DE2643361A1 - Verfahren zur automatischen pruefung glatter oberflaechen - Google Patents

Verfahren zur automatischen pruefung glatter oberflaechen

Info

Publication number
DE2643361A1
DE2643361A1 DE19762643361 DE2643361A DE2643361A1 DE 2643361 A1 DE2643361 A1 DE 2643361A1 DE 19762643361 DE19762643361 DE 19762643361 DE 2643361 A DE2643361 A DE 2643361A DE 2643361 A1 DE2643361 A1 DE 2643361A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
smooth surfaces
automatic testing
illuminated
light
image
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19762643361
Other languages
English (en)
Inventor
Hans-Joachim Dr Rer Nat Reinig
Alfred Dipl Phys Dr Schief
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Original Assignee
Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV filed Critical Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority to DE19762643361 priority Critical patent/DE2643361A1/de
Publication of DE2643361A1 publication Critical patent/DE2643361A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/8901Optical details; Scanning details

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Description

  • Ve-rfahren zur automatischen Prüfung glatter Oberflächen
  • Die Erfindung betrifft ein optisch-elektronisches Verfahren zur automatischen Prüfung glatter Oberflächen, z.B. zur Feststellung von mechanischen Beschädigungen, Verunreinigungen usw. Die Prüfung von Oberflächen ist eine weitverbreitete technische Aufgabe; Beispiele sind verchromte, lackierte oder polierte Oberflächen.
  • Für die Prüfung von Oberflächen wird heute noch in vielen Fällen der Mensch eingesetzt. Sichtprüfplätze sind gekennzeichnet durch hohe Monotonie und starke Konzentration. Automatische Verfahren scheitern oft an den zu geringen Unterschieden der Farbe oder des Reflexionsvermagens, die die zu suchenden Fehistellen im Vergleich zum ungestörten Untergrund besitzen.
  • Das vorgeschlagene Verfahren verwendet optische und elektronische Maßnahmen zur Anhebung des Kontrastes der Fehlstellen gegenüber dem Untergrund, so daß die anschließende elektronische Verarbeitung zur Entdeckung und gegebenfalls Klassifikation der Fehler mit großer Sicherheit und ohne großen Aufwand möglich ist. Das Verfahren wird nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel erläutert.
  • Bei der Prüfung von verchromten Oberflächen sind in einem praktisch vorliegenden Fall alle matten Stellen festzustellen, die einen Durchmesser von mehr als 1/10 mm haben.
  • Die matten Stellen sind ohne besondere Maßnahmen nur sehr schwer zu erkennen.
  • In Bild 1 ist ein Beleuchtungs- und Beobachtungsstrahlengang dargestellt, der zu kontrastreichen Bildern führt.
  • Durch die Lichtquelle 1 mit dem Kondensor 2 wird eine Blende 3 beleuchtet; diese wird vom Objektiv 4 unter einem flachen Winkel von etwa 100... 450 auf die zu prüfende Oberfläche 5 abgebildet. Das Bild der Blende 3 ist mit 6 bezeichnet. Das von der glatten Oberfläche reflektierte Licht fällt in eine Lichtfalle 7 und wird dort absorbiert. Das Objektiv 8 bildet das vom optischen System 1-4 beleuchtete Feld 6 der Oberfläche 5 auf eine Ebene 9 ab, in der eine lichtempfindliche Schicht liegt. Bei ideal spiegelnder Oberfläche 5 fällt kein Licht in das Objektiv 8 der Beobachtungsoptik. Besitzt die Oberfläche 5 eine Textur, so wird nicht alles Licht nach dem Reflexionsgesetz in die Lichtfalle 7 gespiegelt, sondern ein Teil auch in andere Raumwinkel gestreut. In der Ebene 9 entsteht eine Abbildung der streuenden Strukturen, die innerhalb des Feldes 6 liegen. In Bild 2 ist schematisch eine solche Abbildung einer fehlerfreien Oberfläche mit Textur dargestellt..Wenn im Feld 6 ein Oberflächenfehler vorhanden ist, erhält man im Streulicht einen starken Kontrast zum Untergrund, wie im Bild 3 dargestellt ist.
  • Die Aufnahme der Lichtintensitätsverteilung in der Ebene 9 kann beispielsweise mit einer Fernsehaufnahmeröhre erfolgen.
  • Aus dem Videosignal werden mit Hilfe eines Schwellwertdiskriminators diejenigen Teile des Bildes ausgeblendet, bei der intensive und großflächige Signale vorhanden sind, wie in Bild 3 durch den ovalen Fleck 10 angedeutet ist. Die ausgeblendeten Bildteile können dann automatisch nach Form, Größe und Intensität mit bekannten Verfahren verarbeitet und klassifiziert werden.
  • Bei veränderlicher Textur des Untergrundes kann die Schwelle adaptiv aus der über einem größeren Bereich gemittelten Hel-.
  • ligkeit des ungestörten Untergrundes abgeleitet und elektronisch gespeichert werden. Dadurch paßt sich die Verarbeitung des Videosignales automatisch an Schwankungen der Oberflächenbeschaffenheit an.
  • Durch das Verfahren der Lokaladaption (Patentanmeldung BRD P 24 47 440.6) können ebenfalls Schwankungen des Untergrundes eliminiert werden.
  • Eine besonders einfache Detektion von Fehlstellen der Oberfläche ist häufig durch'Messung der Gesamtintensität des auf die Ebene 9 fallenden Lichtes möglich. Dazu ist eine Begrenzung des Bildfeldes in der Ebene 9 in der Weise erforderlich, daß die Gesamtintensität des Untergrundes einen deutlich geringeren Wert besitzt als die von der kleinsten zu entdekkenden Fehlstelle verursachte Intensität. Günstige Intensitätsverhältnisse zwischen Fehlstellen und Hintergrund können auch durch eine geeignete Größe und Form des Feldes 6 erzielt werden, das durch die Form und Größe der Blende 3 und den Abbildungsmaßstab des optischen Systems 1-4 bestimmt ist.
  • Oberflächen, die größer als das zulässige Feld 6 sind, werden kontinuierlich unter der Prüfeinrichtung bewegt. Unter Ausnutzung der Bewegung des Prüflings ist es auch möglich, durch Verwendung einer linearen Anordnung von Dioden (Diodenzeile) die beschriebene Verarbeitung des Bildes- in der Ebene 9 durchzufuhren.
  • Wenn sich Fehlstellen oder Schmutz durch ihre Farbe vom Untergrund unterscheiden, kann durch farbiges, an die Fehlstellen angepaßtes Licht,eine weitere Kontrasterhöhung erreicht werden.
  • Bei manchen Prüflingen kann es nötig werden, das gleiche Feld der zu prüfenden Oberfläche mit mehreren optischen Systemen 1-4 unter verschiedenen Azimut- und Höhenwi-nkeln zu beleuchten. L e e r s e i t e

Claims (7)

  1. Patentansprüche 1. Verfahren zur automatischen Prüfung glatter Oberflächen, dadurch gekennzeichnet, daß durch Abbildung einer beleuchteten Blende auf die zu prüfende Oberfläche ein begrenztes Feld der Oberfläche beleuchtet wird, daß das von der Oberfläche nach dem Reflexionsgesetz gespiegeltes Licht nicht in die Beobachtungsoptik fällt, sondern beispielsweise von einer Lichtfalle absorbiert wird, daß die lichtstreuenden Strukturen innerhalb des beleuchteten Feldes der Oberfläche mittels einer Beobachtungsoptik abgebildet werden und daß das dadurch entstehende kontrastreiche Bild der Oberfläche mittels bekannter optisch-elektrischer Verfahren ausgewertet wird.
  2. 2. Verfahren zur automatischen Prüfung glatter Oberflächen, nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Beleuchtungsstrahlengänge unter unterschiedlichem Azimut- und Höhenwinkel das gleiche Feld der Oberfläche beleuchten.
  3. 3. Verfahren zur automatischen Prüfung glatter Oberflächen, nach Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Bild der Oberfläche mit optisch-elektrischen Wandlern in elektrische Signale umgesetzt wird und Fehlstellen mittels eines Schwellwertdiskriminators erfaßt werden.
  4. 4. Verfahren zur automatischen Prüfung glatter Oberflächen, nach den Ansprüchen 1, 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwelle des Schwellwertdiskriminators adaptiv an die mittlere Intensität der fehlerfreien Oberfläche angepaßt wird.
  5. 5. Verfahren zur automatischen Prüfung glatter Oberflächen, nach den Ansprüchen 1,2,3 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß Fehler durch Messung der Gesamtintensität des in die Beobachtungsoptik fallenden Lichtes erfaßt werden und die Größe des Bildfeldes so begrenzt wird, daß die durch die fehlerfreie Oberfläche verursachte Gesamtintensität kleiner als die Intensität des kleinsten zu erfassenden Fehlers ist.
  6. 6. Verfahren zur automatischen Prüfung glatter Oberflächen, nach den Ansprüchen 1, 2, 3, 4 und 5, d a d u r c h gek e n n z ei c h ne t, daß die zu prüfende Oberfläche unter der Beleuchtungs- und Beobachtungsoptik bewegt wird und die Bildaufnahme mit einer linearen Anordnung von Dioden erfolgt.
  7. 7. Verfahren zur automatischen Prüfung glatter Oberflächen, nach den Ansprüchen 1, 2, 3, 4, 5 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß durch Verwendung farbigen Lichtes eine weitere Kontrasterhöhung erzielt wird.
DE19762643361 1976-09-25 1976-09-25 Verfahren zur automatischen pruefung glatter oberflaechen Pending DE2643361A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19762643361 DE2643361A1 (de) 1976-09-25 1976-09-25 Verfahren zur automatischen pruefung glatter oberflaechen

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19762643361 DE2643361A1 (de) 1976-09-25 1976-09-25 Verfahren zur automatischen pruefung glatter oberflaechen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2643361A1 true DE2643361A1 (de) 1978-03-30

Family

ID=5988924

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19762643361 Pending DE2643361A1 (de) 1976-09-25 1976-09-25 Verfahren zur automatischen pruefung glatter oberflaechen

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE2643361A1 (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3310341A1 (de) * 1982-03-23 1983-09-29 Canon K.K., Tokyo Vorrichtung zum pruefen von negativen
EP0058452B1 (de) * 1981-02-12 1985-05-29 CENTRE DE RECHERCHES METALLURGIQUES CENTRUM VOOR RESEARCH IN DE METALLURGIE Association sans but lucratif Verfahren und Vorrichtung zum Feststellen von Oberflächenfehlern an Profilen und Halberzeugnissen
US4568835A (en) * 1981-11-06 1986-02-04 Nippon Kogaku K.K. Apparatus for detecting foreign matters on a planar substrate
EP0594735A1 (de) * 1991-07-16 1994-05-04 Reynolds Metals Company Methode und apparat zur oberflaecheninspektion

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0058452B1 (de) * 1981-02-12 1985-05-29 CENTRE DE RECHERCHES METALLURGIQUES CENTRUM VOOR RESEARCH IN DE METALLURGIE Association sans but lucratif Verfahren und Vorrichtung zum Feststellen von Oberflächenfehlern an Profilen und Halberzeugnissen
US4568835A (en) * 1981-11-06 1986-02-04 Nippon Kogaku K.K. Apparatus for detecting foreign matters on a planar substrate
DE3310341A1 (de) * 1982-03-23 1983-09-29 Canon K.K., Tokyo Vorrichtung zum pruefen von negativen
EP0594735A1 (de) * 1991-07-16 1994-05-04 Reynolds Metals Company Methode und apparat zur oberflaecheninspektion
EP0594735A4 (en) * 1991-07-16 1994-08-10 Reynolds Metals Co Surface inspection method and apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE68923353T2 (de) Anordnung und Verfahren zum Ermitteln von Fehlern in zu prüfenden Mustern.
DE69725021T2 (de) Verfahren und system zum darstellen eines objektes oder musters
EP0162120B1 (de) Verfahren und Einrichtung zur Oberflächenprüfung
DE3540916C2 (de)
EP0249799B1 (de) Vorrichtung zum Prüfen von Bauteilen aud transparentem Material auf Oberflächenfehler und Einschlüsse
DE112016004097B4 (de) Waferinspektionsverfahren und Waferinspektionsvorrichtung
JP7339643B2 (ja) 溶液に浸された眼用レンズの屈折力および厚さを検査するためのシステムおよび方法
DE4139094A1 (de) Messverfahren und messgeraet zur erkennung von stoerstellen bei flachglaesern
DE2539766A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur pruefung von fluessigkeitsgefuellten transparenten gefaessen auf anwesenheit von fremdstoffteilchen in der fluessigkeit
DE10239548A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion eines Objekts
JPH10506478A (ja) 細胞学的装置の自動焦点の完全性を点検する装置
DE19903486A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur optischen Untersuchung von strukturierten Oberflächen von Objekten
DE4121464A1 (de) Vorrichtung zur feststellung von oberflaechendefekten
DE4434699C2 (de) Anordnung zur Prüfung durchsichtiger oder spiegelnder Objekte
DE3620146A1 (de) Verfahren zum pruefen von bauteilen aus transparentem material auf oberflaechenfehler und einschluesse
DE2643361A1 (de) Verfahren zur automatischen pruefung glatter oberflaechen
DE19720330C1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Spannungen in Glasscheiben mit Hilfe des Streulichtverfahrens
EP0787970B1 (de) Vorrichtung zur Inspektion der Oberfläche von Holz zwecks Feststellung von Oberflächenmerkmalen und Verfahren hierzu
DE3872906T2 (de) Einrichtung zum ueberpruefen der groesse des vakuums in einem geschlossenen behaelter.
DE10157244B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Defektanalyse von Wafern
WO2001023870A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur erkennung von defekten in und an transparenten objekten
JP2001194318A (ja) 損傷検出装置及び方法
DE19824623A1 (de) Vorrichtung zur Charakterisierung von technischen Oberflächen mittels Streulicht
DE4337707A1 (de) Anordnung zur Beleuchtung und Abbildung
DD215399A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur erkennung von fehlern auf oberflaechenschichten

Legal Events

Date Code Title Description
OD Request for examination
OHN Withdrawal