DE2832932A1 - Membran und verfahren zur herstellung einer membran - Google Patents
Membran und verfahren zur herstellung einer membranInfo
- Publication number
- DE2832932A1 DE2832932A1 DE19782832932 DE2832932A DE2832932A1 DE 2832932 A1 DE2832932 A1 DE 2832932A1 DE 19782832932 DE19782832932 DE 19782832932 DE 2832932 A DE2832932 A DE 2832932A DE 2832932 A1 DE2832932 A1 DE 2832932A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- membrane
- metal layer
- area
- layer
- adhesive metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000012528 membrane Substances 0.000 title claims description 86
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 claims description 7
- 229910000952 Be alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 3
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 3
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 12
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 5
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 239000002828 fuel tank Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 2
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 230000009931 harmful effect Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
- F02M69/00—Low-pressure fuel-injection apparatus ; Apparatus with both continuous and intermittent injection; Apparatus injecting different types of fuel
- F02M69/46—Details, component parts or accessories not provided for in, or of interest apart from, the apparatus covered by groups F02M69/02 - F02M69/44
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
- F02M69/00—Low-pressure fuel-injection apparatus ; Apparatus with both continuous and intermittent injection; Apparatus injecting different types of fuel
- F02M69/46—Details, component parts or accessories not provided for in, or of interest apart from, the apparatus covered by groups F02M69/02 - F02M69/44
- F02M69/52—Arrangement of fuel metering devices
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02B—INTERNAL-COMBUSTION PISTON ENGINES; COMBUSTION ENGINES IN GENERAL
- F02B75/00—Other engines
- F02B75/02—Engines characterised by their cycles, e.g. six-stroke
- F02B2075/022—Engines characterised by their cycles, e.g. six-stroke having less than six strokes per cycle
- F02B2075/027—Engines characterised by their cycles, e.g. six-stroke having less than six strokes per cycle four
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Fuel-Injection Apparatus (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Diaphragms And Bellows (AREA)
Description
R.
4846.
Stand der Technik
Es ist bereits eine Membran zur Steuerung eines Mengenteilerund
Zumeßventiles einer Kraftstoffeinspritzanlage vorgeschlagen worden, auf die zur Verstärkung der Membran im Bereich
des Ventilsitzes Plättchen aufgelötet wurden. Neben dem zusätzlichen teueren Aufwand für die Herstellung ergab sich
bei dieser Membran jedoch der Nachteil, daß sich ablösende Plättchen zu einem Ausfall des Ventiles führten und die Membran Eigenspannungen aufwies. Ebenfalls ist bereits vorgeschlagen
worden, eine Membran mit unterschiedlichen Ventildicken auf fotochemischem Wege (Ätzung) herzustellen.
Weiterhin bestand das Problem der Abdichtung der Membran gegegenüber
dem Ventilgehäuse, wozu Dichtpaste diente,, die jedoch
zum Teil in die Arbeitskammer des Ventiles drang und Verstopfungen des Ventiles zur Folge hatte.
Die erfindungsgemäße Membran mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1 hat demgegenüber den Vorteil, daß sie
eine hohe Betriebssicherheit bei gleichzeitigen guten Federeigenschaften
gewährleistet.
Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im Anspruch
1 angegebenen Membran möglich.
Vorteilhaft ist die Ausbildung der Membran aus einer Kupfer-Beryllium-Legierung,
da hierdurch erwünschte physikalische Eigenschaften wie Härte, Oberflächengüte und Federeigenschaft
030007/01
gegeben sind und bei der Ausbildung des Ventilgehäuses aus Aluminium annähernd gleiche V/ärmeausdehnungskoef fizienten
vorliegen, so daß durch TemperaturSchwankungen beeinflußte
Steuereigenschaften der Membran vermieden werden.
Vorteilhaft ist weiterhin die Membran im Einspannbereich mit einer gegen das durchströmende Medium beständigen Fotolackschicht,
insbesondere einer Fotopolymerlackschicht (Negativlack) zu versehen, die als Dichtung und Korrosionsschutz zwischen
Membran und Ventilgehäuse dient. Durch den gegenüber dem federnden Bereich dickeren Steuerbereich ist eine höhere
Durchschlagfestigkeit gewährleistet und dadurch weniger Ausfall bei kostengünstiger Herstellung.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung einer Membran nach Anspruch 8 hat den Vorteil, daß die Membran kostengünstig
ohne schädliche Wärmebeeinflussung hergestellt werden kann.
