DE2854072A1 - Akustische oberflaechenwellenanordnung - Google Patents
Akustische oberflaechenwellenanordnungInfo
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Description
Dipl.-Ing. R ä.¥£ickmahn, Dipl.-Chem. B. Huber
DR.ING.H.L1SKA 2854072
8000 MÜNCHEN 86, DEN
POSTFACH 860820,
MÖHLSTRASSE 22, RUFNUMMER 98 39 21/22
Tektronix/ Ine.,
14150 S.W. Karl Braun Drive, Beaverton, Oregon 97077, V.St.A.
14150 S.W. Karl Braun Drive, Beaverton, Oregon 97077, V.St.A.
Akustische Oberflächenwellenanordnung
909828/0647
Die vorliegende Erfindung betrifft eine akustische Oberflächenwellenanordnung
mit einem piezoelektrischen Substrat, auf dessen einer Oberfläche ein Wandler mit einer Vielzahl
von parallelen, lateral im Abstand voneinander angeordneten Elektrodenelementen in zwei verschachtelten Sätzen vorgesehen
ist, wobei jedes Elektrodenelement einen Teil aufweist, der einen Teil eines benachbarten Elektrodenelementes des
jeweils anderen Satzes überlappt, wobei sich die Länge der sich überlappenden Teile längs der Oberflächenwellen-Ausbreitungslinie
nach einer vorgegebenen Bewertungsfunktion ändert, die eine die sich überlappenden Teile enthaltende Hüllkurve
charakterisiert, und wobei jedes Elektrodenelement außerhalb der Hüllkurve an einem Ende mit einer von zwei Busleitungen
verbunden ist, -die sich entgegengesetzte Seiten des Wandlers markieren.
Die grundlegende Technologie von für eine Vielzahl von Signalverarbeitungsfunktionen
verwendeten akustischen Oberflächenwellenanordnungen ist an sich bekannt.- In elementarer Form
besitzt ein Oberflächenwandler ein Paar von auf einem piezoelektrischen Substrat vorgesehenen parallelen beabstandeten
Metallelektroden. Wird ein elektrisches Wechselpotential an die Elektroden angelegt, so wird ein elektrisches Wechselfeld
erzeugt, das Jokale Vibrationen im Substratmaterial hervorruft. Diese Vibrationen verursachen akustische Wellen, welche sich
auf einem definierten Weg senkrecht zu den Elektroden längs der Oberfläche des Substrates ausbreiten und in jedem Punkt
längs des Ausbreitungsweges durch einen zweiten Empfangswandler erfaßt werden können. Typischerweise werden sowohl der Sendewandler
als auch der Empfangswandler durch miteinander verschachtelte kammförmige Vielelektrodenelemente gebildet, wobei
die elektrische Charakteristik des Wandlers durch die Zahl,
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den Abstand und die Abmessungen der Elektroden in jedem Element
festgelegt wird. Die Elektroden, welche gewöhnlich durch abgeschiedene Metallfilme gebildet werden, besitzen eine
Dicke, welche kleiner als 10 % der akustischen Wellenlänge ist, um die Massenbelastung so klein wie möglich zu halten.
Viele akustischen Oberflächenwellenanordnungen besitzen eine
gleichförmige Überlappung zwischen den miteinander verschachtelten
Elektroden. In Anwendungsfällen, in denen eine spezielle Frequenzcharakteristik erforderlich ist (wie beispielsweise
in sehr genauen Bandpaßfiltern), kann der Betrag der .Überlappung zwischen benachbarten Paaren von Elektroden im
Wandler proportional zu einer Bewertungsfunktion variiert werden, um die Charakteristik festzulegen. Die übliche Bewertungsfunktion für einen Filterwandler entspricht der Fourier-Transformation
der gewünschten Frequenzcharakteristik.
Gemäß "Proceedings of the IEEE", Vol. 59, Nr. 3, März 1971, Seiten 393 ff., wo sich eine detailierte Diskussion von Oberflächenwellenwandlern
mit bestimmten Überlappverläufen findet, ist die räumliche Überlappfunktion eines idealen Bandpaßfilter-Wandlers
gleich sinus x/x, wobei es sich um die Fourier-Transformation einer Rechteckcharakteristik handelt. Das resultierende
Wandlerelektröden-überlappmuster enthält eine zentrale Keule mit mehreren Seitenkeulen auf den beiden Seiten
der Hauptkeule. Je mehr Seitenkeulen im Überlappungsmuster eines Wandlers vorhanden sind, um so steiler ist die Filtercharakteristik
im Frequenzbereich. Bei lediglich einer einzigen Seitenkeule überlappen sich die Elektrodenelemente am Ausgangsende
(oder am Eingangsende) eines Wandlers lediglich um einen geringen Betrag. Im Idealfall sollte ein Elektrodenelement lediglich
längs desjenigen Teiles seiner Länge aktiv sein (d.h. zur Wandlercharakteristik beitragen), welcher ein Element der
entgegengesetzten Polarität überlappt. Es hat sich jedoch ge-
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zeigt, daß die nicht überlappten 'Teile der Endelemente in
einem Wandler mit einem bestimmten Überlappungsverlauf Störcharakteristiken erzeugen, welche das Verhalten von Oberflächenwellenanordnungen
beeinträchtigt. Beispielsweise in einem Bandpaßfilter hoher Genauigkeit kann dieser Effekt zweiter
Ordnung ein Anwachsen der Seitenkeulenpegel bewirken und die Welligkeit im Durchlaßband nachteilig beeinflußen.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde,
eine Oberflächenwellenanordnung mit verbesserter Charakteristik durch Minimierung eines bestimmten Effektes zweiter Ordnung
von Wandlern mit bestimmten überlappungsverläufen anzugeben.
Speziell sollen dabei Störungscharakteristiken minimal gehalten werden, welche durch die nicht überlappten Teile von
Endelektrodenelementen in einem Wandler mit bestimmtem Überlappungsverlauf hervorgerufen werden.
Zur Lösung dieser Aufgabe ist bei einer akustischen Oberflächenwellenanordnung
der eingangs genannten Art erfindungsgemäß vorgesehen, daß wenigstens eine der Busleitungen einen
Teil aufweist, der schräg zur Ausbreitungslinie verläuft und mit einem Endelement im Bereich von dessen überlappendem
Teil des mit dieser Busleitung verbundenen Elektrodenelementsatzes verbunden ist.
Durch die vorstehend definierte erfindungsgemäße Ausgestaltung werden Störcharakteristiken in einer Oberflächenwellenfilteranordnung
mit einem Wandler mit bestimmtem Überlappungsverlauf dadurch reduziert, daß die Länge von Endelektrodenelementen
außerhalb des Überlappungsbereichs reduziert wird. Dies kommt durch Abschrägung des Ausgangsendes (oder des Eingangsendes)
wenigstens eines Elektrodensatzes des Wandlers zustande. Um die resultierende Reduzierung der Metalldichte
in der akustischen Blende des Wandlers zu kompensieren, ist
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in Weiterbildung der Erfindung benachbart zum abgeschrägten
Ende des Wandlers eine komplementär abgeschrägte getrennte
Hilfselektrodenanordnung vorgesehen.
Ende des Wandlers eine komplementär abgeschrägte getrennte
Hilfselektrodenanordnung vorgesehen.
Spezielle Ausgestaltungen des Erfindungsgedankens sind in
Unteransprüchen gekennzeichnet.
Unteransprüchen gekennzeichnet.
Die Erfindung wird im folgenden anhand eines in Figuren der
Zeichnung dargestellten bevorzugten Ausführungsbeispiels
näher erläutert. Es zeigt:
Zeichnung dargestellten bevorzugten Ausführungsbeispiels
näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 eine schematische ebene Ansicht einer Oberflächenwel- ..-lenanordnung
mit einem konventionellen Wandler mit
bestimmtem Überlappungsverlauf;
bestimmtem Überlappungsverlauf;
Fig. 2 eine entsprechende Darstellung einer Oberflächenwellenanordnung
mit einer verbesserten erfindungsgemäßen
Wandlerstruktur;
Wandlerstruktur;
Fig. 3 eine graphische Darstellung der Zeitbereichscharakteristik eines Filters mit konventionellen Wandlern mit
bestimmtem Überlappungsverlauf;
bestimmtem Überlappungsverlauf;
Fig. 4 eine graphische Darstellung der Frequenzbereichscharakteristik
eines Filters mit konventionellen Wandlern mit bestimmtem Überlappungsverlauf; und
Fig. 5 und 6 jeweils eine entsprechende Darstellung eines Filters mit erfindungsgemäß verbessertem Wandler.
