DE3007169A1 - Verfahren zur herstellung von mikrobohrungen in metallteilen mit hilfe eines leistungs-lasers - Google Patents

Verfahren zur herstellung von mikrobohrungen in metallteilen mit hilfe eines leistungs-lasers

Info

Publication number
DE3007169A1
DE3007169A1 DE19803007169 DE3007169A DE3007169A1 DE 3007169 A1 DE3007169 A1 DE 3007169A1 DE 19803007169 DE19803007169 DE 19803007169 DE 3007169 A DE3007169 A DE 3007169A DE 3007169 A1 DE3007169 A1 DE 3007169A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
workpiece
laser beam
aggregation
bore
laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19803007169
Other languages
English (en)
Other versions
DE3007169C2 (de
Inventor
Aldo Vittorio La Rocca
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fiat Auto SpA
Original Assignee
Fiat Auto SpA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fiat Auto SpA filed Critical Fiat Auto SpA
Publication of DE3007169A1 publication Critical patent/DE3007169A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3007169C2 publication Critical patent/DE3007169C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1462Nozzles; Features related to nozzles
    • B23K26/1464Supply to, or discharge from, nozzles of media, e.g. gas, powder, wire
    • B23K26/147Features outside the nozzle for feeding the fluid stream towards the workpiece
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K10/00Welding or cutting by means of a plasma
    • B23K10/003Scarfing, desurfacing or deburring
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/12Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure
    • B23K26/123Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure in an atmosphere of particular gases
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/142Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor for the removal of by-products
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1435Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor involving specially adapted flow control means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1435Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor involving specially adapted flow control means
    • B23K26/1438Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor involving specially adapted flow control means for directional control
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material
    • B23K26/38Removing material by boring or cutting
    • B23K26/382Removing material by boring or cutting by boring
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material
    • B23K26/38Removing material by boring or cutting
    • B23K26/382Removing material by boring or cutting by boring
    • B23K26/389Removing material by boring or cutting by boring of fluid openings, e.g. nozzles, jets
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material
    • B23K26/40Removing material taking account of the properties of the material involved
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/60Preliminary treatment
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02MSUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
    • F02M61/00Fuel-injectors not provided for in groups F02M39/00 - F02M57/00 or F02M67/00
    • F02M61/16Details not provided for in, or of interest apart from, the apparatus of groups F02M61/02 - F02M61/14
    • F02M61/168Assembling; Disassembling; Manufacturing; Adjusting
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02MSUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
    • F02M61/00Fuel-injectors not provided for in groups F02M39/00 - F02M57/00 or F02M67/00
    • F02M61/16Details not provided for in, or of interest apart from, the apparatus of groups F02M61/02 - F02M61/14
    • F02M61/18Injection nozzles, e.g. having valve seats; Details of valve member seated ends, not otherwise provided for
    • F02M61/1806Injection nozzles, e.g. having valve seats; Details of valve member seated ends, not otherwise provided for characterised by the arrangement of discharge orifices, e.g. orientation or size
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2103/00Materials to be soldered, welded or cut
    • B23K2103/50Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Description

