DE2806929C2 - Fluidbetätigter Servomotor mit Nachlaufsteuerung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen fluidbetätigten Servomotor mit Nachlaufsteuerung, bestehend aus einem Arbeitszylinder und einem doppelwirkenden Arbeitskolben, die relativ zueinander axial verschiebbar sind, aus zwei auf einer zylindrischen Mantelfläche eines Steuerkolbens schräg verlaufenden Steuerflächen, die jeweils beiderseits von mit den Stirnflächen des Steuerkolbens in Verbindung stehenden Vertiefungen in der Mantelfläche begrenzt sind und mit je einer Durchtrittsöffnung für das Fluid in der Wand eines Steuerzylinders zur Steuerung der Fluidströmung zwischen Fluidzulaui und Fluidablauf und den beiden Arbeitszylinderkammern beiderseits des Arbeitskolbens zusammenwirken, wobei Steuerzylinder und Steuerkolben zueinander drehbar und axial verschiebbar ausgebildet sind, aus einem mit dem Steuerzylinder bzw. dem Steuerkolben verbundenen und die Relativdrehung zwischen diesen Teilen einleitenden Stellglied, wobei die Anordnung so getroffen ist, daß Stsuerkolben und Steuerzylinder in Abhängigkeit von der axialen Relativbewegung zwischen Arbeitskolben und Arbeitszylinder axial zueinander verstellbar sind.

Ein solcher fluidbetätigter Servomotor mit Nachlaufsteuerung ist aus Fig. 4 der deutschen Patentschrift 1 58 297 bekannt. Hierbei ist der Arbeitskolben in dem zugehörigen Arbeitszylinder axial verschiebbar und weist eine einseitig herausgeführte Kolbenstange auf, die über ein entsprechendes Gestänge mit der Steuerstange des Steuerkolbens verbunden ist. Mit der Steuerstange ist zugleich ein Stellglied so verbunden, daß Stellglied und Steuerstange gemeinsam um die Achse der Steuerstange verdreht werden können, das Stellglied aber axial unverschiebbar ist. Der Steuerkolben ist in einem Steuerzylinder drehbar und axial verschiebbar geführt. Seine Drehbewegung erhält der Steuerkolben von dem Stellglied. Seine axiale Verschiebung dagegen wird dem Steuerkolben als Riickführungswert von der Kolbenstange des Arbeitskolbens direkt zugeführt. Der Steuerkolben weist zwei schraubenförmige Gänge an seinem Umfang auf, die nach den entgegengesetzten Stirnseiten des Steuerkolbens hin offen sind, also mit den dort vorgesehenen Steuerzy linderkammern in Verbindung stehen. Der Fluidzulauf erfolgt in der Mitte der Mantelfläche des Steuerzylinders, während der Fluidablauf an einem Stirnende des Steuerzylinders erfolgt. Die schraubenförmigen Steuerflächen des Steuerkolbens wirken mit Durchtrittsöffnungen für das Fluid zusammen, um die Strömung zwischen dem Fluidzulauf bzw. dem Fluidablauf und den Arbeitszylinderkammern beiderseits des Arbeitskolbens zu steuern.

Während die beiden Durchlrittsöffnungen in der Ruhestellung des Servomotors durch die zugehörigen Steuerflächen gesperrt sind, führt eine einleitende Drehbewegung über das Stellglied zu einer wenigstens teilweisen Freilegung der Durchtrittsöffnungen, wobei je nach Drehrichtung die eine oder die andere Durchtrittsöffnung mit dem Fluidzulauf und die andere mit dem Fluidablauf in Verbindung gebracht wird. Dadurch werden die entgegengesetzten Seiten des

Arbeitskolbens mit unterschiedlichen Drücken beaufschlagt Der Arbeitskolben nimmt daher seine Bewegung in Richtung des Druckgefälles auf. Diese Bewegung wird wiederum über die Kolbenstange des Arbeitskolbens und die Steuerstange des Steuerkolbens auf diesen axial verschiebend übertragen. Die Steuergrößenrückführung ist bestrebt, die anfärgliche Gleichgewichtsstellung wieder herzustellen, in der beide Steuerflächen beide Durchtrittsöffnungen versperren. Bei diesem Servomotor wird also eine eingeleitete Drehbewegung des Stellgliedes in eine lineare axiale Servobewegung umgewandelt

