DE2707968C2 - Verfahren zum Empfang von Ultraschallwellen unter einem vorbestimmten Auftreffwinkel - Google Patents

Verfahren zum Empfang von Ultraschallwellen unter einem vorbestimmten Auftreffwinkel

Info

Publication number
DE2707968C2
DE2707968C2 DE2707968A DE2707968A DE2707968C2 DE 2707968 C2 DE2707968 C2 DE 2707968C2 DE 2707968 A DE2707968 A DE 2707968A DE 2707968 A DE2707968 A DE 2707968A DE 2707968 C2 DE2707968 C2 DE 2707968C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sound
incidence
ultrasonic waves
angle
grid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE2707968A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2707968A1 (de
Inventor
Walter Dipl.-Ing. 5000 Köln Kaule
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Krautkraemer GmbH
Original Assignee
Krautkraemer GmbH and Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Krautkraemer GmbH and Co filed Critical Krautkraemer GmbH and Co
Priority to DE2707968A priority Critical patent/DE2707968C2/de
Priority to US05/856,336 priority patent/US4121470A/en
Priority to JP2079778A priority patent/JPS549679A/ja
Publication of DE2707968A1 publication Critical patent/DE2707968A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2707968C2 publication Critical patent/DE2707968C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01HMEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H9/00Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/22Details, e.g. general constructional or apparatus details
    • G01N29/24Probes
    • G01N29/2418Probes using optoacoustic interaction with the material, e.g. laser radiation, photoacoustics
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/04Wave modes and trajectories
    • G01N2291/042Wave modes
    • G01N2291/0423Surface waves, e.g. Rayleigh waves, Love waves

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)

