DE3041249A1

DE3041249A1 - Koerper, der wenigstens teilweise aus pyrolytischem graphit besteht, insbesondere anodenscheibe fuer eine drehanoden-roentgenroehre und verfahren zu seiner herstellung

Info

Publication number: DE3041249A1
Application number: DE19803041249
Authority: DE
Inventors: Horst Dipl.-Phys. Dr. Hübner; Bernhard Dipl.-Phys. Dr.-Ing. 5100 Aachen Lersmacher; Hans Dipl.-Phys. Dr. 5190 Stolberg Lydtin
Original assignee: Philips Patentverwaltung GmbH
Current assignee: Philips Intellectual Property and Standards GmbH
Priority date: 1980-11-03
Filing date: 1980-11-03
Publication date: 1982-06-09
Also published as: EP0051335B1; US4741011A; JPS57107545A; EP0051335A1; DE3171251D1

Description

PHILIPS PATENTVERWALTUNG GEBE "S ^ PHD 80-156

Körper, der wenigstens teilweise aus pyrolytischem Graphit besteht, insbesondere Anodenscheibe für eine Drehanoden-Röntgenröhre und Verfahren zu seiner Herstellung

Die Erfindung betrifft einen Körper, der wenigstens teilva.se aus pyrolytischem Graphit besteht, insbesondere Anodenscheibe für eine Drehanoden-Röntgenröhre, die zumindest in der Umgebung der Brennfleckbahn Pyrographit enthält.

Ein solcher Körper in Gestalt einer Anodenscheibe ist aus der DE-OS 29 10 138 bekannt. Derartige Anodenscheiben haben gegenüber anderen Anodenscheiben den Vorteil, daß die in der Brennfleckbahn erzeugte Wärme durch den pyrolytischen

ίο Graphit enthaltenden Teil der Anodenscheibe schnell abgeführt werden kann; allerdings muß der in der Vorveröffentlichung beschriebene, im Bereich der Brennfleckbahn befindliche Ring aus pyrolytischem Graphit in axialer und radialer Richtung Abmessungen in der Größenordnung von rund 10 mm aufweisen.

Solche pyrolytischen Graphitringe können entweder durch direkte kontinuierliche Abscheidung von Kohlenstoff aus der Gasphase hergestellt werden oder mit Hilfe von einzelnen Segmenten zusammengesetzt werden, die ebenfalls durch kontinuierliche Abscheidung von Kohlenstoff aus der Gasphase hergestellt werden. In beiden Fällen ergeben sich bei einer heute erreichbaren Abscheidungsgeschwindigkeit von etwa 2 /um/min (d.h. daß die Schicht aus pyrolytischem Graphit pro Minute um nur 2 /um wächst) zur Herstellung der Ringe bzw. der Platten, aus denen die Segmente geschnitten werden, Beschichtungsdauern von bis zu 100 Stunden, wodurch erhebliche Kosten entstehen und die benutzten Hochtemperaturapparaturen sehr stark beansprucht v/erden. Dieses Problem ergibt sich ganz allgemein bei der Herstellung von Körpern,

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die wenigstens teilweise aus pyrolytischem Graphit bestehen, wenn die Graphitschicht relativ dick ist.

Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen mit geringerem Aufwand herstellbaren Körper anzugeben bzw. ein Verfahren zu seiner Herstellung.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Körper in geringem Abstand zueinander angeordnete Lamellen enthält und daß der Zwischenraum zwischen den Lamellen mit pyrolytischem Graphit ausgefüllt ist. Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung eines derartigen Körpers besteht darin, daß in die Zwischenräume zwischen in geringem Abstand voneinander angeordneten Lamellen Kohlenstoff aus der Gasphase abgeschieden wird.

Durch die Verwendung von Lamellen kann die Oberfläche, auf der der pyrolytische Graphit abgeschieden werden kann, vergrößert werden. Allein dadurch verringert sich die Be-Schichtungsdauer erheblich. Außerdem muß nur der relativ schmale Zwischenraum zwdsshen zwei Lamellen mit Graphit ausgefüllt werden. Bei einem 1 mm breiten Zwischenraum ist dies der Fall, wenn auf beiden Seiten von benachbarten Lamellen eine 0,5 mm dicke Schicht aus pyrolytischem Graphit aufgebracht ist, was bei einer Abscheidegeschwindigkeit von 2 yum/min nach etwa 4 Stunden der Fall ist. Die Beschichtungsdauer wird dabei also ganz erheblich verringert.