Dieser bekannte Servo-Motor ist relativ aufwendig aufgebaut, wobei das Verhältnis von wirksamer Kolbenfläche des Arbeitskolbens zu den Raumabmessungen für die Baueinheit aus Servomotor und Steuerventil relativ gering ist

Es ist auch bereits bekannt bei einem Servomotor mit Nachlaufsteuerung den Arbeitskolben und den Steuerkolben bzw. die zugehörigen Zylinder in einer Achse liegend auszubilden, wobei die Kolbenstange des Arbeitskolbens zugleich als Steuerkolben bzw. Steuerzylinder verwendet wird (vgl. die FR-PS 22 68 966 bzw. die US-PS 33 54 785). Aus der zuletzt genannten Druckschrift ist es auch bekannt die beiden Durchtrittsöffnungen in der Zylinderwand des Arbeitszylinders ständig mit dem Fluidzulauf bzw. dem Fluidablauf zu verbinden. Dabei sind die Steuerflächen am Umfang der Kolbenstange des Arbeitskolbens angeordnet. Sie stehen über Kanäle mit einer der beiden Stirnflächen des Arbeitskolbens in direkter Strömungsverbindung Bei dem Servomotor nach der US-PS 33 54 785 liegt der Steuerkolben außerhalb des eigentlichen Servomotors und vergrößert dessen Raumabmessungen in axialer Richtung wesentlich. Da die beiden Arbeitszylinderkammern ständig mit dem Fluid beaufschlagt sind, erfolgt auch dann, wenn der Arbeitskolben sich in der Gleichgewichtsstellung befindet, ein ständiger Fluidausfluß. Außerdem ist der Aufbau relativ kompliziert. Bei dem Servomotor nach der franz. Druckschrift ist der Steuerkolben im Inneren des Arbeitskolbens angeordnet. Dadurch ist die effektive Stirnfläche des Arbeitskolbens stark reduziert, so daß hohe Drücke des Fluids erforderlich sind. Dazu kann eine gesonderte Druckmittelpumpe notwendig werden. Bei allen bekannten Servomotoren der in Frage stehenden Art sind die Funktionen der Steuerung und der Arbeitsleistung funktionell und auch mechanisch voneinander getrennt.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Servomotor der eingangs näher bezeichneten Art so weiterzubilden, daß bei wesentlich einfacherem Aufbau vor allem das Verhältnis von wirksamer Kolbenfläche des Arbeitskolbens zu den Raumabmessungen für die Baueinheit aus Servomotor und StPuerkolben deutlich vergrößert wird.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Arbeitskolben und der Arbeitszylinder zugleich als Steuerkolben bzw. als Steuerzylinder ausgebildet sind, die beiden Durchtrittsöffnungen in der Zylinderwand des Arbeitszylinders ständig mit Fluidzulauf bzw. Fluidablauf verbunden sind und die beiden Steuerflächen und die Vertiefungen am Umfang des Arbeitskolbens vorgesehen sind und über Kanäle mit einer der beiden Stirnflächen des Arbeitskolbens in direkter Strömungsverbindung stehen. 6·;

Durch die Ausbildung von Arbeitskolben und Arbeitszylinder zugleich als Steuerkolben bzw. Steuerminder ergibt sich eiis wesentlich einfacherer Aufbau bei geringen Raumabmessungen. Hinzu kommt, daß nunmehr die wirksame Stirnfläche des Arbeitskolbens praktisch weitgehend dem Gesamtdurchmesser der Baueinheit angenähert ist Die Folge ist, daß bei sonst gleicher wirksamer Arbeitsfläche des Arbeitskolbens der fluidbetätigte Servomotor der Erfindung wesentlich geringere Gesamtabmessungen aufweisen kann. Dabei wird eine Abmessungsverminderung nicht nur in der Breite, sondern auch in der axialen Lunge erzielt Wesentlich dafür ist, daß die Rückkoppelung der axialen Verschiebung des Arbeitskolbens auf die Steuerfläche nunmehr innerhalb der Baueinheit erfolgt Ein äußeres Rückkoppelungsgestänge ist nicht erforderlich. Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß die Durchtrittsöffnungen, die mit den Steuerflächen zusammenwirken, nunmehr ständig an Fluidzulauf und Fluidablauf angeschlossen sind. Es bedarf somit keiner zusätzlichen Anschlüsse. Bei dem neuen Servomotor befinden sich die Steuerflächen auf einem im Vergleich zu den bekannten Servomotoren wesentlich größerem Durchmesser, mit der Folge einer wesentlich vergrößerten Steuergenauigkfc't. Nunmehr können bereits kleine Stellbewegungen des Steilgliedes, also entsprechend kleine Winkelbewegungen des Arbeitskolbens, zu entsprechend großen Arbeitsbewegungen des Arbeitskolbens führen. Auch lassen sich die Steuerflächen selbst bei ihrer Anordnung auf einem großen Durchmesser wesentlich genauer und vor allem auch leichter bearbeiten. Mit dem neuen Servomotor lassen sich somit Steuerbewegungen mit wesentlich größerer Genauigkeit wiederholen, da das Verhältnis zwischen der Winkeldrehung des Stellgliedes und der Axialbewegung des Arbeitskolbens mit großer Genauigkeit vorgegeben ist Da die Steuerflächen auf einem großen Durchmesser angeordnet sind, ergibt sich auch eine größere Wahlfreiheit in bezug auf das Verhältnis zwischen Winkeidrehung und Verschiebung des Arbeitskolbens.

Wenn der Arbeitskolben mit einer einseitig nach außen geführten, als Ausgangsglied des Servomotors dienenden Kolbenstange zu einer axial verschiebbai en Einheit verbunden ist, ist die Anordnung vorteilhafterweise so getroffen, daß die Kolbenstange mit dem Arbeitskolben um dessen Achse frei drehbar verbunden ist und der Arbeitskolben eine zur entgegengesetzten Seite aus dem Arbeitszylinder herausgeführte, mit dem Arbeitskolben zu einer drehbaren und axial verschiebbaren Einheit verbundenen Steuerstange aufweist, mit der das Stellglied drehfest verbunden ist. Hierdurch werden Ausgangsglied des Servomotors einerseits und die mit dem Stellglied verbundene Steuerstange andererseits raumsparend in axialer Fluchtung miteinander angeordnet.

Die mit dem Fluidzulauf verbundene Durchtrittsöffnung weist zweckmäßigerweise eine die Breite der zugeordneten Steuerfläche übersteigende lichte Weite auf, wodurch erreicht wird, daß die beiden Arbeitszylinderkammern in der Gleichgewichtsstellung mit dem Fluidzulauf gemeinsam verbunden sind. Die mit dem Fluidablauf verbundene Durchtrittsöffnung weist dagegen vorteilhafterweise eine lichte Weite gleich oder ein wenig kleiner als die Breite der zugeordneten Steuerfläche auf. Dadurch werden in der Gleichgewichtsstellung beide Arbeitszylinderkammern zum Fluidaulauf hin gesperrt. Eine Veränderung der Verhältnisse kann dadurch ermöglicht werden, daß wenigstens eine der mit den Steuerflächen des Arbeitskolbens zusammenwirkenden Durchtrittsöff-

nungen in einer in der Zylinderwand des Arbeitszylinders auswechselbar montierten Einsatzbuchse ausgebildet ist. Die Einsatzbuchse kann auch in der Zylinderwand drehbar angeordnet sein, wobei die zugehörige Durchtrittsöffnung einen unrunden Querschnitt aufweist, so daß durch Verdrehen der Einsatzbuchse der wirksame Öffnutngsquerschnitt verändert werden kann.

Die Erfindung wird im folgenden an Hand schematischer Zeichnungen an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert. Es zeigt ι ο

Fig. 1 einen Längsschnitt durch eine Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Servomotors,

Fig. 2 einen Schnitt längs der Linie H-II der Fig. 1,

Fig. 3 eine Abwicklung der Mantelfläche des Kolbens in der in F i g. 1 wiedergegebenen Stellung,

Fig.4 eine entsprechende Abwicklung nach einer Drehung des Kolbens in bezug auf den Zylinder und

Fig. 5 eine Abwicklung der Mantelfläche des Kolbens nach axialem Verschieben des Kolbens in eine neue Gleichgewichtsstellung.

Der auf der Zeichnung veranschaulichte Servomotor umfaßt einen Arbeitszylinder 1, der an seinem Ende mit Hilfe angebolzter Stirndeckel 2 und 3 verschlossen ist, sowie einen in dem Arbeitszylinder axial verschieblichen und drehbaren Arbeitskolben 4. Der Arbeitszylinder 1 hat zwei sich diametral gegenüberliegende Gewindestutzen für den Fluidzulauf 5 und den Fluidablauf 6. In der Wand des Arbeitszylinders ist eine Durchtrittsöffnung 7 und eine Durchtrittsöffnung 8 vorgesehen, die bei der dargestellten Ausführungsform beide kreisförmigen Querschnitt haben.

In der Mantelfläche des Arbeitskolbens 4 sind zwei Steuerflächen 9 und 10 ausgebildet, die mit der Durchtrittsöffnung 7 bzw. der Durchtrittsöffnung 8 zusammenwirken. Zu beiden Seiten jeder Steuerfläche ist in der Mantelfläche des Arbeitskolbens eine Vertiefung 11, 12, 13 bzw. 14 vorgesehen. Die den Vertiefungen zugekehrten Kanten der Steuerfläche verlaufen bei der gezeigten Ausführungsform längs Schraubenlinien mit einem Steigungswinkel von ca. 45°.

Von dem Boden jeder Vertiefung geht eine radiale Sackbohrung 15, 16, 17 bzw. 18 aus. Die beiden Sackbohrungen 16 und 17 stehen durch achsparallele Bohrungen 19 bzw. 20 in Verbindung mit der zwischen der oberen Stirnfläche des Arbeitskolbens 4 und dem 4S Stirndeckel 2 befindlichen Arbeitszylinderkammer 21. Durch entsprechende achsparallele Bohrungen 22 und 23 sind die radialen Sackbohrungen 15 und 18 und damit die Vertiefungen 11 und 14 mit der gegenüberliegenden Arbeitszylinderkammer 24 verbunden.

Eine Steuerstange 25 ist drehfest am Arbeitskolben 4 befestigt und dichtschließend durch den Stirndeckel 2 hindurch hinausgeführt. Ein hebelförmiges Stellglied 28 hat eine Nabe 27. die mit Hilfe einer Nut 28 in der Steuerstange und einer Feder 29 in der Nabe drehfest mit der Steuerstange 25 verbunden ist. Das Stellglied 26 ist auf nicht näher gezeigte Weise in bezug auf den Stirndeckel 2 axial fixiert, und seine Nabe 27 hat Gleitsitz auf der Steuerstange 25.

Eine Kolbenstange 30 ist dichtschließend durch den bo gegenüberliegenden Stirndeckel 3 des Arbeitszylinders hindurch hinausgeführt Sie ist mit dem Arbeitskolben 4 derart verbunden, daß sie dessen axiale Bewegung in bezug auf den Arbeitszylinder mitmacht sich aber um die Achse des Arbeitskolbens frei drehen kann. Die ιλ Kolbenstange 30 stellt das Ausgangsglied des Servomotors dar, während das Stellglied 26 das Eingangsglied des Servomotors bildet

In der in den F i g. 1 und 3 gezeigten Stellung befindet sich der Arbeitskolben im Gleichgewicht Hierbei kann sich der Einlaßdruck des Fluids, der an der Durchtrittsöffnung 7 wirksam ist, durch die Vertiefungen 11 und 12 und die von diesen ausgehenden Sackbohrungen bzw. Bohrungen 15, 22 und 16,19 zu beiden Arbeitszylinderkammern 21 und 24 fortpflanzen. Dies wird dadurch ermöglicht, daß der Durchmesser der Durchtrittsöffnung 7, wie aus Fig.3 am besten ersichtlich ist, etwas größer ist als die Breite der mit dieser Öffnung zusammenwirkenden Steuerfläche 9 in rechtwinklig zu den Kanten dieser Steuerfläche verlaufender Richtung. Der Durchmesser der Durchtrittsöffnung 8 ist gleich der oder etwas kleiner als die Breite der Steuerfläche 10, und der Durchtritt von den beiden Arbeitszylinderkammern zum Fluidablauf 6 ist deshalb gesperrt