Description

dadurch gekennzeichnet,
daß als optischer Empfänger ein Laufzeitinterferometer verwendet wird,
daß der auf dem optischen Empfänger abgebildete Teil der Werkstückoberfläche, von dem aus dem Werkstück eine ebene oder quasi-ebenc Ultraschallwelle mit der Wellenlänge λ unter einem Auftreffwinkel « auf die Werkstückoberfläche empfangen wird, streifenförmig in Form eines Gitterbildes mit Hilfe des Laserstrahls beleuchtet wird, daß die Lichtstege des Gitterbildes mit den Stellen gleichphasiger Schwingungszustände der Oberfläche zur Deckung gebracht werden, wobei der gleichmäßige Gitterabstand d in Abhängigkeit des Auftreffwinkels χ und/ oder der Ultraschallweiienlänge λ durch die Formel
sin α
bestimmt ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß die auf den Stellen gleichphasiger Schwingungszustände liegenden, in dem Empfänger abgebildeten Lichtstege des Gitterbildes bei vorgegebenem Auftreffwinkel χ der ebenen oder quasi ebenen Ultraschallwellen im Werkstück relativ zur Werkstückoberfläche, einzeln und zeitlich nacheinander von dem Laufzeitinterferometer verarbeitet werden, wobei sich die Verzögerungszeiten Jt der zeitlich nacheinander erfolgenden Verarbeitung in Abhängigkeit von der Schallgeschwindigkeit (c) im Werkstück, des Gitterabstandes d und des Auftreffwinkels «durch die Formel
Al
bestimmt.
rf sin α
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Empfang von Ultraschallwellen unter einem vorbestimmten Auftreffwinkel nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Bei der zerstörungsfreien Prüfung von nicht oder schlecht zugänglichen Werkstücken, einschließlich solcher mit heißer Oberfläche mit Ultraschallwellen, ist es notwendig, die Schallwelle, die nicht über flüssige Ankopplungsmittel zum Schallempfänger geleitel werden kann, berührungslos zu empfangen. Als Ankopplung mittel kommen nur Gase in Frage, die aber wegen di enorm großen Unterschiedes der Schallwellenwide stände zwischen Gas und festem Körper ein Übertrage s der Schallwelle nicht erlauben, auch werden in de Werkstoffprüfung mit Ultraschall nicht nur lotrecht zi Oberfläche verlaufende Schallwellen angewendet, sor dem häufig Schallwellen, deren Ausbreitungsrichtung ι einem Winkel zum Oberflächenlot liegt Die Winkel d< Schallausbreitungsrichtung sind gegeben durch die ü ge der nachzuweisenden Ungänzen. Demzufolge mu der Schallempfänger in seiner Richtcharakteristik, d. > in der räumlichen Verteilung seiner Empfindlichkei dem Auftreffwinkel der Schallwellen auf die Oberfläch des Werkstückes tntsprechen.
Berührungslos arbeitende Empfangsverfahren fü lotrecht auf die Oberfläche auftreffende Schallwelle! sind an sich bekannt, wobei die Auslenkung der Oberfl« ehe durch die Beeinflussung der Schallwelle gemesse werden kann (vgl. »Werkstoffprüfung mit Ultraschall von I. u. H. Krautkrämer, 3. Auflage 1975, Springer Ve: lag, Berlin/Heidelberg, Seite 169, ebenfalls DE-Ol ?4 57 253).
Bei einem Verfahren eingangs genannter Art werdei
unter Einfluß einer Schallwelle entstehenden Auslen kungen unter Verwendung eines streifenförmigen Git
ters im Strahlengang gemessen, wobei die Streifen bzw]
Lichtstege einen gleichmäßigen Abstand haben und i
optischen Strahlengang ein Laserstrahl verwendet wii sowie das Werkstück durch Ultraschall mit Hilfe dei
Ultraschallsender beschallt ist. Allerdings haben hier die Ultraschallsender eine spezielle Anordnung dahinge
hend, um im Werkstück Oberflächenwellen zu erzeu gen. Ferner ist bei der bekannten Anordnung zwischer
Werkstückoberfläche und optischem Empfänger ein« Vielzahl von optischen Richtelementen verwendet so
wie das Gitter mit vorbestimmtem Abstand zur Werk
Stückoberfläche angeordnet. Die Bedingung gerad« Oberflächenwellen zu erzeugen, erschwert die Prüfung
und schränkt das Ergebnis ein. Insbesondere können
Oberflächenwellen nicht tiefer im Werkstück liegende Fehler erfassen (Applied Optics, Band 8, Nr. 8, Augus
1969, Seiten 1567-1576).
Ferner ist ein Verfahren zur Bestimmung der Ober flächengestalt bekannt, bei dem ein aus Streifen mi gleichmäßigem Abstand bestehendes Gitter auf die ζ untersuchende Oberfläche projiziert und dieses Gitter-1 bild von einem optischen Empfangssystem verarbeite wird. Hierbei liegt das Gitter zwar im Strahlengang zwisehen der Laserquelle und einem Werkstück. Allerdings wird in das Werkstück kein Ultraschall eingeschallt und es sollen die drei Dimensionen der gekrümmten Oberfläche des Werkstücks bestimmt werden, der mangels Ultraschalleinwirkung an der Oberfläche keine Auslenkungen erzeugt und auch in der Tiefe liegende Werkstoffehler auf diese Weise nicht erfaßt werden sollen (DE-OS 26 20 330).
Ferner ist eine elektronische als Signalprozessur dienende Schaltung zur Darstellung einer Ultraschallabbileo dung bekannt, bei der der Empfängerteil eine Vielzahl von Empfängereinheiten aufweist, die an eine Phasenwählschaltung angeschlossen sind, um bestimmte Ver· zögerungswcrte auszuwerten, so daß je nach Auswahl, benachbarte Empfänger oder Sender bestimmte Richtbereiche erfassen. Allerdings wird kein optischer Empfänger bzw. ein Gitter eingesetzt, so daß sich das eingangs gestellte Problem, die zerstörungsfreie Werkstoffprüfung auf Werkstücke zu erstrecken, die schierht
zugänglich sind bzw. eine heiße Oberfläche haben, sich nicht stellt (US-PS 40 05 382).
Ferner ist es bekannt, daß durch Abdeckung von Oberflächenzonen, welche in definierten Phasenlagen zueinander schwingen, nur Schwingungen selektiert werden, die bei Oberlagerung eine Schallausbreitung (Lichtausbreitung) in vorbestimmten, von der Abdekkung abhängigen Richtungen erzeugen. Aus diesem eilgemeinen physikalischen Fachwissen kann man aber nicht allein ohne besondere Überlegungen auf ein spezielles Problem der Werkstoffprüfung und ihre Lösung schließen (L Bergmann: »Der Ultraschall«; 6. Auflage; 1954; S. 325-329).
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einem Verfahren eingangs genannter Art in einem Verfahren der zerstörungsfreien Werkstoffprüfung für schlecht zugängliche oder eine heiße Oberfläche aufweisende Werkstücke eine verläßliche und betriebssichere sowie hochempfindliche Messung durchzuführen, welche in maximaler Weise einen vorgegebenen Auftreffwinkel ausnutzt.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im Kennzeichen des Patentanspruchs 1 angegebenen Maßnahmen gelöst. Eine vorteilhafte Ausgestaltung ist in dem Unteranspruch dargestellt.
