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ElektronenoPtische magnetische Z-flinderlinse
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Die Erfindung betrifft eine elektronenoptische magnetische Zylinderlinse
zur optischen Beeinflussung eines Ladungsträgerstrahlenbündels, insbesondere eines
Elektronenstrahlenbündels, dessen quer zur Strahlrichtung geizommener Querschnitt
in wesentlichen band- oder linienförmig ist, mit zwei im Querschnitt E-förmigen
Polschuhkörpern, die mit einander zzlgelrandten freien Enden der die Polschuhe bildenden
Schenkel nebeneinander mit einem Zwischenraum angeordnet sind, wobei der Zwischenraum
zumindest einen Teil eines Dtlroatrittsspalts für das Strahlenbündel mit quer zu
den Schenkeln verlaufender Strahlrichtung bildet und die beiden mittleren Polschuhs
mit gleicher Polarität und die Paare der äußeren Polschuhe mit dazu entgegengesetzt
gleicher Polarität magnetisiert oder mittels stromdurchflossener elektrischer Leiter
in Spulenform nagnetisierbar sind.
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Derartige magnetische Zylinderlinsen mit im Querschnitt E-förmigen
Polschuhkörpern sind bekannt; man kann sie sich entstanden denken durch diametrales
Aufschneiden und Strecken einer herkömmlichen Rundlinse mit ringfömigem, im Querschnitt
E-förmigem Polschuhkörper.
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Magnetische Zylinderlinsen finden vielfältige Verwendung zur Abbildung
eines beispielsweise geraden Linien-Crossover in eilen dazu parallelen und geraden
Linienfokus; beispielsweise findet man diese Art der Abbildung in Elektronenstrahl-Arbeitsmaschinen
hoher Leistung, bei denen durch Aufteilung des band- oder linienförmigen Strahlquerschnitts
mit Hilfe eines gekühlten Gitters eine Mehrzahl, insbesondere eine Reihe, von Einzelstrahlen
mit fleck- oder etwa punktförmigem Querschnitt hergestellt wird.
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Es leuchtet ein, daß rotationssymmetrische magnetische Linsen, wie
sie zur magnetischen Beeinflussung, insbesondere Fokussierung, von Ladungsträgerstrahlen
mit im wesentlichen kreisförmigem Querschnitt verwendet werden, erheblich weniger
Probleme hinsichtlich der Einhaltung einer gewünschten Strahlgeometrie aufgeben
als Linsenformen, bei denen eine Rotationssymmetrie nicht vorliegt, insbesondere
also auch bei Zylinderlinsen der eingangs angegebenen Art.
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Dabei ergeben sich Abbildungsfehler insbesondere durch
Ungleichmäßigkeiten
der magnetischen Induktion über den Querschnitt des Durchtrittsspalts, und besondere
Schwierigkeiten ergeben sich naturgemäß an den Schmalseiten des Querschnitts des
Durchtrittsspalts, also an den Spaltenden, weil dort Streuverluste auftreten und
das Ende des Durchtrittsspalts eine starke Inhomogenitat bezüglich der magnetischen
Leitfähigkeitsverhältnisse darstellt. Infolge dieser Schwierigkeiten ergeben sich
insbesondere Verschiedenheiten der Brennweite der Linienabbildung zwischen der Mitte
und den Enden des Durchtrittsspalt-Querschnitts, und meist beobachtet man auch Verbiegungen
des Linienfokus in den Bereichen, die den Enden des Durchtrittsspalts entsprechen.
Erschwert werden diese Probleme noch dadurch, daß diese und andere Abbildungsfehler
auch über die in Strahlrichtung gemessene Länge des Durchtrittsspalts verschieden
sind. Eine weitere Störmöglichkeit ist noch dadurch gegeben, daß die von den freien
Endquerschnitten der Polschuhkörper ausgehenden Streufelder störend auf die außerhalb
der Linse liegenden Teile des Ladungsträgerstrahls einwirken.
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Die vorliegende Erfindung geht von der Aufgabe aus, die beschriebenen
Schwierigkeiten so weitgehend wie möglich zu vermeiden, also eine magnetische Zylinderlinse
zu schaffen, die bei unverändert einfachem Aufbau eine gleichmäßigere Wirkung über
den gesamten Linienstrahlquerschnitt
hat, weniger Streufelder aufweist,
geringere Abweichungen des Linienfokus von der Linearität hervorruft und mit einfachen
Mitteln auf optimale Strahlgeometrie einstellbar ist.
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Nach der Erfindung wird diese Aufgabe gelöst mit einer Zylinderlinse
der eingangs angegebenen Art, die dadurch gekennzeichnet ist, daß magnetisch leitende
Verbindungen, insbesondere in Form von Jochen aus magnetisch leitendem Material,
zwischen jedem Paar von beiderseits des Durchtrittsspalts liegenden Endquerschnitten
der Polschuhkörper wirksam sind, und daß die magnetisch leitenden Verbindungen nach
ihrer Geometrie und/oder ihren magnetischen Leitwerten und/oder ihrer Magnetisierung
durch zusätzliche stromdurchflossene elektrische Leiter im Sinne einer gewünschten
Modifizierung, insbesondere Vergleichmäßigung, des Linsenfeldes an den Schmalseiten
des Querschnitts des Durchtrittsspalts ausgebildet sind.
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Nach der Erfindung werden somit die streuenden Endquerschnitte magnetisch
leitend miteinander verbunden, wobei die magnetisch leitenden Verbindungen nicht
einfach Kurzschlüsse sind, wie es bei üblichen Jochen der Fall ist, sondern unter
Berucksichtigung der sie aufmagnetizierenden stromdurchflossenen Leiter im Hinblick
auf die gewünschte Verbesserung der Strahl geometrie dimensioniert sind. Es leuchtet
sein, daß diese Dimensionierung sowohl die Verteilung der stromdurchflossenen elektrischen
Leiter als auch den magnetischen Leitwert betreffen kann, also beispielsweise durch
entsprechende Wahl der Art des Verbindungsmaterials hinsichtlich seiner magnetischen
Leitfähigkeit, durch #ö§8/uyt lt der
Querschnitte der magnetischen
Leitpfade und durch Einschaltung von Abschnitten aus Materialien geringer magnetischer
Leitfähigkeit. An die Verwendung magnetisch leitender Verbindungen, insbesondere
von Jochen, zwischen den E-Endquerschnitten dcr Polschuhkörper wurde bisher nicht
gedacht, weil naturgemäß übliche Kurzschluß-Joche sehr unerwünschte Verzerrungen
des Linsenfeldes hervorrufen und die oben beschriebenen Schwierigkeiten noch verstärken
würden.
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Es hat sich gezeigt, daß es bei den erfindungsgemäßen Zylinderlinsen
nur weniger einfacher Versuche bedarf, um im Einzelfall jeweils diejenige Form und
Geometrie der magnetisch leitenden Verbindung zu ermitteln, die eine gewünschte
Verbesserung der Abbildungseigenschaften der Linse herbeiführen.
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Eine besonders einfache Ausführungsform, bei der die magnetischen
Verbindungen in Form von Jochen ausgeführt sind, ist dadurch gekennzeichnet, daß
zwischen den an die Endquerschnitte der Polschuhkörper anschließenden Endflächen
der Joche eine Ausnehmung angeordnet ist, die einen verbreiteren Endbereich des
Durchtrittsspalts bildet. Mit dieser Ausführungsform ist es sehr leicht möglich,
diejenige Größe der Ausnehmung zu bestimmen, bei der die urzschlußwirkung des Joches
gerade so weit aufgehoben ist, daß sich eine noch günstige Kurzschlußwirkung für
die
Streufelder ergibt, jedoch das im Durchtrittsspalt vorliegende
Linsenfeld sich mit großer Gleichförmigkeit bis in den Endbereich des Durchtrittsspalts
fortsetzt.
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Ein gewünschter magnetischer Leitwert der Verbindung kann sehr einfach
dadurch eingestellt werden, daß der Anschlußquerschnitt. des Jochs an den Polschuhkörper
entsprechend dimensioniert wird. Da wie erläutert eine geringere magnetische Leitfähigkeit
als bei einem einfachen Kurzschluß gewünscht wird, ergibt sich daraus für Verbindungen
aus verhältnismäßig gut magnetisch leitendem Material die sehr einfache Bauweise,
daß die Endflächen der Joche kleiner sind als die Endquerschnitte des Polschuhkörpers.
Dadurch läßt sich auch sehr leicht die erwähnte Verbreiterung des Durchtrittsspalts
in dessen Endbereich erzielen, indem man nämlich die Endflächen der Joche mit Abstand
vom Durchtrittsspalt an den (größeren) Endquerschnitten des Polschuhkörpers anschließen
läßt.
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Die zur Herstellung der magnetisch leitenden Verbindungen dienenden
Körper oder Joche können im einfachsten Fall einstückig mit den Polschuhkörpern
ausgebildet sein. Diese Bauweise wird sich besonders dann empfehlen, wenn größere
Serien ein und desselben Linsentyps zu fertigen sind und Veränderungen der Linseneigenschaften
am Einzelexemplar nicht mehr erforderlich sind. Oft wird es jedoch aus Gründen
des
leichteren Zusammenbaus und um eine spätere Nachstellung zu erleichtern, zweckmäßiger
sein, die Joche als getrennte Baukörper auszuführen. Auch eine Bauweise, bei der
nur ein Teil des Joches einstückig an den zugehörigen Polschuhkörper anschließt,
kann für den Zusammenbau vorteilhaft sein; dabei können beispielsweise die Polschuhkörper
an ihren beiden Endquerschnitten jeweils eine Hälfte eines Joches tragen, so daß
der Zusammenbau der erfindungsgemäßen Linse dann in ähnlicher Weise vor sich gehen
kann wie bei bekannten Ausführungen, bei denen zwei getrennte Polschuhkörper zusammengebaut
werden.
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Um an der fertigen Linse noch korrigierende Veränderungen der magnetischen
Eigenschaften in den Endbereichen des Durchtrittsspalts ausführen zu können, ohne
daß die Linse wieder auseinandergenommen und die Form der magnetischen Verbindungen
oder Joche geändert werden muß, ist es in weiterer Ausgestaltung der Erfindung zweckmäßig,
daß in wenigstens einem Endbereich des Durchtrittsspalts eine von außerhalb der
Linse einstellbare magnetische Spaltenden-Korrektureinrichtung zur Korrektur der
Strahlgeometrie in dem Endbereich vorgesehen ist. Diese Spaltenden-Korrektureinrichtung
besteht im einfachsten Fall aus einem Stift aus magnetisch leitendem Material, der
mehr oder weniger weit in den Bereich des Durchtrittsspalts hinein verstellbar ist,
beispielsweise mit Hilfe einer Klemmvorrichtung
oder eines Einstellgewindes.
Eine rein elektrische Einstellung ist leicht dadurch möglich, daß die Spaltenden-Korrektureinrichtung
eine im Endbereich des Durchtrittsspalts stromdurchflossene wirksamd Korrekturspule
aufweist, deren Wicklungsachse quer zur Strahlrichtung in der Längsrichtung des
Spaltquerschnitts liegt. Durch Veränderung eines der Korrekturspule zugeführten
elektrischen Stromes kann die Korrekturwirkung bequem eingestellt werden.
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Um die Gleichmäßigkeit der Linsenbrennweite über den gesamten Querschnitt
des Ladungsträgerstrahlenbündels weiterzu verbessern, ist es in weiterer Ausgestaltung
der Erfindung zweckmäßig, daß in den Bereichen zwischen dem mittleren Polschuh und
den äußeren Polschuhen wenigstens des einen von Polschuhkörpers eine./außerhalb
der Linse einstellbare magnetische Brennweiten-Korrektureinrichtunc; zur örtlichen
Korrektur, vorzugsweise Vergleichmäßigung, der entlang des Durchtrittsspalts örtlich
wirksamen Linsenbrennweite vorgesehen ist. Diese Brennweiten-Korrektureinrichtung
wird zweckmäßig in Form wenigstens einer Spule mit in Strahlrichtung liegender Wicklungsachse
ausgeführt. Es versteht sich, daß man auch verstellbare Stifte aus magnetisch leitendem
oder magnetischem Material zu ähnlichen Zweckeneinsetzen kann.
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Um die Abbildungseigenschaften der Linse hinsichtlich des
geometrischen
Verlaufs des mit ihr erzielbaren Linienfokus verändern und korrigieren zu können,
insbesondere auch zur Begradigung des Linienfokus, kann in weiterer Ausgestaltung
der Erfindung in den Bereichen zwischen dem inneren Polschuh und den äußeren Polschuhen
wenigstens des einen Polschuhkörpers eine von außerhalb der Linse einstellbare magnetische
Linien-Korrektureinrichtung zur Verbiegung, insbesondere Begradigung, des im Querschnitt
im wesentlichen band- oder linienförmigen Strahlquerschnitts in der Linse vorgesehen
sein. Eine baulich einfache und universell verwendbare Ausführungsform einer derartigen
Linienkorrektureinrichtung enthält wenigstens eine Spule mit quer zum Strahl in
der Längsrichtung des Durchtrittsspalts liegender Wicklungsachse.
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Da es sich gezeigt hat, daß in manchen Fällen die an den Enden des
Durchtrittsspalts erforderlichen Korrekturen über die in Strahlrichtung gemessene
Länge des Durchtrittsspalts verschieden sind, kann es in weiterer Ausgestaltung
der Erfindung zweckmäßig sein, daß die magnetische Leitfähigkeit der magnetisch
leitenden Verbindungen für cie mittleren Polschuhe verschieden, insbesondere geringer,
ist als für die äußeren Polschuhe.
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Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen in
Verbindung mit den Zeichnungen näher beschrieben, wobei alle sich vom Stand der
Technik unterscheidenden Merkmale von erfindungswesentlicher Bedeutung sein können.
Es zeigt: Fig. 1 eine perspektivische schematische Schnittdarstellung einer Hälfte
einer erfindungsgemäßen Zylinderlinse, wobei der halbierende Schnitt quer durch
beide Polschuhkörper gelegt ist, Fig. 2 eine perspektivische schematische Schnittdarstellung
einer Hälfte einer anderen Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Zylinderlinse,
wobei der halbierende Schnitt durch die Mittelebene der mittleren Polschuhe gelegt
ist, Fig. 3 eine perspektivische Teil-Darstellung ähnlich wie Fig. 1 einer anderen
Ausführungsform in etwas grö-Berem Maßstab, Fig. 4 in ähnlicher Teil-Darstellung
wie Fig. 3 eine weitere mögliche Ausführungsform, Fig. 5 in schematischer perspektivischer
Teil-Darstellung einige Teile einer aus mehreren einfach gestalteten
Bauteilen
zusammengesetzten erfindungsgemäßen Zylinderlinse, und Fig. 6 eine Draufsicht in
Richtung des Pfeils VI der Fig. 5 auf die zusammengebaute Zylinderlinse, wobei die
in Fig. 5 fehlenden Teile ergänzt sind.
