DE3119039A1 - Fotometer und verfahren zur spektralfotometrie - Google Patents

Fotometer und verfahren zur spektralfotometrie

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DE3119039A1 DE19813119039 DE3119039A DE3119039A1 DE 3119039 A1 DE3119039 A1 DE 3119039A1 DE 19813119039 DE19813119039 DE 19813119039 DE 3119039 A DE3119039 A DE 3119039A DE 3119039 A1 DE3119039 A1 DE 3119039A1
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B & M Spektronik & Co KG GmbH
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Spektralfotometer mit
  • Lichtquelle, Probenraum, dispersivem Element und Auswerteeinrichtung.
  • Derartige Spektralfotometer sind allgemein bekannt.
  • Sie weisen jedoch durchweg Beschränkungsn hinsichtlich ihrer Leistungefähigkeit auf.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, ein Spektralfotometer zu schaffen, welches die Nachteile der bekannten Fotometer vermeidet und insbesondere ein hohes Auflösungsvermögen hat und eine schnelle Messung der Spektralverteilung ermöglicht.
  • Diese Aufgabe ist gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß mehrere Analysestufen mit einem dispersiven Element und mit einer Detektoreinrichtung vorgesehen sind. Die verschiedenen Analysenstufen sind verschiedenen Spektralbereichen zugeordnet.
  • Mit dieser Erfindung wird zunächst der Vorteil erzielt, daß eine besonders schnelle Messung möglich ist, weil die verschiedenen Analysestufen gleichzeitig, paraLlel zueinander arbeiten können.
  • Ein weiterer Vorteil der Erfindung liegt darin, daß eine hohe Auflösung erzielbar ist. Die Detektoreinrichtungen, welche stationär angeordnet sein können, müssen nicht jeweils das gesamte Spektrum erfassen sondern lediglich einen Bruchteil des gesamten Spektrums.
  • Nach einer Weiterbildung der Erfindung ist zwischen der Probenkammer und den Analysestufen eine das ankommende Licht in Spektralbereiche aufteilende Einrichtung vorgesehen. Diese Weiterbildung der Erfindung weist den großen Vorteil auf, daß nur ein einziger Strahlengang durch die Probe notwendig ist, weil die Zerlegung des Lichtes in die verschiedenen Spektralbereiche erst hinter der Probenkammer durchgeführt wird.
  • Aufgrund dieser Anordnung ist es auch möglich, Referenzlì<ht und Meßlicht gleichzeitig zu verarbeiten. Wegen der schnellen AbfragemögI.ichk('jt der stationären Detektoranordnung ist eine hohe Zeitauflösung möglich. Wegen dieser hohen Zeitauflösung kann sowohl bei intermittierender als auch bei ständiger Messung die Zuordnung zwischen Referenzlicht und Meßlicht gewahrt bleiben.
  • Nach einer anderen Weiterbildung der Erfindung ist die Aufteilung des von der Probenkammer kommenden Lichtes von Bereichen kurzwelligen Lichtes zu Bereichen langwelligen Lichtes hin getroffen. Durch diese Maßnahme wird der sonst stets auftretende Streueffekt weitestgehend unterdrückt. Die Streuungsintensität ist bei kürzeren Wellenlängen viel größer als bei größeren Wellenlänge. Da dieses kurzwellige Licht bereits der ersten Analysenstuie zugeführt und damit gleichzeitig von den anderen Analysestufen ferngehalten wird, kann es bei den nächsten Analysestufen keine Störung mehr verursachen.
  • Aufgabe der Erfindung ist es ferner, ein weiteres neues Spektralfotometer zu schaffen.
  • Diese Aufgabe ist dadurch gelöst, daß ein dispersives Element um feste Winkelbeträge verschwenkbar angeordnet ist und in dem Austrittsstreifen dieses dispersiven Elementes eine Fotodetektoranordnung, zum Beispiel eine Fotodetektormatrix feststehend angeordnet ist.
  • Aufgrund der stationären Anordnung der Fotodetektormatrix ist eine schnelle, und, falls es erwünscht ist, auch eine gleichzeitige Abfrage aller Detektoren möglich, während das dispersive Element sich in einer seiner verschiedenen Stellungen befindet.
  • Danach wird das dispersive Element schnell um einen bestimmten Winkebeltrag in eine andere Stellung verdreht, woraufhin mit der Detektoranordnung in beliebig kurzer Zeit die spektrale Lichtverteilung in diesem Unterbereich gemessen wird, und so weiter.
