DE3124562A1 - Mehrelementige ultraschallsonde und verfahren zu ihrer herstellung - Google Patents

Mehrelementige ultraschallsonde und verfahren zu ihrer herstellung

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DE3124562A1 DE19813124562 DE3124562A DE3124562A1 DE 3124562 A1 DE3124562 A1 DE 3124562A1 DE 19813124562 DE19813124562 DE 19813124562 DE 3124562 A DE3124562 A DE 3124562A DE 3124562 A1 DE3124562 A1 DE 3124562A1
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Bernard 38610 Venon Piaget
Jean-Francois 38220 Vizille Piquard
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Commissariat a lEnergie Atomique CEA
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    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
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    • B06B1/0622Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface

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  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)

Description

- 6 Beschreibung
Die Erfindung betrifft eine mehrelementige Ultraschallsonde sowie ein Verfahren zu ihrer Herstellung.
Die Erfindung befasst sich insbesondere mit einem Verfahren zum Herstellen einer Ultraschallsonde, die mehrere piezoelektrische Wandlerelemente umfasst/ die in Form eines Barett genannten linearen Netzes oder Gitters oder in Form einer Matrix nebeneinander angeordnet sind. Das Verfahren betrifft auch die Herstellung einer in Form von mehreren Ringen ausgebildeten Sonde. Bei einer derartigen Sonde haben die Wandlerelernente die Form von konzentrisch angeordneten Ringen.
Derartige Ultraschallsonden eignen sich insbesondere für die medizinische Bilddarstellung mittels der Echographie.
Bei diesen medizinischen Verfahren pflanzen sich die von den Wandlern ausgesandten Ultraschallwellen im Gewebe fort und werden die Ultraschallwellen an Grenzflächen, d.h. Trennflächen oder Diskontinuitäten zwischen zwei Medien mit verschiedenen akustischen Eigenschaften reflektiert. Die reflektierte Welle oder das Echo von den Grenzflächen trifft die Wandler, die gleichfalls wie Empfänger arbeiten, mit einer Verzögerung bezüglich der Aussendung der Wellen, die umso grosser ist, je weiter die Reflexionsfläche von der Sonde entfernt ist. Diese Verzögerung wird daher gemessen und wenn die zum Vor- und Rücklauf der Welle notwendige Zeit abgelaufen ist, kann ein neuer Impuls ausgesandt werden.
Die in dieser Weise erhaltenen Echosignale können beispielsweise am Bildschirm eines Oszilloskops dargestellt werden. Ein zweidimensionales Bild kann durch eine Winkelverschiebung des ausgesandten Wellenbündels im sichtbar zu machenden Bereich erhalten werden. Das wird eine sektorielle Bilddarstellung genannt.
Bei der sektoriellen Ultraschallbilddarstellung benötigen die benutzten Sonden Wandler el einen te mit kleinen Abmessungen.
Es ist notwendig, dass der Sende- und Empfangssektor der Ultraschallwellen der Wandler kreisförmig ist, damit sich die Empfindlichkeit jedes Wandlerelementes in Abhängigkeit vom Aussendewinkel kaum ändert. Die Richtwirkung eines Wandlers steht darüberhinaus mit seinen Abmessungen in Verbindung, wobei ein Wandler umso stärker gerichtet ist, je grosser er ist.
Um weiterhin ein Auflösungsvermögen zu erhalten, das eine korrekte Unterscheidung von zwei Echopunkten erlaubt, die seitlich bezüglich der Schusslinie angeordnet sind, ist es notwendig, die von den Wandler empfangene Ultraschallwelle zu bündeln.
Für eine effektive Bündelung muss die akustische Linse, die beispielsweise von dem sog. Barett gebildet wird, eine grosse Öffnung und somit eine grosse Abmessung haben.
Das Ergebnis der beiden Forderungen, nämlich der sektoriellen Bildzerlegung und der Bündelung der Welle beim Empfang führt zu Sonden mit einer grossen Anzahl von Elementen mit kleinen Abmessungen.
Die geringe Grosse der Wandlerelemente sowie ihre Anzahl bringen erhebliche Verdrahtungsprobleme mit sich. Von den beiden Flächen jedes Wandlerelementes muss die eine mit Masse und die andere mit einem Leiter verbunden werden, der als Verbindung zur Signalverarbeitungselektronik dient. Das Anlöten dieser Drähte an jedem Wandlerelement ist schwierig und mit einem aufwendigen Arbeitsvorgang von Hand aus verbunden.