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Fig. 1 zeigt in perspektivischer geschnittener schematischer Darstellung
eine Hälfte einer elektromagnetischen elektronenoptischen Zylinderlinse zur Beeinflussung
eines Elektronenstrahlbündels 2, dessen Querschnitt 4 im wesentlichen band- oder
linienförmig ist. Im folgenden wird in der allgemein üblichen Weise ein derartiges
Strahlenbündel kurz als "Linienstrahl" bezeichnet. Die in Fig. 1 fehlende Linsenhälfte
gleicht der dargestellten Linsenhälfte und schließt an den schraffierten Querschnitt
an.
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Die Zylinderlinse enthält in bekannter Weise zwei im Querschnitt E-förmige
Polschuhkörper 6 und 8, die sich mit den freien Enden ihrer Polschuhe oder Schenkel
10, 12, 14 bzw. 16, 18, 20 mit Abstand gegenüberliegen und dadurch einen Zwischenraum
22 bilden, durch den der Linienstrahl 2 hindurchtreten kann. Die magnetische Erregung
der Linse erfolgt mit Hilfe zweier Wicklungen 24 und 26, die so geschaltet sind,
daß sich die in Fig. 1 eingezeichneten Polaritäten (oder jeweils entgegengesetzte
Polaritäten) ergeben. Dabei sind in jedem der Polschuhkörper 6 und 8 die äußeren
Schenkel 10, 14 bzw. 16, 20 gleichnamig und entgegensetzt zum mittleren Schenkel
12 bzw. 18 gepolt, so daß sich beiderseits des Zwischen raumes 22 jeweils gleichnamige
Polaritäten gegenüberliegen. Die Einrichtungen zur Speisung der Wicklungen 24 und
26 mit elektrischer Energie sind nicht dargestellt.
Alle bisher
beschriebenen Teile sind in der Technik bekannt.
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An den Enden des Zwischenraumes 22 sind die Polschuhkörper 6 und 8
durch Joche magnetisch leitend miteinander verbunden; in Fig.1 ist nur das eine
Joch 28 dargestellt.
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Die Joche 28 haben in der Mitte eine Ausnehmung 30, die eine Verlängerung
des Zwischenraumes 22 bildet und breiter ist als dieser Zwischenraum. Insgesamt
ergibt sich somit ein aus dem Zwischenraum 22 und der Ausnehmung 30 gebildeter Durchtrittsspalt
32, der in seinem im Bereich des Joches 28 liegenden Endabschnitt verbreitert ist.
Die in Fig. 1 dargestellte Anordnung, bei der die Joche 28 getrennte Baukörper bilden
bietet den Vorteil, daß die Joche leicht an bereits vorhandene Zylinderlinsen angebaut
werden können, und falls Veränderungen gewür,scht werden brauchen nur die Joche
verändert zu werden.
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Fig. 2 zeigt in einer perspektivischen geschnittenen scheriiatischen
Darstellung eine Hälfte einer anderen Ausführungsform. Die Schnittebene liegt in
Fig. 2 normal zur Strahlrichtung des Linienstrahls 202 in der Mittelebene der mittleren
Polschuhe.
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In Fig. 2 erkennt man zwei Polschuhkörper 206 und 208, von denen in
der dargestellten Linsenhälfte die mittleren
Polschuhe oder Schenkel
212 bzw.218 und je ein äußerer Schenkel oder Polschuh 214 bzw. 220 zu erkennen sind.
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Zwischen den Polschuhen ist ein Zwischenraum 222 freigelassen, der
einen Bestandteil des Durchtrittsspalts 232 für den Linienstrahl 202 bildet. Die
Enden der Polschuhkörper sind durch Joche 228 und 229 miteinander verbunden.
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Zur Vereinfachung der zeichnerischen Darstellung sind die Joche hier
einstückig mit den Polschuhkörpern dargestellt.
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Die Joche haben mittlere Ausnehmungen 230 und 231, die Erweiterungen
des Durchtrittsspalts 232 in dessen Endbereichen darstellen. Zur Feineinstellung
der durch die Joche dargestellten magnetisch leitenden Verbindung sind an den Endbereichen
des Durchtrittsspalts 232 magnetische Spaltenden-Korrektureinrichtungen vorgesehen,
die von außerhalb der Linse einstellbar sind und zur Korrektur der Strahlgeometrie
in den Endbereichen des Durchtrittsspalts dienen. Tn Fig. 2 ist im oberen Endbereich
des Durchtrittsspalts als Korrektureinrichtung ein Stift 234 aus Eisen oder anderem
magnetisch gut leitendem Material dargestellt, der mittels eines Gewindes 236 mehr
oder weniger tief in die Ausnehmung 230 hineinbewegt werden kann. In dem in Fig.
2 unteren Endbereich des Durchtrittsspalts 232 ist als Spaltenden-Korrektureinrichtung
eine Korrekturspule 238 dargestellt, deren Wicklungsachse 240 quer zur Richtung
des Strahls 202 in Richtung der größeren Querschnittsabmessung des Durchtrittsspalts
232 liegt.
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Die Korrekturspule 238 kann aus einer nichidargestellten Stromquelle
mit einem einstellbaren elektrischen Strom erregt werden. In Fig. 2 ist die Korrekturspule
238 mit einem Kern 242 dargestellt, der einen Teil des Joches bildet. Ein solcher
Kern ist jedoch vielfach nicht notwendig; statt dessen ist oft eine Spule ohne ferromagnetischen
Kern vorzuziehen, weil damit die Korrekturwirkung über ein größeres Volumen des
Endbereichs des Durchtrittsspalts gleichmäßiger ausgeübt werden kann.
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Die geometrischen Formen, die Abmessungen und die Anschlußquerschnitte
der als magnetische Verbindungen dienenden Joche werden aufgrund weniger Versuche
so bestimmt, daß sich eine gewünschte Modifizierung, insbesondere Vergleichmäßigung,
des Linsenfeldes in den Endbereichen des Durchtrittsspalts, das heißt an den Schmalseiten
des Spaltquerschnit.ts, ergibt.
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Fig. 3 zeigt in ähnlicher Darstellung wie Fig. 1 eine Ausführungsform,
bei der zwischen dem mittleren Polschuh oder Schenkel 312 und den beiden äußeren
Polschuhen 310 und 314 mehrere Spulen 342 mit in Strahlrichtung liegenden Wicklungsachsen
344 vorgesehen sind. Diese Spulen werden aus einer außerhalb der Linse befindlichen
(nich *argestellten) einstellbaren Stromquelle erregt und dienen zur örtlichen Korrektur,
insbesondere zur Vergleichmäßigung
der entlang des Durchtrittsspalts
örtlich wirksamen Linsenbrennweite . Somit bilden die Spulen 342 eine Brenweiten-Korrektureinrichtung.
In Fig. 3 sind ähnlich wie in Fig. 1 die zur Erregung der Linse dienenden Wicklungen
324 und 326 angedeutet.
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Fig. 4 zeigt in ähnlicher Teildarstellung wie Fig. 1 oder Fig. 3 eine
andere Ausführungsform, bei der in einem Bereich zwischen dem inneren Polschuh 412
und dem äußeren Polschuh 414 eine Spule 446 mit quer zum Strahl in der Längsrichtung
des Durchtrittsspalts liegender Wicklungsachse 448 vorgesehen ist. Diese Spule wird
von einer außerhalb der Linse befindlichen (nichargestellten) einstellbaren Stromquelle
erregt und bildet eine Linien-Korrektureinrichtung zur Verbiegung, insbesondere
Begradigung, des band- oder inienförmigen Strahlquerschnitts, insbesondere in einem
von der Linse erzeugten Linienfokus.
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Fig. 5 zeigt in perspekivischer Darstellung einige Teile einer Zylinderlinse
mit dem grundsätzlichen Aufbau nach Fig. 1. Auch die Blickrichtung ist etwa die
gleiche wie in Fig. 1, doch ist der besseren Übersichtlichkeit halber nur ein Polschuhkörper
506 dargestellt. Dieser Polschuhkörper 506 hat wieder einen E-förmigen Querschnitt
und bildet demgemäß drei Polschuhe oder Schenkel 510, 512 und 514, die durch einen
Stegteil 550 miteinander verbunden sind.
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In Fig. 5 sind Erregerwicklungen nicht dargestellt. An den in Fig.
5 rechts liegenden Endquerschnitt des Polschuhkörpers 506 schließt sich ein Joch
528 an, das eine magnetisch leitende Verbindung zu dem nicht dargestellten zweiten
Polschuhkörper bildet. Das Joch 528 ist aus mehreren Teilen zusammengebaut, die
im einfachsten Fall aus Eisen oder einem anderen Material mit ähnlich guter magnetischer
Leitfähigkeit bestehen. Der Polschuhkörper 528 enthält eine Grundplatte 552, an
der drei Plinkelstucke 554, 556 und 558 befestigt, beispie3.sweise angeschraubt
sind. Jedes dieser Winkelstücke schließt an den in Fig. 5 rechten Endquerschnitt
eines Polschuhes an.
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Der Zusammenhalt kann mittels durchgehender Schrauben oder auch auf
andere Weise, insbesondere mittels (nicht dargestellter) Klemnvorrichtungen unter
Zuhilfenahme von (ebenfalls nicht dargestellten) Positionier-Hilfsmitteln bewirkt
werden. Die Endflächen der Winkelstücke, die mit den Endquerschnitten der Polschuhe
in Kontakt stehen, sind flächenmäßig kleiner als diese und beginnen mit Abstand
von den freien Enden der Polschuhe, so daß sich wie bei den Ausführungsformen nach
Fign. 1 und 2 eine Ausnehmung 530 bildet, die einen verbreiteSen Endbereich des
Durchtrittsspalts darstellt. Das Winkelstück 556, das an den mittleren Polschuh
512 anschließt, hat eine Ausnehmung 560, die in Richtung der Polschuhe weiter erstreckt
ist als die Ausnehmungen 530 und 531 für die Polschuhe 510 bzw. 514. Man erhält
so eine andere Dimensionierung des für die mittleren
Polschuhe
verwendeten Teils der magnetisch leitenden Verbindung, und zwar hier eine Verbindung
mit geringerem magnetischem Leitwert als bei den für die äußeren Polschuhe vorgesehenen
Winkelstücken 554 und 558. Man kann auch die Winkelstücke aus verschiedenen Materialien
ausführen und dadurch gewünschte verschiedene magnetische Leitwerte erzielen.
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An die Winkelstücke 554, 556 und 558 schließen sich gleich große weitere
Winkelstücke nach rechts an, von denen in Fig. 1 nur das untere zweite Winkelstück
562 dargestellt ist.
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Fig. 6 zeigt eine schematische Draufsicht auf den in Fig. 5 nur teilweise
dargestellten Aufbau in Richtung des Seils VI der Fig. 5. Es werden die gleichen
Bezugszeichen wie in Fig. 5 verwendet, so daß insoweit besondere Erläuterungen für
Fig. 6 nicht erforderlich sind. Zusätzlich erkennt man in Fig. 6 noch das an das
Winkelstück 558 anschließende obere zweite Winkelstück 564, den zweiten Polschuhkörper
508, das zweite Joch 529 sowie Befestigungsschrauben 566.
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Andere Ausführungsformen sind möglich, ohne den Rahmen der Erfindung
zu verlassen. Insbesondere ist es ohne weiteres möglich, auch dauermagnetische Zylinderlinsen
der angegebenen Art herzustellen, wobei dauermagnetisches Material in den Polschuhkörpern
oder für die Polschuhkörper zu verwenden ist.