DE3000891C2 - - Google Patents
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- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 15
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 241000863814 Thyris Species 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000037430 deletion Effects 0.000 description 1
- 238000012217 deletion Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
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- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen abschaltbaren Thyri
stor gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.
Ein solcher Thyristor ist aus der DE-AS 24 31 022 bekannt.
Der Thyristor ist aus einem ringförmigen mehrschichtigen
Halbleiterplättchen aufgebaut und weist auf der freien
Oberfläche der P-Basisschicht mehrere in Sektoren unter
teilte Hauptemitterschichten mit darauf angeordneten Metal
lisierungen für eine Hauptkathode auf, ferner eine zentrale
erste Steuerelektrode in Kontakt mit der P-leitenden Basisschicht, einesich daran anschließende konzentrische Hilfsemitterschicht
mit einer darauf angeordneten und jeweils einen Kontakt zu
der P-leitenden Basisschicht herstellenden Hilfskathode sowie eine
längs des äußeren Randes des Halbleiterplättchens gelegene
zweite Steuerelektrode, die über die Sektoren der Haupt
emitterschichten trennende Stege mit der Hilfskathode
verbunden ist.
Die Hilfskathode wird über eine externe Diode mit der
ersten Steuerelektrode verbunden, so daß ein Steuerstrom nur
von der Hilfskathode über diese Diode zur ersten Steuer
elektrode fließen kann.
Der Thyristor wird mittels einer Steuerschaltung, die
zwischen der ersten Steuerelektrode und der Hauptkathode
liegt, ein- und auch ausgeschaltet, wobei diese Steuer
schaltung zwei Stromquellen entgegengesetzter Polarität und
einen Schalter aufweist, mit dem zum Ein- bzw. Ausschalten
des Thyristors die erste Steuerelektrode über eine der
beiden Stromquellen mit der Hauptkathode verbunden wird.
Die externe Diode, die kein Teil der Steuerschaltung ist,
ermöglicht es, den Steuerstrom für das Abschalten des
Thyristors niedrig zu halten.
Dieser Thyristor liefert jedoch keine gewünschten kurzen
Abschaltzeiten.
Aus "Dynamische Probleme der Thyristortechnik", VDE-Ver
lag GmbH, Berlin, 1971, Seiten 128 bis 138, ist es
bekannt, bei Thyristoren mit einem Haupt- und einem Hilfsthyristorteil die Kontaktzone
der Hilfskathode auf die Hilfsemitterschicht zu begrenzen
und die Hilfskathode mit einer äußeren Steuerelektrode
zu verbinden, um auf diese Weise den Laststrom des
Hilfsthyristors an einer von diesem entfernten Stelle
als Zündstrom für den Hauptthyristor einzuspeisen.
Eine gesteuerte Abschaltung solcher Thyristoren ist
jedoch nicht möglich.
Aus der DE-OS 27 12 533 ist ein Thyristor mit einer
Kathode und mehreren Steuerelektroden bekannt, die
die Kathode umgeben. Durch diese Maßnahme soll vornehmlich
die Zündcharakteristik des Thyristors verbessert werden,
ohne daß die Löschcharakteristik verschlechtert wird.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Ausschalt
zeit eines gattungsgemäßen abschaltbaren Thyristors zu verkürzen.
Diese Aufgabe ist gemäß der Erfindung durch die im
kennzeichnenden Teil des Patentanspruches angegebenen
Merkmale gelöst.
Demgemäß läuft durch die Einbeziehung der Diode in
die Steuerschaltung des Thyristors und durch die aus
schließliche Kontaktierung der Hilfskathode mit der
Hilfsemitterschicht beim Abschalten des Thyristors
ein Steuerstrom durch zwei Stromkreise, nämlich einen,
der durch die Hauptkathode, die Diode, die Hilfsemitter
schicht, die P-Basisschicht und die zweite, dem Abschalten dienende, Steuer
elektrode definiert ist, und einen weiteren Stromkreis,
der durch die Hauptkathode, die Hauptemitterschicht, die
P-Basisschicht und die zweite Steuerelektrode
definiert ist.
