DE3002736C2 - Anordnung zur Messung der vertikalen Verformung von Informationsträgern - Google Patents

Anordnung zur Messung der vertikalen Verformung von Informationsträgern

Info

Publication number
DE3002736C2
DE3002736C2 DE19803002736 DE3002736A DE3002736C2 DE 3002736 C2 DE3002736 C2 DE 3002736C2 DE 19803002736 DE19803002736 DE 19803002736 DE 3002736 A DE3002736 A DE 3002736A DE 3002736 C2 DE3002736 C2 DE 3002736C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
display device
evaluation
signal
arrangement
connections
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19803002736
Other languages
English (en)
Other versions
DE3002736A1 (de
Inventor
Harald Dr.rer.nat. 3000 Hannover Ahrens
Helmut Dipl.-Ing. 3012 Langenhagen Stecher
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Polygram 2000 Hamburg De GmbH
Original Assignee
Polygram 2000 Hamburg De GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Polygram 2000 Hamburg De GmbH filed Critical Polygram 2000 Hamburg De GmbH
Priority to DE19803002736 priority Critical patent/DE3002736C2/de
Publication of DE3002736A1 publication Critical patent/DE3002736A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3002736C2 publication Critical patent/DE3002736C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/306—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces for measuring evenness
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
    • G11B33/10—Indicating arrangements; Warning arrangements
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/002—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier
    • G11B7/0037—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs
    • G11B7/00375—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs arrangements for detection of physical defects, e.g. of recording layer
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B7/095—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following specially adapted for discs, e.g. for compensation of eccentricity or wobble
    • G11B7/0956—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following specially adapted for discs, e.g. for compensation of eccentricity or wobble to compensate for tilt, skew, warp or inclination of the disc, i.e. maintain the optical axis at right angles to the disc
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur berührungslosen Messung der Verformung in vertikaler Richtung von scheibenförmigen, Aufzeichnungsspuren aufweisenden, in einer' horizontalen x-z-Ebene mit radialer Ar-Richtung und tangentialer z-Richtung befindlichen, um die vertikale y-Achse rotierenden Informationsträgern unter Verwendung eines optischen Gebers und Nehmers.
Bei einer berührungslosen, optischen Abtastung von derartigen Informationsträgern ist eine Abtasteinrichtung erforderlich, die sich ständig in einer auf Bruchteile in der Größenordnung von Mikrometern genau definierten Position zu der auf dem rotierenden Informationsträger befindlichen Aufzeichnungsspur zu befinden hat Da die einzelnen Aufzeichnungsspuren in der Regel mit erheblichen Irregularitäten und Formfehlern behaftet sind, ist diese Bedingung nur dadurch zu
so erfüllen, daß man die Abtasteinrichtung mit Regeleinrichtungen ständig auf exakter Position hält Für die Dimensionierung dieser Regeleinrichtungen und für die Qualitätsüberwachung bei der Herstellung der Informationsträger ist es wichtig, diese Formfehler zu messen und in geeigneter Form darzustellen.
