DE3016879A1 - Verfahren und vorrichtung zum beruehrungslosen optischen empfang von ultraschallwellen - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zum beruehrungslosen optischen empfang von ultraschallwellenInfo
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Description
Krautkrämer GmbH 29. April 198o
Luxemburger Str. 449 P/bdl
5ooo Köln Al K-143
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BERÜHRUNGSLOSEN OPTISCHEN EMPFANG VON ULTRASCHALLWELLEN.
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum berührungslosen
optischen Empfang von Ultraschallwellen in der zerstörungsfreien Werkstoffprüfung,
indem im Takt der Ultraschallwelle ausgelenkte Oberflächenteile des Prüfstückes mit Licht beleuchtet werden, und wobei das durch diese
Oberflächenschwankungen modulierte Licht (Empfangslicht) vorzugsweise
mit Hilfe eines Laufzeitinterferometers analysiert wird. Die Erfindung
bezieht sich ferner auf eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens.
Verfahren der eingangs erwähnten Art sind beispielsweise aus der DE-OS 24 57 253 bekannt. Nachteilig wirkt sich bei derartigen Verfahren
aus, daß Schwankungen des Meßlichtes durch Veränderung des Reflexionsvermögens der Prüfstücksoberfläche (etwa hervorgerufen durch Bewegung
der Oberfläche) die Empfindlichkeit des Interferometers beeinflussen.
Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung,ein Verfahren der
eingangs erwähnten Art anzugeben, mit dem es möglich ist, das empfangene Meßlicht möglichst konstant zu halten, Ferner soll eine Vorrichtung
zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens angegeben werden.
Diese Aufgaben werden erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Teile
der Ansprüche 1, 2 und 3 gelöst.
Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung werden im folgenden
mit Hilfe von Figuren anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert.
Es zeigen:
3004S/0©ia
Fig. 1-3 Vorrichtungen zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens
mit unterschiedlichen Möglichkeiten der Auskopplung eines Teils
des Empfangslichtes zur Regelung der Intensität des die Oberfläche
des Prüfstückes beleuchtenden Lichtes.
In Fig.1 ist mit 1 ein Prüfstück bezeichnet,, auf dessen Oberfläche 2 ein v
Lichtstrahl 3 auftritt. Dieses Licht wird beispielsweise durch einen Laser
4 erzeugt. Die Intensität des Laserlichtes kann mit Hilfe eines elektrooptischen
Bauelementes - etwa einer Pockelszelle - verändert werden.
Das von der Oberfläche des Prüfstückes 1 reflektierte, und gestreute Empfangslicht 3' gelangt über ein Laufzeitinterferometer 6 in eine Fotozelle
Das am Ausgang, dieser Fotozelle sich ergebende elektrische Signal wird dann
in einer Auswerteeinheit 8 weiterverarbeitet. :
Um einen Teil des Empfangslichtes 3'zur Regelung der Intensität des auf
die Oberfläche 2 des Prüfstückes 1 auf-treffenden Lichtes auszukoppeln,
ist eine teildurchlässige Platte (z.B. eine Glasplatte) 9 vorgesehen.
Der derart ausgekoppelte Lichtstrahl 3'' wird von einer Fotozelle 1o in :
ein entsprechendes elektrisches Signal umgewandelt. Dieses elektrische
Signal wird in einer elektronischen Baueinheit 11 mit einem vorgegebenen
Sollwert. 2o verglichen. Liegt der .Istwert unter dem Sollwert (zu geringe
Intensität des Empfangslichtes), so wird die. Lichtintensität des das Prüfstück 1 beleuchtenden Lichtes 3 mit Hilfe der Pockelszelle 5 solange
erhöht, bis das Empfangslicht den vorgegebenen Istwert erreicht hat.
Bei einem Istwert, der über dem Sollwert liegt, wird entsprechend die
Lichtintensität des das Prüfstück 1 beleuchtenden Lichtes 3 verringert.
