 transportiert. Wenn die Mikrowellen an die Mikrostreifenleitung 10 angelegt werden, heizen die Mikrowellen, die aus dem Schlitzstrahierteil 13 austreten, das Papier 40 und die Tonerschichten 41.
Die aufgeheizten Tonerschichten 41 schmelzen und werden auf das Papierblatt 40 fixier'.. Die aus dem Schlitzstrahlerteil 13 ausgetretenen Mikrowellen neigen dazu, aus der Einlaßöffnung 53 und/oder der Auslaßöffnung 54 auszutreten. Diese werden aber mit Hilfe der dielektrischen Resonatoren 60 des TE-Modes eingefangen, weiche in der Nähe der öffnungen angeordnet sind, und folglich besteht keine Gefahr, daß Mikrowellen durch die normalerweise geöffneten Einlaßöffnung 53
und/oder Auslaßöffnung 54 austreten können. Auch wenn es bekannt ist, sogenannte Drosselhohlräume zum Vermeiden des Herausleekens von Mmrowellen vorzusehen, erlaubt die Verwendung einer Vielzahl von dielektrischen Resonatoren bO des TB-Modes wie im oben gezeigten Ausführungsbeispiel eine Leckverhinderung auf sehr engem Raum im Vergleich zum Fall, wo Diüsselhohhiiumc verwendet werden, was zusammen mit der Verwendung der Mikrostreifenleitung iO die Verwirklichung des Gerätes in kleiner Größe ermöglicht. Es ist überflüssig zu erwähnen, daß jede der Ausführungsformen von Fig.2 bis 15 in der Ausführungsform von F i g. 16 verwendet werden kann.
F i g. 19 zeigt eine Variante der Ausführungsform von Fig. 16. In der Ausführungsform von Fig. 19 ist die Mikrostreifenleitung 10 unterhalb des Papierblattes 40, welches transportiert wird, angeordnet, und folglich sind auch die Vielzahl von dielektrischen Resonatoren 60
unterhalb des Papierblattes in der Nähe der Einlaßöffnung 53 und Auslaßöffnung 54 angeordnet Die Vorschubvorrichtung 55 ist außerhalb der Heizkammer angeordnet. Die anderen Teile des Aufbaus und die Mikrowellenleckverhinderung sind die gleichen wie in der vor beschriebenen AusfOhrungsfonr. von Fig. 16.
Im vorangegangenen wurden die bevorzugten Ausführungsformen so beschrieben, daß die erfindungsgemäße Mikrowellenhe'zvorrichtung als Heizvorrichtung für ein elektrofotografisches Gerät verwendet wurde. Natürlich kann der Gegenstand der vorliegenden Erfindung aber auch in jeder geeigneten Modifikation verwendet werden, um einen ganzen Teil eines blattförmigen Materials aufzuheizen oder um die Oberfläche eines Materials mit vorgegebener Dicke gleichförmig aufzuheizen. Zum Beispiel kann die Erfindung vorteilhafterweise auch verwendet werden in einem Verfahren zum Vulkanisieren von Gummi.
Hierzu 7 Blatt Zeichnungen

Claims (24)

Patentansprüche:
1. Mikrowellenheizvorrichtung mit einem Schlitzstrahlerteil, dem das zu beheizende Material ausgesetzt wird, und mit einer Zuführungsvorrichtung für Mikrowellen zum Schlitzstrahlerteil, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Mikrostreifenleiiung (10) mit einem Zentralleiter (12) und einem Masseleiter (15) mit dazwischenliegendem Dielektrikum (11) aufweist, wobei der Schlitzstrahlerteil (13) dadurch ausgebildet ist, daß mindestens einer der vom Zentralleiter (12) und Masseleiter (15) gebildeten Leiter mit Schlitzen (14) versehen ist.
2. Mikrowellenheizvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrowellenzuführvorrichtung (20) eine Mikrostreifenleitung aufweist, die mit der Mikrostreifenleitung (10) der Heizvorrichtung verbunden ist.
.!' 3. Mikrowellenheizvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß sie ferner eine 'Impedanzanpassungsvorrichtung aufweist zum Anpassen der Impedanz zwischen den beiden Mikrostreifenleitungen (10,20).
4. Mikrowellenheizvorrichtung nach Anspruch 1, "dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrowellenzufuhrvorrichtung (20) eine Koaxialleitung mit einem inneren (21) und einem äußeren Leiter (22) aufweist, die an die Mikrostreifenleitung (10) gekoppelt ist.
5. Mikrowellenheizvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Zentralleiter (12) der Mikrostreifenleitung (10) mit dem inneren Leiter (21) der Koaxialleitung (20) und d<ir Masseleiter (15) der Mikrostreifenleitung (10) mit dem äußeren Leiter (22) der Koaxialleitung verbunden ist.
3. Mikrowellenheizvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Zentralleiter (12) der Mikrostreifenleitung (10) mit dem äußeren Leiter (22) der Koaxialleitung (20) und der Masseleiter (15) der Mikrostreifenleitung (10) mit dem inneren Leiter (21) der Koaxialleitung (20) verbunden ist.
7. Mikrowellenheizvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß sie ferner aufweist eine Irnpedanzanpassungsvorrichtung (12a, 15£>, 23, 23a, 236, 23c, 21a) zum Anpassen der Impedanz zwischen der Mikrostreifenleitung (10) und der Koaxialleitung (20).
8. Mikrowellenheizvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Impedanzanpas- so sungsvorrichtung (12a, 15b) auf der Seite der Mikrostreifenleitungsvorrichtung (10) vorgesehen ist.
9. Mtkroweilenheizvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Impedanzanpassungsvorrichtung einen Schmaiteil (\2a) aufweist, der in mindestens dem Zentralieiter (12) oder dem Masseleiter (15) der Mikrostreifenleitung -10) ausgebildet ist, und daß der Schmalteil (12a; so ausgestaltet ist, daß er auf der Seite, die mit der Koaxialleitung (20) verbunden wird, schmaler als der Schlitzstrahlerteil (13) ist.
10. Mikrowellenheizvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Schmalteil (12a; vom Schlitzstrahlerteil (13) in Richtung zur Koaxialleitung (20) allmählich schmaler wird.
11. Mikrowellenheizvorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrostreifenleitung (10) eine dielektrische Schicht (11) zwischen dem Zentralleiter (12) und dem Masseleiter (15) aufweist und daß die dielektrische Schicht (11) einen Teil zunehmender Dicke aufweist, dessen Dicke vom Schlitzstrahlerteil (13) in Richtung zur Koaxialleitung (20) allmählich zunimmt.
12. Mikrowe'.lenheizvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Teil zunehmender Dicke der dielektrischen Schicht (11) so ausgebildet ist, daß der Zentralleiter (12) der Mikrostreifenleitung (10) flach bleibt, während der Masseleiter (15) durch die Dickenänderung geneigt ist.
13. Mikrowellenheizvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Teil zunehmender Dicke der dielektrischen Schicht (11) so ausgebildet ist, daß tier Masseleiter (15) der Mikrostreifenleitung (10) flach bleibt, während der Zentralleiter (12) durch die D'ickenänderung geneigt ist.
14. Mikrowellenheizvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Impedanzanpassungvorrichtung (23,23a, 230,23c, 21a) auf der Seite der Koaxialleitung (20) angeordnet ist.
15. Mikrowellenheizvorrichtung nach Anspruch
14, dadurch gekennzeichnet daß die Koaxialleitung
(20) eine dielektrische Schicht (23, 23a, 236, 23c) aufweist, die zwischen dem inneren (21) und dem äußeren Leiter (22) am Verbindungspunkt zwischen Koaxialleitung (20) und Mikrostreifenleitung (i0) angeordnet ist.
16. Mikrowellenheizvorrichtung nach Anspruch
15, dadurch gekennzeichnet, daß die Dielektrizitätskonstante der dielektrischen Schicht (23, 23a, 23σ, 23c) so gewählt ist, daß die charakteristische Impedanz der Koaxialleitung (20) an die charakteristische Impedanz der Mikrostreifenleitung (10) angepaßt ist.
17. Mikrowellenheizvorrichtung nach Anspruch
16, dadurch gekennzeichnet, daß die Länge der dielektrischen Schicht (23, 23a, 236, 23l) zu einem Viertel der effektiven Wellenlänge der verwendeten Mikrowellen gewählt ist.
18. Mikrowellenheizvorrichtung nach Anspruch 15 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß die dielektrische Schicht zwei oder mehr in Längsrichtung unterteilte Teile (23a, 236, 23c; aufweist, die jeweils eine unterschiedliche Dielektrizitätskonstante haben, wobei die Dielektrizitätskonstante der verschiedenen dielektrischen Schichtteile so gewählt sind, daß die Dielektrizitätskonstante des Teils (23ςλ der an die Mikrostreifenleitung (10) gekoppelt ist, größer ist als die des anderen Teils.
19. Mikrowellenheizvorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Dielektrizitätsschicht (23) eine Endfläche aufweist, die die Achse der Koaxialleitung (20) auf der Mikrowelleneingangsseite spitzwinklig kreuzt.
20. Mikrowellenheizvorrichtung nach Anspruch
19, dadurch gekennzeichnet, daß der innere Leiter
(21) der Koaxialleitung (20) einen Teil (21a; zunehmenden Durchmessers aufweist, der am Verbindungspunkt zwischen Koaxialleitung (20) und Mikrostreifenleitung(10) vorgesehen ist.
21. Mikrowellenheizvorrichtung nach Anspruch
20, dadurch gekennzeichnet, daß der Teil (21a; zunehmenden Durchmessers so ausgebildet ist, daß der Durchmesser alimählich in Richtung zum
Verbindungspunkt zwischen Koaxialleitung (20) und Mikrostreifenleitung (10) zunimmt.
22. Mikrowellenheizvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie ferner aufweist eine Heizkammer (51, 52) mit einer Einlaßöffnung (53) und einer Auslaßöffnung (54), die in Verbindung mit dem Schlitzstrahlerteil (13) vorgesehen sind, vobei das aufzuheizende Material (40) in die Einlaßöffnung (53) eingeführt und aus der Auslaßöffnung (54) ausgeführt wird, und eine Mikroweüenleckschutzvorrichtung (60), die in der Heizkammer (51, 52) in Verbindung mit Einlaß- und/oder Auslaßöffr.ung vorgesehen ibt.
23. Mikrowellenheizvorrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Leckverhinderungsvorrichtung (60) eine Vielzahl von dielektrischen Resonatoren des TE-Modes aufweist, deren Resonanzfrequenz in Verbindung mit der effektiven Weilenlänge der Mikrowellen gewählt ist, deren Auslecken verhindert werden soll.
24. Mikrowellenheizvorrichtung nach Anspruch 22 oder 23, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizkammer (51, 52) aus elektrisch leitfähigem Material besteht.
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