Durch die Unteransprüche 9 bis 13 sind vorteilhafte Weiterbildungen
und Verbesserungen des im Anspruch 8 angegebenen Verfahrens möglich.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung einer Membran nach Anspruch 14 hat ebenfalls den Vorteil, daß die Membran
kostengünstig und ohne schädliche Wärmebeeinflussung hergestellt werden kann.
Zeichnung
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung vereinfacht dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung
-H-
Π30007/0106
näher erläutert. Es zeigen Figur 1, la und 2 eine nach den
erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte Membran, Figur 3 einen Längsssehnitt entlang der Linie III-III in Figur 4 durch
ein Mengenteiler- und Zumeßventil einer Kraftstoffeinspritzanlage Figur 4 einen Querschnitt entlang der Linie TV-IV in
Figur 3.
In den Figuren 1, la und 2 ist beispielsweise eine Membran 5 dargestellt, die nach den weiter unten beschriebenen Verfahren hergestellt ist. Die Membran 5 kann dabei als Einzelmembran
zur Steuerung je eines Membranventiles oder als Mehrfachmembran, wie dargestellt, zur gleichzeitigen Steuerung
mehrerer Membranventile ausgebildet sein. Erfindungsgemäß ist die Membran 5 mit verschiedenen Profildicken versehen.
So weist in Figur 1 in Vorderansicht die Membran 5 einen Membrankörper 41 mit mindestens einem Steuerbereich 42, mindestens
einem den Steuerbereich 42 umgebenden federnden Bereich 43 und mindestens einem den federnden Bereich 43 umgebenden
Einspannbereich 44 auf. Der Steuerbereich 42 hat jeweils eine größere Dicke, als der federnde Bereich 43· Hierdurch wird erreicht, daß der mit mindestens einem Ventilsitz eines Ventils
zusammenwirkende Steuerbereich 42 auch bei hohen Beanspruchungen, insbesondere bei höheren Temperaturen nicht von dem Ventilsitz durchgeschlagen wird und das Ventil ausfällt. Gleichzeitig
gewährleistet der federnde Bereich 43 gute Federeigenschaften
und eine ausreichende Regelempfindlichkeit der Membran. Mit 45 und 46 sind Durchbrüche der Membran 5 dargestellt,
die dazu dienen, die Membran in ihrer Einbaulage zu fixieren oder mit einem Ventilgehäuse zu verschrauben, oder Betätigung^"
elemente durch die Membran zu führen. Erfindungsgemäß ist der Einspannbereich 44 der Membran 5 mit einer gegen das das Ven-
- 5 030007/0106
R.48 4 δ
til durchströmende Medium beständigen Fotolackschicht 47 versehen,
und zwar je nach Verwendung auf der Vorderseite der Membran und der Rückseite der Membran. Figur la zeigt die Rückseite
der Membran 5· Vorzugsweise dient als Fotolack ein Fotopolymerlack
(Negativlack), der eine gute Haftung auf der Membranoberfläche
gewährleistet. Die Fotolackschicht 47 im Einspannbereich
44 der Membran 5 dient im eingebauten Zustand als Dichtung und Korrosionsschutzmittel zwischen der Membran
5 und der Einspannung.
Die Herstellung einer beispielsweise in den Figuren I3 la
und 2 dargestellten Membran soll erfindungsgemäß durch Aufbringen einer haftfesten Metallschicht auf einen beispielsweise
gestanzten Membrankörper 4l erfolgen. Das Aufbringen der haftfesten Metallschicht auf dem Membrankörper 41 kann einerseits
galvanotechnisch oder" andererseits durch Ausscheidung aus einem reduktiven chemischen Bad erfolgen. Sowohl das galvanotechnische
Abscheiden, als auch das Abscheiden von Metall aus einem reduktiven chemischen Bad ohne äußeren Stromkreis
sind bekannte technische Verfahren, so daß eine nähere Erläuterung nicht ei'forderlich ist. Beide Verfahren haben den Vorteil,
daß der federnde Bereich und der Steuerbereich aus unterschiedlichen Materialen bestehen können. Um den Aufbau der
haftfesten Metallschicht nur auf bestimmte Bereich des Membrankörpers 41 zu beschränken, wird der Membrankörper auf seiner
Vorder- und Rückseite in bekannter V/eise mit einer Negativfotolackschicht
versehen und in einer hierfür geeigneten Einrichtung unter Verwendung z.B. einer Fototasche derart belichtet
und fixiert, daß die gewünschte Struktur auf die Fotolackschicht übertragen wird. Im vorliegenden Beispiel ist dann
der Steuerbereich nicht mit einer Fotolackschicht versehen. Taucht man diesen so vorbereiteten Membrankörper 4l in ein
galvanisches Bad, so baut sich auf dem nicht abgedeckten Steu-
030007/0106
erbereich 42 eine haftfeste Metallschicht auf. Vorteilhafterweise dient als Membrankörper 4l eine Kupfer-Beryllium-Legierung
und wird im Steuerbereich 42 Hart-Nickel oder Hart-Chrom als haftfeste Metallschicht aufgetragen.