Durch Drehen des Stellgliedes 26, das z. B. mit dem Drehzahlregler einer nicht dargestellten Brennkraftmaschine verbunden sein kann, wird die Steuerstange 25 und damit der Arbeitskolben 4 um einen entsprechenden Winkel gedreht, z. B. in die in F i g. 4 veranschaulichte Stellung. Hierdurch wird die Verbindung zwischen der Durchtrittsöffnung 7 und der Arbeitszylinderkammer 24 unterbrochen, während durch die Bohrung bzw. Sackbohrung 23, 18 und die Vertiefung 14 eine Verbindung zwischen dieser Arbeitszylinderkammer und der Durchtrittsöffnung 8 hergestellt wird. Von der Durchtrittsöffnung 7, die dann in größerem oder kleinerem Ausmaß (abhängig von dem Winkel, um den der Arbeitskolben gedreht wurde) in freier Strömungsverbindung mit der Vertiefung 12 steht, strömt Fluid unter Druck durch die Sackbohrung bzw. Bohrung 16, 19 zur Arbeitszylinderkammer 21, so daß der Arbeitskolben 4 mit der Kolbenstange 30 nach unten bewegt wird. Diese Bewegung dauert an, bis der Arbeitskolben die in F i g. 5 gezeigte Stellung einnimmt in welcher die Durchtrittsöffnung 8 wieder durch die Steuerfläche 10 gesperrt wird, während die Durchtrittsöffnung 7 mit der Steuerfläche 9 fluchtet Unmittelbar vor Abschluß der Bewegung wird, analog mit dem in F i g. 3 Dargestellten, eine Strömungsverbindung von der Durchtrittsöffnung 7 zu der Vertiefung 11 und weiter zur Arbeitszylinderkammer 24 hergestellt während gleichzeitig der Strömungsdurchtritt zu der Vertiefung 12 und zu der Arbeitszylinderkammer 21 zunehmend eingeengt wird. Dadurch wird die axiale Bewegung des Arbeitskolbens 4 gedämpft. In seiner Endlage, die in Fig.5 veranschaulicht ist, wird der Arbeitskolben, wie in F i g. 3, an beiden seinen Stirnflächen mit dem Arbeitsdruck des Fluids beaufschlagt

Es ist unmittelbar verständlich, daß ein Drehen des Stellgliedes 26 und damit des Arbeitskolbens 4 in entgegengesetzter Richtung ein axiales Verschieben des Arbeitskolbens in entgegengesetzter Richtung, d.h. nach oben, bewirkt

Es sei erwähnt daß der Arbeitskolben 4 gegen axiale Bewegung gesichert sein könnte, so daß der Arbeitszylinder das Ausgangsglied des Servomotors bildete. Das Stellglied könnte auch den Zylinder drehen. Dann müßte der Arbeitskolben gegen Drehung gesichert sein. Die Steigung der schrägen Kanten, welche die beiden Steuerflächen begrenzen, kann von den dargestellten 45° abweichen. Es ist ersichtlich, daß die Größe der Steigung das Verhältnis zwischen der Eingangsbewegung (Drehung) und der Ausgangsbewegung (der axialen Verschiebung) des Servomotors bestimmt Die Kanten könnten eine über ihre Länge variierende Steigung aufweisen, wodurch das soeben erwähnte

Verhältnis in Abhängigkeit von der axialen Lage des Arbeitskolbens in bezug auf den Arbeitszylinder variiert. Durch Änderung des Verhältnisses zwischen den Abmessungen der Durchtrittsöffnungen 7 und 8 in der Wand des Arbeitszylinders und der Breite der Steuerflächen 9 und 10 kann man, wie oben bereits erwähnt, teils die Dämpfung der axialen Bewegung, teils die tote Zone des Servomotors variieren, innerhalb welcher eine Drehung des Arbeitskolbens keine axiale Bewegung mit sich führt.

Obwohl der Arbeitskolben in der dargestellten Ausführungsform mit vier separaten Vertiefungen 11 — 14 ausgebildet ist, liegt es auf der Hand, daß diese paarweise zusammenhängend ausgebildet sein können, da die Vertiefungen 11 und 14 beide mit der Arbeitszylinderkammer 24 in Verbindung stehen, während die Vertiefungen 12 und 13 beide mit der Arbeitszylinderkammer 21 verbunden sind. Die Verbin-