  • Dieses neue Spektralfotometer vereinigt in sich die Vorteile sowohl des Monochromators als auch die Vorteile des Polychromators.
  • Aufgabe der Erfindung ist es ferner, ein Verfahren zur spektralen Fotometrie zu schaffen. Diese Aufgabe ist gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß das von der Probe kommende Licht zunächst in verschiedene Spektralbereiche unterteilt und das Licht der verschiedenen Spektralbereiche gleichzeitig jeweils verschiedenen Analysestufen zugeführt und dort gemessen wird.
  • Nach einer Weiterbildung der Erfindung wird die spektrale Lichtverteilung der verschiedenen Spektralbereiche durch Abtasten stationärer Fotodetektoren vorgenommen. Diese können einzeln oder in Gruppen oder auch alle gleichzeitig abgefragt werden.
  • Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung gehen aus den Ansprüchen in Verbindung mit der Beschreibung und der Zeichnung hervor.
  • Die Erfindung ist im folgenden anhand eines Ausführungsbeispiels und in Verbindung mit der Zeichnung näher beschrieben. In letzterer zeigen: Fig. 1 Die erfindungsgemäße Anordnung mehrerer Spektrographen, welche gleichzeitig Licht jeweils verschiedener Spektralbereiche empfangen, und eine nachgeschaltete Auswerteeinrichtung, Fig. 2a eine erfindungsgemäße Antriebseinrichtung für ein dispersives Element, mit einem schwenkbaren Steuerarm und Endlosband, Fig. 2b eine erfindungsgemäße Antriebseinrichtung mit einem Antrieb mit Endlosband über eine Rolle, und Fig. 2c eine erfindungsgemäße Antriebseinrichtung mit einem direkten Antrieb der Halterung des dispersiven Elements.
  • In Fig. 1 sieht man zwei Lichtquellen Ol und Q2, wodurch angedeutet sein soll, daß zwei oder beliebig viele Lichtquellen vor der Probenkammer angeordnet sein können. Diese Lichtquellen können z.B. durch elektrische Schaltungen oder durch Abblendmechanismen nacheinander oder in gewünschten Gruppierungen oder Gruppierungsreihenfolgen zuschaltbar sein.
  • Von der Lichtquelle Q austretendes Licht wird durch eine Linse 10 gebündelt und fällt auf die Probenkammer 12. Von dieser austretendes Licht wird nochmals durch eine Linse 14 gebündelt und fällt dann auf einen ersten halbdurchlässigen Spiegel 20. Parallel zu diesem halbdurchlässigen Spiegel 20 sind ein weiterer halbdurchlässiger Spiegel 22 und ein undurchlässiger Spiegel 24 angeordnet. Der halbdurchlässige Spiegel 20 läßt ultraviolettes Licht im Wellenlängenbereich von 200 bis 500 nm hindurch, während er längerwelliges Licht um 900 nach rechts reflektiert. Der in dieser Reflexionsrichtung angeordnete halbdurchlässige Spiegel 22 empfängt dieses Licht, welches im Wellenlängenbereich von 500 bis 3000 nm liegt, reflektiert Licht im Wellenlängenbereich von 500 bis 1000 nm und läßt längerwelliges Licht hindurch. Schlief3lich reflektiert der dritte Spiegel 24 alles auf ihn auftreffende Sicht, nämlich das Licht im Wellenlängenbereich von 1000 bis 3000 nm.
  • Das von dem ersten halbdurchlässigen Spiegel 20 hindurchgelassene Licht fällt auf eine erste Analyse- stufe 30, welche ein dispersives Element 31 und eine Fotometeranordnung 32 umfaßt. Das Licht des zweiten Spektralbereichs im Wellenlängenbereich von 500 bis 1000 nm wird von dem zweiten halbdurchlässigen Spiegel 22 einer zweiten Analysestufe 33 zugeführt, welche ebenfalls ein dispersives Element 34 und eine Fotometereinrichtung 35 umfaßt. Das Licht des langwelligen Spektralbereichs von 1000 bis 3000 nm schließlich wird durch den dritten Spiegel 24 zu einer dritten Analysestufe 36 geleitet, welche ebenfalls ein dispersives Element 37 und ein Fotometer 38 aufweist.
  • Als dispersives Element können Prismen, Gitter oder andere Elemente verwendet werden, welche dispersive Eigenschaften haben.