Um bei der Pyrographitabscheidung eine vollständige Ausfüllung der Zwischenräume zu erreichen, ist es zweckmäßig, Gasdruck und Substrattemperatur abzusenken, wenn der Zwischenraum zwischen den Lamellen nahezu geschlossen ist. Dadurch werden ein vorzeitiges Zuwachsen und ein Hohlraumeinschluß unterbunden. Zusätzlich sollten die Zwischenräume so gestaltet sein, daß das vermehrte Zuwachsen an

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den Eingangsecken durch eine entsprechende Aufweitung der Öffnung im Ausgangszustand kompensiert wird» Das wird beispielsweise dadurch erreicht, daß an den Lamellen durch mechanische oder chemische Verfahren alle Ecken abgetragen werden.

Es gibt verschiedene Möglichkelten für die Anordnung der Lamellen bei einer Anodsnscheibs „ line erst© Möglichkeit besteht nach einer Weiterbildung der Erfindung darin₉ daß die Lamellen in die Rotationsachse enthaltenden Ebenen angeordnet sind. Die Brennfleckbahn kann dabei sowohl auf einer Stirnfläche als auch auf einer Mantelfläche des so gebildeten zylinderförmigen Körpers angeordnet seinο Eine andere Möglichkeit besteht nach einer anderen Weiterbildung darin, daß die Lamellen konzentrisch imd parallel zur Rotationsachse verlaufen und daß die als Brsmifleckbahn dienende Schwermetallschicht auf einer zur Rotationsachse symmetrischen kegelmantelförmigen Stirnfläche dss so gebildeten Körpers angeordnet ist» Hierbei verlaufen die Richtungen der größten thermischen Leitfähigkeit parallel zur Rotationsachse (weil die Wachstumsrichtung der pyrolytischen Graphitschicht senkrecht zur Rotationsachse verläuft). Eine Wärmeabfuhr durch di© pyrolytisch© Graphitschicht ist dabei nur gewährleistet;, vena die Brennfleck= bahn auf einer zur Rotationsachse symmetrischen k©g® !mantelförmigen Stirnfläche angeordnet ist_P die die Rotationsachse unter einem von Null verschiedenen Winkel (im allgemeinen 70 bis 80°) schneidet. Wenn di® BrsmfleokfoahB. hierbei auf dem AuiSenmantel angebracht wär®_s mlrcle die pyrolytlsohe Graphit schicht die Wärmeabfuhr sogar behindern,,

Eine Ausgestaltung zur Herstellung ®in®r Anodgüsoheifoe der letztgenannten Art sieht vor₉ daß eia ring- oder kreis-=· föraiger Basiskörper₅ eier mit koaseatriscli zu ssiner Mittelachse verlaufenden sich in Achsrichtung erstreckenden

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Lamellen versehen ist, zumindest solange mit pyrolytischem Graphit beschichtet wird, bis die Zwischenräume zwischen den Lamellen verschwinden und daß anschließend der die Lamellen verbindende Teil des Basiskörpers durch mechanische _s Bearbeitung abgetragen wird. Das Abtragen des die Lamellen verbindenden Teils des Basiskörpers ist dabei erforderlich, um die entstehende Wärme besser nach außen abführen zu können.

Eine andere Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß die pyrolytische Graphitschicht auf der Seite des Grund- bzw. Basiskörpers, auf der die Brennfleckbahn aufzubringen ist, teilweise abgetragen wird, bevor die Schwermetallschicht aufgebracht wird. Der Grund für diese Maßnahme liegt darin, daß sich eine schlechte Wärmeleitung ergeben würde, wenn die Schwermetallschicht ohne Vorbehandlung auf die pyrolytische Graphitschicht aufgebracht würde, weil die Flächen der größeren thermischen Leitfähigkeit in der Pyrographitschicht dann parallel zur Grenzfläche der Schwermetallschicht verlaufen würden.

Die Erfindung wird nachstehend anhand der Zeichnungen am Beispiel einer Anodenscheibe näher erläutert. Es zeigen Fig. 1 einen Querschnitt durch eine erste Ausführungsform, Fig. 2 einen Ausschnitt aus Fig. 1 in stark vergrößerter Darstellung,

Fig. 3 und 4 Abwandlungen der Ausführung nach Fig. 1 bzw. 2, Fig. 5 eine andere Ausführungsform, Fig. 6 eine dritte Ausführungsform in der Draufsicht und

30Fig. 7 die Ausführungsform nach Fig. 6 in einer Seitenansicht im Querschnitt.

