DE2659073B2 - Wirbelstrommeßverfahren und -vorrichtung zu Prüfzwecken - Google Patents

Wirbelstrommeßverfahren und -vorrichtung zu Prüfzwecken

Info

Publication number
DE2659073B2
DE2659073B2 DE2659073A DE2659073A DE2659073B2 DE 2659073 B2 DE2659073 B2 DE 2659073B2 DE 2659073 A DE2659073 A DE 2659073A DE 2659073 A DE2659073 A DE 2659073A DE 2659073 B2 DE2659073 B2 DE 2659073B2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
test
signal
frequency
conductivity
reference signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE2659073A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2659073A1 (de
DE2659073C3 (de
Inventor
Gordon Ralph Livonia Mich. Brown (V.St.A.)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kj Law Engineers Inc Farmington Hills Mich (vsta)
Original Assignee
Kj Law Engineers Inc Farmington Hills Mich (vsta)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kj Law Engineers Inc Farmington Hills Mich (vsta) filed Critical Kj Law Engineers Inc Farmington Hills Mich (vsta)
Publication of DE2659073A1 publication Critical patent/DE2659073A1/de
Publication of DE2659073B2 publication Critical patent/DE2659073B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2659073C3 publication Critical patent/DE2659073C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R27/00Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
    • G01R27/02Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/023Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance where the material is placed in the field of a coil
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/72Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
    • G01N27/82Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
    • G01N27/90Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents
    • G01N27/9046Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents by analysing electrical signals