Für die Funktion der Membran 5 in einem Kraftstoffmengenteilerund Zumeßventil entsprechend den Figuren 3 und 4 ist es noch
erforderlich, die die Steuerbereiche auf der Rückseite der Membran und die federnden Bereiche 43 bedeckende Fotolackschicht
zu entfernen. Die auf dem Einspannbereich 44 verbleibende Fotolackschicht verbleibt als Dichtung und Korrosionsschutzmittel
auf der Membran.
Bei dem weiteren vorgeschlagenen Verfahren wird der wie oben beschrieben mit einer fixierten Fotolackschicht versehene Membrankörper 4l in ein reduktives chemisches Bad getaucht, daß
beispielsweise Nickel oder Chrom abscheidet, so daß sich im Steuerbereich 42 eine auf dem Membrankörper.4l haftfeste Me-.
tallschicht aufbaut. Abschließend wird die Fotolackschicht mit der sich ebenfalls darauf aufgebauten Metallschicht entfernt,
Die Verwendung der erfindungsgemäßen, nach einem der erfindungsgemäßen
Verfahren hergestellten Membran 5 wird anhand der Figuren 3 und 4 beschrieben. Bei dem in den Figuren 3 und 4 dargestellten
Ventil handelt es sich um ein Kraftstoffmengenteiler.-
und Zumeßventil für Brennkraftmaschinen mit einem Gehäuse
oberteil 1 und einem Gehäuseunterteil 3, die durch Schrauben 4 axial zusammengespannt sind. Zwischen das Gehäuseoberteil
1 und das Gehäuseunterteil 3 ist die entsprechend den Figuren 1 und 2 ausgebildete Metallmembran 5 eingespannt, die im Bereich
von gleichmäßig um die Gehäuseachse verteilten axialen Bohrungen, diese in Kammern 7 und 8 teilend als bewegliches
030007/0106
rA-8 4
Ventilteil von Membranventilen dient. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel
handelt es sich um ein Kraftstoffmengenteiler- und Zumeßventil für eine 4-Zylinder-Brennkraftmaschine, also
um vier Membranventile. Der in der Ebene der Membraneinspannung
angeordnete feste Ventilsitz 9 ist Teil eines Ventilsitzträgers 10, der in das Gehäuseoberteil 1 eingeschraubt oder
eingepreßt ist und mit dem Steuerbereich k2 der Membran 5 zusammenwirkend
als Anschlußteil· für Leitungen 30 dient, die zu den Einspritzventilen 31 führen, von denen jeweils nur
eine dargestellt ist. Am Ventilsitzträger 10 stützt sich eine Schraubenfeder 11 ab, die eine möglichst flach verlaufende
Charakteristik hat. Diese Schraubenfeder 11 belastet die Membran über einen Federteller 12 in Öffnungsrichtung, so daß
das Membranventil außer Betrieb geöffnet ist.
Die sich im Gehäuseunterteil befindlichen Kammern 8 sind durch einen nacheinander durch diese Kammern verlaufenden
Ringkanal 13 miteinander derart verbunden, daß der Flüssigkeitsstrom diese Kammern nacheinander durchströmt. Von einem
Kraftstoffbehälter 33 führt eine Leitung 34 über eine
kontinuierlich fördernde Kraftstoffpumpe 35 und ein Anschlußteil· l4 zur ersten der Kammern 8. Von der letzten in Stromrichtung
liegenden Kammer 8 führt über ein Anschlußteil· 37 eine Leitung 38 zu einem Druckhalteventil 39 und von diesem
zurück zum Kraftstoffbehälter 33.
In einer durch die beiden Gehäuseteiie 1 und 3 gehende Axial-,ohrung
16 ist eine Laufbuchse 17 angeordnet. Diese Laufbuchse ist durch eine elastische Dichtbuchse 18, die aus Gummi bestehen
kann gegen Verschieben und Verdrehen gesichert, wozu die Dichtbuchse durch einen Stopfen 19 gegen eine im Gehäuseunterteil
3 gelagerte Scheibe 20 axial· zusammengepreßt wird.
030007/0106
R- 4 8 4 6
In der Laufbuchse 17 gleitet axial gegen die Kraft einer Feder 15 verschiebbar ein Steuerschieber 21, der eine Ringnut
22 hat. Anstelle der Feder 15 könnte auch zur Erzeugung der
Rückstellkraft auf den Steuerschieber 21 Druckflüssigkeit dienen, die durch ein nicht dargestelltes hydraulisches Steuerdrucksystem
gesteuert den Steuerschieber beaufschlagt. In der Laufbuchse 17 befinden sich Längsnuten 23, die durch exakt
gleiche achsparallele Längsschlitze 24 (Steuerschlitze) mit
der Innenbohrung der Laufbuchse verbunden sind. Je nach der
Stellung des Steuerschiebers 21 steuert somit die Ringnut 22 einen mehr oder weniger langen Abschnitt der Steuerschlitze
2k auf. In der Laufbuchse befinden sich außerdem Radialbohrungen 25, die eine ständige Verbindung zwischen der Ringnut
22 und einem in dem Gehäuseunterteil 3 angeordneten Ringkanal 26 herstellen. Von diesem Ringkanal 26 führen im wesentlichen
radial verlaufende Kanäle 27 zum Ringkanal 13, wodurch der Ringkanal 26 mit den Kammern 8 der Membransteuerventile verbunden ist. Die Längsnuten 23 der Laufbuchse 17 sind über Kanäle
28 mit je einer Kammer 7 der Membransteuerventile verbunden, wobei jedem Membransteuerventil eine Längsnut 23 mit
ihrem Steuerschlitz 2k zugeordnet ist und die Kammern 7 der Membransteuerventile voneinander getrennt sind.
Die Wirkungsweise des Kraftstoffmengenteiler- und Zumeßventils
ist folgende:
De Kraftstoff gelangt aus dem Kraftstoffbehälter 33 über
die Leitung 3*1, die kontinuierlich fördernde Pumpe 35 und
das Anschlußteil Ik in eine der Kammern 8 der Membransteuerventile
und strömt von dort durch den Ringkai 13 zu den anderen Kammern 8 der weiteren Membransteuerventile bis er
dann zum Teil über das Anschlußteil 37, die Leitung 38 und
030007/0106
-/- RA 8 * β
das Druckhalteventil 39 > das den Druck im System bestimmt,
zurück zum Kraftstoffbehälter 33 gelangt. Der andere Teil des Kraftstoffes strömt über die Kanäle 27 zu dem Ringkanal
26 und von diesem über die Radialbohrungen 25 in die Ringnut 22 des Steuerschiebers. Die Ringnut 22 öffnet mehr oder
weniger die Steuerschlitze 24, über die der Kraftstoff zugemessen in die Längsnuten 23 und von dort über die Kanäle 28
in die Kammern 7 der Membransteuerventile gelangen kann.
Membransteifigkeit und Kraft der Feder 11 sind so ausgelegt,
daß bei Änderung des vorgesehenen Druckgefälles zwischen den beiden Kammern 7 und 8 der Membransteuerventile sich der
Durchströmquerschnitt zwischen dem Steuerbereich 42 der Membran
5 und dem Ventilsitz so lange ändert, bis das vorgesehene Druckgefälle wieder erreicht ist. Bei diesem Flachsitzventil
ist dieses in außerordentlich kurzer Zeit erreicht, da schon bei geringem Hub der Membran der Durchflußquerschnitt
stark geändert wird. Bei dem dargestellten Kraftstoffmengenteiler- und Zumeßventil betragen die maximalen Öffnungshübe
für die größte Durchströmmenge ca. 0,1 mm. Die Federkraft ändert sich aufgrund dieses kleinen Hubes nur gering, so daß
die Regelung sehr genau arbeiten kann d.h. das Druckgefälle u;!abhängig von den durchströmenden Mengen nahezu konstant
ist. Die Verwendung von Werkstoffen mit gleichen oder annähernd gleichen Wärmeausdehnungskoeffizienten für Ventilgehäuse
und Membran verhindert durch Temperaturspannungen hervorgerufene Zumeßfehler. Dabei wird vorzugsweise als Gehäusewerkstoff
Aluminium und als Membranwerkstoff eine Kupfer-Beryllij.n-Legierung
verwendet, die weiterhin eine ausreichende Härte, Oberflächengüte und Federeigenschaft gewährleistet.
Die verwendete Kupfer-Beryllium-Legierung besteht etwa aus zwei Gewichtsprozenten Beryllium und dem Rest Kupfer (z.B.
Berylco 25 HT CuBe 2 der Deutschen Beryllium GmbH).
- 10 -
3 0007/0106
- y6 - R. ABAG
Neben der kostengünstigen Herstellung der Membran 5 durch
die beschriebenen Verfahren gestattet die Ausbildung der Membran 5 eine hohe Betriebssicherheit der Membranventile.
Die verstärkte Ausführung der Steuerbereiche 42 verhindert Membranbeschädigungen durch die Ventilsitze infolge von
Druckstößen unter Beibehaltung guter Regeleigenschaften aufgrund der guten Pedereigenschaften des mit geringerer
Profildicke ausgebildeten federnden Bereiches 43. Vorteilhaft
ist ebenfalls, die für die Herstellung der Membran erforderliche Potolackschicht auf der Vorder- und der Rückseite
der Membran im Einspannbereich 44 zu belassen, da die beispielsweise gegen Kraftstoff beständige Fotolackschicht
bei der Einspannung der Membran 5 zwischen das Gehäuseoberteil 1 und das Gehäuseunterteil 3 als Dichtschicht und Korrosionsschutzschicht
dient.
Die nach den beschriebenen Verfahren hergestellte Membran
ist nicht nur geeignet wie beschrieben als Ventilmembran zu dienen, vielmehr ergeben sich auch andere Verwendungsmöglichkeiten,
z.B. als bewegliches Glied einer Schalt- oder Betätigungsvorrichtung oder als elektrischer Kontakt eines
elektrischen Schalters.
030007/0106
Claims (1)
- R. 48 4 511.7.1978 Xh/HtROBERT BOSCH GMBH, 7000 Stuttgart 1AnsprücheMembran mit mindestens einem Einspannbereich, mindestens einem federnden Bereich und mindestens einem Steuerbereich, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (5) durch einen Membrankörper (4l) gebildet wird, auf dem mindestens teilweise eine haftfeste Metallschicht aufgebracht ist.2. Membran nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die haftfeste Metallschicht insbesondere im Steuerbereich (42) aufgebracht ist.3- Membran nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Steuerbereich (42) eine größere Dicke aufweist, als der federnde Bereich (43).4. Membran nach einem der Ansprüche 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die haftfeste Metallschicht galvanotechnisch auf dem Membrankörper (41) aufgebracht ist.5. Membran nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Einspannbereich (44) und der federnde030007/0106ORIGINAL INSPECTED-2- R. 4 04 6Bereich (43) der Membran (5) mit einer Fotolackschicht, insbesondere einer Fotopolymerlackschicht (Negativlack) versehen ist j die gegen das Medium beständig ist, mit dem die Membran (5) bei ihrer Verwendung in Berührung kommt.6. Membran nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet j daß der Membrankörper (41) aus einer Kupfer-Beryllium-Legierung besteht.7. Membran nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß als haftfeste Metallschicht Nickel oder Chrom dient.8. Verfahren zur Herstellung einer insbesondere nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 7 ausgebildeten Membran, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran durch galvanotechnisches Aufbringen einer haftfesten Metallschicht auf einen K ..nbrankörper (41) hergestellt wird.9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung der Membran (5) der Membrankörper (41) auf der Vorder- und Rückseite teilweise mit einer Fotolackschicht versehen ist.030007/0106- 3 - R.48 4510. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß als Fotolack ein gegen das Medium, mit dem die Membran (5) bei ihrer Verwendung in Berührung kommt, beständiger Fotolack, insbesondere Fotopolymerlack (Negativlack), verwendet wird.11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die haftfeste Metallschicht auf die von der Fotolackschicht nicht bedeckten Bereiche des Membrankörpers (4l) aufgebracht wird.12. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß als Membrankörper eine Kupfer-Beryllium-Legierung verwendet wird.13. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß als haftfeste Metallschicht Nickel oder Chrom auftragbar ist.lH. Verfahren zur Herstellung einer, insbesondere nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 7 ausgebildeten Membran, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran durch Aufbringen einer haftfesten Metallschicht auf einen Membrankörper (1H) in einen reduktiven chemischen Bad hergestellt wird.030007/0106-H- R.15· "Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung der Membran (5) der Membrankörper (hl) auf der Vorder- und Rückseite teilweise mit einer Potolackschxcht versehen ist.30007/0106
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19782832932 DE2832932A1 (de) | 1978-07-27 | 1978-07-27 | Membran und verfahren zur herstellung einer membran |
| US06/053,565 US4317559A (en) | 1978-07-27 | 1979-06-29 | Membrane for a valve and methods of fabricating a membrane |
| FR7918382A FR2434317A1 (fr) | 1978-07-27 | 1979-07-16 | Membrane et procede pour la realisation d'une membrane |
| GB7926159A GB2027172B (en) | 1978-07-27 | 1979-07-26 | Diaphragm and process for the manufacture thereof |
| JP9514879A JPS5520994A (en) | 1978-07-27 | 1979-07-27 | Diaphragm and its manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19782832932 DE2832932A1 (de) | 1978-07-27 | 1978-07-27 | Membran und verfahren zur herstellung einer membran |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE2832932A1 true DE2832932A1 (de) | 1980-02-14 |
Family
ID=6045505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19782832932 Withdrawn DE2832932A1 (de) | 1978-07-27 | 1978-07-27 | Membran und verfahren zur herstellung einer membran |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4317559A (de) |
| JP (1) | JPS5520994A (de) |
| DE (1) | DE2832932A1 (de) |
| FR (1) | FR2434317A1 (de) |
| GB (1) | GB2027172B (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19824791A1 (de) * | 1998-06-03 | 1999-12-16 | Kayser Automotive Systems Gmbh | Tankschutzventil |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA1192174A (en) * | 1981-10-14 | 1985-08-20 | William L. Sheppard | Magnetic air valve |
| US4960674A (en) * | 1984-12-17 | 1990-10-02 | Johnson Service Company | Method of fabricating fluidic plates and devices by irradiation of photopolymers |
| US4628576A (en) * | 1985-02-21 | 1986-12-16 | Ford Motor Company | Method for fabricating a silicon valve |
| US4647013A (en) * | 1985-02-21 | 1987-03-03 | Ford Motor Company | Silicon valve |
| US4646700A (en) * | 1985-04-17 | 1987-03-03 | Walbro Corporation | Pressure regulator for liquid fuel system |
| DE3705060C1 (de) * | 1987-02-18 | 1988-03-03 | Alfmeier Walter Gmbh & Co | Unterdruckverteilerdose |
| DE8713570U1 (de) * | 1987-10-09 | 1987-12-10 | Triton Belco AG, 2000 Hamburg | Vorrichtung (Ventil) zur Absaugung von Flüssigkeiten, insbesondere von sanitären Flüssigkeiten |
| US5423631A (en) * | 1992-03-24 | 1995-06-13 | Ngk Insulators, Ltd. | Antifouling structures |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH108547A (fr) * | 1923-10-02 | 1925-01-16 | Boillat Arnaldo | Robinet à membrane élastique. |
| US2520386A (en) * | 1944-07-17 | 1950-08-29 | Detroit Lubricator Co | Refrigeration expansion valve |
| US2765230A (en) * | 1953-02-25 | 1956-10-02 | Buckbee Mears Co | Method of forming matrices for the electrodeposition of grids |
| FR1521091A (fr) * | 1966-04-28 | 1968-04-12 | Perfectionnements aux membranes de détection et de mesure de pressions différentielles et de champs électriques | |
| GB1210065A (en) * | 1967-03-31 | 1970-10-28 | I V Pressure Controllers Ltd | Improvements in or relating to diaphragms |