Aus der tenischen Raundschau von Philips, 33, 1973/74, Nr. 7, Seite 202 bis 203, ist eine Anordnung zur Messung und Regelung des sich aufgrund von Unebenheiten auf dem Informationsträger ändernden Abstandes zwischen diesem Informationsträger und einem Abtaster bekannt Doch ist diese Meßanordnung nicht optisch, sondern kapazitiv ausgelegt und weist darüber hinaus den Nachteil auf, daß die Verformung des Informationsträgers als explizite Größe nicht erfaßbar ist.
Zwar ist aus der OS 21 07 135 eine Anordnung zur berührungslosen, optischen Messung an rotierenden Werkstücken bekannt, doch können mit dieser Anord-
nung nur die Umfangs- und Winkelgeschwindigkeit sowie der Radius des Werkstückes bestimmt werden. Dagegen ist die Messung der vertikalen Verformung des Werkstückes nicht vorgesehen. Bei deni Werkstück handelt es sich darüber hinaus auch nicht um einen Informationsträger, sondern z. B. um eine Nockenscheibe.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung anzugeben, die die vertikale Verformung von rotierenden Informationsträgern berührungslos auf optischem Wege mißt, auswertet und in einer geeigneten Form darstellt, so daß die Verformung exakt quantifizierbar ist
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Kombination folgender Merkmale gelöst:
a) der optische Geber ist von einem halbdurchlässigen Spiegel in die Richtung der y-Achse abgelenkter, gegen die Oberfläche des Informationsträgers ausgerichteter und dort reflektierter Lichtstrahl, der in Reflexion den halbdurchlässigen Spiegel durchsetzt und anschließend auf einem den optischen Nehmer darstellenden Flächenindikator auftrifft, der den Reflexionswinkel des reflektierten Lichtstrahls in z-Richtung an einem ersten Anschlußpaar und in x-Richtung an einem zweiten Anschlußpaar anzeigt, und einen Mittelanschluß aufweist,
b) das erste Anschlußpaar steht über einen ersten Dividierer mit einer ersten Auswerte- und Darstellungseinrichtung und das zweite Anschlußpaar über jo einen zweiten Dividierer mit einer zweiten Auswerte- und Darstellungseinrichtung in Verbindung,
c) die Bezugsgröße für die beiden Dividierer jeweils an einem dritten Eingang ist am Mittelanschluß des J5 Flächenindikators abnehmbar.
Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, als Maß für die zu messende Verformung den Auftreffpunkt und damit den in Abhängigkeit des Auftreffpunktes sich ändernden Reflexionswinkel zu verwenden. w
In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung sind der Lichtstrahl als Laserstrahl und der Flächenindikator als Positionsdiode ausgebildet.
Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere in der hohen Meßgenauigkeit für die Verformung in vertikaler Richtung und ihrer Angabe als explizite Größe.
Anhand eines Ausführungsbeispiels wird die Erfindung nachstehend näher erläutert. In der Zeichnung bedeuten
F i g. 1 ein Blockschaltbild der gesamten Anordnung gemäß der Erfindung,
Fig.2 eine detaillierte Ausführung der ersten Auswerte- und Darstellungseinrichtung,
Fig.3 eine detaillierte Ausführung der zweiten Auswerte- und Darstellungseinrichtung.
