DE3000884A1 - Verfahren und vorrichtung zur oberflaechenbehandlung elektrisch leitender werkstuecke mittels funkentladung - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur oberflaechenbehandlung elektrisch leitender werkstuecke mittels funkentladung

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DE3000884A1 DE19803000884 DE3000884A DE3000884A1 DE 3000884 A1 DE3000884 A1 DE 3000884A1 DE 19803000884 DE19803000884 DE 19803000884 DE 3000884 A DE3000884 A DE 3000884A DE 3000884 A1 DE3000884 A1 DE 3000884A1
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    • C21D1/00General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
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Description

  • Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung
  • elektrisch leitender Werkstücke mittels Funkenentladung Die Erfindung bezieht sich auf die Oberflächenbehandlung elektrisch leitender Werkstücke und insbesondere auf ein verbessertes Verfahren und eine verbesserte Vorrichtung zur Schaffung einer metallischen Oberfläche mit einer gehärteten Schicht und zum Uberziehen einer solchen Oberfläche mit einer vom Substrat verschiedenen Netall- oder Legierungsabscheidung mit Hilfe wiederholter Funkenentladung, die zwischen dem Werkstück und einer an dieses gedrückten Elektrode erzeugt wird.
  • Bei der Funkenentladungs-Oberflächenbehandlungstechnik wird die Funkenentladung zwischen einer Elektrode und einer zu behandelnden Metalloberfläche erzeugt, wenn sie in den und/oder aus dem gegenseitigen Kontakt gebracht werden, wobei ein kurzer elektrischer Impuls zwischen ihnen angelegt wird, der von einer ausreichenden Stärke ist, um eine örtlich begrenzte Erhitzung der verhältnismäßig kleinen Entladungsauftreff fläche zu erzeugen. Durch Überstreichen eines ausgewählten Oberflächenbereichs des Werkstücks mit einer solchen Kontaktentladung wird eine metallurgische Veränderung oder Härtung dieser ausgewählten Oberflächenzone erhalten. Unter Anwendung dieser Prinzipien kann das Überziehen eines metallischen Werkstücks mit einem Metall oder einer Legierung, das bzw.
  • die vom Substrat verschieden ist, zum Beispiel ein «arbidüberzug, mit einer festen metallurgischen Bindung zwischen der Substratoberfläche und der Überzugsschicht verwirklicht werden.
  • Wie in der am 29. 11. 1957 ausgegebenen japanischen Patentanmeldung Nr. 32-9998 gezeigt ist, kann z. B eine Vorüberzugsschicht aus Uberzugsmaterial auf eine zu behandelnde Werkstückoberfläche aufgebracht werden und eine Elektrode in der Form eines festen drehbaren Körpers kann über die Vorüberzugsschicht bewegt oder gerollt werden, während man sie gegen die Oberfläche drückt und ein elektrischer Impuls wiederholt zwischen der Elektrode und dem Werkstück angelegt wird, um die Vorüberzugsschicht an aufeinanderfolgenden Stellen auf das aufnehmende Werkstück aufzuschmelzen. Aber auch ohne eine solche Vorbeschichtung kann die Elektrode selbst eine Uberzugsmaterialquelle bilden. So können sich ein verbessertes System und praktische Anwendungen ergeben, die die Schmelzübertragung eines Materials auf eine Werkstückoberfläche von der Elektrode in einer Drehscheiben- oder ähnlichen Form in gleitender oder tangentialer Bewegung über der Oberfläche mittels wiederholter Kontaktentladungen ausnutzen. Solche Systeme sind ebenfalls lange bekannt und beispielsweise in der am 29. 1. 1959 ausgegebenen japanischen Patentanmeldung Nr. 32-599, der am 19. 4. 1959 ausgegebenen åapanischen Patentanmeldung Nr. 32-2446, der am 16. 5. 1959 ausgegebenen japanischen Patentanmeldung Nr. 32-2900 und der am 28. 8. 1959 ausgegebenen japanischen Patentanmeldung Nr. 32-6848 beschriebens Bei diesen Verfahren kann die Mateflalschmelzübeftragungs Kontaktentladung wiederholt durch einen Kondensatorkreis bewirkt werden, der zur Ladung und schnellen Entladung über die Kontaktpunkte zwischen der Elektrode und dem Werkstück und zur Wiederaufladung ausgelegt ist, wenn der Kontaktbereich von einem Kontakt zum nächsten an Punkten zwischen der Elektrode und dem Werkstück wandert. Ansonsten wurde ein mechanisches oder elektrisches Schalten einer Gleichspannungsquelle verwendet, um periodisch eine gepulste Spannung zwischen der bewegten Grenzfläche der Elektrode und des Werkstücks zu erzeugen.
  • Nach einem in der US-PS 3 098 150 offenbarten Verfahren wird ein Elektrodenplättchen wiederholt in Kontakt mit einem Werkstück beispielsweise unter einer Federkraft gedrückt, die auf die federnd auf einem Elektrodenhalter gehaltene Elektrode einwirkt. Eine Funkenentladung wird zwischen der Spitze und dem Werkstück von einem geladenen Kondensator gezogen, wodurch eine teilweise Verschweißung zwischen ihnen erzeugt wird. Mit dem Elektrodenhalter ist eine elektromagnetische Spule gekoppelt, die zur wenigstens. teilweisen Speisung durch den Ladestrom des Kondensators oder einen Kurzschlußzustand zwischen der Elektrode und dem Werkstück ausgelegt ist. Die Spule ist so bei der Kondensatorentladung betätigbar, die Elektrodenspitze schroff vom Werkstück abzuziehen, um die Schweißung aufzubrechen und auf dem Werkstück abgeschiedenes Material von der Elektrodenspitze zu lassen. Natürlich kant auch hier wieder das Uberzugsmaterial vorab zwischen der Elektrode und dem Werkstück unabhängig vom Elektr lenmaterial vorgesehen werden.