In Fig. 1 ist ein scheibenförmiger zur Rotationsachse 2 symmetrischer Basiskörper 1 dargestellt. Dieser Basiskörper 35weist im Bereich der aufzubringenden Brennfleckbahn eine

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kegelmantelförmige Stirnfläche 3 auf, deren Form ungefähr der Form der später aufzubringenden Brennfleckbahn entspricht und die die Rotationsachse 2 unter einem Winkel zwischen vorzugsweise 70 und 80° schneidet. Grundsätzlich könnte aber auch ein kreisförmiger Scheibenkörper mit nicht abgeschrägten Zylinderflächen verwendet werden. Im Bereich der Brennfleckbahn ist der Basiskörper 1 mit einer Anzahl von zur Rotationsachse 2 konzentrischen Nuten 4 versehen, zwischen denen sich konzentrische Stege 5 - nachfolgend als Lamellen bezeichnet - befinden, die sich ungefähr parallel zur Rotationsachse erstrecken. Die Nuten können beispielsweise durch Drehen hergestellt werden.

Die so erzeugten Nuten 4 werden anschließend durch Abscheidung von Kohlenstoff aus der Gasphase mit pyrolytischem Graphit gefüllt. Derartige Abscheideverfahren sind bekannt und z.B. in Philips Technische Rundschau, 37. Jahrgang, Nr. 8, Seiten 205 bis 213 beschrieben. Dabei kommt vorzugsweise das darin beschriebene Heißwandverfahren zur Anwendung, da es in allen Phasen der Beschichtung eine optimale Aufheizung, d.h. eine homogene Temperaturverteilung, im Basiskörper gewährleistet. Andererseits ist jedoch auch die Anwendung des in der Vorveröffentlichung beschriebenen Kaltwandverfahrens möglich, weil aufgrund der rotationssymmetrischen Form des Basiskörpers eine wenigstens annähernd ■ homogene Temperaturverteilung (z.B. bei induktiver Erhitzung) erreicht werden kann.

Fig. 2 zeigt einen Ausschnitt aus dem in Fig. 1 dargestellten Querschnitt durch den Basiskörper 1 nach dem Abscheiden von pyrolytischem Graphit. Mit dünnen Linien sind die Grenzflächen der Pyrographitschicht in den einzelnen Phasen des Abscheideverfahrens bezeichnet. Man erkennt, daß diese Linien den Konturen des Basiskörpers um so genauer folgen, je/lichter sie ihm benachbart sind. Das bedeutet, daß am

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Anfang des Abscheidungsverfahrens die Konturen des Basiskörpers durch die Beschichtung kaum verändert (lediglich vergrößert) werden, während sie in der Endphase, d.h. nach Auffüllen der Zwischenräume mit pyrolytischem Graphit, ganz anders verlaufen; die obere Begrenzung 7 der Fyrographitschicht 6 ist dabei nur noch geringfügig gekrümmt und verläuft annähernd im gleichen Abstand von den Stirnflächen der Lamellen 5.

Wie bereits erwähnt, ist bei pyrolytischem Graphit die thermische Leitfähigkeit senkrecht zur Wachstumsrichtung der Schicht maximal und parallel dazu minimal. Die dünnen Linien stellen daher gleichzeitig die Richtungen dar, in denen die Wärme optimal abgeleitet werden kann. Würde nun die Endfläche 7, gegebenenfalls nach einer mechanischen Bearbeitung, wie z.B. Planschleifen mit einer Schwermetallschicht (Wolfram oder einer Wolframlegierung, die entweder durch Abscheidung aus der Gasphase oder durch Anlöten einer dickeren Schicht aufgebracht werden kann, wie in der DE-OS 29 10 138 beschrieben) versehen, dann würde die bei der Verwendung dieser Schwermetallsjaicht als Brennfleckbahn erzeugte Wärme kaum abgeführt, weil die Flächen der größten thermischen Leitfähigkeit der pyrolytischen Graphitschicht dabei ungefähr parallel zur Grenzfläche der Schwermetallschicht verlaufen würden. Deshalb muß die Pyrographitbeschichtung wesentlich stärker abgeschliffen werden wie durch die Linie 8 angedeutet. Wenn die Schwermetallschicht auf die so abgeschliffene Fläche aufgebracht wird, ergibt sich eine wesentlich bessere Wärmeableitung.