Zum Erfindungsgegenstand leitet folgende Betrachtung über: Wird vom Innern eines Prüfstücks ein Oberflächenbereich des Prüfstücks derart beschallt, daß der Schallstrahl lotrecht auf die Prüfstückoberfläche trifft, so werden die Oberflächenelemente im Takt der Schallwelle, sofern die Oberfläche eben ist und die Schallwelle ebene Wellenfronten hat, phasengleich auf und ab schwingen. Diese Schwingung ist z. B. mit einem Interferometer, vgl. J. & H. Krautkrämer »Werkstoffprüfung mit Ultraschall«, als Oberflächenauslenkung meßbar. Trifft die Schallwelle die Oberfläche aber unter einem Winkel, so schwingen nicht sämtliche Oberflächenelemente in gleicher Phase, sondern es schwingen nur die Elemente gleichsinnig, die einen Abstand d entsprechend der Beziehung
voneinander haben.
Die Verhältnisse sind analog der Beugung einer ebenen Welle an einem Gitter. Nur ist hier die Betrachtung von der anderen Seite her anzustellen.
Die Richtungen maximaler Empfindlichkeit sind dieselben, in die eine Welle durch dieses Gitter gebeugt werden würde.
Hierin ist ζ eine natürliche Zahl und durch die bei der gedachten Beugung nach dem Huygenschen Prinzip entstehenden Interfrequenzen gegeben (z=O für den Beugungsstrahl Nullter-Ordnung, also der nicht gebeugte Strahl, z= 1 für den Beugungsstrahl 1. Ordnung, also dem unter kleinstem Winkel gebeugten Strahl); λ die Schall wellenlänge und λ der Winkel zwischen Lot und abgebeugtem Schallstrahl.
Unter Empfangsfläche wird der geeignet beleuchtete und vom Interferometer erfaßte Teil der Prüfstückoberfläche verstanden; also die Fläche, von der Schallwellen nachgewiesen werden sollen. Das Interferometer integriert über die gösiimte Empfangsfläche und kann nur phasengleiche SchWingungszustände verarbeiten. Das ist nur gegeben bei Schallwellen, die lotrecht auf die Oberfläche treffen. Bei schräg auftreffenden Schallwellen treten innerhalb der Empfangsfläche gegenphasige Schwingungszustände auf, die sich bei der Integration über die Empfangsfläche aufheben. Um in diesem FaI! zu einer Auswertung kommen zu können, müßte man die Empfangsfläche so stark abschatten, daß nur ein Bereich gleichphasiger Schwingungszustände erfaßt ist Nach der Beziehung
d ■ sin««z · Λ
ίο gibt es diese Bereiche, wie bereits erwähnt, mehrmals in der Empfangsfläche im Abstand
sine '
Es ist also nur erforderlich, die Empfangsfläche mit einem Gitterbild zu beleuchten, derart, daß die Lichtstege des Gitterbildes sich mit den Stellen gleichphasiger Schwingungszustände decken und somit einen Abstand dhaben, der sich nach der genannten Formel (1) bzw. (2) aus der Schallwellenlänge und dem Winkel ergibt.
Damit hat man dann in Kombination mit dem optischen Empfänger ein Verfahren geschaffen, das es erlaubt, unter vorgegebenem Winkel eintreffende Ultraschallwellen optimal zu empfangen. Jedoch werden hierbei Schallwellen aus zwei symmetrischen Richtungen zum Einfallslot empfangen, die den Beugungsstrahlen erster Ordnungsymmetrisch zum Lot entsprechen. Will man vermeiden, daß die Empfangseinrichtung in zwei Richtungen empfindlich wird, ist es möglich, in einer anderen Ausgestaltung der Erfindung jedem Lichtstreifen des aufgeleuchteten Gitters eine separate Fotozelle durch geeignete optische Abbildungsmaßnahmen einzeln an sich bekannter Art zuzuordnen. Die Signale von den Fotozellen werden mit einer von Fotozelle zu Fotozelle vorhandenen und konstanten Zeitverzögerung zusammengefaßt. Die Zeitverzögerung ergibt sich aus dem Winkel des Schallstrahls bzw. aus dem Winkel, für den die Empfangseinrichtung empfindlich sein soll, und der Schallgeschwindigkeit. Für die der 1. Beugungsordnung entsprechenden Richtung ist
At -
d < »in α
aus
d · sin Λ=/ί —c · At
Darin sind cdie Schallgeschwindigkeit für die zu empfangenden Wellen und At die Schallaufzeitdifferenz von beleuchtetem Gittersteg zu Gittersteg.
Dieses Verfahren spricht auf nur einen Winkel an. Aus dem spiegelsymmetrisch liegenden Winkelbereich ankommende Störungen werden unterdrückt.
Eine Ausführungsform der Erfindung wird anhand der Zeichnung erläutert, die ein Prüfstück in Seitenansicht sowie den Empfänger und den Laser schematisch in Blockdarstellung zeigt.
eo Will man z. B. aus einem Prüfstück 1 eine Ultraschallwelle mit der Ausbreitungsrichtung 3 unter 30° zum Lot optisch von der Prüfstückoberfläche 2 empfangen, muß der entsprechende Teil der Oberfläche mit einem Lichtgittermuster 4, welches die Empfangsfläche abdeckt und
b5 aus den Gilterstreifen 4a usw. besteht, das hier aus Darstellungsgründen erhaben gezeichnet ist, belichtet werden. Hierzu kann eine Gittermaske auf die entsprechende Stelle der Prüfstückoberfläche aufgelegt werden, es
kann aber auch an anderer Stelle des Strahlenganges des belichtenden Lasers 5 erzeugt werden. Folgende Daten seien gegeben:
SchallwellenlängeΛ=\ mm,
Ausbreitungsgeschwindigkeit der Schallwelle
c= 6000 m/s.
Der Mittenabstand der einzelnen Lichtstreifen ergibt sich dann zu
10
sin 30°
10"3m - 2 mm.
Ais optischer Empfänger 6 ist hier ein Laufzeitinterferometer an sich bekannter Art, wie im Literaturzitat angegeben, verwendet. Diese Anordnung empfängt Schallwellen aus den beiden angedeuteten Richtungen 3 und 3a.
Will man Schallwellen aus der Richtung 3a nicht empfangen, so ist mit den optischen Mitteln des Interferometers 6 jeder der Lichtstreifen 4a bis Ah auf eine separate Fotozelle Ta bis 7ή abzubilden, in unserem Beispiel 8 Stück. Jeder dieser Fotozellen ist ein Kanal des Verstärkers 8 zugeordnet.
Die Wellenfront des Schallstrahls 3 trifft die Empfangsfläche mit dem Lichtgitter 4 am Gitterstreifen Aa zuerst, so daß die Fotozelle 7a. auf die dieser Gitterstreifen abgebildet ist, zuerst ein Signal an den Verstärker 8a gibt, der mit der Zeitverzögerung entsprechend
(n-\)t
mit η=Anzahl der Gitterstreifen, also 7 · 167 ns-1169 ns
30
bei n = 8 das Signal an das summierende Auswerteglied 9 weiterleitet. Um die Zeit i-167 ns trifft die Wellenfront den Gitterstreifen Ab und die Fotozelle 7b. auf die dieser Gitterstreifen abgebildet ist, gibt ein Signal an den Verstärker Sb. das um
6 ■ 167 ns= 1002 ns
verzögert wird.
Dieser Gedankengang ist bis zum letzten Streifen, hier Ah, sinngemäß fortzusetzen, der dann ein nicht verzögertes Signal an das Auswerteglied 9 abgibt In diesem Auswerteglied liegen sämtliche Signale aus 8a bis Sn jetzt gleichzeitig an, so daß sie sich aufsummieren. Bei aus anderen Winkeln als 30° auftreffenden Wellenfronten stimmt die Verzögerjng beim Auf treffen auf die Gitterstreifen nicht mit der Verzögerung der Verstärkerkanäle 8a usw. überein, so daß im Auswerteglied 9 die Signale nicht gleichzeitig vorhanden sind und sich demzufolge nicht addieren. FOr andere Empfangseinrichtungen ist die Verzögerungseit der Verstärkerkanäle entsprechend einzustellen.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