Die Erfindung beseitigt diese Mängel bezüglich der Verdrahtung der Wandlerelernente mit einem Verbindungsleiter.
Das erfindungsgemässe Verfahren zum Herstellen einer mehrelementigen Ultraschallsonde besteht darin, dass mechanisch wenigstens ein piezoelektrischer Keramikblock mit zwei leitenden Schichten, nämlich einer oberen und einer unteren Schicht mit zwei gedruckten Schaltungen verbunden wird, von denen jede eine vollständig metallisierte Fläche und eine Fläche aufweist, die mit parallelen leitenden Streifen versehen ist, dass elektrisch eine der leitenden Schichten des Blockes mit einer der Flächender gedruckten Schaltungen und die andere Schicht des leitenden Blockes mit der anderen Fläche der gedruckten Schaltungen verbunden werden, und dass der keramische Block und der obere Teil jeder gedruckten Schaltung so geschnitten werden, dass sich voneinander getrennte piezoelektrische Elemente ergeben, um mechanisch die Elemente zu isolieren und elektrisch die Verbindungen bezüglich jedes Elementes zu isolieren, wobei jede gedruckte Schaltung die Hälfte der Anschlüsse trägt, die durch die vollständig metallisierten Flächen und die leitenden Streifen bestimmt sind.
Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel· der Erfindung wird die mechanische Verbindung zwischen dem Keramikblock und den gedruckten Schaltungen mittels eines elektrisch isolierenden mechanischen Dämpfungselementes gebildet, wobei der Block auf das Dämpfungselement beispielsweise mittels eines leitenden Klebstoffes geklebt ist.
Bei einem weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiel wird der obere Teil des mechanischen Dämpfungselementes so geschnitten, dass die Sonde einen Sende- und einen Empfangsteil
aufweist, die voneinander getrennt bzw. unterschieden sind.
Die nach dem erfindungsgemässen Herstellungsverfahren erhaltene mehrelementige Ultraschallsonde umfasst wenigstens einen piezoelektrischen Keramikblock mit zwei leitenden Schichten, nämlich einer oberen und einer unteren Schicht,
zwei gedruckte Schaltungen, von denen jede eine vollständig metallisierte Fläche und eine Fläche aufweist, die mit parallelen leitenden Streifen versehen ist, wobei der Keramikblock mechanisch mit beiden gedruckten Schaltungen verbunden ist, eine der leitenden Schichten des Blockes elektrisch mit einer Fläche der gedruckten Schaltungen und die andere leitende Schicht des Blockes mit der anderen Fläche der gedruckten Schaltungen verbunden ist, der keramische Block und der obere Teil jeder gedruckten Schaltung vollständig so aufgeschnitten sind, dass piezoelektrische Elemente, die mechanisch voneinander getrennt sind und den gleichen Abstand voneinander haben, und die Verbindungen zu jedem Element gebildet sind, wobei jede gedruckte Schaltung die Hälfte der Verbindungen trägt, die durch die vollständig metallisierten Flächen und die leitenden Streifen bestimmt bzw. gebildet sind.
Durch die Bildung eines Sendeteils, der vom Empfangsteil verschieden bzw. getrennt ist, wird eine bessere Bündelung der von den Wandlern empfangenen Ultraschallwellen erhalten.
Im folgenden werden anhand der zugehörigen Zeichnung bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung näher beschrieben:
Fig ο 1 zeigt schematisch ein Beispiel des erfindungsgemässen Verfahrens zum Herstellen einer Ultraschall sonde.
312A562
- ίο -
Fig. 2 zeigt schematisch eine erste Variante des in Fig. 1 dargestellten Verfahrens.
Fig. 3 zeigt schematisch eine zweite Variante des in Fig. 1 dargestellten Verfahrens.
Fig. 4 zeigt schematisch eine Ultraschallsonde in Form
eines Parallelepipeds, die nach einem Ausführungsbeispiel· des erfindungsgemässen Verfahrens erhalten wird.
Fig. 5 zeigt schematisch eine Variante der in Fig. 4 dargestellten .Ultraschallsonde.
Fig. 6 zeigt schematisch eine Ansicht von unten auf eine Sonde mit mehreren Ringen, die nach dem erfindungsgemässen Verfahren erhalten wird.