Wenn die Lamellen relativ dick sind, sollte die Schleifebene 8 in der Ebene der Stirnflächen der Lamellen 5 liegen. Bei Lamellendicken von ca. 100 /um oder bei Lamellen mit angespitzten oder abgerundeten Stirnflächen, wie sie in den Fig. 3 und 4 dargestellt sind, ist es für eine gute Wärmeableitung ausreichend, wenn der Abstand der Schleifebene 8 zur Stirnfläche der Lamellen 10 bis 20 % des Ab-

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80-156 Standes der Lamellen untereinander beträgt„

Aus dem vorstehenden ergibt sich, daß die Lamellen im Millimeterabstand (0,1 Ms maximal 4 ram) voneinander angeordnet sein sollten. Je geringer der Abstand ist_s desto kürzer kann der Abscheidungsprozeß dauern. Die Lamellen selbst sollten möglichst dünn (0,1 mm bis 3 mm) SsIn₉ vorzugsweise dünner als dem Abstand der Lamellen entspricht» Je dünner die Lamellen im Vergleich, zu ihrem Abstand sind, desto größer kann der Anteil von pyrolytisehem Graphit im Bereich der Brennfleckbahn sein (was die Wärmeleitfähigkeit verbessert) und desto weniger pyrolytischer Graphit muß zur Erzielung eines guten Wärmekontaktes mit der Brennfleckbahn abgeschliffen werden.

Fig. 2 zeigt auch, daß die Flächen der größten thermischen Leitfähigkeit am Boden der Nut ungefähr parallel zu diesem verlaufen. Das bedeutet, daß die Wärme nur sehr schlecht in den Basiskörper hineintransportiert und nach außen abgegeben werden kann. Wie durch die Linie 9 angedeutet, muß daher der die Lamellen 5 miteinander verbindende Teil des Basiskörpers 1 sowie ein kleiner Teil der Lamellen selbst abgeschliffen werden» Ein dabei auftretender Mangel der mechanischen Festigkeit kann erforderlichenfalls ζ°B„ durch eine geeignete die Anodenschoibe umschließende Halterung beseitigt werden.

Der so bearbeitete Körper "bildet (nach dem Aufbringen der Schwermetallschicht auf die Stirnfläche 8) die Änodeascheibe= Die Wärmeableitung erfolgt dabei überwiegend in der- Schicht aus pyrolytisehem Graphit zwischen clea Lamellen, Byrch die Verzahnung der Pyrographitschichtea und der Lamellen ergibt sich eine gute mechanische Festigkeit»

In den Fig. 3 und 4 ist ein der Fig. 2 entsprechender Ausschnitt aus einem mit Pyrographit beschichteten BasiskiSirper

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dargestellt, wobei jedoch die Lamellen spitz zulaufen (Fig. 3) "bzw. abgerundet sind (Fig. 4) und jeweils gleich weit aus dem Basiskörper 1 herausragen. Es sind jeweils wieder die gleichen Bezugszeichen verwendet wie in Fig. 2.

Die Schleifebene zur Aufbringung der Schwermetallbahn muß dabei entsprechend der Lage der Brennfleckbahn geneigt sein. Dies hat den zusätzlichen Vorteil, daß die Flächen der größten thermischen Leitfähigkeit der pyrolytischen Graphitschicht 6 stets unter einem von Null verschiedenen Winkel geschnitten werden. Man erkennt aus den Fig. 3 und 4 aber auch, daß selbst dann, wenn die Höhe der Lamellen von innen nach außen abnehmen würde, so daß die Schleifebene parallel zur Spitze der Lamellen verlaufen würde, die Fläche zum Aufbringen der Schwermetallbahn nicht so weit abgeschliffen werden muß, wie bei Fig. 2, weil die Linien der größten thermischen Leitfähigkeit hierbei nur in einem relativ kleinen Bereich parallel zur Verbindungslinie der LamellenspLtzen verlaufen.