Patentansprüche:
1. Verfahren zum Empfang von Ultraschallwellen aus einem Werkstück unter einem vorbestimmten Auftreffwinkel zur Werkstuckoberfläche bei der zerstörungsfreien Werkstoffprüfung, bei dem die von Ultraschallwellen ausgelenkte Oberfläche durch einen Laserstrahl bestrahlt, die von der Oberfläche reflektierten und durch die Oberflächenauslenkung phasenmodulierten Laserstrahler durch ein im Strahlengang eines berührungslos arbeitenden optischen Empfänger angeordnetes Gitter auf dem Empfänger abgebildet und danach fotoelektrisch als Meßsignalwerte angezeigt werden,
DE2707968A 1977-02-24 1977-02-24 Verfahren zum Empfang von Ultraschallwellen unter einem vorbestimmten Auftreffwinkel Expired DE2707968C2 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2707968A DE2707968C2 (de) 1977-02-24 1977-02-24 Verfahren zum Empfang von Ultraschallwellen unter einem vorbestimmten Auftreffwinkel
US05/856,336 US4121470A (en) 1977-02-24 1977-12-01 Opto-electric sensing means with predetermined directional characteristic for ultrasonic waves
JP2079778A JPS549679A (en) 1977-02-24 1978-02-24 Method of and appatatus for determining presence of ultrasonic wave with optoelectronic detector