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur elektrischen Messung einer Materialeigenschaft wie der Leitfähigkeit, der Permeabilität, der Materialdicke, der Riß- und Lunkerfreiheit u. dgl. von Prüflingen nach dem Oberbegriff des Anspruches 1 sowie auf eine Vorrichtung zur Durchführung der Messung.
Die Leitfähigkeitsmessung durch induzierten Wirbelstrom unterliegt mannigfaltigen Fehlereinflüssen, und es ist bereits versucht worden, diese Fehler zu kompensieren (GB-PS 10 01 379). Bei diesem bekannten Gerät ist eine Sendeapule, eine Signalquelle und mindestens eine Empfangsspule, ferner ein Meßverstärker und ein Phasen- und Amplitudendetektor vorgesehen, die im zyklischen Betrieb beaufschlagt werden. In einer vorläufigen Einstellperiode wird der Verstärker mit einer Spannung in Phase mit dem durch die Sendespule fließenden Strom beaufschlagt, dann wird das Phasenverhältnis dieser Spannung mit Bezug auf eine erste, an dem Phasen- und Arr.plitudendetektor anlegende Spannung geändert, um Phasenmodifikationen, die durch den tatsächlicher. Verstärker produziert werden, auszugleichen, und dann wird während einer Meßperiode unter Speicherung der vorhergehenden Einstellung das an der Empfangswicklung empfangene Signal angelegt, während der Detektor an einer zweiten Schaltspannung liegt, die um 90° mit Bezug auf die frühere Schaltspannung phasenverschoben is·.. Durch dieses Verfahren werden jedoch lediglich Fehlereinflüsse beseitigt, die von Teilen der Meßapparatur stammen, jedoch werden viele Einflüsse im Zusammenhang mit der induktiven Kopplung zwischen der Spule und dem Prüfling nicht erfaßt.
In der Praxis verwendete Leitfähigkeitsmeßgeräte, die nach dem Prinzip des Wirbelstroms arbeiten, messen die Amplitude des sekundären magnetischen Feldes, welches von der oder den Empfangsspulen aufgenommen wird. Beispielsweise kann diese Empfangsspule in eine Meßbrücke einbe.Ogen sein, deren Widerstandszweige dann so geändert werden, bis die Brücke abgeglichen ist. Die Amplitude der induzierten Spannung in der Empfängerspule hängt aber von d<_r Erregerfrequenz und der induktiven Kopplung zwischen den Spulen und dem Prüfling ab.
Die Genauigkeit der Messung hängt demnach von der Konstanz der Erregerfrequenz und der eingehaltenen Abstände ab. Bei Serienmessungen vieler Prüflinge lassen sich diese Voraussetzungen nur schwer erfüllen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur elektrischen Messung einer Materialeigenschaft wie der Leitfähigkeit, der Permeabilität, der Materialdicke, der Riß- und Lunkerfreiheit u.dgl. von Prüflingen zu schaffen, welches nicht auf der Messung der Amplitude des sekundären magnetischen Feldes beruht und daher hinsichtlich der Konstanz der Erregerfrequenz und der Kopplungsabstände nicht empfindlich ist.
Und die gestellte Aufgabe wird aufgrund der Maßnahmen des Hauptanspruches gelöst. Die Unieransprüche betreffen Ausgestaltung^ und Weiterbildungen der Erfindung.
Von besonderem Vorteil ist es, daß die Leitfähigkeit proportional zu der Periode einer für den Prüfling spezifischen Prüffrequenz ist, woraus eine lineare Einteii mg der Ableseskala folgt. Da die Messung hinsichtlich der induktiven Kopplung zwischen den Spulen und dem Prüfling unempfindlich ist, ist das erfindungsgemäße Verfahren auch auf Prüflinge mit nichtebenem Umriß oder mit rauher Oberfläche anwendbar. Dies gilt auch für Prüflinge mit einer Schutzschicht aus Farbe oder Kunststoff. Für die Messung braucht kein Fachpersonal eingesetzt werden.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren bzw. Vorrichtung kann die gemessene Materialeigenschaft, z. B. Leitfähigkeit, in Potenzen einer gewählten Norm angegeben werden, beispielsweise der »International Annealed Copper Standard (% IACSk. Es ist möglich. Leitfähigkeitsmessungen bis zu 1% IACS Genuiigkeit und 0,1 % IACS Auflösung zu liefern.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird anhand de. Zeichnung erläutert. Dabei zeigt
F i g. 1 eine erfindungsgemäße Schaltung,
Fig. 2 ein Vektordiagramm zur Darstellung der Impedanzeigenschaften eines Prüflings und
F i g. 3 ein Polarvektordiagramm zur Erläuterung des Prinzips und der Wirkungsweise der Erfindung.
Wie in F i g. 1 dargestellt, sind eine Sendespule 20 und zwei Empfängerspulen 22,24 in enger Nachbarschaft zu einem Prüfling 26 angeordnet. Über einen Leiter 28 erhält die Sendespule 20 als Erregerstrom ein periodisches Signal und Wirbelströme werden in dem Prüfling 26 unter anderem als Funktion der Leitfähigkeit ;it1uziert. Die Empfängerspulen 22 und 24 sind mit Bezug auf die Sendespule 20 kompensiert angeordnet. d. h., miteinander in solcher Weise verbinden, daß zwischen einer Ausgangsleitung 30 und einer gemeinsamen Erdleitung 32 eine Differenzspannung erhalten wird, bei der sich die induzierten Spannungen der Sendespule 20 au/heben, nicht jedoch die induzierten Spannungen infolge der Wirbelströme im Prüfling 26. Die Differenzspannung stellt somit das Prüfsi£;nal dar. welches kennzeichnend für den Prüfling ist.
Das Prüfsignal wird einem Integrator aus einem Widerstand 34, einem Verstärker 36 und einem Kondensator 38 zugefühn, weicher ein »integriertes« Prüfsignal erzeugt. Das integrierte Prüfsignal wird einem Schaltverstärker 40 zugeführt, der daraus ein Rechteckwellensignal der jeweiligen Erreger" rejuenz
bildet, welches jedoch um 90° mit Bezug auf das unmittelbare Prüfsignal verschoben ist. Die Sendespule 20 ist über einen Widerstand 42 mit Erde 32 verbunden, an dem eine Spannung abfällt, die an dem Eingang eines weiteren Schaltverstärkers 44 anliegt, an dessen Ausgang ein Rechteckwellensignal mit der jeweiligen Erregerfrequenz und einem Phasenwinkel entsprechend dem periodischen Signal abgegeben wird, das als Bezugssignal dient.
Die Ausgangssignale der Schaltverstärker 40, 44 sind mit den jeweiligen Eingangsleitungen einer Phasendifferenz-Feststelleinrichtung verbunden bestehend aus einem Exklusiv-Oder-Gatter 46, dessen Ausgang über die Serienschaltung eines Widerstandes 48 und eines Kondensators 50 mit Erde 32 verbunden ist. Die Ausgangsspannung des Exklusiv-Oder-Gatters 46 ist niedrig oder eine logische Null, wenn die jeweiligen Phasen der Ausgangssignale der Verstärker 40. 44 gleich sind (hoch oder niedrig), und die Ausgangsspannung ist hoch oder eine logische Eins, wenn die jeweiligen Phasen der Ausgangssignale der Verstärker 40, 44 unterschiedlich sind. Der Widerstand 48 und der Kondensator 50 wirken als Tiefpaß-Filter und glätten das über dem Kondensator liegende Gleichstrom Pha sendiffereiizsignal. dessen Amplitude proportional zum Tastverhältnis des Ausgangssignals des Gatters 46 ist und daher proportional zur Phasendifferenz des Bezugssignals und des Prüfsignals, wie diese durch die Ausgangssignale der jeweiligen Verstärker 40, 44 repräsentiert werden. Das Gleichstrom-Phasendifferenzsignal wird dem einen Eingang einer Vergleichseinrichtung 52 zugeführt, an dessen anderem Eingang ein Gleichstrom-Bezugssignal anliegt, welches von dem mittleren Verbindungspunkt eines Spannungsteilers zwischen Widerständen 54 und 56 entnommen wird, die /wischen einer Spannungsquelle V+ und Erde 32 liegen. Der Widerstand 56 ist einstellbar, um eine faktor-Vorcinstellung für das Gleichstrom-Bezugssignal auf einen vorgewählten Pegel zu schaffen, der repräsentativ für eine vorbestimmte Phasendifferenz zwischen dem Bezugssignal und dem Prüfsignal ist. Die Wahl des Pegels wird später erläutert.
Die Ausgangsspannung des Vergleichers 52 ist von Null verschieden, wenn das Gleichstrom-Phasendifferenzsignal und das Gleichstrom-Bezugssignal voneinander abweichen, und es wird zur Frequenzsteuerung eines spannung^gesteuerten Oszillators 58 verwendet, der an seinen Ausgängen 60, 62 die Prüffrequenz bzw. das periodische Signal abgibt. Das periodische Signal kann eine Sinusform aufweisen, auch Impulssignale sind braucht und werden, da mit weniger Aufwand erzeugt, bevorzugt verwendet. Das periodische Signa! (60) gelangt über die Leitung 28 zur Sendespule 20. Die bisher beschriebene Vorrichtung stellt einen Regelkreis dar, der die Frequenz des periodischen Signals solange verändert, bis eine spezielle Prüffrequenz erreicht ist.
Die Prüffrequenz des Oszillators wird an einen Frequenzteiler 64 gegeben, welcher erstens die Prüffrequenz um einen vorgewählten Maßstabsfaktor dividiert und gleichzeitig die Auswirkung von Rauschen und Signalflackem auf die Ausgangssignalwiedergabe verringert und zweitens die Prüffrequenz um den Faktor zwei teilt Es werden so kennzeichnende Werte von Meßperioden erhalten, die auf die zu messende Maierialcigcnschaft (Leitfähigkeit) umgerechnet werden und niederfrequente Impulszüge darstellen. Diese Impulszüge schalten ein Und-Gatter 66 abwechselnd während einer Meßperiode durchlässig, so daß die Impulse eines Referen/.-Oszillators 68 zu einem Zähler 70 gelangen können. Auf diese Weise wird die zeitliche Länge der Meßperiode als eine bestimmte Anzahl von Impulsen des Oszillators 68 bestimmt, dividiert, um den MaDstabsfaktor. Dem Zähler 70 ist eine siebenstellige Wiedergabeeinrichtung 72 zugeordnet, um eine digitale Ablesung als Funktion der Meßperiode zu liefern.
Nachfolgend wird erläuert, warum die Meßperiode ein Maß der Materialeigenschaft Jes Prüflings 26 ist. r>?r in der Sendespule 20 fließende Strom kann durch folgende Gleichung ausgedrückt werden:
/ sin r,i
Dabei ist die Erregerfrcquenz ausgedrückt in rad/s. Obzwar dreieekförmige Impulse aus wirtschaftlichen Gründen gegenüber einer reinen Sinuswelle bevorzugt werden, wurde festgestellt, daß dies zu keintn merklichen Unterschieden in den Ergebnissen führt. Die theoretischen Berechnungen wurden ursprünglich auf die Erregung mit sinusförmigem Erregerstrom konzipiert und werden auch weiterhin für alle praktischen Zwecke für brauchbar gehalten. Der in dem Prüfling 26 induzierte .Strom kann wie folgt ausgedrückt werden:
■ Λ/..,, .,. / ens ,,f
Dabei stellen /?> und Ln, den Widerstand b/w. die Induktivität des Prüflings 26 dar. Λ/..,, > isi die gegenseitige Induktanz oder die Kopplung zwischen der Spule 20 und dem Prüfling 26, und j ist der imaginäre Einheitsvektor gleich der Quadratwurzel von - 1. Unter Bezugnahme auf F i g. 2, die ein Vektordiagramm für das Impedanzverhalten des Prüflings 26 darstellt, ist folgendes ersichtlich:
;irc I;iη
K.„
Nach geeigneter Faktorumwandlung und Substitution kann die Gleichung(2) überführt werden auf:
/■,. : : L'osir,; ι/ι). (4i
. Ri, + (<■./.2„r
Das Prüfsignal, d. h., die in den Spulen 22, 24 induzierte Spannung zwischen der Leitung 30 und Erde 32. kann wie folgt ausgedrückt werden:
Dabei ist M^uu* die gegenseitige Induktanz oder Kopplung zwischen dem Prüfling 26 und den Spulen 22, 24. Obzwar die durch die Gleichung (5) ausgedrückte Spannung für Zwecke der Leitfähigkeitsanalyse verwendet werden kann, wird darauf hingewiesen, daß die Amplitude dieses Ausdrucks mit der Erregerfrequenz (ω) sich ändert. Um den dynamischen Bereich des Schaltverstärkers, der Phasendifferenz-Feststelleinrichtung 46 usw. zu verringern, wird die in Gleichung (5) ausgedrückte Spannung vom Verstärker 36 integriert und folgendes erhalten:
i'3.. = —
Rj1, + (f.. L2,,)2
Wenn versucht werden würde, eine Leitfähigkeitsmessung durch Vergleich der Amplituden der Gleichungen (I) und (6) zu erhalten, müßten die Frequenz (oj)und die gegenseitige Kopplung zwischen dem Prüfling und den Spulen, d. h., M2w2h und M2f, 222, konstant gehalten werden. Dies ist in der Praxis schwierig zu erreichen, insbe.v-.idere wenn die Spulen als mit der Hand zu haltende Sonde ausgebildet werden müssen und die gegenseitige Kopplung zwischen den Spulen und dem Prüfling stark mit der Oberfläehcnkontur. .1er Obcrflä chenbeschichiung oder der Sondenorientierung sich andern können. Aus den Gleichungen (1) und (6) ist aber ersichtlich, daß wenn der Frregerstrom i;„ mit sin υ>1 sich ändert, sich die integrierte Spannung e« der Empfängerspule mit ϊο$(ο>1-Φ) ändert. Wenn der Prüfling 26 aus einem Nicht-Fisen Metall besteht, d. h., die relative Permeabilität gleich Fins ist, und wenn der Prüfling im llprpirh der Sonde genügend groß ist kann Hie Induktanz des Prüflings 26 (L2*) als eine geometrische Konstante angesehen werden oder anders ausgedrückt, die Induktanz des Prüflings kann für Testproben mit mindestens einer vorbestimmten minimalen Größe als konstant angesehen werden. Im großen und ganzen hängen die minimale Oberflächengröße und die Tiefenabmessung des Prüflings, für welche die obige Annahme zutreffend ist, von den Spulendurchmessern und der Erregerfrequenz ab. Wenn die Spulen ungefähr einen halbzölligen Durchmesser aufweisen und der Erregerstrom im Bereich von 5 bis 250 Kilohertz gewär't wird, ist die minimale Prüflingsgröße ungefähr I Zoll Durchmesser auf ein Zehntel Zoll Dicke. Das Verfahren der richtigen Auswahl des Frequenzbereiches wird später erläutert.
Wenn L2* als Konstante angesehen werden kann, reduziert sich die Gleichung (3) wie folgt:
■ . ' lan 'Λ . |7|
Wenn der Phasenwinkel, bei dem die Messung :,■ auszuführen ist. vorgewählt und konstant gehalten wird, vereinfacht sich die Gleichung (7) noch weiter:
/ L'l U Hj ,
Dabei ist K' eine Konstante gleich tan Φ/2 .τ L2*. Wenn die Frequenz f auf die Periode T und der Widerstandswert R2* auf die Leitfähigkeit G2b umgeschrieben wird, nimmt die Gleichung (8) folgende Form an:
G:i, = K T. (9)
Dabei ist K gleich K1 mal einem Faktor, der mit dem -,-, Wirbelstromweg in dem Material in Beziehung steht, welcher wie zuvor erläutert als konstant angenommen wird, wenn der Prüfling eine vorbestimmte minimale Größe und Gestalt aufweist. Daher ist die Leitfähigkeit des Materials 26 p;ne lineare Funktion der Erregungspe- W) riode 7~bei einem vorgewählten Phasenwinkel Φ.
Die Annahme, daß die Prüflingsinduktanz L2f, konstant ist, gilt für Abstandsschwankungen der Spule/Prüfling in der Größenordnung von zehn Prozent des Spulendurchmessers. Dadurch wird der Einsatz des b-, Geräts auch für unebene Oberflächen, beispielsweise der Außenwand eines Zylinders und durch Materialbeschichtungen veränderte Oberflächen ermöglicht. Unempfindlichkeit gegenüber kleinen Lageveränderungen der Sonde macht die Prüfung mit einer von Hand zu haltenden Sonde genauer und zuverlässiger.
F i g. 3 stellt ein Polardiagramm dar und zeigt das Verhältnis zwischen der integrierten Sptilenspannung Cn, und dem induzierten Strom i2» für Nicht-Eisen-Materialien der zuvor erwähnten vorbestimmten Größe und Gestalt. Die Kurve 80 ist der geometrische Ort des Endpunktes des Spannungsvektors en, gemäß Gleichung (6), wenn die Frequenz ω von Null (Punkt 82) nach unendlich (84) streicht. Der Phasenwinkel Φ wird in dem /weiten Quadranten zwischen dem Vektor ei* und der Horizontalen gemessen; daher ist der Vektor c» dem Vektor /> <, um einen Winkel (90° - Φ) verschoben.
Aus Gleichung (9) ist ersichtlich, daß die höchste Frequenz (1/77. bei welcher das Gerät arbeiten muß, von der niedrigsten zu messenden Leitfähigkeit abhängt.
Dpr Frpfnien7hprpiph nr*s riprälc u/'.rr] VT! ^ΡΠ
elektronischen Bauteilen bestimmt, die in dem Gerät verwendet werden. In einer ausgeführten Ausführungsform der Erfindung, die zwei Prozent bis einhundert Prozent IACS Leitfähigkeit mißt, wurde ein Frequenzbereich von 5 bis 2:50 Kilohertz ausgewählt. Der gewünschte prozentuale Leitfähigkeitsbereich und der Frequenzbereich des Oszillators 58 bestimmen die Frequenz des Referenzoszillators 68 und den Teilungsfaktor des Teilers 64. Wenn es demnach erwünscht ist. am Sichtgerät 72 eine Wiedergabe von 100,0 für 100% IACS Leitfähigkeit bei einer Frequenz von 5 Kilohertz des Oszillators 58 und eine Wiedergabe von 2,0 bei einer Frequenz von 250 Kilohertz zu haben, ist ein passender Teilungsfaktor gleich 2048 (d. h., ein Maßstabsfaktor von 1024, gefolgt von c nem zusätzlichen Faktor von 2), und für diese Werte würde der Referenzoszillator 68 auf eine Frequenz von 4883 Kilohertz gesetzt werden.
Wenn der Teiler 64 die Frequenz des Oszillatorausgangssignais 62 durch das Doppelte eines gewählten Maßstabsfaktors teilt, ist der in der Wiedergabeeinrichtung 72 ersichtliche Zählstand gleich dem Maßstabsfaktor multipliziert mit dem Verhältnis aus Referenzoszillator Frequenz 68 geteilt durch gesteuerte Oszillatorfrequenz 58. Die prozentuale Leitfähigkeit ist gleich der erwünschten prozentualen Auflösung, in der offenbarten Ausführungsform 0,1%, mal der Zahl in der Wiedergabevorrichtung 72.
Sobald der Maßstabsfaktor des Teilers 64 und die Frequenz des Oszillators 68 bestimmt worden sind, wie zuvor beschrieben, kann der Widerstand 56 empirisch im Hinblick auf das gewünschte Gleichstrom-Bezugssignal wie folgt eingestellt werden. Das System wird unter Spannung genommen und die Spulen 20, 22 und 24 werden in die Nähe von Tesirnaieriai bekannter Leittähigkeit gehalten, beispielsweise von 100% !ACS. Das Meßgerät wird dann dadurch kalibriert, daß der Widerstand 56 so lange verstellt wird, bis die Wiedergabevorrichtung 72 die bekannte Leitfähigkeitsprozentzahl anzeigt, in diesem Fall 100. Wenn die Induktanz L2b des Prüflings bekannt ist, kann der erwünschte Phasenwinkel Φ analytisch aus der Gleichung (7) für eine spezielle Frequenz ω und eine Leitfähigkeit \/R2b bestimmt werden. Für die beschriebene Ausführungsform mit einem Frequenzbereich von 5 bis 250 Kilohertz und einem Meßbereich von 2 bis 100% IACS warder Phasenwinkel Φ nach Kalibrierung des Geräts ungefähr 74°. Der Widcrstandswcrt 56 kann dann allgemein bestimmt werden, da die Bezugsspannung des Vergleichers 52 gleich (90° -Φ)/180° oder im gegebenen Beispiel 16°/180° multipliziert mit der
Versorgungsspannung beträgt Selbst wenn der Phasenwinkel Φ analytisch bestimmt wird, ist es jedoch vorteilhaft, den durch den Widerstand 56 eingeführten Faktor einstellbar zu machen, um die Versorgungsspannung und Toleranzen der Betriebsschaltung, Betriebsschwankungen und dergleichen zu kompensieren.
In der vorhergehenden Beschreibung ist angenommen worden, daß die Kalibrierung und die Testmessungen usw. bei der IACS Standardtemperatur von 20° C ausgeführt worden sind. Die Erfindung ist aber auch bei anderen Temperaturen als die .Standardtemperaturen gut cinset/bar. Die Bedienungsperson kann die gemessene Leitfähigkeit zur Leitfähigkeit bei der Standardtemperatur nach der folgenden bekannten Gleichung umrechnen:
(',„ I I
IVl.
IH))
i->anei stent £7, uie Leiuähigkeit nei ucr Standardiemperatur (2O0C), (i,„ die gemessene Leitfähigkeit, α den Koeffizienten der Änderung der Leitfähigkeit gegen über der Temperatur des jeweiligen Prüflings dar und ist für die meisten Materialien bekannt und Δ Γ ist die Abweichung der Meßtemperatur gegenüber der Standardtemperatur. Wenn nur ein Material gemessen wird und wenn die Messung immer mit der gleichen Temperatur ausgeführt wird, können die Instrumente offenbar neu justiert werden, um Temperaturdifferen· /.en zu kompensieien. Wenn nur ein Material gemessen wird, aber zu unterschiedlichen Temperaturen, kann eine geeignete Temperaturkompensationsschaltung in das Meßgerät einbezogen werden. Wenn die größte Einsatzvielfalt mit Bezug auf Material und Temperatur gefordert wird, kann die erwähnte Temperaturkompensationsschaltung in der Weise operatorprogrammierbar sein, daß der Temperaturkoeffizient eines speziellen Materials eingegeben werden kann, und daß das Meßgerät eine Leitfähigkeitsmessung liefert, welche automatisch auf Normtemperatur kompensiert ist.
Aus der vorgehenden Beschreibung folgt, daß das beschriebene Leitfähigkeitsmeßgerät die gestellte Aufgabe löst und die abgegebenen Vorteile aufweist. Obzwar die Erfindung in Verbindung mit einer speziellen Ausführungsform beschrieben worden ist, versteht es sich, daß Modifikationen und Änderungen dem Fachmann ohne weiteres gelingen. Beispielsweise war aus erläuterten Gründen angenommen worden, daß die Induktanz des Prüflings 26 als eine Konstante für einen Prüfling oberhalb einer minimalen Größe betrachtet werden kann. Die Erfindung kann aber auch bei Materialproben von kleinerer als der minimalen Größe benutzt werden, indem lediglich das Instrument auf die tatsächliche Probe der gewünschten Größe mit einer bekannten Leitfähigkeit einjustiert oder geeicht wird. Das Gerät kann dann zwar nur für Proben dieser Größe verwendet werden, es werden aber weiterhin genaue Ergebnisse erzielt, da die Proben-Leitfähigkeit weiterhin ein linearer Faktor der Periode ist. Lediglich die Konstante K der Gleichung (9) hat sich verändert. Das Instrument kann natürlich jederzeit für Proben oberhalb der minimalen Größe neu eingestellt werden.
In der beschriebenen Ausführungsform der Erfindung wurde der Bezugsphasenwinkel Φ faktormäßig geeicht, indem das Eingangssignal des Vergleichers 52 eingestellt wurde. Da der Phasenwinkel und die Frequenz in direkter Beziehung gemäß Gleichung (7) stetsn, könnte das Gleichstrom-Bezugssignal des Vergleichers 52 durch vorgegebene Widerstände oder dergleichen festgelegt werr'en, und das Instrument könnte durch Einstellung der Frequenz der Oszillatoren 58 oder 68 kalibriert oder »feinjustiert« werden, um eine spezielle Wiedergabe einer Materialprobe bekannter Leitfähigkeit zu erzielen. Meßgeräte, bei denen dieses Einstellungsverfahren verwendet wird, hätten aber unterschiedliche Ausgangssignale vom Oszillator 58 und dem Teiler 64 für Materialien der gleichen Leitfähigkeit. Aus Gründen der Standardisierung wird das in Verbindung mit F i g. I beschriebene Kalibrierverfahren bevorzugt.
Der offenbarte Maßstabsfaktor von 1024 j<;t deshalb so passend, weil Frequenzteiler des Zweifachen dieser Zahl, d. h.. 2048, leicht verfügbar sind. Aus der vorstehenden Krörterung ist jedoch ersichtlich, daß andere Maßstabsfaktoren und/oder Bezugsoszillatorfrequenzen gegebenenfalls benutzt werden könne.l. Ferner ist ersichtlich, daß der Frequenzteiler 64 fortgelassen und die Frequenz des Oszillators 68 entsprechend vergrößert werden könnte. Dabei wird allerdings der nützliche Filtereffekt des Teilers 64 außer acht gelassen, der sonst bei der Beseitigung von Rauschen und Wiedergabezittern behilflich ist, und deshalb wird tine solche Schaltung nicht bevorzugt. Ferner ist ersichtlich, daß der Anzeigezähler 70 mit größerem Aufwand ausgebildet sein kann, um mehrere Zählpegel niedriger Ordnung einzuschließen, wobei die Wiedergabeeinrichtung 72 nur mit den vier höchstwertigen Digits verbunden ist. Solche ein »ausgedehnter« Wiedergabezähler würde die Funktionen beider Teiler 64 und des Zählers 70 der F i g. 1 miteinander kombinieren und würde ebenfalls Rauschen und Wiedergabeflimmern usw. verringern.
Die spezielle, in F i g. 1 dargestellte Wiedergabevorrichtung 72 ist vierstellig, die eine genaue Ablesung aufgelöst bis zur dritten dezimalen Stelle liefert, d. h., bis 0,1% IACS. Wenn eine größere oder geringere Leitfähigkeitsauflösiing erforderlich ist, würden natürlich mehr oder weniger Wiedergabestellen vorgesehen sein. Die Gesamtgenauigkeit des Instruments und des offenbarten Verfahrens schwpnkt mit der Qualität der verwendeten Bauteile usw. Da jedoch eine ligitale und nicht eine Analogtechnik soweit wie möglich verwendet wurde und weil das offenbarte Verfahren die Notwendigkeit für nicht lineare Kalibriereinstellungen vermeidet, kann eine Instrumentengenauigkeit in der Größenordnung von 1% unter Verwendung genormter billiger Bauteile erzielt werden. Das beschriebene Verfahren und Meßgerät ist speziell zur Lieferung der Leitfähigkeitsmessungen in % IACS eingerichtet. Es ist jedoch ersichtlich, daß das Verfahren und das Meßgerät ebenfalls zur Lieferung der Leitfähigkeitsmessungen in Prozentwerten einer anderen Norm einstellbar ist, beispielsweise auf den Normwert von reinem Kupfer, was ungefähr 103% der entsprechenden IACS Meßwerte entspricht.
In der speziellen beschriebenen Ausführungsform erscheinen die induzierenden und induzierten Signale in getrennten Spulen, d. h., in der Spule 20 und in differentiell geschalteten Spulen 22 bzw. 24. Es ist jedoch ersichtlich, daß die Erfindung auch mit gei mger oder keiner Modifikation in Verbindung mit anderen Arten von Wirbelstrom-Prüfspulschaltungen bekannter Art Verwendung finden kann. Beispielsweise kann das induzierende und das induzierte Signal als getrennte Funktionen des Stromes und der Spannung in einer einzelnen Spule abgetastet werden, die in der Nähe des Prüflings angeordnet ist und die sowohl als Sendespule als auch als Empfängerspule dient. In dieser Lage kann
die einzelne Spule durch eine Konstantstromquelle betrieben werden, so daß die Spannung an der Spule als Funktion der Wirbelströme in dem Prüfling sich ändert, während der Strom durch den Prüfling nicht beeinilußt wird. Auch andere Anordnungen können verwendet werden, so daß der Wirbelstromeffekt zum Phasenvergleich gegenüber einem Bezugswert isoliert werden kann.
Brauchbare Anzeigen einer Charakteristik eines Prüflings können auch durch Anwendung der Differenzvergleichtechnik erhalten werden, wenn ein Wirbelstromtestsignal von einer ersten Testspule, die einem ersten unbekannten Testobjekt zugeordnet ist, mit dem Wirbelstromtestsignal einer zweiten Testspule verglichen wird, die einem bekannten oder Norm-Test Objekt zugeordnet ist.
Wie aus anderen Wirbelstrom-Testverfahren be kannt, können die erste und zweite Spule von einer gemeinsame/i Quelle aus betrieben werden. Die Quellenfreqiienz kann dann so lange variiert werden, bis die beiden Testsignale eine vorbestimmte Phasenbeziehung zueinander aufweisen und dann wird die Charakteristik, beispielsweise die Leitfähigkeit, als Funktion dieser Frequenz oder Periode des Quellensignals bestimmt, mit welcher der vorbestimmte Phasenwinkel erzielt wird. Natürlich »τα in dieser Lage das Prüfsignal von dem bekannten „der Norm-Testobjekt als Referenzsignal zum Vergleich gegenüber dem Testsignal des unbekannten Prüf ngs verwendet und die rekannten Charakteristiken des Norm-Testobjekts ergeben die Beziehung zwischen der Phase des Bezugssignals zur Phase des Signals in der ersten Spule.
Im Lichte der erörterten Modifikation ist ersichtlich, daß bei der Erfindung ganz allgemein der Vergleich eines Wirbelstrom-Testsignals betrachtet wird, welches sich als Funktion der Wirbelströme in einem unbekannten Prüfung ändert, z. B. das induzierte Signal e«i in den Spulen 22, 24 (Fig. 1) gegenüber einem Bezugssignal, um auf diese Weise das Phasenverhältnis dieser Signale untereinander zu bestimmen, wenn das Bezugssignal nicht identisch mit dem Signal zur induzierung der Wirbelströme ist, beispielsweise dem induzierenden Signal in der Spule 20 (Fig. 1), wobei jedoch das Bezugssignal in anderer Weise, direkt oder indirekt, mit dem induzierenden Signal in einer Phasenbeziehung steht. In dieser Lage wird das Bezugssignal mit dem Prüfsignal verglichen, welches sich als Funktion der Wirbelströme in dem Prüfling ändert. Die Frequenz oder die Periode des Bezugssignals und des induzierenden Signals, welches den vorbestimmten Phasenwinkel erzielt, können dann zur Bestimmung der gewünschten Charakteristik verwendet werden, beispielsweise der Leitfähigkeit des Materials.
Es ist auch ersichtlich, daß der Oszillator 58 (F i g. 1) durch einen von der Bedienungsperson gesteuerten Oszillator variabler Frequenz ersetzt werde . kann. Ein Meßgerät oder dergleichen kann ferner an den Ausgang des Vergleichers 52 angeschlossen werden, wobei die Bedienungsperson die Frequenz des Oszillators so einstellt, bis das Meßgerät Null anzeigt. Eine solche Schaltung ist aber nicht für rasches Messen geeignet und es wird unnötigerweise eine Fehlerquelle eingeführt, nämlich die Sichtinterpretation der Bedienungsperson bezüglich der Ablesung des Instruments. Demnach wird der automatisierte Regelkreis gemäß F i g. I bevorzugt. Aus der Betrachtung der Gleichungen (1). (5) und (fc>) is; ersichtlich, daß Frequenz ω des Erregers sich nicht ändert und des Prüfssignals die gleiche ist. d.h. die /ahlreichen Signale in der Schaltung sind alle auf derselben Pruffrequenz. Demnach kann die frequenz, mit der das Instrument betrieben wird, dadurch gemessen werden, daß der Frequenzteiler 64 an verschiedenen anderen Punkten in der Schaltung und nicht nur direkt am Oszillatorausgang 62 angeschlossen wird. Beispielsweise kann der Teiler 64 am Ausgang der Verstärker 36, 40 oder 44 oder sogar an der Ausgangsleitung 30 der Empfängerspulen angeschlossen sein, wenn eine geeignete Isolationsschaltung verwendet wird.
Die Erfindung ist im einzelnen in Verbindung mit einem speziell gewählten Phasenwinkel und einem gewissen Frequenzbereich beschrieben worden. Es versteht sich, daß derartige Einzelheiten die Art und Weise der Wahl eines solchen Parameters illustrieren sollen und zum Verständnis der Erfindung beitragen sollen. Aus den angegebenen Gründen ist die Erfindung vor allem zur Messung der Leitfähigkeit von NichtEisen-Metallen geeignet, jedoch sind die Prinzipien der Erfindung potentiell auch zur Analyse der Eigenschaf ten von ferromagnetischen Metallen geeignet und zur Bestimmung von weiteren Materialeigenschaften .Hißer der eigentlichen Leitfähigkeit. In dieser Hinsicht kann das Meßgerät zur Bestimmung von Materialeigenschaften wie mechanischer Spannungszustand. Lunk.<- oder Ermüdung verwendet wird, da hierbei Leitfähigkeitsanderungen eintreten können. Die Erfindung kann auch in einer Prüfstation eines Produktionsbandes angewendet werden, um Teile nach ihrer Leitfähigkeit oder anderer, Eigenschaften als »gut« >der »schlecht« festzusteller, ohne daß eine volle quantitative Messung vorgenommen wird oder eine sichtbare Anzeige geliefert wird.
ler/u 1 Blatt Zeichnuimen

Claims (16)

Patentansprüche:
1. Verfahren zur elektrischen Messung einer Materialeigenschaft wie der Leitfähigkeit, der Permeabilität, der Materialdicke, der Riß- und Lunkerfreiheit u. dgl., von Prüflingen mit den Verfahrensschritten der Erzeugung eines periodischen Signals zur elektromagnetischen Induktion von Wirbelströmen in diesem, Entwickeln eines Prüfsignals, welches sich als Funktion dieser Wirbelströme ändert, und Erzeugen eines Bezugssignals, dessen Phase in Beziehung zu dem periodischen Signal steht, wobei das periodische Signal, das Bezugssignal und das Prüfsignal auf der gleichen Prüffrequenz liegen, gekennzeichnet durch folgende zusätzliche Verfahrensschritte
a) die Frequenz des periodischen Signals wird bis zum Erreichen einer spezifischen Priiffrequenz geänuert, bei welcher das Prüfsignal ein vorbestimmtes Phaseiiverliäiinis in bezug zu dem Bezugssignal einnimmt und
b) die Materialeigenschaft des Prüflings wird als inverse Funktion der speziellen Prüffrequenz bestimmt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, zur Bestimmung der Leitfähigkeit von Prüflingen, dadurch gekennzeichnet, daß der Schritt a) die Messung der Periode der speziellen Priiffrequenz einschließt und daß der Schritt b) die Bestimmung der Leitfähigkeit als direkte line ve Funktion der gemessenen Periode umfaßt.
3. Verfahren zur Bestimmung der Leitfähigkeit von Prüflingen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Schritt b) uie Bestimmung der Leitfähigkeit eines ersten Prüflings als inverse Funktion eines ersten Wertes der Prüffrequenz umfaßt.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das periodische Signal zweite Wirbelströme in einem zweiten Prüfling erregt und ein zweites Prüfsignal, welches sich als Funktion der zweiten Wirbelströme ändert, gebildet wird, daß eine zweite Phasenbeziehung zwischen dem zweiten Prüfsignal und dem Bezugssigna! bestimmt wird, daß das periodische Signal so lange geändert wird, bis die Prüffrequenz einen zweiten Wert einnimmt, bei welchem das zweite Phasenverhältnis den gleichen vorbestimmten Wert erreicht, und daß dann die Leitfähigkeit des zweiten Prüflings als die gleiche inverse lineare Funktion der Prüffrequenz bei dem entsprechenden zweiten Wert der Prüffrequenz bestimmt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß zur Bestimmung der Leitfähigkeit von nicht-ferromagnetischen Prüflingen mit vorbestimmter minimaler Dicke die Erregung durch das periodische Signal genügend stark ist, so daß die induzierten Wirbelströme im wesentlichen beziehungslos zur Materialdicke sind.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Schritt der Bestimmung des Phasenverhältnisses die Schritte der Integration des Prüfsignals und Vergleich des integrierten Prüfsignals mit dem Bezugssignal einschließt, um ein Signal zu bilden, welches sich als Funktion eines gemessenen Phasenverhältnisses zwischen diesen Werten ändert.
7. Vorrichtung zur elektrischen Messung einer Materialeigenschaft eines Prüflings nach einem der Ansprüche 1 bis 6 mit folgenden Merkmalen:
eine Erreger-Einrichtung (58, 60, 20) liefert ein -, periodisches Signal und umfaßt eine Sendeeinrichtung (20), die auf der einen Seite des Prüflings (26) angeordnet ist, um in dem Material Wirbelströme zu induzieren;
eine Empfängereinrichtung (22, 24) kann auf der
ι η gleichen Seite des Prüflings (26) angeordnet sein und entwickelt ein Prüfsignal in Abhängigkeit von den Wirbelströmen in dem Prüfling;
eine Einrichtung (42, 44) spricht auf dieses periodische Signal an und liefert ein Bezugssignal;
gekennzeichnet durch:
eine Phasendifferenz-Feststelleinrichtung (46) spricht auf das Bezugssignal und das Prüfsignal an und liefert ein Ausgangssignal entsprechend der Differenz des Phasenwinkels zwischen dem Prüfsi-
2(i gnal und dem Bezugssignal,
eine Frequenzänderungseinrichtung (5S) ist zur Änderung der Prüffrequenz vorgesehen, bis die Prüffrequenz einen ersten Wert einnimmt, bei welchem das Phasendifferenz-Ausgangssignal einen
2) bestimmten Wert einnimmt, wobei das periodische Signal, das Prüfsignal und das Bezugssignal auf einer Prüffrequenz liegen, die so gewählt ist, daß die in dem Prüfling induzierten Wirbelströme im wesentlichen beziehungslos zur Materialdicke sind;
in eine Umrecbrungseinrichtung (64—72) bestimmt den Wert der Materialeigenschaft des Prüflings als Funktion des ersten Wertes der Prüffrequenz.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Frequenzänderungseinrichtung
Γι (58) Mittel zur Änderung der Frequenz des periodischen Signals umfaßt.
9. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Umrechnungseinrichtung (64-72) Mittel (64,66, 70) zur Messung der Periode
in der Prüffrequenz und eine Wiedergabeeinrichtung (70, 72) der gemessenen Periode als direkte geeichte Materialeigenschaft aufweist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 7, 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Phasendifferenz-
i) Feststelleinrichtung (46) eine Integrationseinrichtung (34,36,38) des Prüfsignals vorgeschaltet ist.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis
10, dadurch gekennzeichnet, daß das Ausgangssignal der Phasendifferenz-Feststelleinrichtung (46) ein
κι Gleichstromsignal ist, daß das Bezugssignal als Gleichstromsignal von einer Bezugseinrichtung (54, 56) geliefert wird, und daß eine Vergleichseinrichtung (52) das Gleichstrom-Phasendifferenzsignal mit dem Gleichstrom-Bezugssignal zur Steuerung der
r> Erreger-Einrichtung (58) vergleicht.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis
11, dadurch gekennzeichnet, daß die limrechnungseinrichtung (64—72) zur Bestimmung der Periode der Prüffrequenz
mi einen Frequenzteiler (64), der mit dem Faktor zwei mal einem vorgewählten Maßstabsfaktor teilt und ein geeichtes Ausgangssignal liefert,
einen Referenzoszillator (68) für Referenzsignale und
hi eine Zähleinrichtung (70) zur Zählung der Perioden der Referenzsignale während eines Halbzyklus des geeichten Ausgangssignals aufweist, wobei die Zählung während des Halbzyklus gleich dem
Maßstabfaktor multipliziert mit dem Verhältnis aus Frequenz des Referenzsignals dividiert durch die Prüffrequenz ist
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß eine Wiedergabevorrichtung (72) zur Wiedergabe des Zählstandes der Zähleinrichtung (70) nach jedem Halbzyklus des geeichten Ausgangssignals vorgesehen ist
14. Von ichtung nach einem der Ansprüche 7 bis
13, dadurch gekennzeichnet, daß die Empfängereinrichtung mehrere Spulen (22, 24) aufweist, die schaltungstechnisch und örtlich mit Bezug auf die Sendeeinrichtung (20) kompensiert angeordnet sind.
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis
14, dadurch gekennzeichnet, daß die Phasendifferenz-Feststelleinrichtung (46) durch ein Exklusiv-Oder-Gatter gebildet wird, dem Schaltverstärker (40, 44) des Prüfsignals und des Bezugssignals vorgeschaltet sind.
16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis
15, dadurch gekennzeichnet, daß die Frequenzänderungseinrichtung einen spannungsgesteuerten Oszillator (58) aufweist, der das periodische Signal mit einer Frequenz abgibt, die von dem Phasendifferenzsignal gesteuert wird.
DE2659073A 1975-12-29 1976-12-27 Wirbelstrommeßverfahren und -vorrichtung zu Priifzwecken Expired DE2659073C3 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US05/644,809 US4095180A (en) 1975-12-29 1975-12-29 Method and apparatus for testing conductivity using eddy currents

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2659073A1 DE2659073A1 (de) 1977-07-07
DE2659073B2 true DE2659073B2 (de) 1980-01-17
DE2659073C3 DE2659073C3 (de) 1980-09-11

Family

ID=24586427

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2659073A Expired DE2659073C3 (de) 1975-12-29 1976-12-27 Wirbelstrommeßverfahren und -vorrichtung zu Priifzwecken

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4095180A (de)
JP (1) JPS5283267A (de)
CA (1) CA1056915A (de)
DE (1) DE2659073C3 (de)
FR (1) FR2337340A1 (de)
GB (1) GB1572034A (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3743521A1 (de) * 1987-12-22 1989-07-06 Foerster Inst Dr Friedrich Vorrichtung zum pruefen von halbzeug
DE3815010A1 (de) * 1988-04-30 1989-11-09 Leybold Ag Schaltungsanordnung fuer den kombinierten einsatz einer induktiven und einer kapazitiven einrichtung fuer die zerstoerungsfreie messung des ohmschen wiederstands duenner schichten
DE4022563A1 (de) * 1990-04-11 1991-10-17 Flachglas Ag Verfahren zur kontaktlosen messung des elektrischen widerstands eines untersuchungsmaterials

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT359178B (de) * 1976-04-20 1980-10-27 Rodler Ing Hans Einrichtung zum untersuchen biologischer koerper mit elektromagnetischen feldern
US4348639A (en) * 1979-05-18 1982-09-07 Triple Dee Electronics Inc. Transmitter-receiver loop buried metal object locator with switch controlled reference voltage
DE3005915C2 (de) * 1980-02-16 1985-01-10 Skf Kugellagerfabriken Gmbh, 8720 Schweinfurt Wirbelstromprüfgerät für Oberflächenfehler
EP0062396A3 (de) * 1981-03-26 1983-06-22 Environmental Products Corporation Aluminiumbüchsendetektor
FR2519934A1 (fr) * 1982-01-21 1983-07-22 Nguyen Manh Khanh Avion multiplan indeformable
EP0114808B1 (de) * 1982-07-23 1986-10-29 The Electricity Council Regulierungsverfahren zur wärmebehandlung von bändern aus aluminiumlegierungen
US4553094A (en) * 1983-06-20 1985-11-12 K. J. Law Engineers, Inc. Method and apparatus for measuring conductivity using eddy currents with temperature compensation feature
EP0193168A3 (de) * 1985-02-25 1989-01-25 Kubota Limited Verfahren zur Prüfung der Karburisierung und Sonde dafür
US4747310A (en) * 1986-08-12 1988-05-31 Grumman Aerospace Corporation Probe for composite analyzer tester
US4745809A (en) * 1986-08-12 1988-05-24 Grumman Aerospace Corporation Composite analyzer tester
US4943770A (en) * 1987-04-21 1990-07-24 Mccormick Laboratories, Inc. Device for accurately detecting the position of a ferromagnetic material inside biological tissue
JPS6447961A (en) * 1987-08-19 1989-02-22 Taiyo Keisoku Kk Ac type minus effect detector
US4839593A (en) * 1987-12-17 1989-06-13 Atlantic Richfield Company Transient electromagnetic method for directly detecting corrosion on conductive containers
US4947117A (en) * 1989-01-03 1990-08-07 Iowa State University Research Foundation Nondestructive detection of an undesirable metallic phase, T1, during processing of aluminum-lithium alloys
FR2648236B1 (fr) * 1989-06-12 1991-12-20 Onera (Off Nat Aerospatiale) Appareil de mesure d'impedance surfacique
US5394084A (en) * 1991-12-23 1995-02-28 The Boeing Company Method and apparatus for reducing errors in eddy-current conductivity measurements due to lift-off by interpolating between a plurality of reference conductivity measurements
CA2076205C (en) * 1992-08-14 1999-04-20 Valentino S. Cecco Differential transmit-receive eddy current probe incorporating bracelets of multi-coil units
US7161350B2 (en) * 1999-09-07 2007-01-09 Jentek Sensors, Inc. Method for material property monitoring with perforated, surface mounted sensors
CA2385868A1 (en) * 1999-09-20 2001-03-29 Jentek Sensors, Inc. Eddy-current sensor arrays
US7824244B2 (en) * 2007-05-30 2010-11-02 Corning Incorporated Methods and apparatus for polishing a semiconductor wafer
US7031687B2 (en) 2001-04-18 2006-04-18 Nokia Corporation Balanced circuit arrangement and method for linearizing such an arrangement
KR101284943B1 (ko) * 2006-06-30 2013-07-10 엘지디스플레이 주식회사 몰드의 제조방법
CN114858867A (zh) * 2022-07-11 2022-08-05 国家海洋技术中心 一种电磁感应式电导率传感器的单控温点定标方法

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3020470A (en) * 1943-06-04 1962-02-06 Elbert N Shawhan Submerged body detection system
US2696588A (en) * 1950-07-18 1954-12-07 Heyl & Patterson Surface moisture detection system
GB975561A (en) * 1960-07-22 1964-11-18 Wiggin & Co Ltd Henry Improvements in or relating to eddy current testing of metals
US3510761A (en) * 1963-03-04 1970-05-05 Bissett Berman Corp Compensated salinometer
US3273056A (en) * 1963-03-22 1966-09-13 Magnaflux Corp Eddy current testing system in which the power applying circuit has a low output impedance relative to the effective input impedance of the test coil unit
US3337796A (en) * 1965-04-19 1967-08-22 Automation Forster Inc Eddy current testing device with means for sampling the output signal to provide a signal proportional to the instantaneous value of said output signal at a particular phase
US3416071A (en) * 1965-04-19 1968-12-10 Automation Forster Inc Electronic tuner for inductive probe testing apparatus
US3418572A (en) * 1966-02-11 1968-12-24 Thomas G. Humphreys Jr. Apparatus including variable frequency indicating means for locating and tracing conductive structures
US3443219A (en) * 1966-07-07 1969-05-06 Industrial Nucleonics Corp Dielectric materials gauging system with input signal frequency automatically variable in response to detected signal phase shift variation
US3443218A (en) * 1966-07-07 1969-05-06 Industrial Nucleonics Corp Hybrid phase dielectric materials gauging system with input signal frequency automatically variable in response to a deviation from a reference phase shift which is also variable with frequency
US3443220A (en) * 1966-07-07 1969-05-06 Industrial Nucleonics Corp Dielectric materials gauging system with input signal frequency automatically variable in response to a variation from a selected phase shift in the detected signal
JPS499388B1 (de) * 1968-05-25 1974-03-04
US3491289A (en) * 1968-12-17 1970-01-20 Atomic Energy Commission Non-contact eddy current instrument
US3619771A (en) * 1969-09-02 1971-11-09 Rudolf G Hentschel Method of an apparatus for selecting the optimum test frequency in eddy current testing
US3706029A (en) * 1971-11-16 1972-12-12 Atomic Energy Commission Multiple parameter eddy current nondestructive testing device using plural transformation rotators to resolve each parameter
US3721896A (en) * 1971-12-23 1973-03-20 Nippon Kokan Kk Improved phase sensitive eddy current defect detector utilizing frequency doubling of detected signal prior to phase detection
US3764897A (en) * 1971-12-28 1973-10-09 Singer Co Electromagnetic thickness gauging using a transmitting coil shaped to provide a constant field over a range of measuring distances
JPS526116B2 (de) * 1972-05-15 1977-02-18
US3848182A (en) * 1973-08-15 1974-11-12 Magnetic Analysis Corp Apparatus for limiting phase-angle response range, particularly in eddy current testing apparatus
US3904957A (en) * 1973-09-29 1975-09-09 Foerster Inst Dr Friedrich Eddy current test apparatus with peak signal value storage means
US4006405A (en) * 1975-01-13 1977-02-01 The Singer Company Method and apparatus for measuring parameters of a conductive material which can be used in independently determining thickness and conductivity

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3743521A1 (de) * 1987-12-22 1989-07-06 Foerster Inst Dr Friedrich Vorrichtung zum pruefen von halbzeug
DE3815010A1 (de) * 1988-04-30 1989-11-09 Leybold Ag Schaltungsanordnung fuer den kombinierten einsatz einer induktiven und einer kapazitiven einrichtung fuer die zerstoerungsfreie messung des ohmschen wiederstands duenner schichten
DE4022563A1 (de) * 1990-04-11 1991-10-17 Flachglas Ag Verfahren zur kontaktlosen messung des elektrischen widerstands eines untersuchungsmaterials

Also Published As

Publication number Publication date
US4095180A (en) 1978-06-13
GB1572034A (en) 1980-07-23
DE2659073A1 (de) 1977-07-07
FR2337340A1 (fr) 1977-07-29
CA1056915A (en) 1979-06-19
JPS5283267A (en) 1977-07-12
FR2337340B1 (de) 1981-12-11
JPS5528026B2 (de) 1980-07-24
DE2659073C3 (de) 1980-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2659073C3 (de) Wirbelstrommeßverfahren und -vorrichtung zu Priifzwecken
DE19610844C2 (de) Verfahren und System zum Messen von physikalischen Parametern eines Werkstückes
DE2454469C3 (de) Induktiver Durchflußmesser
DE4119903C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung dünner Schichten
DE19543562A1 (de) Anordnung zur berührungslosen Drehwinkelerfassung eines drehbaren Elements
DE4039426A1 (de) Einrichtung und verfahren zum messen einer ueberzugsdicke
DE10014348B4 (de) Vorrichtung zur zerstörungsfreien Messung der Dicke dünner Schichten
EP0106204A1 (de) Schaltung mit Hall-Feldsonde
DE102005037036B4 (de) Magnetoresistiver Sensor mit Offsetkorrektur und dafür geeignetes Verfahren
DE102010007620A1 (de) Näherungssensor
DE102012019329A1 (de) Verfahren und Sensoreinheit zur Ortung und/oder Erkennung metallischer oder Metall enthaltender Objekte und Materalien
EP1219933B1 (de) Differential-Wirbelstromgeber
EP2905627B1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur kontaktlosen, präzisen Messung des Gleichstromanteils in einem Mischstrom
DE102010028722A1 (de) Erfassung eines metallischen oder magnetischen Objekts
DE3026389A1 (de) Vorrichtung zur abstandsmessung durch wirbelstroeme mit einem rueckgekoppelten verstaerker
DE2530723C2 (de) Einrichtung zur Messung der Phasenverschiebung in einer Anordnung gekoppelter Spulen
DE102013205910A1 (de) Objektsuchgerät und Verfahren zum Orten eines metallischen und/oder magnetisierbaren Objekts
DE3927833C2 (de) Meßschaltung und Anwendung derselben, insbesondere mit induktiven Weggebern
EP3824323A1 (de) Detektor zum detektieren von elektrisch leitfähigem material
DE2714142A1 (de) Einrichtung zur messung eines magnetflusses
DE2247026B2 (de) Schaltvorrichtung zur magnetischen Prüfung von Werkstücken
DE102004026460B4 (de) Temperaturkompensierte Meßschaltungsanordnung mit einer magnetoresistiven Sensorbrücke sowie Abgleichverfahren zum Abgleich deren Temperaturkompensation
DE2142351B2 (de) Vorrichtung zur Verwechslungs- und Gefügeprüfung von ferromagnetischen Werkstoffen
EP2348637A1 (de) Induktiver Näherungssensor und Verfahren zur Näherungsdetektion
DE954896C (de) Anordnung zur Messung von Widerstaenden bei Hochfrequenz

Legal Events

Date Code Title Description
OD Request for examination
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
8328 Change in the person/name/address of the agent

Free format text: BLUMBACH, KRAMER & PARTNER, 65193 WIESBADEN