In Fig.2 und 3 sind zwei weitere, besonders vorteilhafte Vorrichtungen dargestellt,
die ein Auskoppeln des für die Regelung benutzten Empfangslichtes 31' zeigen ohne daß ein zusätzlicher Spiegel 9 erforderlich ist. Im
PaIU; der Verwendung etn'us Tricerferomefcers vom MicheIson-Typ (Fig.2)
wird als tief 1'pxionsspipgel in einem der beiden Iaterferometer-arme ein
teildurchlässiger Spiegel 61 verwendet. Es hat sich gezeigt, daß eine
Durchlässigkeit dieses Spiegels von nur 2% ausreichend ist.
BAD ORIGINAL
Bei Verwendung eines Interferometers vom Mach-Zehnder-Typ (Fig.3)
werden die von den Fotozeilen Io und 7 kommenden elektrischen Signale
zunächst einem Addierglied 12 zugeführt und das Ausgangssignal dieses
Addiergliedes mit dem Eingang der Einheit 11 verbunden. Da die von dem
Auskoppelspiegel 61* abgeleiteten Signale komplementär sind, heben
sich bei abgeglichenem Interferometer die auf die Schallsignale zurückzuführenden
Anteile der elektrischen Signale bei der Addition gerade heraus. Das Ausgangssignal des Addiergliedea 12 enthält also im Gegensatz
zu den bisher beschriebenen Verfahren in diesem Fall nur noch eine Information über die Schwankung des Empfangslichtes ohne daß die durch die
Ultraschallwelle verursachten und zu analysierenden Schwankungen mitberücksichtigt
werden. Diese Anordnung hat sich bei Vorrichtungen zum berührungslosen optischen Empfang von Ultraschallwellen als
besonders geeignet erwiesen.
Leer seite
Claims (3)
1.) Verfahren zum berührungslosen optischen Empfang von Ultraschallwellen
in der zerstörungsfreien Werkstoffprüfung, indem im Takt der Ultraschallwelle ausgelenkte Oberflächenteile des Prüfstückes mit Licht beleuchtet
werden und wobei das durch diese Oberflächenschwankungen modulierte
Licht (Empfangslicht) vorzugsweise mit Hilfe eines Laufzeitinterferometers
analysiert wird, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil (311) des Empfangslichtes (31) zur Regelung der Intensität
des die Oberfläche (2) des Prüfstückes (1) beleuchtenden Lichtes (3) verwendet wird, wobei eine Verringerung bzw. eine Erhöhung der Intensität
des Empfangslichtes (31) eine Erhöhung bzw. Verringerung der Intensität
des die Oberfläche (2) des Prüfstückes (1) beleuchtenden Lichtes (3) bewirkt.
2. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das zur Regelung
der Intensität des die Oberfläche (2) des Prüfstückes (1) beleuchtenden
Lichtes erforderliche, dem Empfangslicht proportionale elektrische Signal (311) dadurch gewonnen wird, daß bei Verwendung
eines Laufzeitinterferoraeters (6) vom Michelson-Typ der Reflexionsspiegel
(61) in einem der beiden Interferometerarme teildurchlässig ist (Fig.2), daß das derart ausgekoppelte Licht einer Fotozelle (1o)
und das entsprechende elektrische Ausgangssignal der Fotozelle einer elektronischen Einheit (11) zwecks Durchführung eines Soll/Ist-Vergleichs
zugeführt wird, und daß der Ausgang dieser elektronischen Einheit (M) mit einem opto-elektrischen Bauelement (5) verbunden
ist.
3. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet , daß das zur Regelung
der Intensität des die Oberfläche (2) des Prüfstückes (I) beleuchtenden
Lichtes erforderliche dem Empfangslicht proportionale elektrische Signal (3") dadurch gewonnen wird, daß bei Verwendung
eines Laufzeitinterferometers (6') vom Mäch-Zehnder-Typ sowohl
das für die Auswerteeinheit (8) bestimmte Licht als auch das von dem
Auskoppelspiegel (61') komplementär zu dem Meßlicht erhaltene
Licht (3T') nach Umwandlung in entsprechende elektrische Signale
einem Addierglied (12) zugeführt werden, und daß der Ausgang des
Addiergliedes mit einer elektronischen Einheit (11) zur Durchführung eines Soll/Ist-Vergleiches und der Ausgang der elektronischen
Einheit mit einem optischen Bauelement (5) verbunden ist. ,
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