Fig. 7 zeigt schematisch eine Querschnittsansicht der in Fig. 6 dargestellten Sonde.
Im folgenden wird ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemässen Verfahrens bezüglich der Herstellung einer Ultraschallsonde beschrieben, die bei ihrer Fertigstellung die Form eines Parallelepipeds hat. Das Verfahren ist schematisch in den Fig. 1, 2 und 3 dargestellt, während die erhaltene Sonde in Fig. 4 dargestellt ist.
Gemäss der Erfindung wird ein piezoelektrischer Keramikblock 2 mit der Form eines Parallelepipeds, der schematisch in Fig. 1 dargestellt ist, mit einem leitenden Klebstoff 4 auf einen isolierenden Träger 6 in Form eines Parallelepipeds geklebt, der vorzugsweise ein mechanisches Dämpfungselement darstellt. Der Keramikblock 2 hat eine Länge, die
durch die Länge der herzustellenden Sonde bestimmt ist und eine Breite von etwa 1 cm. Der keramische Block 2 umfasst zwei leitende Schichten, eine obere Schicht 8 und eine untere Schicht 10.
Die Sonde umfasst darüberhinaus zwei gedruckte Schaltungen 12 und 14, die jeweils die Hälfte der elektrischen Verdrahtung der Sonde tragen. Die gedruckten Schaltungen 12 und 14 haben jeweils eine vollständig metallisierte Fläche 16 und eine Fläche 18, die mit leitenden Streifen 20 versehen ist, die parallel zueinander verlaufen. Die leitenden Streifen 20 sind in gleichen Abständen zueinander gleich 2p angeordnet. Am oberen Teil der Flächen 18 der gedruckten Schaltungen 12 und 14 ist über die gesamte Länge der Schaltungen ein metallisches Leiterband 22 mit einer Breite von etwa 2 mm angeordnet. Die leitenden Streifen 20 gehen von diesem Leiterband 22 senkrecht zum Band 22 aus. Die in dieser Weise gebildeten gedruckten Schaltungen 12 und 14 werden seitlich am isolierenden Träger 6 derart befestigt, dass die Flächen 18 mit den leitenden Streifen 20 einander zugewandt angeordnet sind und dabei die leitenden Streifen 20 einer Schaltung bezüglich den leitenden Streifen der anderen gedruckten Schaltung um eine Strecke gleich ρ versetzt angeordnet sind.
Die Verwendung von zwei gedruckten Schaltungen, von denen jede die Hälfte der elektrischen Verdrahtung der Sonde trägt, ermöglicht es, das Nebensprechen oder die elektrische Kapazität der Sonde stark zu vermindern.
Ein leitendes Klebeband 24, das in Fig. 2 dargestellt ist, ist gleichfalls über die gesamte Länge des leitenden Bandes 22 so angeordnet, dass die untere leitende Schicht 10 des Keramikblockes 2 mit dem Metallband 22 verbunden ist. Das leitende Klebeband 24 darf die Seitenteile des Keramikblockes 2 nicht berühren, um die beiden leitenden Schichten 8 und 10 des Blockes nicht kurzzuschliessen.
Ein schematisch in Fig. 2 dargestelltes isolierendes Harz 26 ist weiterhin zwischen dem Keramikblock 2 und dem oberen Teil 22a des Metallbandes 22 in gleicher Höhe wie die obere leitende Schicht 8 des Keramikblockes 2 vorgesehen. Eine leitende Schicht 28 befindet sich weiterhin über dem Isolierharz 26, um elektrisch die obere leitende Schicht 8 des Keramikblockes 2 mit der vollständig metallisierten Fläche 16 der gedruckten Schaltungen 12 und 14 zu verbinden.
Die metallisierte Fläche 16 der gedruckten Schaltungen und 14 bildet eine Bezugsflache, die an Masse liegt, während die Fläche 18 der gedruckten Schaltungen 12 und 14 mit einem Leiter 30 verbunden ist, der am unteren Teil der gedruckten Schaltungen 12 und 14 angeordnet und schematisch in Fig. 3 dargestellt ist und die Verbindung mit der nicht dargestellten elektronischen Verarbeitungsschaltung herstellt. Bei dem in Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel ist folglich die untere leitende Schicht 10 des Keramikblockes 2 mit dem Leiter 30 verbunden,während die obere leitende Schicht 8 des Keramikblockes 2 an Masse liegt.