  • Die dispersiven Element 31 und 34 der Analysestufen 30 bzw. 33 sind feststehend angeordnet; sie sind als Polychromatoren verwendet, welche eine Austrittsebene aufweisen. Die nachgeschalteten Fotometer 32 und 35 sind Fotodetektormatrizen welche eine Vielzahl von Detektoren umfassen. Diese Fotodetektoren können in einer Reihe, welche senkrecht zur Scheitelkante des Prismas bzw. senkrecht zu den Gitterlinien verläuft, also in X-Richtung angeordnet sein. Es ist jedoch auch möglich bei dieser Fotodetektormatrix eine Vielzahl von Fotodetektoren so anzuordnen, daß jeweils eine Reihe von Fotodetektoren senkrecht zur X-Achse übereinander angeordnet sind. Diese Fotodetektoren empfangen je nach dem geometrischen Ort, an welchem sie angeordnet sind, Licht verschiedener Wellenlängen.
  • Mit diesen Fotodetektormatrizen, welche jeweils z.B. 250, 500 oder 1000 Detektoren nebeneinander umfassen können, ist eine simultane Erfassung des Spektrums des jeweiligen Spektralbereiches möglich.
  • Daraus folgt bereits der eine erhebliche Vorteil des erfindungsgemäßen Spektrometers, daß es besonders schnell arbeitet. Dadurch ist auch die Untersuchung sehr schnell durchführbar, auch bei Verwendung der Probenkammer in einer -oder als Fluorometeranordnung.
  • Wie in der Fig. 1 dargestellt ist, sind die Ausgänge der Fotodetektormatrizen 32, 35 und 38 über Leitungen 40 und 42 mit einem Rechner 50 verbunden, welcher zusammen mit einem Monitor 52 eine Auswerteeinrichtung bildet.
  • Aus der obigen Beschreibung der erfindungsgemäßen Anordnung ergeben sich augenfällig mehrere Vorteile der Erfindung: Ein wesentlicher Vorteil ist die große Erhöhung des Auflösungsvermögens. Dieses Auflösungsvermögen wird dadurch erhöht, daß zwei, drei oder noch mehr parallel angeordnete Analysenstufen 30, 33, 36 vorgesehen sind. Jedem Spektralbereich ist eine solche Analysenstufe 30, 33 oder 36 zugeordnet. Das bedeutet wiederum, daß die Auflösung in z.B. 500 Kanäle in jeder Analysenstufe jetzt nicht auf das gesamte Spektrum verteilt ist, sondern auf jeden Teilbereich. So erhält man bei Verwendung dreier Spektralbereiche mit jeweils einer nachgeschalteten Analysestufe 30, 33 bzw. 36 in erster Näherung die dreifache Auflösung. Das gilt unabhängig davon, ob Fotodetektoren in X-Richtung nebeneinander verwendet werden oder ob eine Fotodetektormatrix verwendet wird, bei welcher Gruppen von vertikal übereinander angeordneten Fotodetektoren in X-Richtung nebeneinander angeordnet sind.
  • Ein weiterer Vorteil der Erfindung liegt darin, daß zunächst das ultraviolette Licht aus dem gesamten Spektrum herausgenommen und einer Analysestufe 30 zugeführt wird. Auf diese Weise wird die Streuung des Spektrometers minimiert, da der Streueffekt immer aus Wellenlängen niedriger Ordnungen resultiert.
  • Besondere Probleme traten immer auf, wenn ein Referenzstrahl und ein Sample- oder Meßstrahl verarbeitet werden sollten. Sie mußten immer getrennt geführt und zeitlich getrennt verarbeitet werden.
  • Das ist bei der vorliegenden Anordnung nicht der Fall. Im ganz groben Modell kann z.B. der Wejienlängenbereich der mittleren Stufe ausschließlich auf den Wellenlängenbereich der Referenzstrahlung begrenzt oder zugeschnitten sein.
  • Die vorliegende Erfindung bietet aber auch den Vorteil, daß die Zeitauflösung getrennt gegeben ist.
  • Wenn z.B. von den Lichtquellen Q1 und Q2 abwechselnd im gleichen Wellenlängenbereich Referenzlicht und Probenlicht ausgesendet werden, so bleibt diese Wechselfrequenz in der gesamten Anordnung erhalten.
  • Es ist also auch möglich, ohne jeglichc Änderung eines Strahlenganges oder irgendeiner Stufe oder eines Bauteils die Zuordnung zwischen Referenzlicht und Meß- oder Probenlicht zu treffen, da wegen der zeitlichen Auflösung der entweder intermittierend.