Bisher wurde von einem einstückigen Basiskörper ausgegangen, in dem die Lamellenstruktur durch mechanische Barbeitung erzeugt wurde. In Fig. 5 ist nun ein aus mehreren Teilen bestehender Basiskörper dargestellt, der besonders leicht herzustellen ist. Die Herstellung dieses Basiskörpers erfolgt durch Aufwickeln von zwei verschieden breiten Graphitfolien, die z.B. unter der Bezeichnung "Sigraflex" von der Firma Sigri sowie unter der Bezeichnung "Papyex" von der Deutschen Carbone AG auf dem Markt erhältlich sind. Die Wicklung erfolgt dabei so, daß die beiden Graphitfolien mit ihrer unteren Längskante genau zur Deckung kommen. Dadurch ergibt sich zwisehen zwei aufeinanderfolgenden Lagen der bereiteren Graphitfolie 11 wegen des dazwischenliegenden Teils der schmaleren Graphitfolie 12 eine spiralförmig verlaufende Nut, deren Tiefe dem Breitenunterschied zwischen den beiden Folien entspricht und deren Breite der Dicke

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der schmaleren Graphitfolie 12 entspricht. Dabei kann es von Vorteil sein, wenn die schmalere Graphitfolie 12 dicker ist als die breitere Graphitfolie 11, weil dann mehr pyrolytischer Graphit in die Nuten abgeschieden werden kann.

Das Beschichten mit pyrolytischem Graphit erfolgt so wie in Verbindung mit Fig. 1 beschrieben.

Wie in Verbindung mit Fig. 2 erläutert, ist es auch bei dieser Ausführungsform zur Verbesserung der Wärmeabfuhr zweckmäßig, den unteren Teil des so gebildeten Basiskörpers, in dem sich die schmalere Graphitfolie befindet, abzuschleifen, so daß die Pyrographitbeschichtung zwischen den einzelnen Lagen des dann noch verbliebenen oberen Teils der breiteren Graphitfolie 11 die Unterseite des so hergestellten Anodenscheibenkörpers erreicht. Dessen Festigkeit wird durch einen an seinem äußeren Umfang angebrachten Metallring 13 verbessert.

Während bei den bisher beschriebenen Ausführungsformen die Lamellen konzentrisch zur Rotationsachse 2 verliefen, verlaufen sie bei der in Fig. 6 in der Draufsicht und in Fig. 7 (ausschnittsweise) in der Seitenansicht dargestellten Ausführungsform radial, d.h. sie liegen in die Rotationsachse enthaltenden Ebenen. Grundsätzlich könnten die Lamellen durch Ausfräsen eines kreisförmigen Körpers hergestellt werden, doch ergäbe sich hierbei ein erheblicher Arbeitsaufwand. Bei der in Fig. 6 dargestellten Ausführungsform sind die Lamellen 5 ebene Plättchen, die am äußeren Umfang eines kreisförmigen Körpers 14 gleichmäßig verteilt befestigt sind. Die Lamellen können dabei in auf dem Umfang des kreisförmigen Körpers 14 vorgesehenen Nuten 15 von geringer Tiefe eingeklemmt werden. Die nachfolgende Pyrographitbeschichtung sorgt dann für eine weitere Verfestigung des Gesamtsystems. Die Lamellen können aus Elektrοgraphit,

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pyrolytischem Graphit, Graphitfolien, Metall- oder Metallkarbidfolien hergestellt sein.

Zur Verbesserung der Wärmeableitung müßte auch hier die Beschichtung mit pyrolytischem Graphit teilweise wieder abgetragen werden, und zwar, wie in der Zeichnung angedeutet, längs der Linien 9 und 8 und zweckmäßigerweise auch auf dem äußeren Umfang der Scheibe. Die Brennfleckbahn kann hierbei einerseits auf dem äußeren Scheibenumfang, jedoch auch auf einer (kegelmantelförmigen) Stirnfläche des mit pyrolytischem Graphit beschichteten Scheibenkörpers angeordnet sein. Der Schnitt (z.B. längs der Linie 8) darf in diesem Fall nicht senkrecht zur Zeichenebene verlaufen, sondern unter einem Winkel längs· einer Kegelmantelfläche, die die Wachstumsrichtung der Pyrographitbeschichtung unter einem von 90° abweichenden Winkel schneiden würde.

Da die in den Fig. 6 und 7 dargestellte Ausführungsform den Wärmetransport in zwei Richtungen gestattet (nach oben und unten, wenn die Brennfleckbahn außen aufgebracht ist und nach unten und außen, wenn die Brennfleckbahn oben aufgebracht ist), ist diese Ausführungsform im Hinblick auf die Ableitung der im Brennfleck erzeugten Wärme besonders günstig.

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Claims

PHD 80-156 PATENTANSPRÜCHE:

Körper, der wenigstens teilweise aus pyrolytischem Graphit besteht, insbesondere Anodenscheibe für eine Drehanoden-Röntgenröhre, die zumindest in der Umgebung der Brennfleckbahn Pyrographit enthält, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper in geringem Abstand zueinander angeordnete Lamellen (5) enthält und daß der Zwischenraum (4) zwischen den Lamellen mit pyrolytischem Graphit (6) ausgefüllt ist.
2. Anodenscheibe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lamellen (5) symmetrisch zur Rotationsachse (2) verlaufen.
3. Anodenscheibe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,

daß die Lamellen (5) konzentrisch und parallel zur Rotationsachse (2) verlaufen und daß die als Brennfleckbahn dienende Schwermetallschicht auf einer zur Rotationsachse symmetrischen kegelmantelförmigen Stirnfläche (3) des so gebildeten Körpers angeordnet ist (Fig. 1).
4. Anodenscheibe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Lamellen in die Rotationsachse enthaltenden Ebenen angeordnet sind (Fig. 6, 7).
5. Anodenscheibe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Lamellen durch Plättchen (5) gebildet werden, die am äußeren Umfang eines kreisförmigen Körpers(14) befestigt sind.
6. Verfahren zur Herstellung eines Körpers, der zumindest

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teilweise aus pyrolytischem Graphit besteht, dadurch gekennzeichnet, daß in die Zwischenräume (4) zwischen rotationssymmetrisch und in geringem Abstand voneinander angeordneten Lamellen (5) Kohlenstoff aus der Gasphase abgeschieden wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6 zur Herstellung einer Anodenscheibe, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Abscheiden des Kohlenstoffes eine als Brennfleckbahn dienönde Schwermetallschicht aufgebracht wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7 zur Herstellung einer Anodenscheibe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein ring- oder kreisförmiger Basiskörper, der mit konzentrisch zu seiner Mittelachse verlaufenden sich in Achsrichtung erstreckenden Lamellen versehen ist, zumindest solange mit pyrolytischem Graphit beschichtet wird, bis die Zwischenräume zwischen den Lamellen (5) verschwinden und daß anschließend der die Lamellen verbindende Teil des Basiskörpers durch mechanische Bearbeitung abgetragen wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Basiskörper dadurch hergestellt wird, daß eine in ihrer Form ungefähr der Brennfleckseite der Anodenscheibe entsprechende Seite (3) eines scheibenförmigen Körpers (1) durch mechanische Bearbeitung mit sich in axialer Richtung erstreckenden Nuten (4) versehen wird.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,

daß ein Basiskörper (1) aus Elektrographit verwendet wird.
11. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Basiskörper aus zwei unierschiedlich breiten Folienbändern (11, 12) hergestellt wird, deren eine Längskante zur Deckung gebracht wird und die danach gemeinsam so aufge-

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wickelt werden, daß die sich deckenden Längs kanten wenige s tens ungefähr in einer xSbene liegen ο
12. Verfahren nach Anspruch 7 zur Herstellung einer Anodenscheibe nach Anspruch h, dadurch ggkgnnzgichngj.° ^ö-^{aß eiil} kreisförmiger Grundkörper (14) mit Lamellen (5) versehen wird, die in die Mittelachse (1) enthaltenden Ebenen liegen und daß zumindest dis Lamellen (5) anschließend mit pyro-Iytischen! Graphit beschichtet werden*
13. Verfahren nach Anspruch .12₅ dadurch ggkennseichne1 ₀ daß der Grundkörper aus Klektrograph.it besteht und daß an dem Grundkörper plattenförmig dUmie Lamellen (5) befestigt werden.
14. Verfahren nach Anspruch 135, dadurch ggkem^ge^ighnet _? daß die Lamellen (5) aus pyrolytischera Graphit bestehen»
15. Verfahren nach Anspruch. 13₅ dadurch gskemgeictinet, daß die Laraellen (5) aus Elektrographit hergestellt werden.
16. Verfahren nach Anspruch 13_s dadurch gekgnnsgichnet, daß die Laraellen (5) aus glas ar-ti gern Kohlenstoff bestehen»
17. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 16„ dadurch gekennzeichnet, daß die pyrolytisch© Graphitschicht auf der Seite des Grund- bzw, Basiskörp-sr-s (I₃ 14) ₅ auf der· die Brennfleckbahn aufzubringen ist, teilweise abgetre-gen wird, bevor die Schwere tail schicht aufgebracht v/ird.
18. Verfahren nach Anspruch 13

daß die Lamellen aus GraphiticXis-n

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19. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Lamellen aus hochtemperaturfesten Metall- oder Metallkarbidfolien bestehen.

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