Figur 1 zeigt einen Teil eines akustischen Oberflächenwellenfilters
10, das einen konventionellen Wandler 12 mit bestimmtem
Überlappungsverlauf enthält. Das aus Übersichtlichkeitsgründen in vereinfachter Form dargestellte Filter 10 ist ein
Bandpaßfilter, das als Fernseh-Zwischenfrequenzfilter verwendbar ist. Die erfindungsgemäßen Maßnahmen sind in gleicher Weise jedoch auch für andere Arten von Oberflächenwellenfilternmit
Bandpaßfilter, das als Fernseh-Zwischenfrequenzfilter verwendbar ist. Die erfindungsgemäßen Maßnahmen sind in gleicher Weise jedoch auch für andere Arten von Oberflächenwellenfilternmit
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Wandlern mit*bestimmtem Überlappungsverlauf anwendbar.
Der Wandler 12, welcher ein Paar von miteinander verschachtelten
Elektrodenstrukturen bzw. Elektrodenkämmen 14 und 15 aufweist, ist auf die Oberseite 18 eines langgestreckten
rechteckförmigen Substrates 20 aus einem piezoelektrischen
Material aufgebracht. Als Beispiele für Substratmaterialien können kristalliner Quarz, Lithiumniobat und Lithiumtantalat
genannt werden." Die Kammstrukturen 14 und 15 sind
aus elektrisch leitendem Material, wie beispielsweise Gold oder Aluminium hergestellt. Die Kammstruktur 14 weist eine
Vielzahl von parallelen gleichförmig beabstandeten Elektrodenelementen bzw. Zähnen 22 auf, die an einem Ende mit einer
langgestreckten Busleitung 24 verbunden sind. Entsprechend weist die Kammstruktur 15 eine Vielzahl von mit einer Busleitung
25 verbundenen Zähnen 23 auf. Die Busleitungen 24 und 25 sind in an sich bekannter Weise mit einer (nicht dargestellten)
externen elektrischen Schaltung verbunden.
Der Wandler 12 spricht primär auf Oberflächenwellenenergie
an, welche sich in Richtung einer zentralen Ausbreitungsachse 26 ausbreitet. Seine Charakteristik wird prinzipiell durch
das Überlappungsmuster und den Abstand-der Zähne 22 und 23
bestimmt. Der Abstand zwischen den Zähnen bestimmt die Mittenfrequenz der Zeitdomänencharakteristik des Wandlers. In einem
Filter mit einer symmetrischen Charakteristik legt der Abstand damit die Mittenfrequenz der Anordnung fest. Das
Überlappungsmuster, d.h. die Form der Hüllkurve, welche durch die überlappten Teile der Zähne im Wandler 12 gebildet wird,
entspricht der Fourier-Transformation der gewünschten Frequenzcharakteristik. Im Wandler 12 besitzt das Überlappungsmuster
eine der Funktion sinus x/x entsprechende .Form. Zur Definition
des Überlappungsmusters der Zähne können natürlich auch' andere Fourier-Transformationen in Betracht gezogen werden.
Eine impulsförmige Erregung des Wandlers ergibt eine akustische Charakteristik, welche das räumliche Abbild des Überlappungsmusters
ist.
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Ein Wandler der vorstehend beschriebenen Art spricht in zwei Richtungen an, d.h., er führt Oberflächenwellen gleichzeitig
in gegensinnigen Richtungen längs der Achse 26 und empfängt in beiden Richtungen laufende Wellen. Auf die Oberseite 18
ist daher zwischen dem Wandler 12 und dem benachbarten Ende
des Substrates 20 ein akustischer Abschluß 28 aus einem absorbierenden Material, wie beispielsweise "schwarzem Wachs"
aufgebracht.
Verschiedene Effekte zweiter Ordnung, d.h., Effekte, welche ein Verhalten von Oberflächenwellenfiltern als ideale Transversalfilter
verhindern, sind bereits früher beschrieben worden. Dazu wird beispielsweise auf "The Radio and Electronic
Engineer", Vol. 45, Nr. 5, Mai 1975, Seiten 207-220 hingewiesen.
Ein zusätzlicher, in konventionellen Wandlern mit bestimmten Überlappungsverläufen vorhandener Effekt zweiter
Ordnung ist für eine erhöhte Welligkeit im Durchlaßband sowie für erhöhte Seitenkeulenpegel in Fernseh-Zwischenfrequenz-Bandpaßfiltern
hoher Güte verantwortlich. Die durch diesen Effekt zweiter Ordnung hervorgerufenen Störcharakteristiken
ergeben sich· aufgrund von Beiträgen, welche den Wandlersignalen
durch die nicht überlappten Teile der Zähne am Ende derartiger Wandler überlagert werden.
Aus Fig. 1 ist ersichtlich, daß sich Endzähne 22a und 23a nur geringfügig überlappen. Bei Betrieb als Ausgangs- bzw.
Sendewandler wird ein elektrisches Wechselpotential an die Elektrodenkämme 14 und 15 angelegt. Das damit im Überlappungsbereich
zwischen den Zähnen 22a und 23a erzeugte Wechselpotentialfeld erzeugt Vibrationen der Substratfläche 18
in demjenigen Bereich, der die durch andere·Elektrodenzahn-Überlappungen
längs des gleichen akustischen Weges auf der Substratoberfläche verbreiteten Vibrationen verstärkt. Da die
überlapplänge der Zähne 22a und 23a sehr klein ist, ist der Beitrag erster Ordnung zu der sich ausbreitenden Oberflächenwelle
entsprechend klein. Es ist jedoch darauf hinzuweisen,
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daß die Substratfläche 18 im Bereich außerhalb des Wandlers
12 ein bestimmtes "Feld"-Potential besitzt, das in einigem Abstand vom Wandler gleich oder nahezu gleich Erdpotential
ist. Wenn das an einen Elektrodenkamm angelegte elektrische Potential größer oder kleiner als das Feldpotential des
Substrates im Bereich der Endzähne ist, so führt die resultierende Potentialdifferenz zwischen diesen Zähnen und
dem Substrat zu einem störenden Oberflächenwellensignal, das durch den nicht überlappten Teil der Zähne erzeugt wird.
Entsprechend werden auch Störsignale durch Potentialdifferenzen zwischen den Endzähnen und nahegelegenen Substratmetallisierungen
erzeugt. Bei derartigen Metallisierungen kann es sich z.B. um mehrstreifige Koppelelemente handeln, welche
gegen die nicht überlappten Teile der Zähne gerichtet sind. Derartige Störsignale beeinflussen die gewünschte Filtercharakteristik
in oben beschriebenem Sinne nachteilig.
Der Erfindung zugrundeliegende Untersuchungen haben gezeigt, daß Störcharakteristiken," welche durch die nicht überlappten,
"inaktiven" Teile von Elektrodenelementen am Einführende (d.h. das Eingangs- oder das Ausgangsende) erzeugt werden,
entsprechend reduziert werden können, wenn die Länge dieser Elektrodenelemente eines Wandlers mit bestimmtem Überlappungsverlauf
außerhalb ihres Überlappungsbereichs reduziert wird. Eine derartige Reduzierung der Länge der Endelemente
erfolgt vorzugsweise durch Abschrägung der Einführenden der Elektrodenkämme des Wandlers.
Ein Teil eines verbesserten Oberflächenwellenfilters 30,
das einen einen bestimmten Überlappungsverlauf aufweisenden Wandler 32 mit abgeschrägtem Ende enthält, ist in Fig. 2
dargestellt. Der Wandler 32 ist auf die Oberseite 34 eines piezoelektrischen Substrates 36 aufgebracht und enthält ein
Paar von miteinander verschachtelten kammförmigen Elektrodenstrukturen 38 und 39. Ein nicht reflektierender Abschluß 40
ist mit der Fläche 34 zwischen dem Wandler 32 und dem be-
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nachbarten Ende des Substrates 36 gekoppelt. Die Kammstrukturen
38 und 39 enthalten jeweils eine gleiche Anzahl von Elektrodenelementen bzw. Zähnen 44 und 45, deren Breite,
Abstand und Überlappmuster den entsprechenden Zähnen im Wandler 12 entspricht. Die Zähne 44 und 45 sind an einem
Ende mit jeweils einer Busleitung 46 bzw. 47 verbunden. Am Einführende des Wandlers 30, d.h., an dem Ende, an dem in
Abhängigkeit von der Funktion des Wandlers eine Welle ausgesendet oder empfangen wird, besitzen die Busleitungen'46
und 47 schräge Teile 46a und 47a, welche unter einem Winkel
gegen eine zentrale Ausbreitungsachse 48 des Filters nach innen geneigt sind, um eine Abschrägung des Einführendes der
-Elektrodenkämme zu realisieren. Der Winkel zwischen den schrägen Busleitungsteilen und der Achse ist an sich nicht
kritisch; er liegt jedoch vorzugsweise in einem Bereich von etwa 30 bis 60°. Im dargestellten Wandler 32 ist ein Winkel
von 45° vorhanden. Wie Fig. 2 zeigt, ist der Busleitungsteil 46a eng benachbart zum·Überlappungsbereich zwischen dem
Zahn 44a und einem Zahn 45a, welcher in entsprechender Weise
mit dem Busleitungsteil 47a"verbunden ist, mit dem Endzahn
44a verbunden. Auf diese Weise wird der Teil der Endzähne, welcher außerhalb der Überlappungshüllkurve liegt, wesentlich
reduziert. Ersichtlich sollte der nicht überlappte Teil der vorderen Endzähne eines Elektrodenkamms für eine maximale
Reduzierung so kurz wie möglich sein. Der schräge Teil der Kamm-Busleitung soll jedoch das Überlappungsmuster des Wandlers
nicht schneiden bzw. in dieses hereinragen. Im Betrieb des Filters können die schrägen Teile 46a und 47a selbst
Oberflächenwellen erzeugen. Derartige Wellen, welche in jedem Fall einen sehr kleinen Pegel besitzen, werden nach außen
gegen den Rand des Substrates 36 übertragen und haben daher keinen meßbaren Effekt.
Wie bekannt, führen Änderungen in der Metallisierungsmenge des Substrates längs des Ausbreitungsweges der akustischen
Oberflächenwellen zu einer Phasenverzerrung der Wellen.
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Eine derartige Verzerrung, welche auch als Wellenfrontverzerrung
bezeichnet wird, beeinflußt die Filtercharakteristik nachteilig. Die Verzerrung resultiert aus der
Differenz zwischen den Wellenausbreitungsgeschwindigkeiten der metallisierten und der nicht metallisierten Substratflächenteile,
d.h., die Geschwindigkeit einer Oberflächenwelle wird durch das Vorhandensein von metallischen Wandlerelektroden
auf dem Substrat vermindert. Die Abschrägung des vorderen Endes des Wandlers 32 reduziert fortschreitend die
Metallisierungsmenge, welche von der Oberflächenwelle mit zunehmenden Querabständen von der zentralen Achse 48 ge-'
sehen wird. Eine derartige Phasenverzerrung wird in Weiterbildung der Erfindung durch Verwendung von Hilfselektroden
(d.h., von inaktiven Elektroden) eliminiert, welche benachbart zum abgeschrägten Teil des Wandlers angeordnet sind.
Gemäß Fig. 2 sind geerdete Hilfselektrodenanordnungen 50 und
52 benachbart zu den abgeschrägten vorderen Enden der. Elektrodenkämme 38 und 39 vorgesehen. Diese HiIfselektrodenanordnungen
besitzen eine generell ebene Dreiecksform und bilden zusammen.mit dem Wandler 32 ein rechteckförmiges
Metallisierungsmuster auf der Substratfläche 34. Die Elektrodenanordnung
50 besitzt eine zum Hauptteil der Busleitung 46 ausgerichtete Busleitung 54 sowie eine Vielzahl von Zähnen
56, die jeweils zu einem entsprechenden Zahn der verkürzten Zähne in der Kammstruktur 38 ausgerichtet sind. Die Hilfselektrodenanordnung
52 besitzt entsprechend eine zum Hauptteil der Busleitung 47 ausgerichtete Busleitung 58 sowie
eine Vielzahl von Zähnen 60, welche zu jeweils einem entsprechenden Zahn der verkürzten Zähne in der Kammstruktur 39
ausgerichtet sind. Die Spitzen der Zähne der Hilfselektrodenanordnungen
besitzen von den schrägen Busleitungsteilen 46a und 47a einen Abstand, welcher gleich der Breite der Busleitungen
ist. Auf diese Weise ist in der akustischen Blende einer sich unter dem Wandler und den ihm zugeordneten Hilfs-
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elektrodenanordnungen ausbreitenden Oberflächenwelle eine gleichförmige Metallisierungsdichte vorhanden.
Die Fig. 3 und 4 zeigen jeweils ein Diagramm der Zeitbereichscharakteristik
bzw. der Frequenzbereichscharakteristik eines Fernseh-Zwischenfrequenz-Bandpaßfilters mit konventionellen
Wandlern mit bestimmtem Überlappungsverlauf. Die entsprechende Zeitbereichscharakteristik bzw. Frequenzbereichscharakteristik
eines entsprechenden Filters mit erfindungsgemäß verbesserten Oberflächenwellenwandlern mit
abgeschrägtem Ende sind in Fig. 5 und 6 dargestellt. Ein Vergleich der Fig. 3 und 5 zeigt, daß die verbesserte Wandler- ,
struktur zu einer glatteren Zeitdomänencharakteristik mit reduzierten Seitenkeulenpegeln führt. Die Frequenzbereichscharakteristik ist ebenfalls wesentlich verbessert, wie ein
Vergleich der Fig. 4 und 6 zeigt.
Von der vorstehend beschriebenen bevorzugten erfindungsgemäßen
Ausführungsform sind selbstverständlich Abweichungen möglich. Beispielsweise eignet sich die anhand von Fig. 2
beschriebene Wandlerstruktur zur Verwendung in Verbindung mit abgeglichenen Sender- oder Empfängerschaltungen, wobei
dann keine der Ka.mmstrukturen auf festem Bezugspotential
gehalten wird. In Fällen, in denen die zugehörige Schaltung nicht abgeglichen und eine Kammstruktur dann auf festem
Potential, beispielsweise Erdpotential gehalten wird, braucht diese Kammstruktur kein abgeschrägtes vorderes Ende zu
besitzen.
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Leerseite
Claims (6)
- PatentansprücheMJ Akustische Oberf lächenwellenanordnung mit einem piezoelektrischen Substrat, auf dessen·einer Oberfläche ein Wandler mit einer Vielzahl von parallelen, lateral im Abstand voneinander angeordneten Elektrodenelementen in zwei verschachtelten Sätzen vorgesehen ist,· wobei jedes Elektrodenelement einen Teil aufweist, der einen Teil eines benachbarten Elektrodenelementes des jeweils anderen Satzes überlappt, wobei sich die Länge der sich überlappenden Teile längs der Oberflächenwellen-Ausbreitungslinie nach einer vorgegebenen Bewertungsfunktion ändert, die eine die sich überlappenden Teile enthaltende Hüllkurve charakterisiert, und wobei jedes Elektrodenelement außerhalb der Hüllkurve an einem Ende mit einer von zwei Busleitungen verbunden ist, die sich entgegengesetzte Seiten des Wandlers markieren, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine der Busleitungen (beispielsweise 46) einen Teil (46a) aufweist, der schräg zur Ausbreitungslinie (48) verläuft und mit einem Endelement (beispielsweise 44a) im Bereich von dessen überlappendem Teil des mit dieser Busleitung verbundenen Elektrodenelementsatzes (38) verbunden ist.
- 2. Oberflächenwellenanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der schräge Teil (beispielsweise 46a) der Busleitung (beispielsweise 46) mit dem Endelement (beispielsweise 44a) des Elektrodenelementsatzes (38) im Bereich der Hüllkurve verbunden ist, wodurch das Ende des Elektrodenelementsatzes abgeschrägt ist.
- 3. Oberflächenwellenanordnung nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Substratoberfläche(34) quer benachbart zum abgeschrägten Ende des Elektrodenelementsatzes (beispielsweise 38) wenigstens eine Hilfs-909828/0647ORIGINAL INSPECTEDelektrodenanordnung (beispielsweise 50) vorgesehen ist, wodurch eine gleichförmige Metallisierungsdichte in einer akustischen Blende einer sich unter dem Wandler (32) und der Hilfselektrodenanordnung (50) ausbreitenden Oberflächenwelle gebildet ist.
- 4. Oberflächenwellenanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis3, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil der Elektrodenelemente (44, 44a) wenigstens eines Elektrodenelementsatzes (beispielsweise 38) in einem zum Ende des Wandlers (32) hin zunehmend abnehmenden Abstand von der Ausbreitungslinie (48) mit der Busleitung (46, 46a) verbunden ist.
- 5. Oberflächenwellenanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis4, dadurch gekennzeichnet, daß beide Elektrodenelementsätze (38, 39) an einem Ende des Wandlers (32) einen abgeschrägten Teil aufweisen und daß benachbart zu den abgeschrägten Enden jeweils eine Hilfselektrodenanordnung (50, 52) vorgesehen ist.
- 6. Oberflächenwellenanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis5, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenelemente (44, 45) mit den Busleitungen (46, 46a, 47, 47a) in linear zunehmenden Abständen von der Ausbreitungslinie (48) verbunden sind.909828/0647
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US86271477A | 1977-12-21 | 1977-12-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2854072A1 true DE2854072A1 (de) | 1979-07-12 |
Family
ID=25339133
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19782854072 Withdrawn DE2854072A1 (de) | 1977-12-21 | 1978-12-14 | Akustische oberflaechenwellenanordnung |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5487495A (de) |
DE (1) | DE2854072A1 (de) |
FR (1) | FR2412984A1 (de) |
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