| US3430613A (en) * | 1967-06-26 | 1969-03-04 | Standard Screw | Chrome-plated metering valve |
| US3950569A (en) * | 1972-05-05 | 1976-04-13 | W. R. Grace & Co. | Method for preparing coatings with solid curable compositions containing styrene-allyl alcohol copolymer based polythiols |
| US3791340A (en) * | 1972-05-15 | 1974-02-12 | Western Electric Co | Method of depositing a metal pattern on a surface |
| US3832176A (en) * | 1973-04-06 | 1974-08-27 | Eastman Kodak Co | Novel photoresist article and process for its use |
| US3918495A (en) * | 1973-11-14 | 1975-11-11 | Waters Associates Inc | Novel gasket and valve comprising same |
| DE7629406U1 (de) * | 1976-09-21 | 1978-03-16 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Ventil mit einer einstellvorrichtung |
| US4126295A (en) * | 1976-09-22 | 1978-11-21 | International Telephone And Telegraph Corporation | Ball valve having metal seat rings |
| US4107351A (en) * | 1976-10-15 | 1978-08-15 | Rca Corporation | Method of depositing or repairing a patterned metal layer on a substrate |
-
1978
- 1978-07-27 DE DE19782832932 patent/DE2832932A1/de not_active Withdrawn
-
1979
- 1979-06-29 US US06/053,565 patent/US4317559A/en not_active Expired - Lifetime
- 1979-07-16 FR FR7918382A patent/FR2434317A1/fr active Granted
- 1979-07-26 GB GB7926159A patent/GB2027172B/en not_active Expired
- 1979-07-27 JP JP9514879A patent/JPS5520994A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19824791A1 (de) * | 1998-06-03 | 1999-12-16 | Kayser Automotive Systems Gmbh | Tankschutzventil |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2027172A (en) | 1980-02-13 |
| US4317559A (en) | 1982-03-02 |
| JPS5520994A (en) | 1980-02-14 |
| GB2027172B (en) | 1982-10-06 |
| FR2434317A1 (fr) | 1980-03-21 |
| FR2434317B1 (de) | 1983-03-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE4422942B4 (de) | Vorrichtung für den Antrieb eines Mikroventils | |
| EP0487944B1 (de) | Sicherheitsventil | |
| DE2707134C2 (de) | ||
| EP2277089B1 (de) | Druckstellglied, insbesondere farbdruckregler oder beschichtungsmittelventil | |
| DE2029912A1 (de) | Ventil | |
| DE2832932A1 (de) | Membran und verfahren zur herstellung einer membran | |
| DE102012002921A1 (de) | Servoventil | |
| DE69018251T2 (de) | Vorrichtung mit elektromagnetischem hochgeschwindigkeitsventil. | |
| DE3244920A1 (de) | Einrichtung zum veraendern der auf ein stellglied einwirkenden kraft | |
| DE3317810A1 (de) | Einrichtung zur aenderung des druckes im reifen eines fahrzeuges | |
| DE2303286A1 (de) | Hydraulische steuereinrichtung | |
| DE2441048C3 (de) | Membranventil | |
| DE3612684C2 (de) | ||
| EP0059905B2 (de) | Sicherheitsventil | |
| DE1650575C3 (de) | Hydraulische Servolenkung für Kraftfahrzeuge | |
| DE2357263C2 (de) | Kraftstoffeinspritzanlage für Brennkraftmaschinen | |
| DE2813112A1 (de) | Membran und verfahren zur herstellung einer membran | |
| DE102013226586A1 (de) | Ventil mit einem Verbindungselement | |
| DE3404189A1 (de) | Von einem regelbaren elektromagnet betaetigtes hydraulisches ventil | |
| DE69402116T2 (de) | Durchflussregelventil | |
| DE2833788C2 (de) | Mehrkreis-Schutzventil für Bremsanlagen von Kraftfahrzeugen | |
| DE2145482C3 (de) | Metallische Flachdichtung, insbesondere Zylinderkopfdichtung für Verbrennungskraftmaschinen | |
| DE29517768U1 (de) | Wegeventil zur Steuerung eines Druckmittelstroms | |
| DE3913990C1 (en) | Liq. stop valve with cylindrical housing - which has end inlet and outlet, hollow valve seat, guide near inlet, and hollow valve plug | |
| DE8703065U1 (de) | Vorrichtung zur weitgehenden Konstanthaltung des Flüssigkeitsdrucks in einem Kreislauf, insbesondere in einem Kraftstoffeinspritzsystem einer Brennkraftmaschine |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |