DE2847186A1 - Thermischer antrieb - Google Patents

Thermischer antrieb

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DE2847186A1
DE2847186A1 DE19782847186 DE2847186A DE2847186A1 DE 2847186 A1 DE2847186 A1 DE 2847186A1 DE 19782847186 DE19782847186 DE 19782847186 DE 2847186 A DE2847186 A DE 2847186A DE 2847186 A1 DE2847186 A1 DE 2847186A1
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insulating varnish
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polyimide
heated
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DE19782847186
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Siegfried Schwarz
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    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00—Ohmic-resistance heating
    • H05B3/20—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater
    • H05B3/22—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater non-flexible
    • H05B3/26—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater non-flexible heating conductor mounted on insulating base
    • G—PHYSICS
    • G12—INSTRUMENT DETAILS
    • G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G12B1/00—Sensitive elements capable of producing movement or displacement for purposes not limited to measurement; Associated transmission mechanisms therefor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01C—RESISTORS
    • H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
    • H01C17/06—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base
    • H01C17/075—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base by thin film techniques
    • H01C17/12—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base by thin film techniques by sputtering
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B2203/00—Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
    • H05B2203/013—Heaters using resistive films or coatings
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    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
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    • H05B2203/017—Manufacturing methods or apparatus for heaters

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)

Description

  • Thermischer Antrieb Die Erfindung betrifft einen thermischen Antrieb der Meß- und Regeltechnik, der über einer Folie, die der Isolierung dient, von eine: Heizer erururt wird.
  • Bei derartigen thermischen Antrieben soll der Wärmewiderstand vom Heizer zu dos zu heizenden Medium klein und gleichmäßig sein, so daß örtliche Überhitzungen vermieden werden und die thermische Flächenbelastung in Zuge der Rationalisierung, Kiniaturisierung vergrößert werden kann.
  • In thermischen Antrieben wird die Heizung vorwiegend mit Heizwicklungen vorgenommen, die mit Kunststoffolie isoliert werden.
  • Seit einiger Zeit sind auch Kunststoffolien bekannt geworden, auf die eine Metallfolie meist in Mäanderform zur Vergrößerung des Widerstands wertes aufgebracht wurde. Der für den Betrieb an Netzspannung erforderliche Widerstandswert ist nur mit großen Flächen möglich. Die Haftung der Metallfolie ist bei Temperaturen ab 150 K in Frage gestellt.
  • In beiden Fällen besteht bei der Heizung die Gefahr der Überhitzung von Heizwiderstand und Isolierfolie, da der Wärmewiderstand vom Heizer zu dem zu beheizenden Medium durch Luftzwischenschichten hoch ist.
  • Die Haftung bekannt gewordener selbstklebender Isolierfolien ist bisher nicht zufriedenstellend.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Luftschichten zwischen Heizer und zu beheizendem Medium auszuschließen.
  • Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß auf das zu boheizende Medium Isolierlack aufgebracht wird, der als Träger des Heizers dient.
  • Um auch hochohmige Heizwiderstände realisieren zu können, wird auf den Isolierlack der Heizer mit Ionenbeschleunigung aufgedampft.Dabei iet auch die Aufbringung von Metallverbindungen mit geringen Temperaturkoeffizionten bzw. ketall-ketalloxyd-Gemischen möglich.
  • Die nit der Erfindung erzielbaren Vorteile beetehen darin, daß auch kleine thermische Antriebe mit hohem Wideretandswert für den Betrieb an Netzspannung realisiert werden können, die außerdem eine große Leistung pro Flächeneinheit zulassen. Auf diese speise können Material und Kosten gespart werden.
  • Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der einzigen Zeich@@@@ dargestellt und wird im folgenden beschrieben.
  • Die Fig. 1 zeigt ein Metallteil (1), das mit Isolierlack (2) t.
  • schichtet wurde, das den Heizer (@) trägt.
  • Bei dem Metallteil (1) handelt es @ic@ z.B. um ein thermisches @@@ metall, das ein- oder mehrmals mit isolierlack @@@ beschichtet wurde.
  • Im allgemeinen auf der Isolierlack anschließend @e@ höheren @@@@@@-turen ausgehärtet werden. Die Aufdampfung der Metallschicht @@@ @@ mit Ionenbeschleunigung im Hochvakuum, wodurch eine größere Hal@@@@ erzielt wird. Als Isolierlack hat sich Polyimidester, wie er bei Lackdrähten verwendet wird, auch bei Temperaturem bew@@@rt.
  • Mit Ionenbeschleunigung aufgedampfte Chromischten ergeben ab@@@bfeste Heizer, die auch ohne weiteren Oberflächenschutz resistent gegen Umwelteinflüsse sind.

Claims (5)

  1. P a t e n t a n s p r ü c h e 1) Thermischer Antrieb der Meß- und Regeltechnik, der iiber eine Folie, die der Isolierung dient, von einem Heizer erwärmt wird, dadurch gekennzeichnet, daß auf das zu beheizende @edium (1) Isolierlack (2) aufgebracht wird, der als Trager des Heizers dient.
  2. 2) Patentanspruch nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß ein thermisches Bimetall mit Isolierlack beschichtet wird und als Träger des Heizers dient.
  3. 3) Patentanspruch nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß ein Verdampfergefaß mit Isolierlack beschichtet wird und als Tr@@@r des Heizers dient.
  4. 4) Patentanspruch nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß als Isolierlack Polyimid bzw. Polyimidester verwendet wird.
  5. 5) Patentanspruch nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, das die Heizfläche durch ionenbeschleunigte Aufdampfung im Hochvakuum gebracht wird.
    6-) Patentanspruch nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, da als Widerstandsmaterial Chrom-Chromoxd-G-emische aufgebracht werden
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0087985A1 (de) * 1982-03-03 1983-09-07 Paul Raymond Goodwin Elektrisch erhitzbare, differentielle thermische Ausdehnungsvorrichtung und/oder Verfahren ihrer Herstellung und/oder Instrumente mit diesen Vorrichtungen
DE3430155A1 (de) * 1984-08-16 1986-02-27 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Indirekt beheiztes bimetall
DE102009024346B4 (de) * 2009-06-09 2017-06-14 Peter Langbein Einrichtung zur Funktionserweiterung von Formgedächtniselementen

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DE3430155A1 (de) * 1984-08-16 1986-02-27 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Indirekt beheiztes bimetall
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