düngen zwischen den jeweiligen Vertiefungen und Arbeitszylinderkammern könnten als Nuten in der Mantelfläche des Arbeitskolbens anstatt, wie gezeigt, in der Form von sich durch das Innere des Arbeitskolbens erstreckenden Bohrungen ausgeführt sein. Es versteht sich, daß um die Steuerstange 25 und die Kolbenstange 30 herum in die Stirndeckel 2 bzw. 3 nicht eingezeichnete Dichtungselemente eingebaut sind. Entsprechende Dichtungselemente können auch, falls erforderlich, in die Mantelfläche des Arbeitskolbens eingesetzt werden. In Anbetracht des relativ niedrigen Arbeitsdruckes, der in vielen Fällen erforderlich ist, läßt sich der Arbeitskolben ggf. ganz aus Kunststoff oder als eine auf einen Kern aus Stahl oder einem anderen Metall aufgepreßte Kunststoffbuchse anfertigen. Es versteht sich ferner, daß der Servomotor je nach den Gegebenheiten mit hydraulischem oder pneumatischem Fluid betrieben werden kann.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (6)

Patentansprüche:

1. Fluidbetätigter Servomotor mit Nachlaufsteuerung, bestehend aus einem Arbeitszylinder und einem doppelwirkenden Arbeitskolben, die relativ zueinander axial verschiebbar sind, aus zwei auf einer zylindrischen Mantelfläche eines Steuerkolbens schräg verlaufenden Steuerflächen, die jeweils beiderseits von mit den Stirnflächen des Steuerkolbens in Verbindung stehende Vertiefungen in der Mantelfläche begrenzt sind und mit je einer Durchtrittsöffnung für das Fluid in der Wand eines Steuerzylinders zur Steuerung der Fluidströmung zwischen Fluidzulauf und Fluidablauf und den beiden Arbeitszylinderkammern beiderseits des Arbeitskolbens zusammenwirken, wobei Steuerzylinder und Steuerkolben zueinander drehbar und axial verschiebbar ausgebildet sind, aus einem mit dem Steuerzylinder bzw. dem Steuerkolben verbundenen und die Relativdrehung zwischen diesen Teilen einleitenden Stellglied, wobei die Anordnung so getroffen ist, daß Steuerkolben und Steuerzylinder in Abhängigkeit von der axialen Relativbewegung zwischen Arbeitskolben und Arbeitszylinder axial zueinander verstellbar sind, dadurch geker;nzeichnet, daß der Arbeitskolben (4) und der Arbeitszylinder (1) zugleich als Steuerkolben bzw. als Steuerzylinder ausgebildet sind, die beiden Durchtrittsöffnungen (7, 8) in der Zylinderwand des Arbeitszylinders ständig mit Fluidzulauf bzw. Fluidablauf (5 bzw. 6) verbunden sind und die beiden Steuerflächen (9, 10) und die Vertiefungen (11, 14 bzw. 12, 13) am Umfang des Arbeitskolbens vorgesehen sind und über Kanäle mit einer der beiden Stirnflächen des Arbeitskolbens in direkter Strömungsverbindung stehen.

2. Servomotor nach Anspruch 1, bei dem der Arbeitskolben mit einer einseitig nach außen geführten, als Ausgangsglied des Servomotors dienenden Kolbenstange zu einer axial verschiebba- 4» ren Einheit verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Kolbenstange (30) mit dem Arbeitskolben (4) um dessen Achse frei drehbar verbunden ist und der Arbeitskolben (4) eine zur entgegengesetzten Seite aus dem Arbeitszylinder herausgeführte, mit dem Arbeitskolben zu einer drehbaren und axial verschiebbaren Einheit verbundenen Steuerstange (25) aufweist, mit der das Stellglied (26) drehfest verbunden ist.

3. Servomotor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die mit dem Fluidzulauf verbundene Durchtrittsöffnung (7) eine die Breite der zugeordneten Steuerfläche (9) übersteigende lichte Weite aufweist.

4. Servomotor nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die mit dem Fluidablauf verbundene Durchtrittsöffnung (8) eine lichte Weite gleich oder ein wenig kleiner als die Breite der zugeordneten Steuerfläche (10) aufweist.

5. Servomotor nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine der mit den Steuerflächen (9, 10) des Arbeitskolbens (4) zusammenwirkenden Durchtrittsöffnungen (7,8) in einer in der Zylinderwand auswechselbar montierten Einsatzbuchse ausgebildet ist.

6. Servomotor nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine der mit den Steuerflächen (9, 10) des Arbeitskolbens (4) zusammenwirkenden Durchtrittsöffnungen (7, 8) einen unrunden Querschnitt aufweist und in einer in der Zylinderwand drehbaren Einsatzbuchse ausgebildet ist.