Bei dem in Fig. 3 dargestellten Ausführungsbeispiel ist die obere leitende Schicht 8 des Keramikblockes 2 mit dem Leiter 30 verbunden, während die untere leitende Schicht 10 des Keramikblockes 2 an Masse liegt.
Bei diesem Ausführungsbeispiel ist das mechanische Dämpfungsglied 6 an allen Aussenflachen von einem metallischen Niederschlag 32 überzogen.
Dabei sind die gedruckten Schaltungen 12 und 14 so ausgebildet und befestigt, wie es im vorhergehenden beschrieben wurde und ist der Keramikblock 2 mit einem leitenden Klebstoff auf das metallisierte Dämpfungsglied 6 geklebt. Gleichfalls
ist ein isolierendes Harz 26 zwischen dem Kerainikblock 2 und dem oberen Teil 22a des Metallbandes 22 angeordnet.
Bei diesem Ausführungsbeispiel wird eine Isolierschicht 34 auf die Metallschicht 32 auf dem Dämpfungsglied 6 den gedruckten Schaltungen 12 und 14 zugewandt aufgebracht. Auf dem isolierenden Harz 26 und über der oberen leitenden Schicht 8 des Keramikblockes 2 ist eine leitende Schicht 36 vorgesehen/ die die elektrische Verbindung der oberen leitenden Schicht 8 des Keramikblockes 2 mit der Fläche 18 der gedruckten Schaltungen 12 und 14 herstellt, die mit den leitenden Streifen 20 versehen ist.
Dabei ist die untere leitende Schicht 10 des Keramikblockes 2 über den leitenden Klebstoff 4 und die Metallschicht 32 beispielsweise über einen Leitungsdraht 38 mit Masse verbunden, der mit einem leitenden Klebstoff 40 an das Substrat der gedruckten Schaltungen oder an den Dämpfungsblock 6 geklebt sein kann.
Die Verwendung einer elektrischen Masse, die für eine grosse Metallfläche sorgt (Metallschicht 32), liefert eine sehr wirksame Abschirmung der Sondenanordnung.
Die beiden oben beschriebenen Ausführungsbeispiele der Sonde werden in der in Fig. 4 dargestellten Weise mit einer Drahtsäge oder einer Diamantsäge so eingeschnitten, dass sich Wandlerelemente 42 ergeben,die mechanisch voneinander isoliert sind;und die Verbindungen zu jedem Wandlerelement elektrisch isoliert sind. Um das zu erreichen, ist es notwendig, den gesamten keramischen Block 2 sowie auch das Metallband 22 zu durchschneiden, das am oberen Teil der Flächen 18 der gedruckten Schaltungen 12 und 14 vorgesehen ist. Die Verbindungen jedes Wandlers 42 werden einerseits
von den leitenden Streifen 20 der gedruckten Schaltungen 12 und 14, d.h. von einem leitenden Streifen 20 für jeden Wandler,und andererseits durch die metallisierte Fläche 16 der Schaltungen sowie die leitende Schicht 32 des Dämpfungselementes 6 gebildet.
Die Schnitte 44 erfolgen in einem Abstand gleich p, was es beispielsweise ermöglicht, ein Ende des Wandlers 42a mit dem Leiter 30 über den leitenden Streifen 20a der gedruckten Schaltung 12 zu verbinden und ein Ende des Wandlers 42b mit dem Leiter 30 über einen leitenden Streifen 20b der gedruckten Schaltung 14 zu verbinden. Das andere Ende der Wandler 42a und 42b ist jeweils mit der metallisierten Fläche 16 der Schaltungen 14 und 12 verbunden.
Die Breite jedes leitenden Streifens 20 sollte kleiner als die Breite des Schnittes 44 sein, damit die Streifen nicht in zwei Teile geschnitten werden, was zu einem Kurzschluss aller Wandlerelemente führen könnte.