In F i g. 1 liegt der Informationsträger / in einer horizontalen x-z-Ebene mit radialer ^-Richtung und tangentialer z-Richtung und rotiert um die vertikale /-Achse. Ein als Laserstrahl ausgebildeter optischer Geber G fällt auf einen halbdurchlässigen Spiegel Sp und wird dort in Richtung der y-Achse senkrecht auf die Oberfläche des Informationsträgers / abgelenkt. Entsprechend der vertikalen Verformung des Informationsträgers / wird der ankommende Laserstrahl an der Oberfläche reflektiert und gelangt durch den halbdurchlässigen Spiegel Sp auf die als optischen Nenner N ausgebildete Positionsdiode. Die Positionsdiode N ist eine großflächige Fotodiode mit vier orthogonalen Anschlüssen A 1, A 2, .4 3, A 4, aus denen Spannungen gewonnen werden, die dem Auftreffpunkt des Laserstrahles und dessen Intensität proportional sind. Der Aufti effpunkt und damit der Reflexionswinkel des reflektierten Laserstrahls sind in die .z-Richtung und in die x-Richtung aufgelöst, wobei der z-Richtung das erste Anschlußpaar Ai, A 2 und der x-Richtung das zweite Anschlußpaar A3, A4 zugeordnet sind. Darüber hinaus weist die Positionsdiode N einen Mittelarischluß M mit intensitätsproportionalem Ausgangsstrom auf. Der Mittelanschluß M steuert den zu einer Dividiereinrichtung Div gehörenden ersten Dividierer DivX und zweiten Dividierer Div 2, um die Intensitätsabhängigkeit der über die beiden Anschlußpaare .Al, .4 2 bzw. A 3, A 4 ankommenden Signale zu beseitigen. Weiterhin ist das erste Anschlußpaar A 1, A 2 über den ersten Dividierer DivX mit einer ersten Auswerte- und Darstellungseinrichtung AD i und das zweite Anschlußpaar A3, A4 über den zweiten Dividierer Div2 mit einer zweiten Auswerte- und Darstellungseinrichtung AD 2 verbunden. Die erste Auswerte- und Darstellungseinrichtung AD I empfängt also eingangsseitig über den
Anschluß A 5 das Signal——, während an den Eingang
dz
der zweiten Auswerte- und Darstellungseinrichtung AD 2 über den Anschluß A 6 das Signal -ρΖ"Γ weiteren
Verarbeitung gelangt
In F i g. 2 ist die erste Auswerte- und Darstellungseinrichtung ADX zur Auswertung und Darstellung des
Signals -p in detaillierter Form dargestellt. Sie besteht aus einer Regeleinrichtung R, einer Auswerteeinrichtung A W und einer Darstellungseinrichtung Dst. Das über den Anschluß A 5 ankommende rein steigungsproportionale Signal -^- gelangt zur Gewinnung eines
amplitudenproportionalen Signals über die Regeleinrichtung R an den ersten Integrator /1. Unter Ausnutzung der Proportionalität ζ ~ η ■ r ■ t mit π = Drehzahl, r = Radius des Informationsträgers wird eine Integration nach der Zeit gemäß der mathematischen Beziehung
rät
■ dt
durchgeführt.
Die Regelung der Drehzahl erfolgt hierbei am Potentiometer Pot X und die Einstellung des Radius am Potentiometer Pot 2. Dem am Ausgang des ersten Integrators /1 gewonnenen amplitudenproportionalen Signal sind zwei über die beiden Potentiometer Pot 3 bzw. Pot 4 veränderbare, mit dem Anzeigegerät AnzX. meßbare Bezugsspannungen +U, — U zugeordnet, die zusammen eingangsseitig an einen Multiplexer M und über dessen Ausgang an die Vertikalauslenkung des Oszillographen Os gelangen. Auf dem Schirm des Oszillographen Os sind die Bezugsspannungen + U, — U als verschiebbare Linien sichtbar, die auf die Spitzenwerte des amplitudenproportionalen Signals eingestellt werden. Am zugehörigen Anzeigegerät Anz X wird die Amplitude nach entsprechender Eichung abgelesen. Die Messung der Amplitude gestattet eine Überwachung, daß die Verformung der Aufzeichnungsspuren des Informationsträgers / nicht die Grenzen bestimmter Arbeitsbereiche überschreitet. Um die
aufgrund von Verformungen bedingte Regelung eines Nachführsystems durchführen zu können, benötigt man ein beschleunigungsproportionales Signal. Dieses wird aus dem steigungsproportionalen Signal durch Differenziation gewonnen. Das steigungsproportionale Signal
—^-gelangt über den Anschluß A 5 und über die