Hierdurch wird der Hauptthyristorteil des Thyristors durch
das Steuerstromsignal an dem Hilfsthyristorteil praktisch
gleichzeitig mit diesem abgeschaltet. Dieser Vorteil wird
durch einen einfachen Aufbau des Thyristors und durch eine
ebenfalls einfache externe Beschaltung der Anschlüsse des
Thyristors erreicht.
Die Erfindung ist in zwei Ausführungsbeispielen anhand
der Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung stellt
dar
Fig. 1 eine Aufsicht auf eine erste Ausführungsform
eines abschaltbaren Thyristors,
Fig. 2 einen Schnitt längs II-II in Fig. 1,
Fig. 3 eine Aufsicht auf eine zweite Ausführungsform
eines abschaltbaren Thyristors,
Fig. 4 einen Schnitt längs IV-IV in Fig. 3.
Ein abschaltbarer Thyristor gemäß den Fig. 1 und 2
weist ein rechteckiges Plättchen 1 aus vier Halbleiter
schichten abwechselnden Leitungstyps auf, nämlich einer
ersten P-leitenden P1-Schicht 2, einer darüber liegenden
N-leitenden N1-Schicht 3, einer P-leitenden P2-Basis
schicht 4 mit einer freien Oberfläche und mehreren
in dieser Oberfläche befindlichen N-leitenden Schichten,
nämlich Hauptemitterschichten 5 (N2) und eine Hilfsemitter
schicht 6 (N3). Auf der freien Oberfläche der P2-Basisschicht 4
ist eine Metallisierung 7 für eine erste Steuerelektrode G 1
vorgesehen, ferner ist in einer kammförmigen Vertiefung 12
aus einem zur einen Seite des Plättchens parallelen Teil
12 a und von diesen abzweigenden fingerförmigen Teilen 12 b
eine ebenso ausgebildete Metallisierung 8 aus Teilen 8 a und
8 b vorgesehen, die den Anschluß einer zweiten Steuerelek
trode G 2 bildet. Die einzelnen Teile der Metallisierung 8
der zweiten Steuerelektrode G 2 umgeben die Hauptemitter
schichten 5 auf drei Seiten. Auf diesen Hauptemitterschich
ten 5 sind Metallisierungen 9 aufgebracht, die den Anschluß
einer Hauptkathode K bilden.
Auf der streifenförmigen Hilfsemitterschicht 6, die den
Kammzinken der zweiten Steuereleketrode 8 gegenüberliegt und
somit den Hauptemitterschichten 5 auf der vierten Seite
gegenüberliegt, ist eine Metallisierung 10 mit entsprechen
den Anschlüssen vorgesehen, die eine Hilfskathode bildet.
Auf der Unterseite der P1-Schicht 2 ist eine Metallisierung
11 mit einem Anschluß zur Bildung einer Anode A aufge
bracht.
Zwischen die Metallisierung 8 als Anschluß der zweiten
Steuerelektrode G 2 und die Metallisierung 9 als Anschluß
der Hauptkathode K ist eine Reihenschaltung aus einer
Steuerstromquelle 13 und einem Schalter 14 geschaltet;
zwischen den Anschluß 8 der Steuerelektrode G 2 und die
Hilfskathode 10 ist ein äußerer Widerstand 15 geschaltet; ferner
ist zwischen der Metallisierung 9 als Anschluß der
Hauptkathode K und der Hilfskathode 10 eine Diode 16 in
Durchlaßrichtung gelegen.
Die Schichten 2, 3, 4 und 5 bilden gemeinsam mit der Anode
A und der Hauptkathode K einen Hauptthyristorteil M, die
Schichten 2, 3, 4 und 6 definieren mit der Anode A und der
Hilfskathode 10 einen Hilfsthyristorteil S.
Wesentlich für die Funktion des beschriebenen Thyristors
ist, daß die Hilfskathode 10 ausschließlich Kontakt mit der
Hilfsemitterschicht 6 hat und daß aufgrund der Diode 16
zwischen Hauptkathode K und Hilfskathode 10 nur ein Strom
von ersterer zu letzterer fließen kann.