Wie es schematisch in Fig. 5 dargestellt ist, kann ein Teil des mechanischen Dämpfungsgliedes 6 durch zwei Schnitte 46 so eingeschnitten sein', dass sich eine Sonde mit einem Sendeteil 48 und einem Empfangsteil 50 ergibt, die voneinander getrennt sind. Die Trennung des Sendeteils 48 vom Empfangsteil 50 ergibt eine bessere Bündelungsfähigkeit der durch die Empfangswandler empfangenen Ultraschallwellen aufgrund der Tatsache, dass der Sendeteil 48 wenig an der Bündelung teilnimmt und im wesentlichen eine mechanische Isolierung zwischen dem Sendeteil auf hohem Sendeniveau und dem Empfangsteil auf niedrigem Empfangsniveau besteht.
Das beschriebene Verfahren der Verdrahtung und der Aufteilung der Sonde lässt sich darüberhinaus auch auf andere Formen von mehrelementigen Sonden,beispielsweise auf aus mehreren
Ringen bestehende Sonden anwenden, wie sie in den Fig. und 7 dargestellt sind.
Bei einem derartigen Ausführungsbeispiel besteht das mechanische Dämpfungsglied 50 aus zwei Halbzylindern 50a und 50b, auf die mit einem leitenden Klebstoff 44 zwei keramische Halbtabletten 52a und 52b geklebt sind. Die beiden Halbzylinder 50a und 50b sind auf beiden Seiten von zwei gedruckten Schaltungen 12 und 14 angeordnet, die so ausgebildet und angeschlossen sind, wie es bei den vorhergehenden Ausführungsbeispielen der Fall war. Beide gedruckte Schaltungen 12 und 14 sind an den beiden Halbzylindern 50a und 50b so befestigt, dass die metallisierte Fläche 16 der gedruckten Schaltung 12 sowie die Fläche 18 mit den leitenden Streifen 20 der gedruckten Schaltung 14 am selben Halbzylinder 52a befestigt sind, und dass die metallisierte Fläche 16 der gedruckten Schaltung 14 sowie die Fläche 18 mit den leitenden Streifen 20 der gedruckten Schaltung 12 am selben Halbzylinder 52b befestigt sind.
Bei dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel trägt jede gedruckte Schaltung die Hälfte der leitenden Streifen.
Wie es bei dem in Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel der Fall war, ist die obere leitende Schicht 54 der keramischen Tabletten 52 elektrisch mit der metallisierten Fläche 16 der gedruckten Schaltungen 12 und 14 über eine leitende Schicht 56 verbunden und ist die untere leitende Schicht 58 der keramischen Tabletten 52 mit der mit den leitenden Streifen 20 versehenen Fläche 18 der gedruckten Schaltungen 12 und 14 über das Metallband 22 der Schaltungen und einen Klebstreifen verbunden. Wie bei den vorhergehenden Ausführungsbeispielen sind Isolierungen vorgesehen,um einen Kurz~ Schluss der beiden leitenden Schichten 54 und 58 der keramischen Tabletten 52 zu verhindern.
Die in dieser Weise ausgebildete Sonde kann so eingeschnitten werden, dass Wandlerelemente 60 in Form von konzentrischen Ringen erhalten werden, die mechanisch voneinander durch die Schnitte 62 getrennt sind und in einem Abstand angeordnet sind, der gleich dem Abstand ist, der die leitenden Streifen 20 derselben gedruckten Schaltung trennt. Um, wie bei den vorhergehenden Ausführungsbeispielen,die Verbindungen zu allen Wandlern 60 zu erhalten, ist es notwendig, die keramischen Halbtabletten 50 über die gesamte Höhe sowie den oberen Teil der gedruckten Schaltungen 12 und 14 einzuschneiden. Ein stärkerer Einschnitt 64 kann auf der Höhe des mittleren Wandlers 66 wie bei den vorhergehenden Ausführungsbeispielen vorgesehen sein, um den Sendeteil 66 vom Empfangsteil zu trennen. Unter diesen Umständen ist es notwendig, den oberen Teil von beiden Halbzylindern 50a und 50b zu durchschneiden.
Es sei darauf hingewiesen, dass es zur Herstellung einer Sonde mit mehreren Ringen nicht notwendig ist, zwei Halbtabletten 52a und 52b zu verwenden. Es kann auch in der folgenden Weise vorgegangen werden: jeder Halbzylinder 50a und 50b, die in Kontakt mit den gedruckten Schaltungen 12 und 14 stehen, weist eine Nut 68 auf,wie es schematisch bei A dargestellt ist, die mit einem leitenden Klebstoff gefüllt wird und deren Tiefe kleiner als die Tiefe der Schnitte 62 ist. Der leitende Klebstoff bildet den Kontakt mit den gedruckten Schaltungen einerseits und andererseits mit der unteren Schicht 56 des keramischen Teils. Das leitende Klebeband wird gleichzeitig mit dem keramischen Körper aufgeschnitten, wodurch die Wandlerelemente getrennt werden.
