DE3034903C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein System zur Erfassung von Defek­ ten gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Ein derar­ tiges System ist bereits aus der US-PS 39 80 891 bekannt. Dieses sogenannte System zur Erfassung von Defekten durch Ab­ tastung eines bewegten flächigen Materials enthält

• - eine Laserstrahlungsquelle,
• - eine Abtasteinrichtung zur Abtastung des bewegten flächi­ gen Materials,
• - eine optische Einrichtung, welche das Laserlicht auf die Abtasteinrichtung richtet,
• - eine Empfangseinrichtung zur Sammlung der Laserstrahlen, und
• - eine Detektoreinrichtung, welche mit der Empfangseinrich­ tung gekoppelt ist und Signale erzeugt, welche der Inten­ sität der von der Empfangseinrichtung empfangenen Laser­ strahlung entsprechen.

Aus der DE-AS 24 53 028 ist ferner eine Meßvorrichtung be­ kannt, bei der mit Hilfe von Filtern Lichtstrahlung unter­ schiedlicher Wellenlänge erzeugt und zur Messung der Farb­ stoffaufnahme von Garnen verwendet wird. Dabei wird das von dem zu untersuchenden Garn reflektierte Licht spektral auf­ geteilt. Als Lichtquelle kommt eine Glühlampe zum Einsatz. Für die Spektralanalyse sind aufwendige Filtereinrichtungen erforderlich, welche zu hohen Signalverlusten führen.

Darüber hinaus ist aus der DE-AS 11 37 878 eine Vorrichtung zur Feststellung von spontanen Querschnittsänderungen in Textilmaterial bekannt, bei der Lichtstrahlen mit unter­ schiedlicher Beleuchtungsfleckgröße und unterschiedlichem Beleuchtungsfleckabstand zum Einsatz kommen können.

Sowohl die US-PS 39 80 891 als auch die US-PS 39 00 265 zeigen das Grundsystem, auf das sich die vorliegende Erfin­ dung bezieht. Bei den bekannten Systemen werden Defekte in dem zu untersuchenden Material dadurch erfaßt, daß man wie­ derholt den Strahl einer Strahlungsquelle in Form einer La­ serstrahlenquelle über die Oberfläche des zu untersuchenden Materials führt und dieses somit abtastet. Die Strahlung wird vom Material entweder reflektiert oder durchgelassen oder gestreut, je nach den Charakteristika des zu untersuchenden Materials. Die Laserstrahlung wird von diesem Material mit Hilfe eines Empfängers empfangen, welcher geeignete Detektoren trägt, z. B. Photoelektronenvervielfacherröhren. Zu jedem Zeit­ punkt während der Abtastung ändert sich das Ausgangssignal des Photoelektronenvervielfachers, und zwar mit der Ände­ rung des Reflexionsvermögens, der Lichtdurchlässigkeit oder der Lichtstreueigenschaften des Materialflecks, auf den der Laserstrahl auftrifft. Abweichungen des Signals von einem normalen, charakteristischen Signal führen zur Erfassung von Defekten im Material.

Die US-PS 38 66 054 beschreibt ein System zur Erfassung von Defekten, welches mit einer rotierenden Abtasteinrichtung arbeitet. Dabei wird ein Empfänger verwendet, welcher die Strahlung vom abgetasteten Gewebe oder flächigen Material empfängt. Dieser Empfänger liegt in Form einer die Strah­ lung leitenden Stange vor. Er führt die vom abgetasteten Material durchgelassene oder reflektierte Strahlung zu ei­ ner Photoelektronenvervielfacherröhre, welche am Ende des Stabes angeordnet ist. Ein Streustreifen oder diffuses Licht erzeugender Streifen ist an dem Stab vorgesehen, so daß beim Auftreffen der Strahlung vom inspizierten Materi­ al auf diesen Streifen die Strahlung innerhalb des Stabes gestreut wird. Es kommt nun zu einer internen Reflexion des Lichtes, und dieses wird durch den Stab zur Photoelektro­ nenvervielfacherröhre am Ende desselben übertragen.

Entsprechend der Intensität der Strahlung, welche von dem zu prüfenden Material ausgeht und auf die Detektoren fällt, werden Signale erhalten. Derartige Signale werden in elek­ tronischen Datenverarbeitungsschaltungen verarbeitet, wel­ che dazu dienen, die Defekte des Materials zu identifizieren sowie andere Informationen zu erhalten, und zwar in bezug auf die Position der Defekte auf dem Material, die rela­ tive Größe der Defekte, das wiederholte Auftreten von De­ fekten. Ferner wird durch die Schaltung festgestellt, ob eine wiederholte Erfassung eines Defekts des Materials bei aufeinanderfolgenden Abtastungen des Materials auf den gleichen Defekt zurückzuführen ist, so daß diese Defekt­ erfassungen nur einmal gezählt werden müssen. Ferner wird durch die Schaltung die Anzahl der Defekte gezählt, sum­ miert oder geordnet, und zwar in vorbeschriebener Reihen­ folge, usw.

Die Verwendung eines einzigen Laserstrahls hat sich als äußerst vorteilhaft bei der Inspektion von Gewebe- oder Vliesmaterial erwiesen, da man rasch und effizient arbei­ ten kann. Die Verwendung eines einzigen Laserstrahls führt jedoch in anderer Hinsicht nur zu begrenzten Informationen in bezug auf die Art und die Charakteristika eines jewei­ ligen Defekts. Bestimmte Defekte können mit einer einzigen Lichtquelle nicht erfaßt werden, falls z. B. diese Licht­ quelle nicht die richtige Wellenlänge hat, welche erforder­ lich ist, damit das Licht reflektiert, durchgelassen oder gestreut wird (im Bereich des Defekts). Darüberhinaus müs­ sen Größeninformationen oder Gestaltinformationen, welche sich auf die erfaßten defekten Stellen beziehen, notwendi­ gerweise durch mehrmaliges Abtasten des Materials mit dem gleichen Laserstrahl ermittelt werden. Dabei muß die erhal­ tene Information gespeichert werden und die gespeicherten Informationen aufeinanderfolgender Abtastungen müssen ver­ glichen werden. Hierdurch wird die Unsicherheit bei der Erfassung und Korrelation erhöht.

Es ist somit Aufgabe der Erfindung, ein System zur Erfassung von Defekten zur Inspek­ tion von bewegtem Material, insbesondere bewegtem, flächi­ gem Material, wie Vliesen oder Geweben, zu schaffen, wel­ ches im Vergleich zu einem System mit einer einzigen Licht­ quelle eine Reihe von Vorteilen aufweist, und zwar im Sinne der Gewinnung andersartiger Informationen im Vergleich zu herkömmlichen Systemen oder einer größeren Menge von Infor­ mation über das geprüfte Material.

Das System soll dazu befähigt sein, unterschiedliche Arten von Defekten gleichzeitig zu erfassen.

Das System soll ferner eine inhärente Realzeitre­ dundanz aufweisen, so daß man bei der Defekterfassung eine höhere Sicherheit gewinnt.

Ferner soll sich die Abtastrate des Systems verdoppeln, und zwar durch Verflechtung oder Verkämmung der Abtaststrahlen von zwei Quellen in Quer­ richtung zur Bewegungsrichtung des Materials oder in Längs­ richtung.

Darüber hinaus sollen Realzeitvergleiche möglich sein, so daß die Erforderlichkeit einer Speicherung entfällt, wobei man aber dennoch die Defektinformation vergleicht wie bei einem System mit einer einzigen Strahlungsquelle.

Das System soll sich außerdem dazu eignen, automatisch die optimale Prüf­ strahlquelle für dieses Material zu ermitteln.

Ein System nach der Erfindung zeichnet sich durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruchs 1 aus. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind den Unteransprüchen zu entnehmen.