Zum Einschalten des Thyristors wird bei geöffnetem Schalter
14 und Anlegen einer Durchlaßspannung zwischen der Anode A
und der Hauptkathode K der Hilfsthyristorteil S durch
Anlegen eines Steuerstromes zwischen der Hauptkathode K und
der Steuerelektrode G 1 gezündet, wonach anschließend der
Hauptthyristorteil aufgrund des Steuerstromes gezündet
wird.
Zum Ausschalten des Thyristors wird der Schalter 14
geschlossen, wodurch auch der Hilfsthyristorteil S gleich
zeitig ausgeschaltet wird. Dies erfolgt über eine von der Steuerstromquelle 13 gelieferte Sperr
spannung, die durch die Diode 16 zwischen der Hilfskathode
10 und der zweiten Steuerelektrode G 2 über die Hilfsemit
terschicht 6 und die P2-Basisschicht 4 wirkt.
Für einen abschaltbaren Thyristor mit einer elektrischen
Durchschlagsfestigkeit von etwa 1200 Volt, einem Wider
standswert von etwa 20 Ohm des äußeren Widerstandes 15 und
einem Durchlaßstrom von 500 Ampere, wurden Ausschaltzeiten
von etwa 5 µsec erreicht.
In den Fig. 3 und 4 ist eine Variante des abschaltbaren
Thyristors gemäß den Fig. 1 und 2 dargestellt. Gleichartige
Elemente wie in Fig. 1 und 2 sind mit den gleichen
Bezugsziffern bezeichnet. Dieser Thyristor ist aus einem
mehrschichtigen Halbleiterplättchen 1 a aufgebaut, wobei
eine scheibenförmige Metallisierung 7 a in der Mitte der
freien Oberfläche der P2-Basisschicht 4 angeordnet ist,
wobei mit dieser Metallisierung 7 a ein Anschluß für eine erste
Steuerelektrode G 1 verbunden ist. An der Außenkante der
freien Oberfläche der P2-Basisschicht 4 ist eine ringförmige
Vertiefung 12 c vorgesehen, von der mehrere Radialschlitze
12 d ausgehen, die sich in Richtung auf das Zentrum des
Plättchens 1 a erstrecken. Eine Metallisierung 8 a ist auf
den Boden der Vertiefung 12 bzw. 12 c aufgebracht und
besteht aus einem ringförmigen Teil 8 c und in Richtung auf
das Zentrum des Halbleiterplättchens 1 a sich erstreckenden
Fingern 8 d. Mit dieser Metallisierung ist ein Anschluß für
eine zweite Steuerelektrode G 2 vorgesehen.
Weiterhin sind mehrere sektorförmige N-leitende Hauptemit
terschichten 5 a (N2) zwischen den fingerförmigen Vertiefungen
12 d vorgesehen, auf denen jeweils Metallisierungen 9 a
aufgebracht sind, die gemeinsam zu einem Anschluß einer
Hauptkathode K elektrisch verbunden sind. Eine ringförmige
N-leitende Hilfsemitterschicht 6 a (N3) ist koaxial um die
erste Steuerelektrode G 1 herum angeordnet, und zwar im
Abstand zwischen dieser Steuerelektrode G 1 und der Hauptkatho
de K sowie einer ringförmigen Metallisierung 10 a, die eine
Hilfskathode für den Hilfsthyristorteil bildet und wiederum
nur mit der Hilfsemitterschicht 6 a (N3) in Kontakt steht.
Der weitere Aufbau und die externe Beschaltung des
Thyristors ist wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel.
Claims (1)
- Abschaltbarer Thyristor mit einem Haupt- und einem Hilfsthyristorteil, aufgebaut aus vier Schichten abwech selnden Leitungstyps, bei dem eine P-leitende Basisschicht eine freie Oberfläche aufweist, und in dieser Oberfläche mehrere N-leitende Schichten als Kathodenemitterschichten für den Hauptthyristorteil, die Hauptemitterschichten, und eine N-leitende Schicht als Kathodenemitterschicht für den Hilfsthyristorteil, dieHilfsemitterschicht, ausgebildet sind, sowie auf dieser freien Oberfläche in Kontakt mit der P-Basisschicht eine erste und eine zweite Steuerelektrode und auf den Haupt- und Hilfsemitter schichten jeweils eine Haupt- und Hilfskathode angeordnet sind, wobei die Hauptemitterschichten jeweils auf drei Seiten von der ihnen allen gemeinsamen zweiten Steuerelektrode umgeben sind und ihrer jeweils vierten Seite gegenüber liegend die erste, dem Einschalten des Thyristors dienende Steuerelektrode und zwischen dieser und den Hauptemitterschichten die Hilfsemitterschichten angeord net sind, und mit einer Steuerschaltung, die zum Abschalten des Thyristors eine Steuerstromquelle und einen Schalter aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Hilfskathode (10, 10 a) ausschließlich Kontakt mit der Hilfsemitterschicht (6, 6 a) hat, und daß die Steuerschal tung sich zwischen Hauptkathode (K) und zweiter Steuerelektrode (Ga) befindet und eine Diode (16, 16 a) aufweist, die so zwischen Hauptkathode (K) und Hilfskathode (10, 10 a) geschaltet ist, daß ein Strom nur von ersterer zu letzterer fließen kann.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP236479A JPS5595362A (en) | 1979-01-12 | 1979-01-12 | Turn-off thyristor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3000891A1 DE3000891A1 (de) | 1980-07-24 |
DE3000891C2 true DE3000891C2 (de) | 1988-07-28 |
Family
ID=11527196
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19803000891 Granted DE3000891A1 (de) | 1979-01-12 | 1980-01-11 | Halbleiterbaustein mit gattersteuerung |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4486768A (de) |
JP (1) | JPS5595362A (de) |
DE (1) | DE3000891A1 (de) |
GB (1) | GB2039413B (de) |
SE (1) | SE445083B (de) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57117276A (en) * | 1981-01-14 | 1982-07-21 | Hitachi Ltd | Semiconductor device |
DE3118291A1 (de) * | 1981-05-08 | 1982-12-02 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Triac und verfahren zu seinem betrieb |
JPS5927571A (ja) * | 1982-08-05 | 1984-02-14 | Meidensha Electric Mfg Co Ltd | ゲ−トタ−ンオフサイリスタ |
DE3230741A1 (de) * | 1982-08-18 | 1984-02-23 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Halbleiterschalter mit einem abschaltbaren thyristor |
EP0108874B1 (de) * | 1982-11-15 | 1987-11-25 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Durch Strahlung steuerbarer Thyristor |
EP0280536B1 (de) * | 1987-02-26 | 1997-05-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | An-Steuertechnik für Thyristor mit isolierter Steuerelektrode |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3544818A (en) * | 1967-12-26 | 1970-12-01 | Bell Telephone Labor Inc | Thyristor switch circuit |
US4217504A (en) * | 1975-08-04 | 1980-08-12 | Licentia-Patent Verwaltungs Gmbh | Semiconductor switch with thyristors |
DE2607678A1 (de) * | 1976-02-25 | 1977-09-01 | Siemens Ag | Anordnung zum herabsetzen der freiwerdezeit eines thyristors |
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JPS5942991B2 (ja) * | 1977-05-23 | 1984-10-18 | 株式会社日立製作所 | サイリスタ |
DE2748316C2 (de) * | 1977-10-27 | 1986-09-04 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Schaltungsanordnung zum Herabsetzen der Freiwerdezeit eines Thyristors |
-
1979
- 1979-01-12 JP JP236479A patent/JPS5595362A/ja active Pending
- 1979-12-17 GB GB7943380A patent/GB2039413B/en not_active Expired
- 1979-12-19 SE SE7910463A patent/SE445083B/sv not_active IP Right Cessation
-
1980
- 1980-01-11 DE DE19803000891 patent/DE3000891A1/de active Granted
-
1983
- 1983-08-26 US US06/526,796 patent/US4486768A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3000891A1 (de) | 1980-07-24 |
SE7910463L (sv) | 1980-07-13 |
SE445083B (sv) | 1986-05-26 |
US4486768A (en) | 1984-12-04 |
GB2039413A (en) | 1980-08-06 |
GB2039413B (en) | 1983-09-14 |
JPS5595362A (en) | 1980-07-19 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OD | Request for examination | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |