DE2653909A1 - Durch stromdurchfluss beheizter thermischer verdampfer fuer vakuumaufdampfanlagen - Google Patents
Durch stromdurchfluss beheizter thermischer verdampfer fuer vakuumaufdampfanlagenInfo
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Description
DIPPING. HANS.ZAPFis '
PATENTANWALT £ O U O J U c)
-3-
D-605 OrriiNBACH (MAIN)
KAISERSTRASSE 9 BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND
TELEFON (05 11) 88 27 21
22, November 1976 Zap/Han
Akte: 76516
LEYBOLD-HERAEUS GmbH & Co. KG Bonner Straße 504
5000 Köln - 51
" Durch Stromdurchfluß beheizter thermischer
Verdampfer für Vakuumaufdampfanlagen "
Die Erfindung bezieht sich auf einen durch Stromdurchfluß beheizten
thermischen Verdampfer für Vakuumaufdampfanlagen, welcher ein Gehäuse mit Bodenteil, Seitenwandteilen, Stirnwänden und
Deckel zur Aufnahme des Verdampfungsmaterials bildet und mit rasterförmig angeordneten Austrittsöffnungen für den Dampf
versehen ist.
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Thermische Verdampfer mit rasterförnrig angeordneten Austrittsöffnungen
in Form von Bohrungen, die in einem Blechteil angeordnet sind, gehören zum Stande der Technik. Das
Gehäuseunterteil bildet hierbei ein Schiffchen, welches
aus einem Bodenteil, zwei Seitenwandteilen und zwei Stirnwänden
besteht, wobei die Stirnwände um eine waagrechte Biegekante abgewinkelt sind und Anschlußfahnen für die
Verbindung mit entsprechenden Stromklemmen bilden. Auf das Schiffchen ist ein Deckel in Form einer Lochplatte aufsetzbar,
die die einzigen Austrittsöffnungen für den Dampf enthält. Derartige Verdampfer haben zwar gute und reproduzierbare
Eigenschaften, allein, sie können lediglich zur Bedampfung von Substraten eingesetzt werden, die waagrecht
über dem Verdampfer angeordnet sind. Eine solche Anordnung verbietet sich beispielsweise beim Bedampfen von großflächigen
Glasscheiben, die eine Fläche von mehreren Quadratmetern einnehmen können. Die Halterung derartig
großer Substrate in waagrechter Lage bereit erhebliche Schwierigkeiten, darüberhinaus wäre der Betrieb unwirtschaftlieh,
da in der Regel gleichzeitig nur eine einzige Glasscheibe bedampft werden kann.
Bei der Bedampfung großflächiger Glasscheiben hat es sich
daher durchgesetzt, eine Vielzahl von Verdampfern in Form eine's Verdampferfeldes in einer vertikalen Ebene anzuordnen
und zu beiden Seiten des Verdampferfeldes die zu bedampfenden Substrate in senkrechter Lage aufzustellen.
Durch die DT-AS 25 21 536 ist es bekannt, für derartige Verdampferfelder schraubenlinienförmig gewendelte Widerstandsdrähte zu verwenden, die mit dem zu verdampfenden Material
beschickt werden. Derartige Verdampfer sind entweder an ihrem unteren Ende konisch ausgebildet oder mit einem Stütznetz
versehen. Sie sind jedoch in ihrem Aufbau nur schwer
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symmetrisch herzustellen, deformieren sich im Betrieb und
müssen nach jedem Verdampfungsvorgang wieder gerichtet werden. Dennoch ist die Abdampfcharakteristik von Fall zu
Fall verschieden. Die Abdampfcharakteristik ist darüberhinaus von der Füllhöhe des Verdampfers abhängig, ein Einfluß
der mit vertretbarem Aufwand bisher nicht beseitigt werden konnte. Die Erfahrung hat gezeigt, daß die unterschiedlichen
Charakteristika der einzelnen Verdampfer in einem Verdampferfeld
zu örtlich unterschiedlichen Schichteigenschaften führt,
JO die beispielsweise in Form von Farbverschiebungen und eines
wolkigen Aussehens optisch wahrnehmbar sind. Dies ist insbesondere bei großflächigen Fensterscheiben störend, die durch
die Bedampfung mit Gold, Silber oder Kupfer in Verbindung mit Haftvermittlern und dielektrischen Schutzschichten sogenannte
Infrarot-Filter bilden.
Durch die DT-AS 23 64 379 ist ferner eine widerstandsbeheizte Verdampfervorrichtung bekannt, die aus einem durchgehenden
Blechstreifen besteht, an den seitlich mindestens eine flache Tasche aus einem Metallnetzmaterial elektrisch
leitend befestigt ist. Die Netztasche soll dabei auch durch ein durchlöchertes Blech ersetzbar sein. Die Notwendigkeit,
das Netztaschenmaterial auf eine bestimmte Temperatur aufzuheizen, um unerwünschte Dampfkondensationen zu verhindern,
erzwingt eine exakte elektrische Abstimmung der Leitfähigkeiten von Blechstreifen und Metallnetzmaterial. Soll ein
derartiger Verdampfer in einem Verdampferfeld verwendet werden, welches sich mittig zwischen zwei gleichzeitig zu bedampfenden
Glasscheiben befindet, so ist es unerläßlich, daß Metallnetzmaterial beidseitig des Blechstreifens anzuordnen,
so daß der Blechstreifen mittig durch das Verdampfungsmaterial
hindurchgeführt ist. Als Folge stellt sich ein Temperaturgradient von innen nach außen ein, der insbesondere bei subli-
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mierbarem Verdampfungsmateriäl zu einem Wegblasen von pulverförmigen
Teilchen führt, ein Vorgang, der äußerst schädlich für die Qualität der niedergeschlagenen Schicht ist. Darüberhinaus
kann der vorbekannte Verdampfer nur bis zu einer bestimmten Höhe mit Verdampfungsmaterial gefüllt werden, da
sonst unvermeidbar ein beträchtlicher Anteil des Verdampfungsmaterials aus den oben offenen Netztaschen austritt. Es
wurde festgestellt, daß auch bei geringer Füllung die Verdampfung
nach oben beträchtlich ist, so daß ein ständiger Verlust von Verdampfungsmaterial in Verbindung mit der Notwendigkeit
einer häufigen Reinigung der Aufdampfanlage die . Folge sind. Durch die Abhängigkeit der Abdampfcharakteristik
von der Füllhöhe sind die Verhältnisse nicht in ausreichendem Maße reproduzierbar; insbesondere wird ein hohes Maß von Sorgfalt
beim Nachfüllen der Verdampfer verlangt. Die weiterhin angegebene Maßnahme, die Verhältnisse unter Umständen durch
Kippen der Netztaschen in die waagrechte Lage zu verbessern, ist aus auf der Hand liegenden Gründen wenig praktikabel.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Verdampferquelle
der eingangs beschriebenen Gattung anzugeben, die in einem Verdampferfeld zwischen senkrecht angeordneten Substraten
untergebracht werden kann und eine in hohem Maße reproduzierbare Abdampfcharakteristik besitzt.
Die Lösung der gestellten Aufgabe erfolgt bei dem eingangs beschriebenen
thermischen Verdampfer erfindungsgemäß dadurch, daß die Austrittsöffnungen in den beiden Seitenwandtei1 en des
Gehäuses angeordnet sind und daß der Deckel geschlossen ist.
Durch die angegebenen Maßnahmen bildet das Gehäuse selbst und ausschließlich den elektrischen Widerstand für die Erzeugung
der Verdampfungswärme. Der Heizwiderstand mit maximaler
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Temperatur umgibt somit das Verdampfungsmaterial, so daß
stoßweises Verdampfen mit einem Zerstäuben von Pulver etc. ausgeschlossen sind. Durch den geschlossenen Deckel erfolgt
der Dampfaustritt - abgesehen von unbeachtlichen Verlusten
durch "Undichtigkeiten" - ausschließlich durch die Austrittsöffnungen in den beiden Seitenwandteilen, d.h. in Richtung
auf die Substratflächen, so daß Verluste an Verdampfungsmaterial praktisch nicht auftreten. Dies ist insbesondere
dann von Bedeutung, wenn kostspielige Metalle, wie beispielsweise Gold verdampft werden sollen. Vor allem aber
ist die Abdampfcharakteristik praktisch unabhängig von der Füllmenge bzw. Füllhöhe des Verdampfungsmaterials,
jedenfalls so lange nicht, wie die Austrittsöffnungen
nicht von festem Verdampfungsmaterial verdeckt werden.Das
mit dem erfindungsgemäßen Verdampfer durchgeführt Aufdampfverfahren
hat sich als außerordentlich gut reproduzierbar erwiesen. Darüberhinaus ist es bei exakter Füllung des
. Verdampfers auch möglich, quantitative Verdampfungsvorgänge
durchzuführen, die zu stets gleichbleibenden Schichteigenschäften führen. Die Gleichförmigkeit der Abdampfcharakteristik
ist ein wesentlicher Vorteil für die Anordnung des Verdampfers in einem Verdampferfeld, d.h. für die Verdampfung von großflächigen
Substraten.
Ein derartiger thermischer Verdampfer, dessen Gehäuse aus
zwei Blechzuschnitten besteht, von denen der eine zu einem Schiffchen und der andere zu einem Deckel geformt ist, kann
in besonders einfacher Weise gemäß der weiteren Erfindung dadurch hergestellt werden, daß der Blechzuschnitt für das
Schiffchen aus einem Bodenteil und zwei Seitenwandteilen besteht,
die an Biegekanten aneinander stossen, daß der Bodenteil
parallel zu den Biegekanten auf beiden Seiten durch
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Zungen verlängert ist, deren Breite etwa der Breite des Bodenteils und deren Länge etwa der Höhe des durch Aufbiegen
zu formenden Schiffchens entspricht, und daß die beiden SeitenwandteiIe parallel zu den Biegekanten beiseitig
durch Zungen verlängert sind, deren Länge L, so bemessen ist, daß die Zungen nach Z-förmiger Abwinkelung
und Aufbiegen der SeitenwandteiIe unter Umgreifen der aufgebogenen
Zungen des Bodenteils sowohl je die Hälfte von Stirnwänden des Schiffchens als auch die Anschlußfahnen
für den elektrischen Anschluß bilden, wobei jeweils zwei Anschlußfahnen sich in der Symmetrieebene des Schiffchens
berühren und daß die Austrittsöffnungen für den Dampf in
den Seitenwandteilen angeordnet sind.
Ein solches Schiffchen läßt sich durch Stanzen und Biegen bzw. Abkanten im Folgeschrittverfahren leicht in großen Stückzahlen
herstellen. Dennoch wird durch die sich aus dem Blechzuschnitt ergebende endgültige Form des Schiffchens eine
völlig ausreichende Dichtigkeit gegenüber schmelzenden und sub!imierbaren Verdampfungsmaterialien erreicht, ohne daß
ein Schweissen an Nahtstellen erforderlich wäre.
Es ist dabei besonders vorteilhaft, wenn die Gesamtfläche aller Austrittsöffnungen weniger als 30%, vorzugsweise weniger
als 15% der Fläche der SeitenwandteiIe beträgt. Die optimale
Gesamtfläche aller Austrittsöffnungen läßt sich durch
einfaches Ausprobieren leicht bestimmen. Bei der Dimensionierung muß lediglich sichergestellt sein, daß die Fläche aller Austrittsöffnungen
zusammengenommen wesentlich größer ist, als die Fläche aller "Undichtigkeiten" des fertig montierten Verdampfers
.
Der erfindungsgemäße thermische Verdampfer kann dadurch weiter
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ausgestaltet werden, daß der Blechzuschnitt für den Deckel
aus einem Deckelteil und zwei Zargenteilen besteht, die an Biegekanten aneinander stossen, und daß der Deckel teil
parallel zu den Biegekanten auf beiden Seiten durch paarweise angeordnete Zungen verlängert ist, deren Breitenabstand
S so gewählt ist, daß die Zungen nach Abwinkelung die Änschlußfahnen. des Schiffchens beidsei ti g unigrei fen ,
und deren Längenabstand Ly so gewählt ist, daß die Zungen
elastisch auf den Stirnwänden des Schiffchens aufliegen.
Die hierdurch geschaffenen elektrischen Verhältnisse sind ausreichend definiert, um einen entsprechenden Stromfluß
auch über den Deckel sicherzustellen. Zum Füllen des Verdampfers kann der Deckel leicht abgehoben werden. Die
Zungen erzeugen aufgrund ihrer Elastizität eine ausreichende Klemmwirkung, so daß der Deckel auch bei hohen Dampfdrücken
nicht abheben kann. Die Materialstärken von Deckel und
Schiffchen können unterschiedlich sein, wobei darauf zu
achten ist, daß die Deckel temperatur so hoch liegt, daß
das verdampfte Material dort nicht kondensiert.
Ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes sei nachfolgend anhand der Figuren 1 bis 4 näher erläutert.
Es zeigen:
Figur 1 einen Blechzuschnitt für ein Schiffchen in
flachem, d.h. noch nicht aufgebogenem Zustand,
Figur 2 eine Draufsicht von oben auf das Schiffchen,
welches aus dem Blechzuschnitt gemäß Figur
durch Biegen hergestellt worden ist,
-Figur 3 eine Draufsicht auf einen Blechzuschnitt für
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einen Deckel und
Figur 4 eine perspektivische Darstellung des vollständigen,
• aus den Gegenständen gemäß den Figuren 1 bis hergestellten Verdampfers.
In Figur 1 ist mit 10 ein Blechzuschnitt mit im v/esentl i chen
rechteckigem Umriß bezeichnet, der aus einem Bodenteil 11 und
zv/ei Sei tenwandtei len 12 besteht, die an zunächst ideellen
Biegekanten 13 aneinander stossen, welche sich in Längsrichtung des später gebildeten Schiffchens 14 (Figur 2) erstrecken.
Der Bodenteil 11 ist parallel zu den Biegekanten 13 auf beiden
Seiten durch Zungen 15 verlängert, deren Breite etwa der Breite des Bodenteils 11 und deren Länge etwa der Höhe des fertigen
Schiffchens entspricht. Die beiden Seitenwandtei1e 12 sind
gleichfalls durch parallel zu den Biegekanten 13 verlaufende Zungen 16 verlängert. Zwischen den Zungen 15 und dem Bodenteil
11 sowie zwischen den Zungen 16 und den Seitenwandteilen 12 befinden sich die Biegekanten 17, die zu den Biegekanten
13 rechtwinklig verlaufen. Die Biegekante 17 ist für die Zungen 15 bzw. 16 als durchgehend dargestellt, was bei
der geringen Blechstärke von 0,2 mm (Molybdä.n) vertretbar ist- In der Regel wird jedoch die Biegekante 17 im Bereich
der Zungen 15 etwas weiter innen verlaufen, um das Aufbiegen des Blechzuschnitts 10 zu ermöglichen, der zum Schiffchen
14 gemäß Figur 2 führt. Parallel zu den Biegekanten 17 verläuft durch die Zungen 16 noch je eine weitere Biegekante
18. Der Abstand der Biegekanten 17 und lfl voneinander und
die Länge L, der Zungen 16 ist so bemessen, daß die Zungen nach einer Z-förmigen Abwicklung gemäß Figur 2 je die
Hälfte von Stirnwänden 19 und gleichzeitig Anschlußfahnen
2o für den elektrischen Anschluß bilden.
Zwischen den Zungen 15 und 16 befinden sich trennende Ein-
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schnitte 21, die ein Hochstellen der Zungen 15 unabhängig
von den Zungen 16 erlauben. Nachdem die Zungen 15 hochgestellt bzw. aufgebogen worden sind, und nachdem die
Zungen 16 um die Biegekanten 18 nach außen abgebogen worden sind, lassen sie sich durch Biegen entlang der Biegekanten
17 (bei gleichfalls hochgestellten Seitenwandteilen 12)
um die Zungen 15 herumbiegen, wobei jeweils zwei benachbarte Anschlußfahnen 20 sich in der Symmetrieebene des
Schiffchens 14 berühren, wie dies in Figur 2 dargestellt ist. Aus Figur 2 ist auch ersichtlich, daß die hochgestellten
Zungen 15 innerhalb der Z-förmigen Abwinkelung der Zungen 16 liegen, wodurch eine ausreichende Dichtigkeit
des Schiffchens gewährleistet ist. In den Seitenwandteilen
12 sind - etwa gleichmäßig über die gesamte Fläche verteilt-Austrittsöffnungen 22 für den Dampf angeordnet.
Bei einer Länge des Schiffchen -Innenraums von etwa 30 mm hat sich die Anbringung von 30 Bohrungen mit einem Durchmesser
von 0,5 mm in jedem der SeitenwandteiIe 12 als Vbesitzt
brauchbar erwiesen, wobei die untere Lochreihe etwas Abstand vom Bodenteil
In Figur 3 ist ein Blechzuschnitt 23 für einen Deckel 24
dargestellt, der aus einem Deckelteil 25 und zwei angrenzenden Zargenteilen 26 besteht, die an Biegekanten
aneinander stossen. Parallel zu diesen Biegekanten 27 ist der Deckelteil 25 auf beiden Seiten durch paarweise angeordnete
Zungen 28 verlängert, die einen solchen Breitenabstand S voneinander haben, daß die Zungen 28 nach ihrer Abwinkelung
die Anschlußfahnen 20 des Schiffchens 14 beidseitig umgreifen. Zwischen den Zungen 28 und dem Deckelteil
25 sind Biegekanten 29 vorgesehen, deren Abstand L^ die
Länge des Deckelteils 25 und damit den Abstand der (abgewinkelten) Zungen 28 bestimmt. Dieser Abstand L2 ist so
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gewählt, daß die Zungen 28 elastisch auf den Stirnwänden
des Schiffchens 14 aufliegen und den Deckel 24 durch Klemmung zuverläassig in der in Figur 4 gezeigten Lage festhalten.
Wie aus Figur 4 weiterhin hervorgeht, sind die Zungen G 28 schwach S-förmig ausgebildet, um beim Aufsetzen des
Deckels 24 ein Aufgleiten der Zungen auf den Stirnwänden des Schiffchens zu ermöglichen bzw. zu erleichtern.
Wie aus Figur 4 hervorgeht, bildet das Schiffchen 14 zusammen mit dem aufgesetzten Deckel 24 im mittleren Bereich
ein Gehäuse 30, welches zur Aufnahme des Verdampfungsmaterials dient und mit Ausnahme der Austrittsöffnungen 22, die auf
beiden Seiten angeordnet sind, und etwaiger, unschädlicher
Undichtigkeiten allseitig, insbesondere aber nach oben hin
geschlossen ist. Der Deckel hat eine Blechstärke von 0,3 mm (Molybdän) und wird in Betrieb aufgrund der sich einstellenden
elektrischen Verhältnisse auf eine Temperatur aufgeheizt, durch die eine Kondensation des Verdampfungsmaterials am
Deckel verhindert wird. Hierdurch ergibt sich ein konstanter, stabiler und reproduzierbarer Dampfstrom, der von dem Gehäuse
30 in horizontaler Richtung nach beiden Seiten hin ausgeht. Durch Mehrfachanordnung derartiger Verdampfer in
einem Rastersystem läßt sich eine gesamte Dampfströmung von ausreichender Homogenität erreichen.
Der vorstehend beschriebene Verdampfer aus Molybdänblech hat sich für die Verdampfung von ZnS und Silber bestens
bewährt, jedoch ist er für andere Aufdampfmaterialien
auch aus anderen bekannten Werkstoffen herstellbar, z.B. aus Tantal-, Wolfram- und Eisenblech, letzteres insbesondere
für leicht verdampfbare Stoffe.
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Claims (4)
1. Durch Stromfluß beheizter thermischer Verdampfer für Vakuumaufdampfanlagen, welcher ein Gehäuse mit Bodenteil,
Seitenwandteilen, Stirnwänden und Deckel zur Aufnahme
des Verdampfungsmaterials bildet und mit rasterförmig angeordneten Austrittsöffnungen für den Dampf versehen
ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Austrittsöffnungen (22) in den beiden Seitenwandtei1 en (12) des
Gehäuses (30) angeordnet sind, und daß der Deckel (24) geschlossen ist.
2. Thermischer Verdampfer nach Anspruch 1, wobei das Gehäuse aus zwei Blechzuschnitten besteht, von denen der
eine zu einem Schiffchen und der andere zu einem Deckel geformt ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Blechzuschnitt
(10) für das Schiffchen (14) aus einem Bodenteil
(H) und zwei Sei tenwandtei len (12) besteht, die an Biegekanten (13) aneinanderstoßen, daß der Bodenteil
parallel zu den Biegekanten auf beiden Seiten durch Zungen (15) verlängert ist, deren Breite etwa der Breite
des Bodenteils und deren Länge etwa der Höhe des durch Aufbiegen zu formenden Schiffchens (14) entspricht,
und daß die beiden SeitenwandteiIe parallel zu den Biegekanten beidseitig durch Zungen (16) verlängert sind, der
Länge "L-," so bemessen ist, daß die Zungen nach Z-förmiger
Abwickelung und Aufbiegen der SeitenwandteiIe unter Umgreifen
der aufgebogenen Zungen (15) des Bodenteils sowohl je die Hälfte von Stirnwänden (19) des Schiffchens
als auch Anschlußfahnen (20) für den elektrischen Anschluß
bilden, wobei jeweils zwei Anschlußfahnen sich in der
Symmetrieebene des Schiffchens berühren, und daß die Aus-Austrittsöffnungen
(22) für den Dampf in den Seitenwandteilen angeordnet sind.
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3. Thermischer Verdampfer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Gesamtfläche aller Austrittsöffnungen
(22) weniger als 30%, vorzugsweise weniger als 15%, der Fläche der SeitenwandteiIe (12) beträgt.
4. Thermischer Verdampfer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der Blechzuschnitt (23) für den Deckel (24)
aus einem Deckelteil (25) und zwei Zargenteilen (26) besteht, die an Biegekanten (27) aneinander stossen, und
daß der Deckelteil parallel zu den Biegekanten auf beiden Seiten durch paarweise angeordneten Zungen (28) verlängert
ist, deren Breitenabstand "S" so gewählt ist, daß die
Zungen nach Abwinkelung die Anschlußfahnen (20) des
Schiffchens (14) beidseitig umgreifen, und deren Längenabstand (L„) so gewählt ist, daß die Zungen elastisch
auf den Stirnwänden (19) des Schiffchens aufliegen.
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Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19762653909 DE2653909A1 (de) | 1976-11-27 | 1976-11-27 | Durch stromdurchfluss beheizter thermischer verdampfer fuer vakuumaufdampfanlagen |
BE178243A BE855447A (fr) | 1976-11-27 | 1977-06-07 | Evaporateur thermique chauffe par le passage d'un courant, pour installations de metallisation sous vide |
FR7735592A FR2372242A1 (fr) | 1976-11-27 | 1977-11-25 | Evaporateur thermique a chauffage electrique pour equipements de metallisation sous vide |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19762653909 DE2653909A1 (de) | 1976-11-27 | 1976-11-27 | Durch stromdurchfluss beheizter thermischer verdampfer fuer vakuumaufdampfanlagen |
Publications (1)
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DE2653909A1 true DE2653909A1 (de) | 1978-06-01 |
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ID=5994098
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19762653909 Withdrawn DE2653909A1 (de) | 1976-11-27 | 1976-11-27 | Durch stromdurchfluss beheizter thermischer verdampfer fuer vakuumaufdampfanlagen |
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Country | Link |
---|---|
BE (1) | BE855447A (de) |
DE (1) | DE2653909A1 (de) |
FR (1) | FR2372242A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1041169A1 (de) * | 1999-03-29 | 2000-10-04 | ANTEC Solar GmbH | Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten durch Aufdampfen mittels eines PVD-Verfahrens |
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1976
- 1976-11-27 DE DE19762653909 patent/DE2653909A1/de not_active Withdrawn
-
1977
- 1977-06-07 BE BE178243A patent/BE855447A/xx unknown
- 1977-11-25 FR FR7735592A patent/FR2372242A1/fr active Granted
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US6444043B1 (en) | 1999-03-29 | 2002-09-03 | Antec Solar Gmbh | Apparatus for depositing CdS and CdTe layers on substrates by means of a CSS process |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
BE855447A (fr) | 1977-10-03 |
FR2372242B3 (de) | 1980-08-29 |
FR2372242A1 (fr) | 1978-06-23 |
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