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2707968A DE2707968C2 (de) 1977-02-24 1977-02-24 Verfahren zum Empfang von Ultraschallwellen unter einem vorbestimmten Auftreffwinkel

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2707968A1 DE2707968A1 (de) 1978-08-31
DE2707968C2 true DE2707968C2 (de) 1984-12-13

Family

ID=6002055

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2707968A Expired DE2707968C2 (de) 1977-02-24 1977-02-24 Verfahren zum Empfang von Ultraschallwellen unter einem vorbestimmten Auftreffwinkel

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4121470A (de)
JP (1) JPS549679A (de)
DE (1) DE2707968C2 (de)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1980000099A1 (fr) * 1978-06-20 1980-01-24 Sumitomo Metal Ind Methode et appareil de detection supersonique de defauts sans contact
DE3016878C2 (de) * 1980-05-02 1983-01-20 Krautkrämer, GmbH, 5000 Köln Verfahren zum berührungslosen optischen Empfang von Ultraschallwellen
DE3041796A1 (de) * 1980-11-06 1982-05-13 Krautkrämer, GmbH, 5000 Köln Verfahren und vorrichtung zum beruehrungslosen optischen empfang von ultraschallwellen
DE3041875C2 (de) * 1980-11-06 1984-05-10 Krautkrämer GmbH, 5000 Köln Vorrichtung zur Erzeugung von Ultraschallwellen
US4474467A (en) * 1981-12-28 1984-10-02 Itek Corporation Wavefront sensor using a surface acoustic wave diffraction grating
US4541280A (en) * 1982-12-28 1985-09-17 Canadian Patents & Development Ltd. Efficient laser generation of surface acoustic waves
JPS606860A (ja) * 1983-06-15 1985-01-14 Hitachi Ltd 非接触式超音波探傷方法およびその装置
US4641527A (en) * 1984-06-04 1987-02-10 Hitachi, Ltd. Inspection method and apparatus for joint junction states
DE69131528T2 (de) * 1990-05-30 2000-05-04 Hitachi Ltd Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung eines sehr kleinen Bereichs einer Probe
US5402235A (en) * 1993-07-01 1995-03-28 National Research Council Of Canada Imaging of ultrasonic-surface motion by optical multiplexing
US5698787A (en) * 1995-04-12 1997-12-16 Mcdonnell Douglas Corporation Portable laser/ultrasonic method for nondestructive inspection of complex structures
US6628408B1 (en) * 1999-04-15 2003-09-30 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Amplitude measurement for an ultrasonic horn
US7286241B2 (en) * 1999-06-24 2007-10-23 Lockheed Martin Corporation System and method for high-speed laser detection of ultrasound
US7978341B2 (en) * 2003-12-22 2011-07-12 Bossa Nova Technologies, Llc Multi-channel laser interferometric method and apparatus for detection of ultrasonic motion from a surface
WO2006104931A2 (en) * 2005-03-25 2006-10-05 University Of South Florida Multi-beam laser vibrometry triangulation of acoustic sources
GB0610318D0 (en) * 2006-05-24 2006-07-05 Univ Nottingham Transducers
US10048230B2 (en) * 2013-11-14 2018-08-14 The Boeing Company Structural bond inspection

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2457253C2 (de) * 1974-12-04 1982-09-02 Krautkrämer, GmbH, 5000 Köln Optisches interferometrisches Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Messung der durch Ultraschallwellen verursachten Oberflächenauslenkung eines Prüflings
GB1540075A (en) * 1975-05-09 1979-02-07 Rolls Royce Apparatus and a method of determining the shape of a surface
US4005382A (en) * 1975-08-07 1977-01-25 Varian Associates Signal processor for ultrasonic imaging

Also Published As

Publication number Publication date
US4121470A (en) 1978-10-24
DE2707968A1 (de) 1978-08-31
JPS549679A (en) 1979-01-24
JPS5745340B2 (de) 1982-09-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2707968C2 (de) Verfahren zum Empfang von Ultraschallwellen unter einem vorbestimmten Auftreffwinkel
EP0326623B1 (de) Verfahren zum Orten eines Hindernisses
DE60109194T2 (de) Instrument zur messung eines spektrums
EP1606577A1 (de) Verfahren zur berührungslosen dynamischen erfassung des profils eines festkörpers
DE2153315A1 (de) Verfahren zur interferenzspektroskopischen Spektraluntersuchung einer Probe und Interferenz-Spektroskopiegerät zur Durchführung dieses Verfahrens
DE102019103814B3 (de) Vorrichtung zum optischen Messen einer Oberfläche
DE4035168A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der optischen qualitaet einer transparenten platte
DE60307260T2 (de) Verfahren und vorrichtung für die laservibrometrie
DE2723329A1 (de) Vorrichtung zum pruefen von oberflaechen
DE2707933C2 (de) Verfahren zur Erzeugung impulsförmiger ebener Schallwellen vorbestimmter Ausbreitungsrichtung in stark lichtabsorbierenden Werkstücken
DE3209435A1 (de) Vorrichtung zur feststellung punktueller verschiebungen an entsprechend beanspruchten baulichkeiten
EP0491749B1 (de) Vorrichtung zur absoluten zweidimensionalen positionsmessung
DE10318104A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Lappigkeit von Blattgut
DE2450439C3 (de) Einrichtung zur berührungslosen Messung der Geschwindigkeit
DE2709571A1 (de) Auf die intensitaet von ultraschallstrahlung ansprechende einrichtung
EP0398319A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur interferometrischen Detektion von Oberflächenverschiebungen bei Festkörpern
DE2637844C2 (de) Verfahren und Anordnung zur getrennten Auswertung von Bildinhalten nach zwei Koordinatenrichtungen der Bewegung
DE4332022C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum berührungslosen Erfassen der Winkellage eines Objekts, insbesondere beim Vermessen von länglichen Gegenständen
DE3217947C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Risstiefe von Oberflächenrissen
DE2446114A1 (de) System zur bestimmung der querlage von schadstellen an ablaufenden baendern
DE3517044C2 (de)
DE2701054C3 (de) Verfahren zur Fehlerermittlung in Werkstoffen mit hoher Ultraschall-Streuung
DE3322713A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur laufenden messung des rollwinkels eines beweglichen maschinenteiles
DE3716241C2 (de)
DE3041796A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum beruehrungslosen optischen empfang von ultraschallwellen

Legal Events

Date Code Title Description
OD Request for examination
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: KRAUTKRAEMER GMBH, 5030 HUERTH, DE

8339 Ceased/non-payment of the annual fee