'.ίι.-iijg. iL LK:j
i;Sr- Ά- 11, SGOD MOf
PIAT AUTO S.p.A.
Corso Giovanni Agnelli 200
Turin, Italien
Exemplar
3007469
Verfahren zur Herstellung von Mikrobohrungen in Metallteilen mit Hilfe eines Leistunts-Lasers
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Mikrobohrungen in Metallteilen mit Hilfe eines Leistungs-Lasers.
Unter dem Ausdruck "Mikrobohrung" versteht man die Bildung von Löchern mit einem Durchmesser von weniger als einem Millimeter. Ein Beispiel für Bohrungen, die mit Hilfe des Verfahrens gemäß der Erfindung hergestellt werden sollen, sind die Kraftstoffauslaßöffnungen von Einspritzdüsen für Verbrennungskraftmaschinen. Derartige Bohrungen haben einen Durchmesser, der zwischen 0,1 und 0,5 mm liegt.
Bei der Herstellung von Mikrobohrungen in Metallteilen mit Hilfe.von Leistungs-Lasern wird ein Laserstrahl an der Stelle fokussiert, an der das Bohrloch entstehen soll; anschließend wird der Laser aktiviert und erzeugt Laser-Strahlungsimpulse. Die Strahlungsenergie des Lasers verursacht ein Schmelzen und Verdampfen des Metalls, so daß letzteres sowohl in den dampfförmigen als auch in den flüssigen Aggregatzustand gelangt. Das gewünschte Loch wird mithin durch Materialabtrag in den beiden genannten Aggregatzuständen hergestellt.
Solange die herzustellende Bohrung noch nicht durchgehend ist, erfolgt die Entfernung des flüssigen Materials durch
030037/0710
Zuführung eines Schutzgases, beispielsweise von Helium, in das Bohrloch. Ein derartiges Schutzgas wird bei Laserverfahren üblicherweise dazu verwendet, um die Absorption ("blanketing"-Effekt) der Laserstrahlung durch das sich zwischen dem Werkstück und der Strahlung infolge der Verdampfung des Materials ausbildende sogenannte Plasmakissen zu verringern.
Falls die Leistungsdichte des Laserstrahles sehr hoch ist, kann das sich im flüssigen Aggregatzustand befindende Material durch Ausnutzung einer als "Laser-Detonation" (L.S.D.) bezeichneten Erscheinung entfernt werden,die bei jedem Laser-Impuls zu einer Druckwelle führt, welche sich aus der zu bildenden Bohrung mit hoher Überschallgeschwindigkeit ausbreitet. Diese Druckwelle entfernt flüssiges Material sowie gegebenenfalls vorhandene feste Produkte, beispielsweise Oxyde und Nitride. Gleichzeitig verbessert und glättet diese Druckwelle die Wandungen der Bohrung.
Es ist mit den bekannten Verfahren zur Herstellung von Mikrobohrungen mit Hilfe von Leistungs-Lasern jedoch nicht möglich, Löcher mit einer Oberflächenbeschaffenheit und einer Genauigkeit in den Abmessungen zu erhalten, wie sie für bestimmte Anwendungsfälle erforderlich sind. Derartige Anwendungsfälle sind beispielsweise die erwähnten Kraftstoff auslaßöffnungen von Einspritzdüsen für Brennkraftmaschinen, bei denen ein besonders hoher Feinheitsgrad erforderlich ist, um beim bestimmungsgemäßen Gebrauch sogenannte Kavitationserscheinungen zu vermeiden.
Die unzureichende Bearbeitungsfeinheit von Bohrungen, die mit Hilfe bekannter Laser-Bearbeitungsverfahren herstellbar sind, ist darauf zurückzuführen, daß die Umwandlung des Materials des Werkstückes aus dem festen Aggregatzustand in und flüssigen und/oder den dampfförmigen Aggregatzustand sehr schnell stattfindet, so daß keine ausrei-
030037/0710
chende Zeit zur Verfügung steht, um Wärme in den Körper des Werkstückes zu übertragen. In der Praxis ist nur ein sehr schmaler Dickenbereich des Materials des Werkstückes in der Umgebung der sich bildenden Bohrung von dem Laser-Bohrverfahren betroffen. Die Stärke dieses Bereiches liegt in der Größenordnung von 1/1000 mm. Infolgedessen findet nach einem Impuls der Laserstrahlung eine sehr rasche Abkühlung statt, wobei der von dem teilweise fertiggestellten Loch gebildete Hohlraum als Wärmesenke wirkt.
Durch diesen Abkühlungseffekt verfestigt sich das im flüssigen Aggregatzustand befindliche Material unverzüglich wegen des Kontaktes mit der Wandung der Bohrung und haftet an dieser Wandung, wobei sich Oberflächenunregelmässigkeiten bilden. Gleichzeitig entstehen durch Kondensation der dampfförmigen Materialteile weitere flüssige Materialteile, die infolge der raschen Abkühlung nicht genug Zeit finden, um sich über die Wandungen der Bohrung auszubreiten.
Um die Qualität der Bohrlöcher zu verbessern, wurde bereits vorgeschlagen, das Werkstück oder den Laserstrahl um die Strahlenachse rotieren zu lassen. Es ist jedoch auch mit diesem Verfahren nicht gelungen, Bohrungen herzustellen, die eine für bestimmte Anwendungsfälle, beispielsweise für die erwähnten Einspritzdüsen, ausreichende Güte besitzen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung von Mikrobohrungen mit Hilfe von Leistungs-Lasern zu schaffen, das die Bildung von Löchern mit einem verbesserten Oberflächen-Feinheitsgrad und höherer Abmessungsgenauigkeit ermöglicht, wie sie bisher nur durdikonventionelle ohne Laseranwendung arbeitende und extrem kostenaufwendige Verfahrenstechniken erreichbar sind.
030037/0710
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den im Patentanspruch 1 beschriebenen Merkmalen gelöst.
Vorteilhafte Weiterbildungen des Verfahrens gemäß der Erfindung sind in den Unteransprüchen beschrieben, auf die hiermit zur Verkürzung der Beschreibung ausdrücklich verwiesen wird.
Im folgenden sei die Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert:
Fig. 1 zeigt eine perspektivische Ansicht einer Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens gemäß der Erfindung, die sich für die Herstellung von Bohrungen in plattenförmigen Körpern eignet,
Fig. 2 zeigt eine perspektivische Ansicht einer Vorrichtung zur Herstellung von Bohrungen für Kraftstoffauslaßöffnungen von Einspritzdüsen für Brennkraftmaschinen,
Fig. 3 zeigt in vergrößertem Maßstab einen Teilschnitt längs der Linie III-III von Fig. 2.