Das System nach der Erfindung zur Erfassung von Defekten in bewegtem Material, z. B. bewegtem Gewebe oder Vlies, umfaßt eine Vielzahl von Laser­ strahlungsquellen zur Abtastung des Materials. Die Laserstrah­ len der Vielzahl von Laserstrahlungsquellen werden gleichzei­ tig über das Material geführt, wobei man eine gemeinsame Abtasteinrichtung verwendet und wobei das Material bewegt wird. Empfangseinrichtungen sind vorgesehen, um die Laser­ strahlung zu sammeln, welche von dem zu untersuchenden Ma­ terial ausgeht. Die Empfangseinrichtung umfaßt selektive Detektoreinrichtungen, welche mit ihr gekoppelt sind und Signale aufgrund der Intensität der Strahlung erzeugen, die von der Empfangseinrichtung zum Detektor gelangt. Die Laserstrahlen haben unter­ schiedliche Wellenlängen und können auf unterschiedliche Beleuch­ tungsfleckgrößen und/oder auf einen festen Abstand in Tastrichtung oder in Richtung der Bewegung des Materials eingestellt werden. Die De­ tektoren können gegenüber den unterschiedlichen Wellenlän­ gen der Laserstrahlen selektiv empfindlich sein, um eine präzise Information über die Stelle des Auftretens eines Defekts auf dem Material entsprechend der Position des Auftreffens eines jeweiligen Strahls auf dem Material zu ermöglichen.

Durch Verwendung unterschiedlicher Wellenlänge und unter­ schiedlicher Fleckgrößen können unterschiedliche Arten von Defekten erfaßt werden, welche durch eine einzige Strah­ lungsquelle nicht erfaßt werden können. Auch kann die präzise Position von mehreren Defekten ermittelt werden. Ferner kann ein gemeinsames Lichtsammelsystem verwendet werden oder ein gemeinsamer Empfänger, und zwar zusammen mit geeigneten optischen Filtern zur Trennung der Signale, welche den einzelnen Quellen zugeordnet sind. Durch Tren­ nung der Strahlungsquellen oder, besser, der Beleuchtungs­ flecke um einen bestimmten Abstand in Tastrichtung erzielt man eine Redundanz, welche bei der Defekterfassung zu ei­ ner größeren Sicherheit führt als bei Verwendung einer ein­ zigen Laserquelle. Durch Trennung der Laserquellen oder der Beleuchtungsflecke in Materialbewegungsrichtung kann das Realzeitauftreten von Defekten sofort festgestellt wer­ den, wenn zwei Defekterfassungen gleichzeitig auftreten. Dies würde normalerweise bei Verwendung eines einzigen La­ serstrahls die Speicherung des ersten Auftretens des De­ fekts erfordern sowie den Vergleich mit einem zweiten Auf­ treten des Defekts bei einer nachfolgenden Abtastung des gleichen Gebiets. Das Mehrfach-Strahlsystem eliminiert die hierdurch hervorgerufenen Unsicherheiten. Darüberhinaus können viele Materialien am besten auf Defekte untersucht werden, wenn sie mit einer ausgewählten Wellenlänge beleuch­ tet werden. Die Auswahl der Wellenlänge wird durch das System nach der Erfindung erleichtert, da die Stärke der Ausgangs­ signale automatisch anzeigt, welche Laserquelle zur Prü­ fung des vorliegenden Materials besonders geeignet ist.

Im folgenden wird die Erfindung anhand von Zeichnungen näher erläutert; es zeigt

Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Ausfüh­ rungsform zur Mehrfach-Laserabtastung;

Fig. 2 eine Seitenansicht einer Empfangseinrichtung für das System mit zwei Lasern unterschied­ licher Wellenlänge;

Fig. 3 eine schematische Darstellung einer weiteren Ausführungsform des Systems;

Fig. 4 eine Seitenansicht der Empfangseinrichtung für das System gemäß Fig. 3; und

Fig. 5 ein schematisches Diagramm eines Systems mit drei Laserstrahlungsquellen, die gesondert fokussierbar sind und gleichzeitig eine Abtastung durchführen können.