  • Gemäß dem erwähnten Elektrodenvibrationsverfahren wird jeder Metallschmelz- und -abscheidungszyklus scharf durch die Wechselbewegung der Elektrode gesteuert, wobei jeder Hubzyklus vorteilhaft mit der Kondensatorentladung und -wiederaufladung synchronisiert wird, wodurch eine konsistentere und gleichmäßigere Abscheidung als mit dem anderen bekannten System ermöglicht wird, das eine rotierende Elektrode verwendet, wobei Kontaktentladungen zufällig über dem zusammenhängenden Kontaktbereich der Elektrode und des Werkstücks bei kontinuierlicher oder intermittierender Verschiebung erzeugt werden.
  • Ein erheblicher Nachteil dieses Verfahrens wurde nun in der Verwendung eines SondensatorR9 insbesondere in Verbindung mit der Verwendung von Vibrationssyklen gefunden Die Vibration muß mit dem Kondensatorlade- und -entladezyklus synchronisiert werden und erfordert daher eine verhältnismäßig lange Dauer jedes mechanischen Zyklus. Folglich liegt eine strenge Begrenzung in der Frequenz der Entladeimpulse und damit auch in der erreichbaren Abs cheide geschwindigkeit vor. Eine andere Beschränkung ist auch im Fehlen der- Flexibilität der Änderung der Arbeitsparameter über einen weiten Bereich nach Bedarf festzustellen, der benötigt wird, wo eine Auswahl von Elektroden- und Werkstückmaterialien und Endbearbeitungsanforderungen zu berücksichtigen sind.
  • Zusammenfassend kann in praktischer Hinsicht gesagt werden, daß bekannte Funkenentladungs-Abscheide- oder -oberflächenbehandlungsverfahren unabhängig vom Vibrations- oder Rotationstyp in unerwünschter Weise beschränkt sind, befriedigende Ergebnisse zu erzielen, soweit die Abscheide- oder Behandlungsgeschwindigkeit die Konsistenz der Abscheidung, die Betriebsstabilität und die Gleichmäßigkeit der beschichteten Oberfläche betroffen sind, insbesondere wo eine Verbesserung einer Eigenschaft ohne Einbuße der anderen versucht wird.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein verbessertes Verfahren der Funkenentladungsbehandlung einer Metalloberfläche zu entwickeln, nacWem-eine hochgradig gleichmäßige gehärtete Schicht oder Abscheidungsüberzugsschicht ausgezeichneter Güte mit höherer Geschwindigkeit und fest in einer größeren Dicke an der Werkstückoberfläche gebildet wird.
  • Außerdem ist Aufgabe der Erfindung die Entwicklung einer Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens, die von stabilem Betrieb ist und so eine höhere Behandlungsgeschwindigkeit sichert, von gleichmäßigem Betrieb für ein gewünschtes Ergebnis und so ausgelegt ist, daß man die Betriebsparameter in Abhängigkeit von den bestimmten Elektroden- und Werkstückmaterialien wählen kann.
  • Gegenstand der Erfindung, womit diese Aufgabe gelöst wird, ist zunächst ein Verfahren zur Funkenentladungsbehandlung einer Oberfläche eines elektrisch leitenden Werkstücks durch Zusammenführung der Oberfläche und einer Elektrode zur Schaffung eines örtlichen gegenseitigen Kontakts, wiederholte Erzeugung einer Funkenentladung über einen Spalt zwischen der Elektrode und der Oberfläche zur Bildung einer Schweißstelle an der Kontaktfläche auf der Oberfläche, Unterbrechung des Kontakts zur Ermöglichung der Abkühlung der Schweißstelle unter Zurücklassung einer metallurgisch veränderten Fläche auf der Oberfläche und Verschiebung der Elektrode über der Oberfläche zwecks aufeinanderfolgender Bildung solcher metallurgisch veränderter Flächen auf der Oberfläche, mit dem Kennzeichen, daß man die Elektrode aus einer Mehrzahl elektrisch leitender, länglicher Teile bildet, die fest an einem Drehschaft so montiert sind, daß sie von diesem axial einzeln vorragen und sich gemeinsam unter Bildung eines nach vorn konvergierenden Drehkörpers erstrecken, daß man den Drehschaft zur Drehung und zur gleichmäßigen Ausdehnung der länglichen Teile nach außen zu ihren Enden hin während der Drehung rotieren läßt und daß man die äußeren Seitenflächen der sich drehenden länglichen Teile über eine Länge derselben tangential gegen das Werkstück drückt, während ein elektrischer Strom zwischen den länglichen Teilen und dem Werkstück zur Erzeugung der Funkenentladung zwischen den sich drehenden einzelnen Flächen der länglichen Teile und dem Werkstück angelegt ist, und dadurch die metallurgisch veränderten Flächen erzeugt, wo die länglichen Teile und das Werkstück zusammengeführt werden.
  • Ausgestaltungen dieses Verfahrens sind in den Unteransprüchen 2 bis 12 gekennzeichnete Vorzugsweise läßt man demgemäß den Drehschaft mit einer Drehzahl im Bereich von 50 bis 20000 U/min rotieren, die ausreicht, um eine gleichmäßige Auswärtsausdehnung der länglichen Teile zu ihren freien Enden hin zu bewirken, so daß der im stationären Zustand durch die länglichen Teile gemeinsam gebildete, nach vorn konvergierende Drehkörper zu einem zylindrischen oder nach vorn divergierenden Drehkörper aufgeweitet wird.
  • Gemäß einem wesentlichen Merkmal der Erfindung werden die Brzeugungslinie des gemeinsam durch die länglichen Teile gebildeten Drehkörpers oder die wesentlichen äußeren Seitenoberflächen der einzelnen Teile, deren eine Enden vom Schaft gehalten sind, verwendet, um tangential an einer zu behandelnden Werkstückoberfläche anzuliegen. Die einzelnen elektrisch leitenden, länglichen Teile, die so befestigt sind, sind steif und doch federnd und können sich demgemäß, wenn sie mit der Rotation des Drehschafts mit einer Betriebsdrehzahl gedreht werden, zu ihren freien Enden oder Spitzen hin ausdehnen, so daß ihre Erzeugungslinie, die ursprünglich oder im stationären Zustand kegelförmig oder kegelstumpfförmig ist, zu zylindrischen oder nach vorn divergierenden, rasch drehenden Oberflächen wird. Als Ergebnis wird ein kontinuierlicher "Schlag-'t oder "Elopf-'tEffekt durch die aufeinanderfolgenden tangentialen Hochgeschwindigkeits- oder plötzlichen Kollisionen erzeugt, die nacheinander zwischen den sich drehenden länglichen Oberflächen und dem Werkstück unter Erzeugung einer hochgradig wirksamen Folge von Funkenentladungen im Bereich der Grenzfläche auftreten. Bei Beendigung der Anlegung elektrischer Energie zwischen den länglichen Elektrodenteilen und dem Werkstück und durch fortgesetzte Drehung der länglichen Teile können die länglichen Teile als Schleifwerkzeug dienen, das sich zur vorteilhaften Endbearbeitung der flznkenbehandelten Werkstückoberfläche eignet. Nach dem Ende der Rotation des Drehschafts nehmen die langlichen Teile die ursprüngliche Gestalt des nach vorn konvergierenden Drehkörpers wieder an.