Die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung umfaßt einen Laser-Generator 2. Dieser ist so angeordnet, daß der von ihm erzeugte Impuls-Laserstrahl 3 sich zur Bildung einer Bohrung 4 auf einem (plattenförmigen) metallischen Werkstück 1 fokussieren läßt.
Eine Düse 5 dient zur Zuführung eines Schutzgases, beispielsweise von Helium, in den Bereich der Bearbeitungszone.
Die Düse 5 ist vorzugsweise Bestandteil einer Vorrichtung zur Steuerung der Zuführung von Schutzgas, die Gegenstand
der prioritätsgleichen deutschen Patentanmeldung
(entsprechend der italienischen Prioritätsanmeldung 67 465-A/79 vom 5.März 1979) ist.
030037/0710
An zwei einander gegenüberliegenden Kanten des Werkstückes 1 sind zwei Klemmen 6 und 7 aus elektrisch leitfähigem Material befestigt. Sie stehen über einer Leitung 8 mit einer Spannungsquelle 9 in Verbindung. Der entsprechende Stromkreis dient zur Widerstandsheizung des Werkstückes 1.
Diese Heizung ist so gesteuert, daß das Werkstück 1 auf eine Temperatur gebracht wird, die hinreichend groß ist, daßdiejenigen Materialteile in der Bohrung 4, die direkt oder indirekt durch die Einwirkung des Laserstrahles 3 in den flüssigen Aggregatzustand gebracht sind, genügend lange in diesem Zustand verbleiben, um sich - wie ein Film - gleichförmig über die Wandungen der Bohrung 4 auszubreiten. Diese Ausbreitung des im flüssigen Aggregatzustand befindlichen Metalls erfolgt aufgrund von Druckimpulsen, die von jedem Laserstrahl-Impuls erzeugt werden und werden nötigenfalls durch eine Schutzgasströmung unterstützt, die der Bearbeitungszone zugeführt wird.
Die Widerstandsheizung des Werkstückes 1 verhindert, daß die Wandung der Bohrung 4 als Wärmesenke wirkt und verhindert damit gleichzeitig, daß die im flüssigen Aggregatzustand befindlichen Metallteile sich verfestigen und an der Wandung der Bohrung 4 in unregelmäßiger Weise anhaften. Ein solches unregelmäßiges Anhaften findet andernfalls (d.h. ohne Wärmung des Werkstückes) infolge der sehr raschen Abkühlung nach der Beendigung jedes Laserstrahl-Impulses unvermeidlich statt.
Das Werkstück 1 und der Laserstrahl 3 sind relativ zueinander um die Achse des Laserstrahles 3 rotierbar. Dadurch wird die Gleichförmigkeit der Oberfläche der Wandung der Bohrung 4 weiter verbessert. Die Rotation kompensiert irgendwelche Unregelmäßigkeiten des Laserstrahles und erleichtert die Ausbreitung der in flüssigem Aggregatzustand befindlichen Materialteile über die Wandung der Bohrung infolge der Zentrifugalkräfte.
030037/0710
3007Ί69
Mit 10 ist ein mit neutralem Gas arbeitender Plasmabrenner bezeichnet, der in Achsenrichtung des Laserstrahles 3 auf diejenige Oberfläche des Werkstückes 1 gerichtet ist, die der von dem Laserstrahl 3 bearbeiteten Oberfläche gegenüberliegt.
Der Brenner 10 trägt zur Erwärmung des Werkstückes 1 bei. Außerdem erfüllt er jedoch noch andere weiter unten be-, schriebene Funktionen:
Nach der Herstellung der Mikrobohrung bewirkt der Brenner 10 eine weitere Erhitzung der Wandungen der Bohrung 4 und damit eine "Plammenpolierung" bzw. eine weitere Ausbreitung der in flüssigem Aggregatzustand befindlichen Materialteile. Damit wird die Bildung von Mikrorissen vermieden, die bei schneller Abkühlung entstehen könnten.
Der Strahl des Plasmabrenners dient ferner dazu, aus der Bohrung 4 feste Teilchen, beispielsweise Metalloxyde oder Nitride auszuwerfen, die in der hochaktiven Umgebung entstehen, Vielehe durch die gleichzeitige Anwesenheit des Laserstrahles und der überhitzten Metalldämpfe erzeugt wird. Durch den Strahl des Plasmabrenners wird außerdem eine Verunreinigung durch die Umgebungsluft vermieden,die durch unvollständige Abschirmung durch die Schutzgasströmung entstehen könnte.
Obwohl Fig. 1 die Verbindung des Plasmabrenners 10 zusammen mit der Vorrichtung zur Widerstandsheizung darstellt, ist es auch möglich, den Plasmabrenner 10 als einzige Wärmequelle zur Aufheizung des Werkstückes 1 zu verwenden.
Die in Fig. 1 und 2 dargestellte Vorrichtung beinhaltet einen Laser-Generator 22 zur Herstellung von Bohrungen in dem Düsenkopf 11a eine Einspritzdüse 11 für mit Kraftstoffeinspritzung arbeitende Verbrennungsmotoren. Die Bohrstelle ist mit 44 bezeichnet.
030037/0710
Zur Erwärmung des Düsenkopfes 11a dient ein glockenförmiges Metallteil 12, das über den Düsenkopf 11a gelegt ist. Dieses glockenförmige Element 12 besitzt Öffnungen 12a für den Durchtritt des Laserstrahles 3. Es ist von einer Wicklung 13 umgeben, die über eine Leitung 14 mit einer Wechselstromquelle 15 von vorzugsweise hoher Frequenz ver bunden ist.
Bei der Erregung der Wicklung 13 mit Wechselstrom fliessen induzierte Ströme durch den Düsenkopf 11a, da dieser sich in dem magnetischen Polstück befindet, das von dem glockenförmigen Element 12 gebildet wird. Diese induzierten Ströme erhitzen den Düsenkopf 11a hinreichend stark, so daß sich die flüssigen Metallteile während des Laser-Bearbeitungsvorganges ausbreiten können. Das glockenförmige Element 12 besitzt einen Schenkel 16, der an einer Halterung 17 befestigt ist. Letztere trägt auch die Einspritzdüse 11. Die Halterung 17 besitzt eine Welle 18, mittels derer sie um die Achse des Laserstrahles 3 rotierbar ist.
Die beschriebenen Verfahren zur Herstellung von Mikrobohrungen mit Hilfe eines Leistungs-Lasers ermöglichen es, Bohrungen mit einer Oberflächenbeschaffenheit und einer Dimensionsgenauigkeit herzustellen, die wesentlich besser sind als diejenigen, die sich mit entsprechenden bekannten Laserverfahren herstellen lassen. Außerdem lassen sich bei den Verfahren gemäß der Erfindung die Leistungspegel des Laserstrahles und die Impulsformen in weitem Bereich frei wählen, wobei die Wahl dieser Parameter für spezielle Anwendungsfälle weniger kritisch ist. Infolgedessen können weniger leistungsstarke Laser verwendet werden, die sich leichter und besser steuern lassen.
030037/0710
Leerseite