  • durchgeführten oder der ständig durchgeführten Messung die Zuordnung zwischen Referenzstrahl und Meßstrahl gegeben ist.
  • Diese Zuordnung ist ständig möglich, da die Messung besonders schnell durchgeführt werden kann, weil nicht ein Fotodetektor langsam verfahren werden muß, sondern die stationär angeordneten Fotodetektoren sehr schnell abgefragt werden können. Diese Abfrage kann entwedcer eine konsekutive Abfrage der einzelnen Detektoren einer Analysestufe sein, wobei gleichzeitig die Detektoren der anderen Analysestufen abgefragt werden. Die Abfrage kann aber auch erfolgen, indem jeweils 3, 10 oder 50 Detektoren gleichzeitig und solche Gruppen nacheinander abgefragt werden.
  • Die Aufteilung durch die halbdurchlässigen Spiegel oder Filter in Spektralbereiche erfolgt keineswegs in gleichmäßige Zahlenintervallen der Frequenzen sondern nach verschiedenen Kriterien. Ein Kriterium kann z.B. sein, daß einzelne enge Spektralbereiche von besonderer Bedeutung sind und besonders hoch aufgelöst werden sollen. In diesem Falle sind für diese engen Spektralbereiche besondere Analysenstufen vorgesehen. Ein anderer Gesichtspunkt kann der sein, daß zum Infraroten hin der Wellenlängenbereich ungleich größer ist als der Bereich des sichtbaren Lichtes. Es kann deshalb, je nach Aufgabenstellung, zweckmäßig sein, mehr Analysenstufen im infraroten Bereich als in den anderen Bereichen vorzusehen.
  • Bei der üblichen Aufteilung der Spektralbereiche ist der Spektralbereich des infraroten Lichtes ungleich weiter gefaßt als die anderen Spektralbereiche. Damit ergibt sich automatisch das Problem, diesen großen Bereich für kurze Zeit, möglichst in gleich kurzer Zeit wie die anderen Bereiche zu messen. In diesem breiten Spektralbereich empfängt praktisch jede Fotodetektordiode eine andere Wellenlängeninformation. Um auch in diesem Falle eine gute Auflösung zu erreichen, müßte jede Diode einzeln abgefragt werden. Damit entfällt der oben beschriebene Vorteil der simultanen Erfassung der Meßwerte mehrerer Fotodioden, mit anderen Worten, die gleichschnelle Durchmessung des infraroten Bereiches mit Polychromatoren ist gar nicht möglich.
  • Eine schnelle Durchmessung des weiten Infrarotbereiches ist aber auch nicht mit Monochromatoren möglich, bei denen das dispersive Element, z.B. das Gitter, langsam gedreht wird, während der Detektor in der Regel stationär angeordnet ist und lediglich frequenzabhängig geringfügig bewegt wird.
  • Diese Durchmessung ist deshalb sehr langsam, weil zur Verdrehung des Gitters ein Spindelantrieb mit einem Sinusschwenkarm verwendet wird. Entsprechend der Sinuskurve ist die Zuordnung zwischen der Wellenlänge und dem Drehwinkel nur mit unterschiedlicher Genauigkeit möglich. Z.B. ist die Endung des Sinusvon 0 ausgehend größer als im Bereich des ersten Maximums der Sinuskurve. Deshalb ist die Zuordnung zur Wellenlänge von 0 ausgehend, sozusagen im steilen Teil der Sinuskurve, genauer als im übrigen Bereich.
  • Ein anderer wesentlicher Nachteil der üblichen Monochromatoren resultiert aus der Verwendung einer Spindel, welche zwangsläufig nur einen langsamen Antrieb ermöglicht. Zum Verfahren des dispersiven Elementes muß nicht nur die Länge der Spindel, sondern deren Umfang multipliziert mit der Anzahl der durchfahrenen Windungen zurückgelegt werden.
  • Durch Erhöhung der Steigung des Spindelgewindes kann die Vorschubgeschwindigkeit zwar erhöht werden.
  • Je steiler jedoch das Spindelgewinde ausgebildet ist, umso schneller ist zwar der Vorschub, aber umso 1ngcn.'Iucr ist gleichzeitig auch der Vortrieb und damit die Zuordnung zwischen geometrischem Ort auf der Spindel und Wellenlänge.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung ist, insbesondere für den infraroten Spektralbereich, ein völlig anderes Spektralfotometer 37 vorgesehen. Dieses Spektralfotometer ist in Fig. 2a schematisch dargestellt. Ein Motor 60 mit Stellantrieb 68 treibt ein Endlosband 62 an. An diesem ist gleitend ein Endbereich einer Steuerstange (70) geführt, deren anderes Ende drehfest mit der Achse eines Drehtisches (74) verbunden ist, auf welchem das dispersive Element steht. Durch Antrieb oder Verschiebung des Endlosbandes um bestimmte Längen wird der Drehtisch 74 und damit auch das dispersive Element um bestimmte Winkelbeträge verdreht, Selbstverständlich ist dieses Prinzip in gleicher Weise anwendbar, wenn kein Drehtisch vorgesehen ist sondern z.B. das dispersive Element direkt in einer drehbaren Halterung befestigt ist. In diesem Fall wird die SChwenbewegung des Steuerarms 70 auf die Halterung des dispersiven Elementes übertragen. Ein solches Spektralfotometer ist völlig neu.
  • Mit dieser Ausbildungsform des Antriebs kann die Steuerstange 70 mit beliebig großer Genauigkeit in nahezu beliebig kurzer Zeit von einer Stellung in die nächste vorbestimmte Stellung verschoben werden.
  • Andererseits bildet diese dritte Analysestufe 36, auch wenn das dispersive Element verschwenkbar angeordnet ist, keinen Monochromator sondern einen Polychromator. Diesem dispersiven Element 37 ist wiederum eine Fotodetektormatrix zugeordnet, welche z.B. 128, 256 oder z.B. 512 Kanäle umfassen kann.
  • Die Fotodetektoren dieser IR-Fotodetektormatrix sind wiederum auf dem gesamten Austrittsstreifen des Spektrometers 57 verteilt.
  • In diesem Spektrographen 37 kann jetzt der Spektralbereich von 1000 bis 3000 nm, z.B. in vier Spektralbereiche zerlegt werden, wobei jeder Spektralbreich einer bestimmten Winkelstellung des dispersiven Elements entspricht. Die Verschwenkung des dispersiven Elements erfolgt durch Betätigung des Motors, welcher schrittweise die Steuer-stange 70 in kürzester Zeit aus einer Stellung in die nächste Stellung verschwenkt. In jeder Stellung des dispersiven Elements wird mit Hilfe der Fotodetektormatrix die Spektralverteilung gemessen. Dabei kann wiederum, wie oben im Zusammenhang mit den kurzwelligeren Spektralbereichen beschrieben wurde, die Messung für jeweils 2, 10 oder z.B. 50 Fotodetektoren gleichzeitig vorgenommen werden. Deshalb kann nach beliebig kurzer Zeit das dispersive.Element wieder in seine nächste Winkelstellung verfahren werden.
  • Selbstverständlich ist es auch möglich, statt einer Einzelabtastung der Detektoren oder statt einer konsekutiven Abtastung von Gruppen von Detektoren durch photographische Aufzeichnung jeweils simultan die Meßwerte sämtlicher Detektoren zu erfassen.
  • Der erfindungsgemäße Spektralapparat 36 für den infraroten Bereich vereinigt somit in sich sowohl die Vorteile eines Monochromators als auch die Vorteile eines Polychromators. Dabei werden durch Ersatz der sonst üblichen Antriebsmechanik durch den völlig neuen erfindungsgemäßen Antrieb die Nachteile des Monochromators vermieden.
  • Eine weitere Ausführungsform eines erfindungsgemaßen Schellantriebs ist in Figur 2b dargestellt.
  • Bei dieser Ausführungsform treiben Motor GO und Stellantrieb 68 wiederum ein Endlosband an. Dieses Endlosband 62 läuft antreibend um eine Rolle 76, welche drehfest mit dem Drehtisch 74 fiir das dispersive Element, nicht dargestellt, verbunden ist.
  • Eine wiederum andere Ausführungsform eines Schnellantriebs ist in Figur 2c dargestellt. Bei dieser Ausführungsform ist die Achse des Motors direkt mit der Achse 74 des Drehtisches 37 des dispersiven Elementes verbunden. Auf diese Weise wird eine besonders genaue Steuerung des Drehtisches 37 ermöglicht

Claims (22)

  1. Fotometer und Verfahren zur Spektralfotometrie Ansprüche: 1 ¼) Spektralfotometer, mit Lichtquelle, Probenraum, dispersivem Element und Auswerteeinrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Analysestufen (30, 33, 36) mit einem dispersiven Element (31, 34, 37) und mit einer Detektoreinrichtung (32, 35, 38) vorgesehen sind.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die verschiedenen Analysestufen (30, 33, 36) verschiedenen Spektralbereichen zugeordnet sind.
  3. 3. Vorrichtung nach Anpsructi 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Probenkammer (12) und den Analysestufen (30, 33, 36) eine das ankommende Licht in Spektralbereiche aufteilende Einrichtung (20, 22, 24) vorgesehen ist.
  4. 4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Licht der verschiedenen Spektralbereiche längs verschiedenen Wegen jeweils einer der Analysestufen (30, 33, 36) zugeführt ist.
  5. 5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Anspriiche, dadurch gekennzeichnet, daß die das Licht in Spektralbereiche aufteilende Einrichtung halbdurchlässige Spiegel (20, 22) umfaßt.
  6. 6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufteilung in Spektralbereiche ausgehend von dem kurzwelligen Licht zum längerwelligen Licht hin vorgesehen ist.
  7. 7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß den dispersiven Elementen (31, 34) jeweils ein Austrittsstreifen gleicher Breite zugeordnet ist.
  8. 8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in den Analysestufen (30, 33, 36) jeweils eine Fotodetektormatrix vorgesehen ist.
  9. 9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die dispersiven Elemente (31, 34) der Analysestufen (30, 33, 36) stationär angeordnet sind.
  10. 10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das dispersive Element in einer oder in mehreren Analysestufen (36) verschwenkbar angeordnet ist.
  11. 11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das dispersive Element (37) um feste Winkelbeträge verschwenkbar ist.
  12. 12. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß zur Verschwenkung des dispersiven Elements ein schneller Stellantrieb (60 bis 72) vorgesehen ist.
  13. 13. Vorrichtung nach Anspruch U , dadurch gekennzeichnet, daß der schnelle Stellantrieb einen Motor (60) mit Stellungsgeber (68) und ein Endlosband (62) umfaßt, an welchem das freie Ende einer Steuerstange (70) gleitend geführt ist, deren anderes Ende drehfest mit der Halterung (74) des dispersiven Elements verbunden ist.
  14. 14. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der verschwenkbare Endbereich der Steuerstange (70) direkt von einem Linearmotor antreibbar angeordnet ist,
  15. 15. Vorrichtung nach Anpsuch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der schnelle Stellantrieb einen Motor (60) mit Stellungsgeber (68) und einem Endlosband (62) umfaßt, welches um eine Rolle (76) umläuft, die drehfest mit der Halturung ('i4) des dispersiven Elements verbunden ist.
  16. 16. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der schnelle Stellantrieb einen Stellungsgeber (68) und einen Motor (60) umfaßt, dessen Achse drehfest mit der Halterung (74) des dispersiven Elementes verbunden ist.
  17. 17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß in der Ausgangsebene oder -fläche dieses Mono-Poly-Chromators (37) eine Fotodetektormatrix (38) angeordnet ist.
  18. 18. Verfahren zur Spektralanalyse, dadurch gekennzeichnet, daß das von der Probe kommende Licht zunächst in verschiedene Spektralbereiche unterteilt und das Licht der verschiedenen Spektralbereiche gleichzeitig jeweils verschiedenen Analysestufen zugeführt und dort gemessen wird.
  19. 19. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Spektralverteilung des Lichtes der verschiedenen Spektralbereiche durch Abtasten stationärer Fotodetektoren erfolgt.
  20. 20. Verfahren nach einem der Ansprüche 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Fotodetektoren einzeln oder daß nacheinander Gruppen von Detektoren abgefragt werden.
  21. 21. Verfahren nach einem der Ansprüche 18 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb eines Spektralbereiches zur Erhöhung des Auflösungsvermögens zunächst über die stationäre Fotodetektoranordnung die Spektralverteilung eines Teilbereichs in einer Winkelstellung des dispersiven Elementes gemessen wird, und daß dann ein oder mehrfach das dispersive Element um cinen festen Winkelbetrag in eine andere Stellung verschwenkt und in jeder dieser Stellungen die spektrale Lichtverteilung mit Hilfe derselben stationären Detektoranordnung gemessen wird.
  22. 22. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Messung innerhalb der verschiedenen Winkelstellungen des dispersiven Elementes jeweils Gruppen von Fotodetektoren gleichzeitig abgefragt werden.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3403372C1 (de) * 1984-02-01 1985-07-25 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München Mehrkanal-Prozeß-Spektrometer

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DE3403372C1 (de) * 1984-02-01 1985-07-25 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München Mehrkanal-Prozeß-Spektrometer

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