In der nachfolgenden Beschreibung sind gleiche oder ent­ sprechende Bauteile mit den gleichen Bezugsziffern be­ zeichnet. Die Einrichtung gemäß Fig. 1 umfaßt geeignete Laserstrahlungsquellen 10 und 14, welcher Laserstrahlen 12 bzw. 16 aussenden. Diese gelangen zu Ablenkspiegeln 18 und 20 und danach zu das Licht formenden, optischen Bänken 22 bzw. 24. Der Laserstrahl 12 fällt durch eine fokussierende Licht­ strahl-Expansionseinrichtung in der optischen Bank 22 und wird danach an einem versilberten Spiegel 30 reflektiert. Sodann gelangt der Lichtstrahl zu einem dichroitischen Ele­ ment oder Zweifarbenelement 36 in der optischen Bank 24. Der Laserstrahl 16 gelangt zu einer fokussierenden Strahl­ expansionseinrichtung 33 in der optischen Bank 22 und so­ dann ebenfalls zum dichroitischen Element 36. Sodann ge­ langen die Laserstrahlen 16 und 12 zu einem Tastorgan 40.

Bei dem Tastorgan 40 handelt es sich um ein herkömmliches Polygon mit einer Vielzahl von verspiegelten Facetten. Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 1 sind zwölf Facetten vorge­ sehen. Als Tastorgan 40 kann jede beliebige Einrichtung verwendet werden, welche im Sinne der Abtastung der Ober­ fläche des zu untersuchenden Materials mit einem Laser­ strahl wirkt. Es kommen z. B. oszillierende Spiegel in Frage oder rotierende Spiegel oder eine Trommel mit einer Viel­ zahl von Spiegelfacetten oder andere geeignete Ablenkein­ richtungen. Das Tastorgan 40 führt die Laserstrahlen 12 und 16 gleichzeitig und wiederholt über ein flächiges Material, ein Gewebe oder ein Vliesmaterial, über Bandmaterial oder dergl., welches mit 42 bezeichnet ist. Dieses wird dabei abgetastet und inspiziert. Es bewegt sich kontinuierlich in Richtung des Pfeils. Dabei beschreiben die Strahlen eine Tastlinie 44, welche über das flächige Material 42 verläuft. Wenn die Strahlen in Richtung der Materialbewegung versetzt sind, so beschreiben diese eine Vielzahl von Tastlinien 44, und zwar gleichzeitig.

Die Licht- oder Laserstrahlen, welche durch das Gewebe oder Vlies oder andere flächige Material 42 hindurchfallen, ge­ langen zu einem Empfänger 46, welcher in Fig. 1 als strah­ lungsleitender Stab 46 dargestellt ist. Zweckentsprechende optische Einrichtungen, z. B. ein Paar zylindrischer Lin­ sen, welche nicht gezeigt sind, können dazu dienen, den Lichtstrahl vom Gewebe oder Vlies 42 zu dem das Licht lei­ tenden Stab 46 zu führen. Der das Licht leitende Stab 46 hat einen diffusen Streifen 46 zur Dispersion der Strah­ lung innerhalb des Stabes. Dies soll verhindern, daß das Licht durch den Stab hindurchtritt oder direkt aus dem Stab nach rückwärts reflektiert wird. Daher wird die durch den Stab 46 von der Rückseite des Gewebes oder Vlieses oder dergl. 42 empfangene Strahlung intern reflektiert, und zwar zu den Stabenden hin. Es gelangt schließlich zu ge­ eigneten Detektoren 48 und 50, z. B. zu Photoelektronen­ vervielfachern, welche das auffallende Licht erfassen. Die Ausgangssignale der Detektoren 48 und 50 gelangen zu einer elektronischen Verarbeitungsschaltung 52, welche die in dem zu geprüften Material auftretenden Defekte unterscheidet, zählt, klassifiziert, sortiert usw. In jedem Zeitpunkt während des Tastvorgangs führen die Detektoren 48 und 50 zu einem Ausgangssignal, welches proportional ist der Durchlässig­ keit des Flecks des Materials 42, auf den die Laserstrah­ len auftreffen, und zwar proportional der Durchlässigkeit für das Laserlicht. Defekte innerhalb des untersuchten Materials ändern das Ausgangssignal der Detektoren 48 und 50, und zwar aufgrund einer Änderung der Durchlässigkeits­ eigenschaften des Materials. Der elektronische Prozessor kann einen oder mehrere Defektdiskriminatoren zur Erfassung und weiteren Verarbeitung aufweisen.

Das in Fig. 1 gezeigte System ist ein Durchlaßsystem, bei dem der Empfänger 46 diejenige Strahlung auffängt, die durch das Gewebe hindurchgelassen wurde. Diese Art der Dar­ stellung ist zur Vereinfachung der Beschreibung gewählt. Es muß jedoch betont werden, daß auch ein Reflexionssystem verwendet werden kann, und zwar derart, daß der Empfänger 46 oberhalb des Gewebes oder Vlieses 42 angeordnet ist und Strahlung empfängt, welche von der Oberfläche des Gewebes, Vlieses oder anderen flächigen Materials 42 reflektiert wurde. Ob nun ein Durchlaßsystem oder ein Reflexionssystem verwendet wird, hängt vom Typ des zu inspizierenden Materi­ als ab sowie von der Art der Defekte, welche erfaßt werden sollen. Daher hängt die Wahl eines Durchlaßsystems oder eines Reflexionssystems von den jeweiligen besonderen Um­ ständen ab.

Die optischen Bänke 22 und 24 führen zu einer Fokussierung der Laserstrahlen 12 und 16. Sie können im allgemeinen ein Zwei-Linsensystem umfassen. Die fokussierenden Strahl- Expansionseinrichtungen 27 und 33 der optischen Bänke 22 bzw. 24 umfassen plankonkave, negative Linsen 26 und 32 und doppelkonvexe Linsen 28 bzw. 34. Der expandierte und fokussierte Strahl 12 gelangt von der optischen Bank 22 über den versilberten Spiegel 30 zum dichroitischen Ele­ ment 36 der optischen Bank 24, während andererseits der fokussierte Strahl 16 gleichzeitig zum dichroitischen Ele­ ment 36 gelangt, und zwar über die Strahl-Expansionsein­ richtung 33. Die negativen Linsenelemente 32 und 26 sind einstellbar zum Zwecke der Steuerung der Größe des beleuch­ teten Flecks sowie zur Ermöglichung einer Abtastung mit Strahlen von unterschiedlicher Beleuchtungsfleckgröße. Polarisatoren 25 und 31 können ebenfalls verwendet werden, um die Stärke oder Intensität der Strahlen einzustellen.

Das beschriebene System ist vorteilhaft für den Fall, daß die Laserstrahlungsquellen 10 und 14 Strahlung mit unterschiedlicher Wellen­ länge aufweisen. In einem Fall unterschiedlicher Wellen­ längen kann gemäß Fig. 2 ein gemeinsamer Lichtsammel­ empfänger verwendet werden, welcher gesonderte optische Filter 53 und 54 aufweist, um die Signale der beiden Licht­ quellen zu trennen. Alternativ können auch die Detektoren 48 und 50 wellenlängenempfindlich sein. Somit kann man durch Wahl selektiver Detektoren, welche entweder eine Filterwirkung zeigen oder auf andere Weise selektiv sind, unterschiedliche Arten von Defekten sowie ihre Position entlang der Tastlinie identifizieren. Da viele Inspektions­ systeme eine Erfassung der präzisen Position des Defekts erfordern, gewährleistet die gemeinsame Tastvorrichtung, daß diese Funktion für beide Lichtquellen erfüllt ist, so­ fern nur diese Lichtquellen selektiv identifizierbar sind.

Dieses System kann ferner verwendet werden zur Erfassung bestimmter Arten von Defekten, welche am besten mit einem äußerst kleinen Lichtfleck festgestellt werden. Eine der Laserquellen kann zu diesem Zweck fokussiert werden. An­ dererseits erfordert wieder die Erfassung anderer Typen von Defekten größere Lichtflecke. Manche Defekte erfor­ dern Ellipsen, anderen Kreise. Die zweite Lichtquelle kann derart ausgebildet sein, daß dieses Erfordernis er­ füllt ist, und da unterschiedliche Wellenlängen angewen­ det werden, können die Defekte gleichzeitig selektiv er­ faßt werden und unter Verwendung der gleichen elektroni­ schen Verarbeitungsschaltungen verarbeitet werden.

Lediglich als Beispiel für eine Anwendung mit zwei Wellen­ längen kann als Laserstrahlungsquelle 10 ein Helium-Neon-Laser ver­ wendet werden, welcher einen Laserstrahl 12 mit der Wellen­ länge 6328 Å aussendet. Dabei handelt es sich um rotes Licht. Andererseits kann man eine Laserstrahlungsquelle 14 in Form einer Argonquelle verwenden, welche auf eine blaue Wellen­ länge von 4880 Å oder eine grüne Wellenlänge von 5145 Å eingestellt werden kann. Andere Typen von Lasern können verwendet werden, um andere Wellenlängen zu erzeugen, und die Art des verwendeten Lasers hängt ab von der speziel­ len Anwendung.

Fig. 3 zeigt die Verwendung von drei Laserstrahlungsquellen 60, 62 und 64. Die Laserstrahlen der Laserstrahlungsquellen 60 und 62 fallen über ein dichroitisches Element 65 über einen Spiegel 67 durch eine optische Bank 68 zu einem dichroitischen Ele­ ment 71 und nun über einen Spiegel 72 zu einem Tastele­ ment 40. Eine weitere Laserstrahlungsquelle 64 in Form eines Fest­ körperlasers sendet einen Laserstrahl über eine optische Bank 66 zu einem Spiegel 70 und zum dichroitischen Element 71 und wiederum zum Spiegel 72 und nun auf das Tastorgan 40, so daß alle drei Laserstrahlen der drei Laserstrahlungsquellen 60, 62 und 64 gleichzeitig über das zu prüfende Material geführt werden, wobei ein einziges, gemeinsames Tastorgan 40 verwendet wird. Der Festkörperlaser 64 kann eine Infra­ rotlichtquelle mit einer Wellenlänge von 820 nm sein. Die opti­ sche Bank 66 kann ein Mikroskopobjektiv zur Kollimation der Laserstrahlen des Infrarotlasers 64 sein. Im Detektor­ system kann dann ein Infrarotdetektor verwendet werden.

Fig. 4 zeigt einen Empfänger zur gesonderten Erfassung der drei unterschiedlichen Strahlungen mit Detektoren 76, 80 und 82. Ein Filter 74 ist zwischen dem die Strahlung leitenden Stab 46 und dem Detektor 76 angeordnet und macht diesen Detektor selektiv für eine spezielle Wellenlänge. Andererseits ist ein dichroitisches Element 78 am anderen Ende der Lichtsammelstange 46 angeordnet und führt selek­ tiv unterschiedliche Wellenlängen der aufgefangenen Strah­ lung den Detektoren 80 und 82 zu, so daß man gesonderte Detektoren für jede Wellenlänge erhält. Man erkennt ohne weiteres, daß man auch zwei dichroitische Elemente und zwei Detektoren anstelle des Detektors 76 und des Filters 74 verwenden kann, um auf diese Weise vier Wellenlängen gesondert zu erfassen.

Fig. 5 zeigt die Verwendung von drei Laserstrahlungsquellen 60, 62 und 64 mit jeweils gesonderten optischen Bänken 84, 86 und 88 zur jeweils gesonderten und unabhängigen Fokussierung der jeweiligen Strahlen.

Die Vorteile der Verwendung verschiedener Lichtfleck­ größen und unterschiedlicher Wellenlängen zur Erfassung unterschiedlicher Arten von Defekten und zur exakten Er­ mittlung ihrer Position auf dem Gewebe oder dem flächigen Material, welches abgetastet wird, wurden bereits erläu­ tert. Eine weitere Ausführungsform ergibt sich dadurch, daß man eine Vielzahl von Laserstrahlungsquellen für die gleiche Be­ leuchtungsfleckgröße verwendet und nun aber die einzelnen Beleuchtungsflecke voneinander in Tastrichtung durch einen festen Abstand trennt. Durch ein solches System mit einer Vielzahl von Beleuchtungsflecken, welche den gleichen Flächenbe­ reich abtasten, erzielt man eine Redundanz, welche eine höhere Sicherheit bei der Erfassung der Defekte liefert als eine Abtastung mit einem System mit einer einzigen Laserstrahlungs­ quelle.

Eine weitere Ausführungsform erhält man durch Trennung der Laserstrahlbeleuchtungsfläche in der Richtung der Bewegung des flächigen Materials. Gemäß der US-PS 39 00 265 kann eine elektronische Verarbeitung vorgesehen sein, welche dazu führt, daß bei der Erfassung eines einzigen Defekts im Verlauf von mehreren Abtastungen, d. h. bei der Erfas­ sung eines Defekts bei jeder Abtastung, im Ergebnis nur ein Defekt registriert wird. Um dies durchzuführen, muß die Defektinformation gespeichert werden und die Defekt­ informationen aufeinanderfolgender Abtastlinien müssen verglichen werden. Unter Anwendung der vorliegenden Erfin­ dung käme es zur Ermittlung eines Defekts nur, wenn zwei oder mehrere Erfassungen gleichzeitig auftreten, so daß somit die Korrelationen in Realzeit erfolgen können. So­ mit wird jegliche Ungewißheit, welche durch Speicherung und Korrelation der gespeicherten Daten eingeführt wird, eliminiert.

Zu anderen vorteilhaften Anwendungen der mehreren Laserstrahlungs­ quellen mit unterschiedlichen Wellenlängen gehört die Farb­ erfassung. Da bestimmte Produkte am günstigsten hinsicht­ lich von Defekten geprüft werden, wenn man sie mit einer ausgewählten Wellenlänge beleuchtet, kann die Verfüg­ barkeit von mehreren Laserstrahlungsquellen dazu verwendet werden, automatisch festzustellen, welche Laserstrahlungsquelle für eine Inspektion des jeweiligen flächigen Materials optimal ist, und diese Laserstrahlungsquelle könnte danach zur Erfassung der De­ fekte in dem inspizierten Material verwendet werden.

Claims (4)

1. System zur Erfassung von Defekten durch Abtastung eines bewegten flächigen Materials mit

• - einer Laserstrahlungsquelle,
• - einer Abtasteinrichtung zur Abtastung des bewegten flä­ chigen Materials,
• - einer optischen Einrichtung, welche das Laserlicht auf die Abtasteinrichtung richtet,
• - einer Empfangseinrichtung zur Sammlung der Laserstrahlen, und
• - einer Detektoreinrichtung, welche mit der Empfangsein­ richtung gekoppelt ist und Signale erzeugt, welche der Intensität der von der Empfangseinrichtung empfangenen Laserstrahlung entsprechen,

gekennzeichnet durch eine Vielzahl von Laserstrahlungsquel­ len (10, 14), welche auf unterschiedliche Beleuchtungs­ fleckgröße und/oder auf einen festen Abstand der Beleuch­ tungsflecke einstellbar sind, wobei unterschiedliche Laser­ strahlen (12, 16) unterschiedliche Wellenlängen haben und durch die ihnen gemeinsame Abtasteinrichtung (40) simultan über das bewegte flächige Material geführt werden.

2. System nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Laserstrahlungsquellen oder deren Beleuchtungsflecke durch einen festen Abstand in Tastrichtung getrennt sind.

3. System nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­ net, daß die Laserstrahlungsquellen oder die Beleuchtungs­ flecke derselben durch einen festen Abstand in Richtung der Bewegung des flächigen Materials getrennt sind.