Potentiometer Pot 1 und Pot 2 zu dem Differenzierer D. Das beschleunigungsproportionale Signal am Ausgang des Differenzierers D gelangt zusammen mit zwei über die beiden Potentiometer Pot 5 und Pot 6 veränderbaren Bezugsspannungen + U, — U an eine Addieranordnung Add, der eine Gleichspannung LJ \ additiv zugeführt wird, um die Darstellung der Beschleunigung von der Amplitudendarstellung durch vertikale Verschiebung auf dem Oszillographen Os zu trennen. Die Addieranordnung Add ist ausgangsseitig mit dem Eingang des vom Takt T gesteuerten Multiplexers M verbunden, dessen Ausgang wiederum die Vertikalauslenkung des Oszillographen Os steuert.
Die Messung der Beschleunigung erfolgt analog der Messung der Amplitude durch Verschiebung der auf dem Oszillographen Os als Linien sichtbaren Bezugsspannungen + U, —U auf die jeweiligen Spitzenwerte. Die Beschleunigung wird am Anzeigegerät Anz2 abgelesen. Da das beschleunigungsproportionale Signal im zeitlichen Verlauf deutliche Spitzen aufweist, hat es sich für die Güteklassifikation von Informationsträgern als nützlich erwiesen, die Anzahl der eine bestimmte Schwelle übersteigenden Beschleunigungsspitzen zu registrieren. Dies wird durch die mit dem Potentiometer Pot 9 einstellbare Schwelle Schw mit dem nachgeschalteten Zähler Zrealisiert.
Zur Darstellung der amplituden- bzw. beschleunigungsproportionalen Signale über dem Umfang der einzelnen Aufzeichnungsspuren erfolgt die Horizontalauslenkung des Oszillographen Os von dem durch die Rotation des Informationsträgers / gesteuerten Signal Rot in der Weise, daß ein entsprechender Geber bei jeder Umdrehung des Informationsträgers / einen Impuls erzeugt, der durch einen ersten Tiefpaß TPi zu einer rotationssynchronen Sinusform verändert wird und über ein Phasenglied Ph an die horizontalen Platten
"i des Oszillographen Os gelangt. Das mit dem Potentiometer Pot 7 einstellbare Verzögerungsglied V gestattet eine Drehung des auf dem Oszillographen Os abzubildenden Diagramms. Eine Aufrichtung dieses Diagramms wird an dem Potentiometer Pot 8 geregelt,
in dessen erster Anschluß mit dem Ausgang des ersten Tiefpasses TP1 und dessen zweiter Anschluß gemeinsam mit dem Ausgang des Multiplexers M über einen Summierer Sum dem vertikalen Plattenpaar des Oszillographen Os zugeführt ist.
ii In Fig.3 ist die zweite Auswerte- und Darstellungseinrichtung AD2 in einer detaillierteren Form dargestellt. Das über den Anschluß A 6 ankommende Signal
—— wird zur Gewinnung einer der Amplitude proportio-
2» nalen Größe y = f(x) in der zweiten Auswerte- und Darstellungseinrichtung AD2 ortsabhängig integriert. Die Darstellung erfolgt auf einem X-V-Schreiber Sehr, auf welchem die Querschnittsform des Informationsträgers /längs einer Radiuslinie aufgezeichnet wird. Hierzu
2". schließt ein mit dem Vorschub in radialer Richtung gekoppelter Impulsgeber Rad in entsprechend kleinen Radiusabschnitten den ersten elektronischen Schalter Sl und den zweiten elektronischen Schalter 52. Der Impulsgeber Rad steuert einmal über den dritten
jo I ntegrator / 3 den x-Vorschub des X- V-Schreibers Sehr, zum anderen den zweiten Integrator /2, der an seinem Eingang das über den zweiten Tiefpaß 77*2 gemittelte Signal -^- empfängt. Am Ausgang des zweiten Integra-
tors 12 entsteht das amplitudenproportionale Signal y = f(x), das den y-Vorschub des X-y-Schreibers Sehr steuert. Entsprechend einer zweckmäßigen Eichung wählt man die Amplitude bei kleinstem Radius zu 0, was durch die Rückstelleinrichtung Ru realisiert wird
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims (5)

Patentansprüche:
1. Anordnung zur berührungslosen Messung der Verformung in vertikaler Richtung von scheibenförmigen, Aufzeichnungsspuren aufweisenden, in einer horizontalen x-z-Ebene mit radialer *-Richtung und tangentialer z- Richtung befindlichen, um die vertikale y-Achse rotierenden Informationsträgern unter Verwendung eines optischen Gebers und Nehmers, gekennzeichnet durch die Kombination folgender Merkmale:
a) der optische Geber (G) ist ein von einem halbdurchlässigen Spiegel (Sp) in die Richtung der y-Achse abgelenkter, gegen die Oberfläche des Informationsträgers (I) ausgerichteter und dort reflektierter Lichtstrahl, der in Reflexion den halbdurchlässigen Spiegel (Sp) durchsetzt und anschließend auf einem den optischen Aufnehmer (N) darstellenden Flächenindikator auftrifft, der den Reflexionswinkel des reflektierten Lichtstrahls in z-Richtung an einem ersten Anschlußpaar (A 1, A 2) und in x-Richtung an einem zweiten Anschlußpaar (A 3, A 4) anzeigt, und einen Mittelanschluß (M) aufweist;
b) das erste Anschlußpaar (AX, A 2) steht über einen ersten Dividierer (Div 1) mit einer ersten Auswerte- und Darstellungseinrichtung (AD 1) und das zweite Anschlußpaar (A3, A4) über einen zweiten Dividierer (Div 2) mit einer zweiten Auswerte- und Darstellungseinrichtung (AD 2) in Verbindung;
c) die Bezugsgröße für die beiden Dividierer (Divi, Div 2) jeweils an einem dritten Eingang ist am Mittelanschluß (M) des Flächenindikators (N) abnehmbar.
2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Lichtstrahl (G) als Laserstrahl und der Flächenindikator als Positionsdiode ausgebildet sind.
3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß
a) die Auswerteeinrichtung (AW) der ersten Auswerte- und Darstellungseinrichtung (AD 1) auf der Eingangsseite einen ersten Integrator (II) und einen Differenzierer (D) aufweist, die eingangsseitig einander parallel geschaltet sind,
b) ferner ausgangsseitig der Differenzierer (D) über eine Addieranordnung (Add) für die Addition einer Gleichspannung (Ui) und der Integrator (H) unmittelbar mit je einem Eingang eines auf der Ausgangsseite angeordneten Multiplexers (M) in Verbindung stehen, und
c) der Multiplexer (M) weitere Eingänge für einstellbare Bezugsspannungen (+ U, -LJ) aufweist, von denen die dem Signal am Ausgang des Differenzierers (D) zugeordneten Bezugsspannungen (+ U, —U) ebenfalls über die Addieranordnung (Add) hinweg zum Multiplexer (M) gelangen.
4. Anordnung nach Anspruch 1,2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß
a) die Darstellungseinrichtung (Dst) der ersten Auswerte- und Darstellungseinrichtung (AD I) einen Oszillographen (Os) aufweist,
b) die Steuerung der Vertikalauslenkung des Oszillographen (Os) über einen Summierer c)
(Sum) erfolgt, der eingangsseitig das Ausgangssignal des Multiplexers (M) und über ein regelbares Verzögerungsglied (V) und einen ersten Tiefpaß (TPi) hinweg eine durch die Rotation des Informationsträgers (I) gesteuertes Signal (Rot) empfängt,
und die Steuerung der Horizontalauslenkung des Oszillographen (Os) von dem durch die Rotation des Informationsträgers (I) gesteuerten Signal (Rot) über das regelbare Verzögerungsglied (VX den ersten TCefpaß (TPi) und weiterhin über ein Phasenglied (Ph) hinweg erfolgt
5. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in der zweiten Auswerte- und Darstellungseinrichtung (AD 2) das über den Anschluß (A 6) ankommende Signal über einen zweiten Tiefpaß (TP2) und einen ersten elektronischen Schalter (Si) an einen zweiten Integrator (12) gelangt, dessen Ausgang die vertikale Auslenkung eines X-V-Schreibers (Sehr) steuert, daß die Steuerung der horizontalen Auslenkung des A"-y-Schreibers (Sehr) über einen dritten Integrator (13) mit einem vorgeschalteten zweiten elektronischen Schalter (S 2) erfolgt, und daß der erste und zweite elektronische Schalter (Si, 52) von einem mit dem Vorschub in radialer Richtung gekoppelten Signal (Rad) angesteuert sind.
DE19803002736 1980-01-25 1980-01-25 Anordnung zur Messung der vertikalen Verformung von Informationsträgern Expired DE3002736C2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19803002736 DE3002736C2 (de) 1980-01-25 1980-01-25 Anordnung zur Messung der vertikalen Verformung von Informationsträgern