Claims (5)

  1. Patentansprüche
    V 1 . yVerfahren zur Herstellung von Mikrobohrungen in Metallteilen mit Hilfe eines Leistungs-Lasers, wobei während der Bearbeitung durch die Einwirkung des Laserstrahles festes Werkstückmaterial in flüssigen und dampfförmigen Aggregatzustand umgewandelt wird, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück (1, 11) auf eine hinreichend hohe Temperatur erwärmt wird, bei der sowohl der unmittelbar durch die Wirkung des Laserstrahles (3) bewirkte als auch der sich durch Kondensation aus dem gasförmigen Aggregatzustand ergebende flüssige Aggregatzustand an der Wandung der Bohrung (4, 44) während einer hinreichend langen Zeitspanne aufrechterhalten werden, um eine gleichförmige Ausbreitung dieser flüssigen Aggregatzustände über die Wandung der Bohrung (4, 44) ermöglichen.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück (11) durch elektromagnetische Induktion erwärmt wird.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück (1) durch elektrische Widerstandsheizung erwärmt wird.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück mittels eines mit neutralem Gas arbeitenden Plasmabrenners (10) erwärmt wird.
  5. 5. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3> dadurch gekennzeichnet, daß in Achsenrichtung des Laserstrahles (3) ein Plasmastrahl eines neutralen Gases auf diejenige Oberfläche des Werkstückes (1) gerichtet wird, die der dem Laserstrahl (3) ausgesetzten Oberfläche gegenüberliegt, derart daß in einer durch die Wirkung des Laserstrahles (3) in dem Werkstück (1) erzeugten
    030037/0710
    3007Ί69
    durchgehenden Bohrung (4) eine weitere Erwärmung stattfindet, durch die sich der flüssige Aggregatzustand über die Wandung der Bohrung (4) weiter ausbreitet.
    030037/071Ö
DE3007169A 1979-03-05 1980-02-26 Verfahren zur Herstellung von Mikrobohrungen in Metallteilen mit Hilfe eines Leistungs-Lasers Expired DE3007169C2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
IT67466/79A IT1119678B (it) 1979-03-05 1979-03-05 Metodo per la microforatura di pezzi metallici mediante laser di potenza

