DE3129688C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf Partikelbeschleuniger nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Stand der Technik

Es ist wünschenswert, Strahlen energiereicher geladener Partikel mit geringer Streuung der Energie zu erhalten, wobei die mittlere Energie über einen großen Dynamik­ bereich variabel ist. Weiterhin ist es wünschenswert, daß die Streuung der Energie Δ unabhängig von dem Wert der mittleren Ausgangsenergie E ist.

Ein direkter Weg, bei einem Linearbeschleuniger eine Steuerung der Energie zu erhalten, liegt darin, die von einer Hochfrequenzquelle in die Beschleunigerhohlräume gespeiste Energie zu verändern. Das auf die Strahlpartikel beim Durchlaufen der Beschleuniger-Hohlräume wirkende geringere elektrische Beschleunigerfeld führt zu einer geringeren Ausgangsenergie. Ein variables Dämpfungsglied in dem Leiter, der die Hochfrequenzenergie zwischen der Quelle und dem Beschleuniger überträgt, kann eine solche wählbare Veränderung der Amplitude des elektrischen Beschleunigerfeldes bewirken. Diese Lösung weist jedoch den Nachteil auf, daß die Strahlqualität des beschleunig­ ten Strahles auf Grund der vergrößerten Energiestreuung Δ E bei der endgültigen Strahlenergie verringert wird. Die Dimensionierung des Beschleunigers kann für spezielle Betriebsparameter optimiert werden, wie z. B. für die Soll-Ausgangsenergie, den Strahlstrom und die Eingangs-Hochfrequenzenergie. Allerdings bleibt diese Optimierung nicht erhalten, wenn die Hochfrequenzenergie verändert wird, da die Geschwindigkeit der Elektronen und damit die Phase eines Elektronenbündels, bezogen auf die Hochfrequenzspannungen der Hohlräume, verändert wird. Die sorgfältig konstruierte schmale Energiestreuung wird somit verschlechtert.

Eine andere bekannte Lösung liegt darin, zwei Wander­ feldabschnitte von Beschleunigerhohlräumen in Kaskade zu schalten. Die beiden Abschnitte werden aus einer gemeinsamen Quelle mit wählbarer Amplitudenabschwächung unabhängig voneinander erregt, wobei für den zweiten Abschnitt eine Phasenänderung verwendet wird. Derartige Beschleuniger sind in den US-PS 29 20 228 und 30 70 726 beschrieben. Diese Wanderfeldstrukturen haben systembedingt einen geringeren Wirkungsgrad als seitengekoppelte Stehwellen-Beschleuniger, da diejenige Energie, die nicht auf den Strahl übertragen wird, nach einem einzigen Durchgang der Hochfrequenz-Wellen-Energie durch die Beschleunigerstruktur in einer Last verbraucht werden muß. Auch ist die wirksame Shunt-Impedanz von Wanderfeld- Strukturen kleiner als die von seitengekoppelten Stehwellen-Beschleunigern.

Ein weiterer bekannter Beschleuniger ist in der US-PS 41 18 653 beschrieben. Dort wird ein Wanderfeldabschnitt eines Beschleunigers, der optimale Energie und Energie­ streuung erzeugt, mit einem nachfolgenden Stehwellen- Beschleunigerabschnitt kombiniert. Sowohl der Wanderfeld­ abschnitt als auch der Stehwellenabschnitt werden von einer gemeinsamen Hochfrequenzquelle erregt, wobei für die Erregung des Stehwellenabschnitts eine Dämpfung vorgesehen ist. In dem Stehwellenabschnitt des Beschleunigers tritt eine geringe Beeinflussung des beschleunigten und gebündel­ ten Strahles auf, dessen Geschwindigkeit sehr nahe bei der Lichtgeschwindigkeit liegt und folglich im wesentlichen unabhängig von der Energie ist. Allerdings fordert dieser Aufbau, daß zwei stark verschiedene Arten von Beschleuniger­ abschnitten konstruiert und gebaut werden müssen; auch wird eine relativ komplexe externe Mikrowellenschaltung gefordert.

Ein anderer Stehwellen-Linearbeschleuniger mit der Eigen­ schaft variabler Strahlenergie wurde gemäß US-PS 40 24 426 mit einem Beschleuniger realisiert, der eine Vielzahl von elektromagnetisch entkoppelten Substrukturen enthält. Jede Substruktur ist als Seitenhohlraum-gekoppelter Beschleuniger aufgebaut. Die unterschiedichen Substrukturen sind koaxial, jedoch derart verschachtelt, daß benachbarte Beschleunigungs­ hohlräume Komponenten verschiedener Substrukturen sind und daß sie elektromagnetisch entkoppelt sind. Folglich sind benachbarte Hohlräume in der Lage, Stehwellen mit verschie­ denen Phasen zu führen. Die Energieverstärkung eines Strahls geladener Partikel, der einen solchen Beschleuniger durch­ läuft, ist dann eine Funktion der Phasenverteilung. Bei einem Beschleuniger, der durch zwei derartige verschachtelte Substrukturen gekennzeichnet ist, wird maximale Strahlenergie dann erhalten, wenn sich benachbarte Beschleunigerhohlräume in ihrer Phase um ^π /₂ unterscheiden, wobei der stromabwärtige Hohlraum dem benachbarten stromaufwärtigen Hohlraum in der Phase nacheilt und wobei der Abstand zwischen benachbarten Beschleunigerhohlräumen ¹/₄ des in einem Hochfrequenzzyklus von einem Elektron durchlaufenen Abstandes ist. Die Einstellung der Phasenbeziehung zwischen den Substrukturen führt zu einer Veränderung der Strahlenergie. Obwohl dieser Beschleuniger einen guten Wirkungsgrad und eine gute Energiesteuerung ermöglicht, ist sein Aufbau kompliziert und aufwendig.

Aus der US-PS 41 62 423 ist ein Verfahren und eine Vorrich­ tung zum Beschleunigen von Partikeln bekanntgeworden, bei dem die Partikel einer Folge von gekoppelten elektro­ magnetischen Wechselfeldern ausgesetzt werden und zur Änderung der Energie der austretenden Partikel wenigstens ein Feldparameter eines Teils der Folge von gekoppelten Wechselfeldern geändert wird. Die Folge besteht aus einer Eingangsfolge (Bündelungsabschnitt) und einer Ausgangsfolge (Beschleunigungsabschnitt). Beide Folgen sind mit einer gemeinsamen Wechselspannungsquelle gekoppelt, und zwar in der Weise, daß die Phase im Bündelungsabschnitt variiert werden kann, so daß die austretenden Partikelbündel im anschließenden Beschleunigungsabschnitt je nach Phasenlage maximalen oder minimalen Beschleunigungsfeldern oder irgend­ welchen Zwischenwerten ausgesetzt sind. Der Nachteil einer derartigen Technik besteht darin, daß die enge Energie­ spreizung im Bündelungsabschnitt verschlechtert wird, wenn die Phase der Partikelbündel nicht optimal mit der Phase der Wechselfelder im Beschleunigerabschnitt übereinstimmt.

Eine weitere Konstruktion, die variable Energie in Kombina­ tion mit einer Beibehaltung des Energiespektrums schafft, ist in der älteren Patentanmeldung P 30 38 414.6 der Anmelderin beschrieben. Von dieser älteren Anmeldung geht der Oberbegriff des Anspruchs 1 aus. Dort wird die Phase der Kopplung zwischen zwei benachbarten Beschleunigungs­ hohlräumen umkehrt, wodurch in allen nachfolgenden strom­ abwärtigen Hohlräumen die Partikel verzögert anstatt beschleunigt werden. Diese Anordnung verändert die Energie in einem einzigen, durch die Konstruktion bedingten Schritt. Um einen Bereich von Energien mit vielen Zwischenschritten zu erhalten, würde man eine Vielzahl von Phasenumkehrhohl­ räumen benötigen, die längs des Beschleunigerabschnitts verteilt sind.

Vom Stand der Technik nach der vorgenannten US-PS 41 62 423 unterscheidet sich der Gegenstand der älteren Patentanmeldung P 30 38 414.6 dadurch, daß die Änderung des Feldparameters, nämlich der relativen Phasenlage, in dem Teil der Folge von gekoppelten Wechselfeldern durchgeführt wird, dem die Partikel zuletzt ausgesetzt werden, also dem Beschleuniger­ abschnitt nach der US-PS 41 62 423. Dabei wird die Energie­ spreizung dadurch konstant gehalten, daß die Phase voll umgekehrt wird, also keine Beschleunigung, sondern eine Verzögerung eingeführt wird.

Aufgabe der Erfindung ist es, einen Partikelbeschleuniger zu schaffen, bei dem die Partikelausgangsenergie in einem Bereich kontinuierlich verändert werden kann, während die Verteilung der Partikelenergie, also die Energiespreizung, konstant und klein bleibt, und zwar ohne daß eine Vielzahl von Phasenumkehr-Hohlräumen erforderlich ist.