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19803002736 DE3002736C2 (de) 1980-01-25 1980-01-25 Anordnung zur Messung der vertikalen Verformung von Informationsträgern

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3002736A1 DE3002736A1 (de) 1981-07-30
DE3002736C2 true DE3002736C2 (de) 1982-08-12

Family

ID=6092965

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19803002736 Expired DE3002736C2 (de) 1980-01-25 1980-01-25 Anordnung zur Messung der vertikalen Verformung von Informationsträgern

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3002736C2 (de)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL8105072A (nl) * 1981-11-10 1983-06-01 Philips Nv Electro-optische inrichting.
JPS60120522U (ja) * 1984-01-23 1985-08-14 パイオニア株式会社 光学式記録情報読取装置
JPS63153456A (ja) * 1986-12-18 1988-06-25 Yokogawa Electric Corp 光デイスクテストシステム
DE19731545C1 (de) * 1997-07-23 1999-05-27 Basler Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum optischen Erfassen der Verformung einer Fläche
CN114739327B (zh) * 2022-03-24 2022-12-30 中国科学院光电技术研究所 一种检测八块拼接镜共面的方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2107135A1 (de) * 1971-02-15 1972-08-24 Leitz Ernst Gmbh Verfahren und Einrichtung zur berührungslosen Messung an rotierenden Werkstücken

Also Published As

Publication number Publication date
DE3002736A1 (de) 1981-07-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2657938C2 (de)
DE3325803C2 (de) Inkrementale, lichtelektrische Meßeinrichtung
EP0268558B1 (de) Längen- oder Winkelmesseinrichtung
DE3382706T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Relativwegmessung.
DE2854057A1 (de) Ebenheits-messeinrichtung
AT392536B (de) Lineares, inkrementales messsystem
DE3002736C2 (de) Anordnung zur Messung der vertikalen Verformung von Informationsträgern
DE3726678C1 (de) Inkrementale Laengen- oder Winkelmesseinrichtung
DE3826149C2 (de)
DE2642925C2 (de) Inkrementale Längenmeßeinrichtung
DE2650422B1 (de) Abstandsmessgeraet
DE3636744C1 (de) Lichtelektrische Laengen- oder Winkelmesseinrichtung
EP0421024B1 (de) Lichtelektrische Positionsmesseinrichtung
DE3123002A1 (de) Verfahren und einrichtung zur drehzahlmessung einer mit einem rotierenden impulsgeber gekuppelten welle
AT400688B (de) Manuell gesteuerte drehmaschine
DE3611204A1 (de) Messeinrichtung
DE4105434C2 (de)
DE3813754A1 (de) Vorrichtung zur erfassung der winkelposition eines drehbaren koerpers
DE3716241C2 (de)
DE4342609A1 (de) Optische Geschwindigkeitsmeßeinrichtung
CH624758A5 (en) Arrangement for angular measurement
DE1926979A1 (de) Verfahren zur Pruefung von Anschliffflaechen eines Werkstueckes,insbesondere einer Rasierklinge
DE1548288C (de) Einrichtung zum Messen der Verschiebung eines bewegten Gegenstandes mit einem Interferometer
DE2264030A1 (de) Anordnung zur kruemmungsbestimmung an sich flacher oberflaechen
EP0512327A1 (de) Positionsmesseinrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8339 Ceased/non-payment of the annual fee