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3007169A1 true DE3007169A1 (de) 1980-09-11
DE3007169C2 DE3007169C2 (de) 1982-04-01

Family

ID=11302627

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3007169A Expired DE3007169C2 (de) 1979-03-05 1980-02-26 Verfahren zur Herstellung von Mikrobohrungen in Metallteilen mit Hilfe eines Leistungs-Lasers

Country Status (4)

Country Link
DE (1) DE3007169C2 (de)
FR (1) FR2450663A1 (de)
GB (1) GB2045669B (de)
IT (1) IT1119678B (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1984002296A1 (en) * 1982-12-17 1984-06-21 Inoue Japax Res Laser machining apparatus
DE102007051408A1 (de) 2007-10-25 2009-05-28 Prelatec Gmbh Verfahren zum Bohren von Löchern definierter Geometrien mittels Laserstrahlung
CN112975147A (zh) * 2021-02-07 2021-06-18 深圳市海特联科科技有限公司 一种激光切割压电二氧化硅工艺

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4879449A (en) * 1987-01-30 1989-11-07 Duley Walter W Means of enhancing laser processing efficiency of metals
US4891491A (en) * 1987-01-30 1990-01-02 Duley Walter W Means of enhancing laser processing efficiency of metals
US4877939A (en) * 1987-01-30 1989-10-31 Duley Walter W Means of enhancing laser processing efficiency of metals
US4857699A (en) * 1987-01-30 1989-08-15 Duley Walter W Means of enhancing laser processing efficiency of metals
EP0299143A1 (de) * 1987-06-12 1989-01-18 Raycon Textron Inc. Produktionsvorrichtung zum Bohren mit Laserstrahl und Anwendung von Funkenerosion
US4933205A (en) * 1987-10-09 1990-06-12 Duley Walter W Laser etching of foam substrate
US4972061A (en) * 1987-12-17 1990-11-20 Duley Walter W Laser surface treatment

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3383491A (en) * 1964-05-05 1968-05-14 Hrand M. Muncheryan Laser welding machine
US3527198A (en) * 1966-03-26 1970-09-08 Tokyo Shibaura Electric Co Method and apparatus for working diamonds by means of laser light beam
DE1790129A1 (de) * 1967-09-25 1972-04-13 Laser Tech Sa Verfahren zum Bohren von Werkstuecken mittels Laserstrahlung
US4167662A (en) * 1978-03-27 1979-09-11 National Research Development Corporation Methods and apparatus for cutting and welding