Bei allen beschriebenen Ausführungsbeispielen der Erfindung werden zwei doppelflächige gedruckte Schaltungen verwandt,
wobei eine Fläche 18 leitende Streifen 20 aufweist, während die andere Fläche 16 vollständig metallisiert ist. Es versteht sich jedoch, dass die Erfindung auch äquivalente Ausführungsbeispiele, wie beispielsweise solche umfasst, die nur eine doppelflächige gedruckte Schaltung, wie es im folgenden beschrieben wird, oder zwei einflächige gedruckte Schaltungen verwenden, von denen die eine die leitenden Streifen aufweist, während die andere vollständig von einer Metallschicht überzogen ist, wenn eine die Verbindungen tragende Schaltung mit einem piezoelektrischen Keramikblock mechanisch verbunden wird oder ein Einschnitt vorgesehen wird, um die piezoelektrischen Wandlerelemente und ihre Erregeranschlüsse und/oder die Ableitung der Nutzsignale elektrisch zu isolieren.
Das beschriebene Verfahren ist schliesslich auch auf matrizenförmige Sonden anwendbar, bei denen Stäbchen aus einem piezoelektrischen Material nebeneinander angeordnet sind, die durch doppelflächige gedruckte Schaltungen getrennt sind, wobei jedes Stäbchen benachbarten gedruckten Schaltungen zugeordnet ist. Ein Einschneiden senkrecht zu den Stäbchen ermöglicht eine mechanische Isolierung der Wandlerelemente und eine elektrische Isolierung ihrer elektrischen Anschlüsse.

Claims (15)

  1. Mehrelementige ültraschallsonde und Verfahren zu ihrer Herstellung
    PATENTANSPRÜCHE
    Verfahren zum Herstellen einer mehrelementigen Ultraschallsonde, dadurch ge kenn ze ic hn e t , dass mechanisch wenigstens ein piezoelektrischer Keramikblock (2, 52) mit zwei leitenden Schichten, nämlich einer oberen Schicht (8, 54) und einer unteren Schicht (10, 58) mit zwei gedruckten Schaltungen (12, 14) verbunden wird, die jeweils eine vollständig metallisierte Fläche (16) und eine Fläche (18) aufweisen, die mit parallelen leitenden Streifen (20) versehen ist, dass elektrisch eine leitende Schicht des Blockes mit einer der Flächen (16, 18) der gedruckten Schaltungen (12, 14) und die andere leitende Schicht des
    TELEFON (0 ββ) 32 SB 83
    TELEX O5-JK» 300
    TELEGRAMME MO.NAPAT*
    Blockes mit der anderen Fläche (16, 18) der gedruckten Schaltungen verbunden werden und dass der Keramikblock (2, 52) und der obere Teil jeder gedruckten Schaltung so"aufge~ schnitten werden, dass piezoelektrische Elemente (42, 60) gebildet werden, die Elemente mechanisch isoliert sind und die Verbindungen relativ zu jedem"Element elektrisch isoliert sind, wobei jede- gedruckte Schaltung die Hälfte der Verbindungen trägt, die von den vollständig metallisierten Flächen (16) und den leitenden Streifen (20) gebildet sind.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , dass die- mechanische Verbindung zwischen dem Keramikblock (2, 52) und der gedruckten Schaltung (12, 14) über ein elektrisch isolierendes mechanisches Dämpfungsglied (6, 50) erfolgt, wobei der Block auf das Dämpfungsglied geklebt wird.
  3. 3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet , dass die gedruckten Schaltungen (12, 14) derart angeordnet werden, dass jeder leitende Streifen(20) einem Ende eines Wandlerelementes (42,60) entspricht.
  4. 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass ein metallisches Leiterband (22) auf dem oberen Teil der Flächen (18) der gedruckten Schaltungen (12, 14) angeordnet wird, die mit leitenden Streifen (20) versehen sind.