Die Lösung der Aufgabe ist im Patentanspruch 1 angegeben. Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Unter­ ansprüche.

Bei der Lösung nach der Erfindung wird durch die Änderung der Kopplung erreicht, daß in den nachfolgenden Hohlräumen als Feldparameter die Feldstärke und nicht die Phase verändert wird, so daß die Energiespreizung konstant und klein bleibt. Der Beschleuniger kann also mit konstanten Feldern in einer ersten, vom Strahl durchlaufenen Gruppe von Hohlräumen betrieben werden, in welchen die Energieverteilung der Partikel im wesentlichen bestimmt wird, und die mittlere Partikelenergie wird dadurch verändert, daß die Felder in einer nachfolgenden Gruppe von Hohlräumen verändert werden, ohne daß das Energieverteilungsspektrum beeinflußt wird.

Im folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungs­ beispielen im Zusammenhang mit der Zeichnung erläutert. Es zeigt

Fig. 1 einen schematischen, axialen Schnitt eines Linearbeschleunigers, bei dem die Erfindung verwirklicht ist;

Fig. 2 eine detaillierte Schnittansicht eines Teiles der Fig. 1;

Fig. 3 einen schematischen Schnitt eines Teiles eines kapazitiv belasteten Ausführungsbeispiels der Erfindung;

Fig. 4 eine schematische Schnittansicht eines Ausfüh­ rungsbeispiels, bei dem das Hochfrequenz- Magnetfeld verschoben wird.

Fig. 1 zeigt einen schematischen, axialen Schnitt einer Stehwellen-Beschleunigerstruktur für geladene Partikel, bei der die Erfindung angewandt wird. Diese Struktur besteht aus einer Kette 10 von elektromagne­ tisch gekoppelten Hohlraum-Resonatoren. Ein geradliniger Elek­ tronenstrahl 12 wird über eine Elektronen-Kanone 14 injiziert. Der Strahl 12 kann entweder kontinuier­ lich oder gepulst sein.

Die Stehwellen-Beschleunigerstruktur 10 wird durch Mikrowellenenergie mit einer Frequenz nahe ihrer Reso­ nanzfrequenz von typischerweise 3 GHz erregt. Die Ener­ gie tritt in einen Hohlraum 16 ein, der vorzugsweise der mittlere Hohlraum der Kette ist, und zwar über eine Blende 15.

Die Kette 10 weist Hohlräume von zwei Arten auf. Be­ schleunigerhohlräume 16 und 18 sind ringröhrenförmig und besitzen zentrale Strahlöffnungen 17, die ausgerich­ tet sind, so daß sie den Durchtritt des Strahles 12 erlauben. Die Hohlräume 16 und 18 besitzen hervorste­ hende Nasen 19 mit optimierter Gestalt, so daß sie den Wirkungsgrad der Wechselwirkung der Mikrowellen­ energie und des Elektronenstrahles verbessern. Bei Elektronenbeschleunigern sind die Hohlräume 16 und 18 alle gleich, da sich der Elektronenstrahl bereits nahe der Lichtgeschwindigkeit ausbreitet, wenn er in die Beschleunigerkette 10 eintritt.

Jeweils benachbarte Paare von Beschleunigerhohlräumen 16 und 18 sind über einen "Seiten"- oder "Kopplungs"- Hohlraum 20 elektromagnetisch miteinander gekoppelt, wobei der Hohlraum 20 mit beiden Hohlräumen des Paares über eine Blende 22 gekoppelt ist. Die Kopplungshohl­ räume 20 haben ihre Resonanz bei der gleichen Frequenz wie die Beschleunigerhohlräume 16 und 18; sie stehen jedoch mit dem Strahl 12 in keiner Wechselwirkung. Bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel haben die Kopp­ lungshohlräume eine zylindrische Form mit einem Paar von hervorstehenden Mittelleitern 24.

Die Anregungsfrequenz ist so, daß die Kette 10 in Stehwellen-Resonanz erregt wird, wobei zwischen jedem Kopplungs- oder Beschleunigerhohlraum und dem benach­ barten, stromabwärtigen Hohlraum eine Phasenverschie­ bung von ^f /₂ auftritt. Folglich besteht zwischen benach­ barten Beschleunigerhohlräumen 16 und 18 eine Phasen­ verschiebung von π. Die ^π /₂-Betriebsweise hat mehrere Vorteile. Es tritt dort die schärfste Trennung der Resonanzfrequenz von benachbarten Moden auf, die zu­ fällig (und unerwünscht) angeregt wurden. Auch treten, wenn die Kette 10 richtig abgeschlossen ist, in den Kopplungshohlräumen 20 sehr kleine elektromagnetische Felder auf, so daß die Leistungsverluste in diesen nicht wechselwirkenden Hohlräumen sehr klein sind. Die End-Beschleunigerhohlräume 26 und 28 sind als Hälfte eines inneren Hohlraumes 16 bzw. 18 ausgebildet; folg­ lich ist die gesamte Beschleunigerstruktur, bezogen auf den Hochfrequenz-Eingangskoppler 15 symmetrisch ausgebildet.

Der Abstand zwischen den Beschleunigerhohlräumen 16 und 18 beträgt etwa die Hälfte der Wellenlänge des freien Raumes, so daß die in einem Hohlraum 16 beschleunig­ ten Elektronen an dem nächsten Beschleunigerhohlraum in richtiger Phasenlage ankommen, bezogen auf das Mikrowellenfeld für eine zusätzliche Beschleunigung. Nachdem der Strahl 12 beschleunigt wurde, trifft er auf ein Röntgenstrahlen-Target 32 auf. Alternativ kann auch ein Vakuumfenster aus Metall vorgesehen sein, das dünn genug ist, Elektronen für eine Partikelbestrahlung eines Gegenstandes durchzu­ lassen.

Wenn alle Beschleunigerhohlräume 16, 18 und alle Kopplungshohlräume 20 ähnlich und spiegelsymmetrisch zu ihrer Mittelebene sind, so wird das Feld in allen Beschleunigerhohlräumen im wesentlichen gleich sein.

Zur Einstellung der endgültigen Ausgangsenergie des Strahles 12 ist einer der Kopplungshohlräume 34 so hergestellt, daß er durch mechanische Einstellung asymmetrisch gemacht werden kann. Die geometrische Asymmetrie erzeugt eine Asymmetrie der Verteilung des elektromagnetischen Feldes in dem Kopplungshohlraum 34, so daß die magnetische Feldkomponente an einer Blende 38 größer ist als an der anderen Blende 40. Das ge­ koppelte magnetische Feld ist folglich in den vorher­ gehenden Hohlräumen 16, die durch die Blende 38 ge­ koppelt sind, größer als in den darauffolgenden Hohl­ räumen 18, die durch die Blende 40 gekoppelt sind. Da die Hohlräume 16 und 18 identisch sind, ist das Ver­ hältnis der Beschleunigungsfelder in den Hohlräumen 16 und 18 direkt proportional dem Verhältnis der magne­ tischen Felder an den Blenden 38 und 40. Durch Verändern des Grades der magnetischen Asymmetrie in dem Kopplungs­ hohlraum 34 kann die Hochfrequenzspannung des Beschleu­ nigungsfeldes in der folgenden Kette von Hohlräumen 18 verändert werden, während das Beschleunigungsfeld in den Hohl­ räumen 16 in der Nähe des Strahleintrittsgebietes konstant bleibt. Folglich kann die Energie der Aus­ gangsstrahl-Elektronen selektiv eingestellt werden.

Da die Bildung von Elektronenbündeln aus einem ur­ sprünglich kontinuierlichen Strahl in den zuerst durch­ laufenen Hohlräumen 16 stattfindet, kann die Bündelung dort optimiert werden, ohne daß sie durch das sich ändernde Beschleunigungsfeld der Ausgangshohlräume 18 beeinträchtigt wird. Die Streuung der Energien in dem Ausgangsstrahl wird folglich unabhängig von der sich ändernden mittleren Ausgangsenergie der Elektronen.

Die sich ändernde Energie, die von den Ausgangshohl­ räumen 18 an den Strahl übertragen wird, wird natürlich die Lastimpedanz ändern, die von der Mikrowellenquelle (nicht dargestellt) gesehen wird, wobei geringfügige von der Blende 15 reflektierte Mikrowellenenergie er­ zeugt wird. Diese Änderung ist klein und kann leicht entweder durch eine variable Impedanz oder durch Ein­ stellen der Mikrowelleneingangsenergie kompensiert werden.

Das maximale Beschleunigungsfeld ist während des Be­ triebes generell durch einen Hochvakuum-Bogenüber­ schlag im Hohlraum begrenzt. Folglich wird das Feld in den Ausgangshohlräumen 18 generell von einem Wert der gleich dem des Feldes der Eingangshohlräume 16 für maximale Strahlenergie ist, bis herab zu einem ge­ ringeren Wert für verringerte Strahlenergie verändert.

Bei dem Beschleuniger der Fig. 1 wird die Asymmetrie in dem Hohlraum 34 durch Verlängerung eines seiner Mit­ telleiterstifte 36 erzeugt, während der andere Stift 36 verkürzt wird. Durch Einstellung des Spaltes zwi­ schen den Stiften 36 kann die Resonanzfrequenz des Hohlraumes 34 konstant gehalten werden. Das Hochfre­ quenz-Magnetfeld wird auf der Seite, auf der der Mittelstift 36 länger ist, größer sein und folglich wird der Kopplungskoeffizient zu dem benachbarten Hohl­ raum auf dieser Seite größer sein.

Fig. 2 zeigt den Hohlraum 34 detaillierter. Die Mittel­ stifte 36 werden unabhängig innerhalb fester Kragen 41 bewegt. Ein Kontakt für die zirkulierenden Hochfrequenz­ ströme wird durch Schraubenfedern 42 hergestellt, die bei­ spielsweise aus Wolframdraht bestehen. Die Bewegung wird über metallische Bälge 43 durch die Vakuumwand des Beschleunigerabschnittes 10 übertragen. Die Stiftbewegung ist individuell programmiert, um die Resonanzfrequenz des Kopplungshohlraumes 34 konstant zu halten.

Dem Fachmanne ist klar, daß es sehr viele Möglichkeiten gibt, einen Hohlraum zu verändern und folglich dessen elektromagnetisches Feld von einer Symmetrie zu einem einstellbaren Grad von Asymmetrie. Die in den Fig. 2, 3 und 4 gezeigten Mechanismen sind lediglich ausge­ wählte Beispiele.

In Fig. 3 wird die Asymmetrie durch kapazitive Bela­ stung eines koaxialen Hohlraumes 34′ erzeugt. Zwei kapazitiv belastende Platten 46 werden in "im Gegen­ takt" bewegt, wobei die eine näher zu einem stationären Mittelleiter 36′ bewegt wird, während die andere von dem anderen stationären Mittelleiter 36′ weiter weg bewegt wird. Am Ende des Hohlraumes 34′ wird der zirkulierende Hohlraumstrom und folglich das hochfrequente magnetische Feld dort vergrößert, wo die kapazitive Last vergrößert wird und umgekehrt.

Die belastenden Platten 46 sind an Schubstangen 48 be­ festigt, die über metallische Bälge 50 im Vakuum bewegt werden. Eine um ihre Mitte schwenkbare Stange 52 verbindet bzw. koppelt die Zug-Druck-Bewegung.

Fig. 4 zeigt eine variable asymmetrische induktive Belastung. Ein Paar massiver metallischer Ringe 54 füllt den größten Teil des Querschnittes eines ko­ axialen Hohlraumes 34′′; die Metallringe 54 weisen Öffnungen auf, so daß sie sich längs der stationären Mittelleiter 36′′ bewegen können, ohne jedoch diese zu berühren. Wenn die Ringe in der gleichen Richtung bewegt werden, so nimmt die Induktivität an dem Ende des Hohlraumes 34′′ ab, in dessen Richtung die Ringe bewegt werden, und umgekehrt. Der belastende Ring neigt auch dazu, die nahe Blende 22′′ zu überdecken, wodurch die Kopplung zum Wechselwirkungs-Hohlraum 16 weiter herabgesetzt wird. Die Ringe 54 sind zusammen auf einer oder meh­ reren dielektrischen Stangen 56 befestigt und werden axial über eine Balg-Vakuumdichtung 58 bewegt. Bei einem geringfügig unterschiedlichen Ausführungsbei­ spiel kann nur ein einziger Ring 54 verwendet werden, wobei dieser von einem Ende des Kopplungshohlraumes 34′′ zum anderen Ende bewegt wird. Obwohl die zwei­ fachen Ringe bzw. der einzelne Ring 54 vorzugsweise aus Metall sind, können sie auch aus Dielektrikum sein.

In den oben beschriebenen Ausführungsbeispielen ist der asymmetrisch gekoppelte Hohlraum ein Seitenhohl­ raum. Dies wird als das bevorzugte Ausführungsbeispiel angesehen.

Wenn der Beschleuniger so aufgebaut ist, daß er keine Seitenhohlräume aufweist, so kann die Asymmetrie in einem Hohlraum erzeugt werden, der von dem Partikel­ strahl durchlaufen wird.

Jegliche Art der Erzeugung von einstellbaren asymmetrischen Feldern in irgendeinem Hohlraum der Kette wird den gewünschten Effekt mit sich bringen.

Claims (10)

1. Partikelbeschleuniger mit einer Folge von in Reihe gekoppelten elektromagnetischen Resonanzhohlräumen (16, 18, 20, 26, 28, 34), bei dem in wenigstens einem Hohlraum (34) Einrichtungen (36) vor­ gesehen sind, mit denen die Schwingungseigenschaften dieses Hohl­ raums (34) zur Änderung eines Hohlraum-Feldparameters während des Betriebs änderbar sind, derart, daß zur Änderung der Energie der austretenden Partikel die Feldparameter wenigstens des in Strahlrichtung anschließenden Hohlraums (18) änderbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß unter Beibehaltung einer Phasenbeziehung von ^π /₂ die Stärke der Kopplung (38, 40) zwischen dem einen Hohlraum (34) einer­ seits und seinen in der Folge benachbarten Hohlräumen (16, 18) andererseits dadurch veränderbar ist, daß Einrichtungen (36, 46, 54) vorgesehen sind, die eine Asymmetrie variablen Grades für den einen Hohlraum (34), bezogen auf die beiden mit diesem gekoppelten Hohlräume (16, 18) bewirken.

2. Partikelbeschleuniger nach Anspruch 1, bei dem der eine Hohlraum (34) über je eine Blende (38, 40) mit den beiden damit gekoppelten Hohlräumen (16, 18) gekoppelt ist, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Einrichtung zur Änderung der Schwingungs­ eigenschaften in dem einen Hohlraum (34) die Verteilung des magne­ tischen Feldes bezüglich der Blenden (38, 40) beeinflußt.

3. Partikelbeschleuniger nach einem der Ansprüche 1 oder 2, bei dem der eine Hohlraum (34) zylindrisch ist und ein Paar ein­ springender Mittelleiter (36) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Länge beider Mittelleiter (36) einstellbar ist.

4. Partikelbeschleuniger nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Länge der beiden Mittelleiter (36) gegenläufig einstell­ bar ist.

5. Partikelbeschleuniger nach einem der Ansprüche 1 oder 2, bei dem der eine Hohlraum (34′, 34′′) zylindrisch ist und ein Paar ein­ springender Mittelleiter (36′, 36′′) aufweist, dadurch gekennzeich­ net, daß die Einrichtungen zur Änderung der Schwingungseigen­ schaften aus wenigstens einem bewegbaren Einstellelement (46, 54), das in dem einen Hohlraum (34′) getrennt von den Mittelleitern (36′, 36′′) angeordnet ist, und einer Positioniereinrichtung (48, 50, 52; 56, 58) für das Einstellelement (46, 54) bestehen (Fig. 3, 4).

6. Partikelbeschleuniger nach Anspruch 5 mit zwei bewegbaren Einstell­ elementen (46, 48), dadurch gekennzeichnet, daß die Positionierein­ richtung (48, 50, 52) derart ausgebildet ist, daß die Einstell­ elemente (46) gegenläufig bewegbar sind (Fig. 3).

7. Partikelbeschleuniger nach Anspruch 5 mit zwei bewegbaren Einstell­ elementen (54), dadurch gekennzeichnet, daß die Positioniereinrich­ tung (56, 58) derart ausgebildet ist, daß die Einstellelemente (54) gleichläufig bewegbar sind (Fig. 4).

8. Partikelbeschleuniger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Folge zwei Sätze von Hohlräumen (16, 18; 20, 34) aufweist, daß die Hohlräume (16, 18) des ersten Satzs mit den Hohlräumen (20, 34) des zweiten Satzes abwechseln, und daß die Hohlräume (16, 18) des ersten Satzes eine andere Konfiguration haben als die Hohlräume (20, 34) des zweiten Satzes.

9. Partikelbeschleuniger nach Anspruch 8, dadurch gekennzeich­ net, daß die Hohlräume (16, 18) des ersten Satzes Beschleuniger­ hohlräume mit ausgerichteten Öffnungen (17) für den Durchtritt des Partikelstrahles (12) sind, und daß die Hohlräume (20, 34) des zweiten Satzes Kopplungshohlräume sind, die entfernt von dem Partikelstrahl (12) liegen.

10. Partikelbeschleuniger nach Anspruch 9, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der eine Hohlraum (34) ein Kopplungshohlraum ist.