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3383491A (en) * 1964-05-05 1968-05-14 Hrand M. Muncheryan Laser welding machine
US3527198A (en) * 1966-03-26 1970-09-08 Tokyo Shibaura Electric Co Method and apparatus for working diamonds by means of laser light beam
DE1790129A1 (de) * 1967-09-25 1972-04-13 Laser Tech Sa Verfahren zum Bohren von Werkstuecken mittels Laserstrahlung
US4167662A (en) * 1978-03-27 1979-09-11 National Research Development Corporation Methods and apparatus for cutting and welding

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1984002296A1 (en) * 1982-12-17 1984-06-21 Inoue Japax Res Laser machining apparatus
DE102007051408A1 (de) 2007-10-25 2009-05-28 Prelatec Gmbh Verfahren zum Bohren von Löchern definierter Geometrien mittels Laserstrahlung
US8237083B2 (en) 2007-10-25 2012-08-07 Prelatec Gmbh Method for boring bottle-like holes having a defined geometry by means of pulsed laser radiation
CN112975147A (zh) * 2021-02-07 2021-06-18 深圳市海特联科科技有限公司 一种激光切割压电二氧化硅工艺

Also Published As

Publication number Publication date
IT1119678B (it) 1986-03-10
GB2045669B (en) 1984-06-27
FR2450663B1 (de) 1984-02-03
GB2045669A (en) 1980-11-05
DE3007169C2 (de) 1982-04-01
IT7967466A0 (it) 1979-03-05
FR2450663A1 (fr) 1980-10-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2706845C2 (de) Verfahren zur Bildung einer amorphen Oberflächenschicht auf einem metallischen Gegenstand
DE60025600T2 (de) Verfahren zur bolzenschweissen mit einer reinigungsstufe
DE2940127A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur waermebehandlung
DE2654486A1 (de) Verfahren zur glaettung eines nadeloehrs
EP0558870B1 (de) Freiformschweissen von Metallstrukturen mit Laser
DE102017220153A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur schichtweisen additiven Fertigung von Bauteilen mittels eines kontinuierlichen und eines gepulsten Laserstrahls und zugehöriges Computerprogrammprodukt
DE60111863T2 (de) Laserschweissverfahren
DE112012006776T5 (de) Schweißdrahtvorschubeinrichtung und Verfahren
DE3007169C2 (de) Verfahren zur Herstellung von Mikrobohrungen in Metallteilen mit Hilfe eines Leistungs-Lasers
EP0558135B1 (de) Verfahren zum Erzeugen eines Musters in der Oberfläche eines Werkstücks
EP1414612B1 (de) Verfahren zum laserstrahlschweissen
EP2022589A1 (de) Fügeverfahren für Metallbauteile und Vorrichtung zum Beloten eines Metallbauteils
DE69824181T2 (de) Vorrichtung und verfahren zum schneiden mit grösserem abstand mittels laser im impulsverfahren
DE10012792A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bearbeitung von Bauteilen, bei dem durch einen lokalen Energieeintrag eine schmelzflüssige Phase erzeugt wird
DE102011004116A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Verschweißen von Bauteilen mittels eines Laserstrahls
DE19608074C2 (de) Verfahren zum Schweißen von relativbewegten Werkstücken
DE1294153B (de) Verfahren zum Schneiden von Werkstuecken
DE102015008918A1 (de) Verfahren zur additiven Herstellung von dreidimensionalen Bauteilen
WO2020253930A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum bohren von bauteilen
DE102015003591A1 (de) Schweissverfahren und schweissvorrichtung
DE2211195A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Materialschweißung
DE10020327A1 (de) Vorrichtung zur Bearbeitung von Werkstücken, Schweißverfahren zum Erzeugen einer in sich geschlossenen Schweißnaht und Verfahren zum Härten metallischer Werkstücke
DE1765852B2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bearbeitung von metallischen Werkstoffen mit magnetisch fokussieren Ladungsträgerstrahlen
DE3121555A1 (de) Verfahren zur kontrollierten formaenderung eines erwaermten teils aus stahl mittels laserstrahlung
DE102004050164B4 (de) Schweißverfahren

Legal Events

Date Code Title Description
OAP Request for examination filed
OD Request for examination
D2 Grant after examination
8339 Ceased/non-payment of the annual fee