  • Gegenstand der Erfindung ist außerdem eine Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens, mit einer verschiebbaren Elektrodeneinheit zur wiederholten Erzeugung einer Funkenentladung über einen Spalt zwischen der Elektrode und der Oberfläche des zu behandelnden Werkstücks, mit dem Kennzeichen, daß die Elektrodeneinheit einen Drehschaft und eine Mehrzahl elektrisch leitender, länglicher Teile auSweist, die fest an dem Drehschaft, von diesem axial einzeln vorragend und sich gemeinsam unter Bildung eines nach vorn konvergierenden Drehkörpers erstreckend, montiert sind, und daß ein Motor zur Rotation des Drehschafts zwecks Drehung der länglichen Teile um die Achse des Drehschafts und eine Stromquelle vorgesehen sind, die elektrisch zwischen den länglichen Teilen und dem Werkstück zur Erzeugung von Funkenentladungen zwischen den länglichen Teilen und dem Werkstück bei ihrer Zusammenführung zwecks Erzeugung einer metallurOisch veränderten Fläche im tangential von den sich drehenden länglichen Teilen überstrichenen Bereich der Werkstückoberfläche anschließbar ist.
  • Ausgestaltungen dieser Vorrichtung sind in den Unteransprüchen 14 bis 20 gekennzeichnet.
  • Die Stromquelle kann typisch-einen Kreis zur Lieferung einer Reihe elektrischer Impulse zwischen der aus den länglichen Teilen gebildeten Elektrode und dem Werkstück enthaltene wobei jeder Impuls zur Erzeugung einer Hochleistungsfunkenentladung ausreichender Stärke zur Bewirkung einer örtlichen Hochenergiedichteerhitzung an der von der Entladung getroffenen Fläche geeignet ist0 Vorzugsweise hatten die elektrischen Stromimpulse die Form aufeinanderfolgender Impulsreihen9 die einzeln aus elementaren Impulsen einer Frequenz im Bereich von 1 bis 500 kHz bestehen9 wobei die angrenzenden Reihen der elementaren Impulse durch ein Ausschaltintervall getrennt sind9 das mit verringerter Frequenz auftritt0 Es wurde gefunden , daß diese Impulsart ein hochgradig verbessertes Ergebnis liefert, das eine noch bessere.
  • Oberflächenbehandlungsqualität und eine erhöhte Trenngeschwindigkeit sichert.
  • Die Erfindung wird anhand der in der Zeichnung veranschaulichten Ausführungsbeispiele naher erläutert; darin zeigen: Fig. 1A schematische Perspektivdarstellungen einer und 1 B 1B Funkenentladungsbehandlungs-Elektrodeneinheit gemäß der Erfindung im stationären bzwO im rotierenden Zustand; Fig. 2 eine schematische Schalt skizze zur Veranschaulichung eines anpaßbaren Abscheide- oder Behandlungsbetriebs mit einer Elektrodeneinheit gemäß der Erfindung; Fig. 3 eine vergrößerte Längsseitenansicht der in Fig. 1A und 1B dargestellten Elektrodeneinheit; Fig. 4 einen Querschnitt der Elektrodeneinheit nach der Linie IV-IV in Fig. 3; und Fig. 5 ein Wellenformdiagramm zur Veranschaulichung einer bevorzugten Form von Bearbeitungs-(Abscheidungs-oder Behandlungs-)Impulsen, die mit der Elektrodeneinheit gemäß der Erfindung verwendet werden kann.
  • In Fig. 1A und IB ist eine Funkenentladungs-Abscheide- oder -behandlungselektrodeneinheit 1 gemäß der Erfindung im stationären bzw. im rotierenden Zustand dargestellt. Die Elektrodeneinheit 1 weist einen Drehschaft 2, der in einen zylindrischen Kopfteil 3 und eine koaxial daran befestigte oder damit einstückige Welle 4 unterteilt ist, und ein Elektrodenarbeitsorgan 5 auf, das eine Mehrzahl von elektrisch leitenden, länglichen Teilen 6 umfaßt, die am Kopf + est, vorzugsweise durch eine noch zu beschreibende Anordnung abnehmbar montiert sind.
  • Die Welle 4 ist mit einer Antriebswelle eines Antriebsmotors zur Drehung des Elektrodenarbeitsorgans 5 verbunden, welcher Motor in Fig. 2 mit 7 bezeichnet ist, die die gesamte Anordnung einer bestimmten, die Prinzipien der Erfindung verwirklichenden Vorrichtung veranschaulicht.
  • Gemäß Fig. 1A, 1B, 2, 3 und 4 kann jeder längliche Teil 6 eine Stange, ein Draht oder eine Borste aus irgendeinem elektrisch leitenden Stoff sein, der als geeignet zur Bildung der Funkenentladungs-Abscheide- oder -behandlungselektrode bekannt ist.
  • Beispiele hierfür sind Wolframisrbid, Titankarbid, Tantalkarbid, Borkarbid, Bornitrid, Eisen-Chrom-Legierung und Klavierdrahtmaterialien.
  • Die Teile 6 können entweder rundlich oder eckig sein und sind typisch von einer Durchmesserabmessung im Bereich von 0,1 bis 2 mm und vorzugsweise von 0, bis 1 mm. Solche Teile können gebündelt und mit dem Kop so zusammengesetzt sein, daß sie in einer Anzahl von zwei bis zwanzig insgesamt längs des imaginären Kreises 6a angeordnet sind, der dann einen Durchmesser von 2 bis 8 mm aufweisen kann0 Wenn man die Welle 4 rotieren läßt, werden die länglichen Teile 6 um die Achse 2a gedreht0 So werden die Teile radial nach außen zu ihren einzelnen freien Enden 6b hin getrieben9 so daß ihre Erzeugende eines ursprünglich nach vorn weisenden Kegels oder Kegelstumpfes (Fig. 1A und 3) nach vonlJärts hin unter Bildung im wesentlichen eines Zylinders oder eines etwas nach innen spitzen oder geraden Kegels oder nach rückwärts weisenden Kegelstumpfes aufgeweitet wird (Fig. IB und 2).
  • Die Drehzahl wird aus dem Bereich zwischen 500 und 20000 U/min gewählt. Im Betrieb werden die sich drehenden Teile 6 tangential über eine Länge ihrer Außenseitenflächen gegen eine Oberfläche 8A eines Werkstücks 8 (Fig. 2) gedrückt und nacheinander in abschleifenden Kontakt damit gebracht Bei jedem Drehzyklus erfährt jeder Teil 6 nach Lösung aus dem Kontakt mit der Oberfläche 8A eine Auswärtsausdehnung und speichert dadurch eine beträchtliche kinetische Energie, die dann abgegeben wird, wenn er wieder in stoßenden Kontakt mit der Oberfläche 8A kommt und diese "schlägt" oder "klopft".
  • In Fig. 2 ist eine Funkenentladungs-Abscheide- oder -behandlungs-Stromquelle 9 dargestellt, die von irgendeiner herkömmlichen Auslegung pulsierenden Ausgangs sein kann und elektrisch mit den länglichen Elektrodenteilen 6 über den Schaft-Kopfteil 3 und andererseits mit dom Werkstück 8 zur Erzeugung aufeinanderfolgender einzelner Funkenentladungen verbunden ist, wenn die Teile 6 nacheinander mit der Werkstückoberfläche 8A über ihre Grenzschlagflächen zusammenge bracht werden. So wird eine hochgradig befriedigendemetallurgisch veränderte (de h. Abscheide oder gehärtete) Schicht an der Oberfläche 8A erhalten, wenn die Elektrodenteile 6 über das Werkstück 8 von Hand oder automatisch durch Verschiebung des tragenden Drehschafts 2 verlagert werden.
  • Wenn det schaft 2 der Elektrodeneinheit 1 rotiert und sein Arbeitsorgan 5 in Kontakt mit der Werkstückoberfläche 8A gebracht wird, neigen die elektrisch leitenden, länglichen Teile 6, die sich unter Bildung eines zentrifugal zu ihren freien Enden 6b hin beträchtlich ausgedehnten Drehkörpers drehen, zur Anpassung an die Steifheit der Oberflächq8A, wenn sie einzeln damit in Kontakt kommen undhter nacheinander in gleitender und abschleifender Anlage vorbeistreichen. Bei jedem Drehzyklus erfährt jeder einzelne Teil 6 nach Lösung aus dem Kontakt mit der Oberfläche 8A erneut eine nach außen gerichtete Zentrifugalausdehnung und gewinnt beträchtliche kinetische Energie, die abgegeben wird, wenn er wieder in Kollisionskontakt mit der Oberfläche 8A kommt und diese tangential schlägt oder t'klopSt". Das tangential auftreffende Uberstreichen der einzelnen Teile 6 nacheinander bei ihrer Drehung liefert eine Funkenentladungsbehandlung oder -abscheidung auf der Werkstückoberfläche 8A mit einer ausgezeichneten Qualität und Geschwindigkeit.
  • Bearbeitungsimpulse von der Stromquelle 9 bewirken elektrische Funkenentladungen nacheinander zwischen den kontaktierenden Teilen 6 und der Oberfläche 8A und ergeben, wenn die Teile 6 aus einem elektrisch schmelzbaren Material sind, eine Schmelzübertragung des Elektrodenmaterials auf die Werkstückoberfläche 8A unter Bildung einer Abscheidung darauf, die als die schraffierte Schicht angedaute; ist. Die funkengebildete Abscheideschicht ist eine kumulative Schicht von einzelnen schmelzübertragenen Abscheidungen, die entstehen, wenn die Funkenentladungsfläche über die Oberfläche 8A bei der Bewegung der Elektrodenteile 6 darüber weitergeführt wird, während nacheinander Funkenentladungen über der sich verschiebenden Grenzfläche erzeugt werden, und daher ist die Abscheideschicht üblicherweise durch die Bildung geringer Oberflächenunregelmäßigkeiten gekennzeichnet. Diese Unregelmäßigkeiten werden wirksam durch das System gemäß der Erfindung verringert, wonach das durch die sich drehenden einzelnen Teile 6 gebildete Elektrodenorgan zum Abschleifen der Funkenabscheidungs-oder funkenabgeschiedenen Schicht (oder funkenerhitzten Schicht) dank des WSchlag-" und ''Klopf-'l Effektes, den sis einzigartig auf der Entladefläche 8A liefern , geeignet ist , wodurch ein hochgradig befriedigendes Polieren oder eine endbearbeitete Oberfläche erhalten wird Die Funkenabscheidungse oder metallurgische Oberflächenbehandlung und die einzigartige Schleiflirkung werden gleichzeitig bewirkt, wenn die sich drehenden Elektrodenteile 6 und das oberflächenzubehandelnde werkstück 8 unter gegenseitiger Gleitverschiebung sind.
  • Wenn die Oberflächenunregelmäßigkeiten beim Funkenentladungs-oder -behandlungsverfahren wachsen, wird typisch die fortgesetzte Abscheidung oder Behandlung schwierig9 und es ist sogar möglich, daß weitere Funkenentladungen oder die fortgesetzte Einwirkung von Bearbeitungsimpulsen zum Abstreifen der abgeschiedenen oder behandelten Schicht führen. Solche Nachteile werden wirksam durch die erwähnte Abschleifwirkung der Elektrodenteile 6 ausgeschaltet9 die dazu dient, die funkenbeaufschlagten Flächen glatt zu halten und die materialbeschichteten oder besonders metallurgisch veränderten Oberflächenbereiche dynamisch zu glätten. Dies ermöglicht eine fortgesetzte Übertragung des Elektrodenimaterials und dessen Aufbringen auf die vorher behandelten Zonen zur Erzeugung einer oberflächengehärteten oder materialbeschichteten Schicht einer gewünschten und größeren Dicke In Fig. 2 ist auch ein Steuerkreissystem zum Betrieb der Elektrodeneinheit 1 der Erfindung gemäß einem weiteren Aspekt dargestellt. Bei diesem System wird der Zustand des Schleifkontakts zwischen den sich drehenden Teilen 6 und dem Werkstück 8 erfaßt, um den Betrieb des Motors 7 zu steuern. So ist eine Stromquelle 10 zum Antrieb des Motors 7 mit einem Steuerkreis 11 versehen, dessen Eingangsanschlüsse über einen Abtastwiderstand 12 angeschlossen sind, der in Reihe mit der Funkenabscheidungs- oder behandlungsstromquelle 9 und dem Werkstück 8 und auch über eine Bürste 3a mit dem Kopfteil 3 verbunden ist, der mit einer Drehzahl im bereits angegebenen Bereich rotiert. Die relative Verschiebung zwischen dem Elektrodenarbeitsorgan 5 und dem Werkstück 8 kann entweder von EIand oder automatisch erfolgen. Im letzteren Fall wird vorteilhaft ein numerisches Steuergerät bekannter Bauart vorgesehen, um die Relativverschiebung längs eines programmierten Vorschubweges zu bewirken.
  • Im Lauf des Betriebs bewirkt eine Anderung des Kontaktdrucks des sich drehenden Elektrodenogans 8,also der elektrisch leitenden, länglichen Teile 6 gegendLe Oberfläche 8A eine Unregelmäßigkeit im Abschleifen, die zu einer Unregelmäßigkeit der einwirkenden Bearbeitungsimpulse führt. Diese Änderung wird bei der dargestellten Anordnung durch Überwachung des elektrischen Widerstandes oder der Impedanz zwischen den Kontaktflächen der Teile 6 und 8 erfaßt, der bzw. die als Spannungsabfall am Widerstand 12 gemessen wird. Wenn der Kontaktwiderstand mit dem Abfall der Andruckkraft wächst, erhöht sich der Bearbeitungsstrom von der Stromquelle 9, der durch den Widerstand 12 strömt, und der Spannungsabfall am letzteren wächst. Folglich bewirkt der geeigerte Kontaktdruck einen geringeren Widerstand, der als gesteigerte Spannung am Widerstand 12 gemessen wird. Der Steuerkreis In spricht auf eine Änderung im Spannungsabfall am Abtastwiderstand 12 an, um die Drehzahl des Motors 7 zu steuern. Eine Steigerung der Drehzahl bewirkt eine Erhöhung der Vorwärts-Auswärts-Ausdehnung der sich drehenden länglichen Teile 6, was seinerseits zu einem gesteigerten Anpreßdruck gegen die berührte Oberfläche 8A führt, und umgekehrt. In dieser Weise wird eine Konstanz des Abschleifdrucks zwischen dem Elektrodenarbeitsorgan 5 und der Oberfläche 8A9 die zum Erhalten eines gleichmäßigen tSchlag-" oder t1KlopfflEffet5 erforderlich ist, gesichert, wodurch eine fortgesetzte Oberflächenbehandlung bzw. Materialabscheidung in stabiler Weise mit vergleichmäßigter Oberflächenendbehandlung über der gesamten Arbeitsfläche bei erhöhter Endbearbeitungsgenauigkeit und Verläßlichkeit für einen gegebenen Betrieb ermöglicht wird, Es ist zu bemerken, daß statt seiner Drehzahl alternativ auch das Drehmoment des Motors 7 gesteuert werden kann , um den Kontaktdruck konstant zu halten, so daß der letztere mit dem Anstieg oder Abfall des ersteren gesteigert oder verringert werden kann. Ebenso kann das Drehmoment des Motors 7 gemessen werden, um eine Änderung im Kontaktdruck zu überwachen. Nach einer weiteren Alternative kann irgendein anderes Druckfühlermittel, wie 3. B. ein piezoelektrisches Element, an einer geeigneten Werkzeugstelle angeordnet werden9 um eine Änderung des Kontaktdrucks anzuzeigen und daraufhin die Drehzahl oder das Drehmoment des Antriebsmotors 7 derart zu steuern, daß der Kontaktdruck konstant gehalten wird.
  • Beim Naterialabscheideverfahren kann ein abscheidbares Material der Funkengrenzfläche von irgendeiner Art von Quelle zugeführt werden. Wie es am typischsten ist, können die länglichen Elektrodenteile 6, wie schon erwähnt, aus Klavierdrahtmaterial, Wolframkarbid, Bortitan, Borkarbid oder einer Eisen-Chrom-Legierung zusammengesetzt sein9 und diese Materialien sind besonders vorteilhaft, wenn ein Eisenwerkstück 8 durch Abscheidung oder Behandlung oberflächenzuhärten ist. Diese Materialien können auch in der Form eines Pulvers, von Schuppen oder einer Paste zugeführt werden9 die zu schmelzen und auf der Werkstückoberfläche 8A abzuscheiden sind0 Alternativ können elektrisch leitende kernelektrodenteile 6 mit einer Schicht aus Diamant, einem Metallkarbid, Borkarbid, Bornitrid oder irgendeinem anderen Material, dessen Abscheidung auf der Werkstückoberfläche zum Härten und für andere Zwecke erwünscht ist, beschichtet sein. Zusätzlich sei erwähnt, daß irgendeine Gasatmosphäre verwendet werden kann, die einen Bestandteil, wie z. B. Kohlenstoff, Aluminium oder Stickstoff enthält, der in das Substrat des Werkstücks 8 einzudiffundieren ist.
  • Beispiel I Elektrisch leitende, längliche Teile bestehen aus Wolframkarbid mit Dicken zwischen 0,1 und 1,0 mm Durchmesser, und zwei bis zwanzig solcher Teile einer gegebenen Dicke werden zur Bildung verschiedener Elektrodeneinheiten zusammengesetzt, die als zur Drehung mit 50 bis 20000 U/min durch einen Motor geeignet befunden werden. Wenn Arbeitsimpulse eines Spitzenstroms Ip von 80 A und einer Impulsdauer rot von 60 bis 50 /us zur Funkenabscheidung des Elektrodenmaterials auf einem Eisenwerkstück verwendet werden, hat die behandelte Oberfläche eine Oberflächenrauhigkeit von 10 /uRmax. Die Abscheidegeschwindigkeit ist vier- bis fünfmal größer als mit dem herkömmlichen Vibrations- oder Rotationssystem. Nach diesem Abscheidevorgang wird, wenn der Funkenabscheidungsstrom verringert oder unterbrochen wird, während die Teile weiter gedreht und im Kontakt mit dem Werkstück gehalten werden, eine noch bessere Oberflächenendbehandlung auf der behandelten Oberfläche beobachtet. DieEWr Abschlußbetrieb kann unter veränderten Funkenbedingungen ablaufen. Wenn Arbeitsimpulse einen Spitzenstrom Ip von 50 A und eine Impulsdauer von 2 /u5 haben und die Teile sich mit 10000 U/min drehen, hat die abgeschiedene Oberfläche eine auf 6 /uRmax verbesserte Oberflächenrauhigkeit.
  • In Fig. 5 ist eine bevorzugte Form der Arbeitsimpulse dargestellt, die erfindungsgemäß verwendet werden kann. Die Arbeitsimpulse umfassen eine Abfolge von Impulsreihen9 die für sich aus elementaren Impulsen einer bestimmten Einschalt zeit ton und Ausschaltzeit off bestehen und eine Einschalt dauer Ton haben, wobei die aufeinanderfolgenden Reihen durch ein Ausschaltzeitintervall Toff getrennt sind0 Die Einschalt zeit von der elementaren Impulse liegt liegt im Bereich von 1 bis 500 /us, vorzugszweise im Bereich von 50 bis 100 /us , während die Ausschaltzeit off im Bereich von 10 bis 100 /us liegt Der Spitzenstrom der elementaren Impulse reicht von 50 bis 100 A. Die Impulsreihendauer Ton reicht von 091 bis 100 s, während das Ausschaltzeitintervall Toff im Bereich von OO5 bis 50 s liegt0 So liefern liefern die elementaren Impulse mit #on und Ip in den angegebenen Bereichen jeweils eine Abscheide-oder Bearbeitungseinheit, die relativ klein ist, die jedoch wiederholt mit hoher Frequenz in jeder Impulsreihe aufgebracht werden. Dies führt zu einer erhöhten Abscheide- oder Behandlungsgechwindigkeit und zu einer günstigeren Oberflächenrauhigkeit0 Während des Ausschaltzeitintervalls dient die Abschleifliirkung durch die sich weiter drehenden Elektrodenteile wirksam zur Reaktivierung und Glättung der materialbeschichteten oder entladungsveränderten Oberfläche wodurch auch die fortgesetzte Abscheidung oder Oberflächenbehandlung bis zu größerer Dicke erleichtert wird. Das Stromausschaltzeitintervall wirkt auch zur Löschung irgendeines fortdauernden Lichtbogens9 der während der vorherigen Impulsreihenperiode aufgetreten sein kann, und ermöglicht eine wirksame Kühlung der antladungserhitzten Flächen so daß die SMRterialbosinträchtigung auf grund einer Überhitzung an der Werkstückoberfläche vorteil haft vermieden wird.
  • Beispiel II Eine Funkenentladungs-Abscheideelektrode ist aus zwölf Teilen von Wolframkarbiddrähten mit 095 mm Durchmesser gebildet5 die in der zuvor beschriebenen Weise zusammengesetzt sind, und wird mit 8500 U/min gedreht und in Kontakt mit einem Eisenwerkstück gebracht. Arbeitsimpulse mit einer Folge von Impulsreihen mit den Impulsparametern: 1ronz P 80 /us, Zrf = 15 /us, Ip n 60 A, Ton " 0,5 s und Toff = 0,4 s werden zwischen den rotierenden Elektrodenteilen und dem Werkstück angelegt. Dies führt zu der festen Beschichtung des Werkstücks mit dem Elektrodenmaterial bei einer Abscheidegeschwindigkeit von 10 bis 30 mg/min. cm2, was einen zehn- bis dreißigfach höheren Wert als die herkömmliche Abscheidegeschwindigkeit in der Größenordnung von 1 mg/min-cm² bedeutet. Der Vorgang wird leicht fortgesetzt, bis die Abscheidedicke 50 bis 500 um bei einer Oberflächenendgüte (Rauhigkeit) von 10 bis 50 /uRmax erreicht, welche Werte sehr vorteilhaft im Vergleich mit entsprechend herkömmlich erreichbaren Werten von 5 bis 15 /um und 50 bis 100 /uRmax sind.
  • Gemäß einem ausgestaltenden Merkmal der ErfindungiDnnen die elektrisch leitenden, länglichen Teile 6 aus wenigstens zwei Stoffen zusammengesetzt sein, die von einem Teil zum anderen verschieden sind oder die zur Bildung Jedes Teils legiert oder anderweitig vereinigt sind. So bestehen die elektrisch leitenden, länglichen Teile 6 zum größeren Teil aus Teilen aus oder Verbundteilen aus einem oder mehreren Stoffen, deren Abscheidung von primärem Interesse istXund zusätzlich aus Teilen oder aus zusammengesetzten Teilen aus einem oder mehreren Stoffen1 die mit dem primären Stoff legierbar oder anderweitig verbindbar sinn wenn die beiden Arten von Stoffen aus den Elektrodenteilen 6 geschmolzen und während :des Funkenabscheideverfahrens auf der Werkstückoberfläche 8A abgeschieden werden. Diese Ausgestaltung der Erfindung ist bestimmt, um die herkömmlichen Schwierigkeiten zur Erhaltung einer größeren Dicke der Abscheidung auf der Werkstückoberfläche aus der Elektrode oder das wenigstens teilweise von der unzureichenden Diffusionsbindung zwischen dem Elektrodenmaterial und dem Werkstücksubstratmaterial verursachte Problem, die Schwierigkeit der Materialkombination zwischen den vorher aufgebrachten Abscheidungen und den nachher aufgebrachten und die Schwierigkeit der Erzielung eines bestimmten Mindestausmaßes der Oberflächenanregelmäßigkeiten, die im besten Fall erhältlich sind, zu überwinden.
  • Gemäß Fig. 4 kann der größte Teil der elektrisch leitenden, länglichen Teile 6(1) so beispielsweise aus WC-Co zusAmmengesetzt sein, und der Rest 6(2) kann dann beispielsweise aus Ni bestehen, das ein Legierungselement darstellt Allgemeiner sollten, wenn die Teile 6(1) aus WC, 340 oder BN als einem erwünschten Abscheidematerial zusammengesetzt sinds der Teil oder die Teile 6(2) aus Ag, Ni, Cu, Fe, Au, Or, Co und Mn einzeln oder in Kombination zusammengesetzt sein. Die relativen Zahlen der Teile 6(1) und 6(2) und deren Anordnung werden in Abhängigkeit von einer besonderen Art des Basismaterials und der besonderen Art der gewünschten Abscheidung ausgewählt.
  • Nimmt man als Beispiel den Ni-Legierungsstoffteil 6(2) für die WC-Co-Primärabscheidungsstoffteile 6(1), so schmelzen diese Stoffe und gehen auf das Werkstück 8 während jedes Drehzyklus des Elektrodenarbeitsorgans 5 über. Als Ergebnis wird eine Ni-Schicht zwischen angrenzenden WC-Co-Sohichten gebildet und ergibt eine Diffusionsbindung zwischen ihnen. Zusätglich dient die Ni-Schicht zur Abdeckung und zum Schutz der WC-Co-Abscheidung gegen Reaktion mit der Atmosphäre zur Vermeidung ihrer Verschlechterung und hilft durch ihre Verschmelzung damit zur Verdichtung der Abscheidung des Auftragsmaterials.
  • Der Anteil der Teile 6(1) des Uberzugsmatcrials relativ zu den Teilen 6(2) des Legierungs- oder Verbindungsmaterials wird zur Erzielung eines optimalen Ergebnisses gewählt. Beispielsweise sind Ni-Teile in einer Gruppe relativ zu den WC-Co-Hauptteilen in einem Anteil von 1/4, 1/6, 1/7, 1/8, 1/10 oder 1/15 in Abhängigkeit von der Gesamtzahl der Teile und ihren Abständen enthalten.
  • Beispiel III Eine Elektrodeneinheit wird mit einem allgemein in den Fig. 3 und 4 gezeigten Aufbau und mit sechs Teilen aus WC-Co-Material und einem einzelnen Teil aus Ni-Material hergestellt. Die Elektrodeneinheit wird mit 5000 U/min gedreht und in Kontakt mit einem Eisenwerkstück gebracht. Wenn Funkenentladungsimpulse zwischen der Elektrode und dem Werkstück mit folgenden Impulsbedingungen: Ip - 80 A, Ton - 50 /us und torf - 30 /us zur Einwirkung gebracht werden, wird das Elektrodenmaterial auf 2 der Werkstückoberfläche mit einer Geschwindigkeit von 22 mg/minem2 abgeschieden, die mehr als zehnmal höher als die der Abscheidung mit einem herkömmlichen Vibrations- oder Rotationselektrodensystem ist.
  • Es sei bemerkt, daß verschiedene Kombinationen von primären Abscheidestoffen und Hilfsstoffen nicht auf die vorher angegebenen beschränkt, sondern umfassend anwendbar sind, So kann Jedes härtende Material mit einem geeigneten Bindematerial verwendet werden, und jedes Abscheidematerial für andere Zwecke kann mit einem Diffusionsmaterial verwendet werden. Jede Legierungs- oder Verbundschicht kann auf einer Werkstückoberfläche durch Funkenentladungs-Schmelzübertragung der Bestandteilsstoffe vorgesehen werden, die einzeln die getrennten elektrisch leitenden, länglichen Teile zusammensetzen.
  • Während die besondere Bedeutung der xolframkarbid-Funkenabscheidung lange anerkannt wurde und c em hier offenbarten Verfahren und mit der hier offenbarten Vorrichtung sehr vorteilhaft durchführbar ist, ist die Erfindung ebenso auch zur Funkenhärtung unter Verwendung anderer Materialien mit ausgezeichneten Ergebnissen, wie vorstehend beschrieben, anwendbar. Sie ist auch nicht nur zur Oberflächenhärtung, sondern auch für verschiedene andere Zwecke einschließlich der Aufbringung von korrosionsbeständigen und abriebbeständigen Überzügen (z. B, Stellitabscheidung) anwendbar. Außerdem können handelsübliche Klaviersaiten, Hartstahldrähte und Manganstahldrähte leicht als Elektrodenteile zur metallurw gischen Oberflächenbehandlung eines Stahlwerkstücks verwendet werden, das vorab spanabhebend bearbeitet oder verformt wurde.
  • Es ist auch zu erwähnen, daß die Erfindung eine Funkenabscheidung oder -behandlung auch über räumlich begrenzten Flächen; wie z. B. einer Ausnehmung, ermöglicht, die praktisch mit einem herkömxlichen Vibrations- oder Rotationselektroden werkzeug nicht zugänglich sindo Die Erfindung bietet somit ein verbessertes Verfahren zur Funkenentladungs-Oberflächenbehandlung elektrisch leitender Werkstücke sowie eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Vefahrens, die eine erhöhte Bearbeitungsgeschwindigkeit, eine bessere Oberflächenendbearbeitung, eine leichte Durchführbarkeit der Bearbeitung, eine feste Materialabscheidung, eine verbesserte Betriebs stabilität und andere Vorteile liefern.

Claims (20)

  1. Ansprüche Verfahren zur Funkenentladungsbehandlun einer Oberfläche eines elektrisch leitenden Werkstücks durch Zusammenführung der Oberfläche und einer Elektrode zur Schaffung eines örtlichen gegenseitigen Kontakts, wiederholte Erzeugung einer Funkenentladung über einen Spalt zwischen der Elek trode und der Oberfläche zur Bildung einer Schweißstelle an der Kontaktfläche auf der Oberfläche, Unterbrechung des Kontakts zur Ermöglichung der Abkühlung der Schweißstelle unter Zurücklassung einer metallurgisch veränderten Fläche auf der Oberfläche und Verschiebung der Elektrode über der Oberflache zwecks aufeinanderfolgender Bildung solcher metallurgisch veränderter Flächen auf der Oberfläche, dadurch gekennzeichnet, daß man die Elektrode (5) aus einer Mehrzahl elektrisch leitender, länglicher Teile (6) bildet, die fest an einem Drehschaft (2) so montiert sind, daß sie von diesem axial einzeln vorragen und sich gemeinsam unter Bildung eines nach vorn konvergierenden Drehkörpers erstrecken, daß man den Drehschaft (2) zur Drehung und zur gleichmäßigen Ausdehnung der länglichen Teile (6) nach außen zu ihren Enden (6b) hin während der Drehung rotieren läßt und daß man die äußeren Seitenflächen der sich drehenden länglichen Teile (6) über eine Länge derselben tangential gegen das Werkstück (8) drückt, während ein elektrischer Strom zwischen den länglichen Teilen (6) und dem Werkstück (8) zur Erzeugung der Funkenentladung zwischen den sich drehenden einzelnen Flächen der länglichen Teile (6) und dem Werkstück (8) angelegt ist, und dadurch die metallurgisch veränderten Flächen erzeugt, wo die länglichen Teile (6) und das Werkstück (8) zusamsengefffhrt werden.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man den Drehschaft (2) mit einer Drehzahl im Bereich von 50 bis 20000 U/min rotieren läßt.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Drehschaft antreibbar mit einer Antriebswelle eines Motors verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß man den Kontaktdruck zwischen den sich drehendenvlänglichen Teilen (6) und dem zu behandelnden Werkstück (8) erfaßt und im Ansprechen auf diese Erfassung den Motor (7) zur wesentlichen Konstanthaltung des Kontaktdrucks steuert.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß man den Kontaktdruck durch überwachen des elektrischen Widerstandes oder der Impedanz zwischen den länglichen Teilen (6) und dem Werkstück (8) erfaßt.
  5. 5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß man den Kontaktdruck durch überwachen des Drehmoments des Motors (7) erfaßt.
  6. 6. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß man den Motor (7) durch Steuern seiner Drehzahl steuert.
  7. 7. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß man den Motor (7) durch Steuern seines Drehmoments steuert.
  8. 8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man das Anlegen des elektrischen Stroms bei Fortsetzung der Rotation des Drehschafts (2) zwecks weiterer Drehung der länglichen Teile (6) unter Einwirkung auf die Werkstückoberfläche (8A) und damit zwecks abschleifender Endbearbeitung der behandelten Werkstückoberfläche (8A) beendet.
  9. 9. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man den elektrischen Strom in Form einzelner Impulse verwendet.
  10. 10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß man die Impulse in der Form einer Folge vorn Impulsreihen -zuführt, von denen jede Reihe aus einer Anzahl von elementaren Impulsen bestimmter Einschaltzeit und Ausschaltzeit besteht und eine bestimmte Dauer hat, wobei aufeinanderfolgende Reihen durch eine bestimmte Unterbrechungspause getrennt sind.
  11. 11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß man die elementaren Impulse mit einer Einschaltzeit im Bereich von 1 bis 500 /us und einer Ausschaltzeit im Bereich von 10 bis 100 /us verwendet und die Impulsreihen mit einer Dauer im Bereich von 0,1 bis 100 s und einer Unterbrechungspause im Bereich von 0,05 bis 50 s einsetzt.
  12. 12. Verfahren nach Anspruch 9, 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß man Impulse mit einem Spitzenstrom im Bereich von 50 bis 100 A verwendet.
  13. 13. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 12, mit einer verschiebbaren Elektrodeneinheit zur wiederholten Erzeugung einer Funkenentladung über einen Spalt zwischen der Elektrode und der Oberfläche des zu behandelnden Werkstücks, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodeneinheit (1) einen Drehschaft (2) und eine Mehrzahl elektrisch leitender, länglicher Teile (6) aufweist, die fest an dem DrehschaSt (2), von diesem axial einzeln vorragend und sich gemeinsam unter Bildung eines nach vorn konvergierenden Drehkörpers erstreckend, montiert sind, und daß ein Motor (7) zur Rotation des Drehschafts (2) zwecks Drehung der länglichen Teile (6) um die Achse (2a) des Drehschafts (2) und eine Stromquelle (9) vorgesehen sind, die elektrisch zwischen den länglichen Teilen (6) und dem Werkstück (8) zur Erzeugung von Funkenentladungen zwischen den länglichen Teilen (6) und dem Werkstück (8) bei ihrer Zusammenführung zwecks Erzeugung einer metallurgisch veränderten Fläche im tangential von den sich drehenden länglichen Teilen (&) überstrichenen Bereich der .terkstückoberfläche (8A) anschließbar ist.
  14. 14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die länglichen Teile (6) sämtlich eine Durchmesserabmessung im Bereich von 0,1 bis 2 mm aufweisen.
  15. 15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchmesserabmessung 0,5 bis 1 mm beträgt.
  16. 16. Vorrichtung nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß die länglichen Teile (6) in einer Anzahl von 2 bis 20 längs eines Kreises (6a) angeordnet sind.
  17. 17. Vorrichtung nach Anspruch 139 dadurch gekennzeichnet, daß die länglichen Teile (6) einzeln in einer Länge (1 in mm) vom Drehschaft (2) vorragen und längs eines Kreises (6a) eines Durchmessers CD in mm) angeordnet sind und das Verhältnis (l/D) wenigstens 0,5 bis 1 beträgt.
  18. 18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet daß der Durchmesser (D) des Kreises (6a) im Bereich von 2 bis 8 mm liegt.
  19. 19. Vorrichtung nach einem der Anspruche 19 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß der gröRere Anteil der langlichen Teile (6(1)) aus einem zur Abscheidung auf der Werkstückoberfläche (8A) ausgewahlten Material und deren Rest (6(2)) aus wenigstens einem von diesem Material verschiedenen Stoff bestehen.
  20. 20. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß das Material aus der aus Metallkarbid, Borkarbid und Bornitrid bestehenden Gruppe gewahlt ist und der wenigstens eine Stoff aus der aus Silber, Nickel, Kupfer, Eisen, Gold, Chrom, Kobalt und Molybdän bestehenden Gruppe gewählt ist.
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