  5. 5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet , dass elektrisch das Metallband (22) mit einer ersten leitenden Schicht (10, 58) des Keramikblockes (2, 52) über ein leitendes Klebeband (54) verbunden wird.
  6. 6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass ein isolierendes Harz (56) zwischen dem Keramikblock (2, 52) und dem oberen Teil des Metallbandes bis zur Höhe der zweiten leitenden Schicht (8, 54) des Blockes angeordnet wird.
  7. 7. Verfahren nach· Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet , dass auf dem isolierenden Harz (56) eine leitende Schicht (28) angeordnet wird, die elektrisch die zweite leitende Schicht (8, 54) des Keramikblockes (2, 52) mit der vollständig metallisierten Fläche (16) der gedruckten Schaltungen (12, 14) verbindet.
  8. 8. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , dass das Dämpfungselement (6) auf allen Aussenflächen mit einem Metallniederschlag (32) überzogen
  9. 9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass eine isolierende Schicht (34) auf den Metallflächen des Dämpfungsblockes (6) den gedruckten Schaltungen (12, 14) gegenüber angeordnet wird.
  10. 10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem isolierenden Harz eine leitende Schicht (36) angeordnet wird, die elektrisch die obere leitende Schicht (8) des Keramikblockes (2) mit der Fläche (18) der gedruckten Schaltungen verbindet, die mit den leitenden Streifen (20) versehen ist.
  11. 11. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der obere Teil des mechanischen Dämpfungselementes (6) so aufgeschnitten wird, dass sich eine Sonde mit einem Sendeteil (48) und einem Empfangsteil (50) ergibt, die voneinander getrennt sind.
    -A-
  12. 12. Mehrelementige Ultraschallsonde, hergestellt nach dem Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, gekenn ze i c h η e t durch wenigstens einen piezoelektrischen Keramikblock (2, 52) mit zwei leitenden Schichten, nämlich einer oberen Schicht (8, 54) und einer unteren Schicht (10, 58), durch zwei gedruckte Schaltungen (12, 14), von denen jede eine vollständig metallisierte Fläche (16) und eine Fläche (18) aufweist, die mit parallelen leitenden Streifen (20) versehen ist, wobei der Keramikblock mechanisch mit beiden gedruckten Schaltungen verbunden ist, eine der leitenden Schichten des Blockes elektrisch mit einer der Flächen (16, 18) der gedruckten Schaltungen (12, 14) und die andere leitende Schicht des Blockes mit der anderen Fläche (18, 16) der gedruckten Schaltungen verbunden sind, der Keramikblock (2, 52) und der obere Teil jeder gedruckten Schaltung so vollständig eingeschnitten sind, dass piezoelektrische Elemente (42, 60), die mechanische voneinander getrennt sind;und die elektrischen Anschlüsse zu jedem Element gebildet sind,und wobei jede gedruckte Schaltung die Hälfte der Anschlüsse aufweist, die durch die vollständig metallisierten Flächen (16) und die leitenden Streifen (20) gebildet sind.
  13. 13. Ultraschallsonde nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die mechanische Verbindung zwischen dem Keramikblock (2, 52) und den gedruckten Schaltungen (12, 14) aus einem elektrisch isolierenden mechanischen Dämpfungsglied (6, 50) besteht, auf das der Block geklebt ist.
  14. 14. Ultraschallsonde nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet , dass die gedruckten Schaltungen (12, 14) seitlich am Dämpfungsglied (16) befestigt sind, das die Form eines Parallelepipeds hat, so dass die Flächen (18) der Schaltungen, die mit den leitenden Streifen (20)
    versehen sind, einander gegenüber derart angeordnet sind, dass die leitenden Streifen (20) der einen Schaltung (12, 14) bezüglich den leitenden Streifen (20) der anderen Schaltung (14, 12) um eine Strecke gleich der Teilung des Keramikblockes (2) versetzt sind, wobei die leitenden Streifen derselben gedruckten Schaltung in einem regelmässigen Abstand voneinander angeordnet sind, der das Zweifache der Teilung beträgt.
  15. 15. ültraschallsonde nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet , dass das Dämpfungsglied aus zwei Halbzylindern (50a, 50b) besteht, die auf beiden Seiten der gedruckten Schaltungen (12, 14) angeordnet sind, wobei der Keramikblock (52),der auf das Dämpfungsglied geklebt ist, aus zwei Halbtabletten (52a, 52b) besteht.
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