DE2620164B1 - METHOD AND DEVICE FOR MONITORING HIGH-VOLUME GLIME DISCHARGES - Google Patents

METHOD AND DEVICE FOR MONITORING HIGH-VOLUME GLIME DISCHARGES

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DE2620164B1 DE19762620164 DE2620164A DE2620164B1 DE 2620164 B1 DE2620164 B1 DE 2620164B1 DE 19762620164 DE19762620164 DE 19762620164 DE 2620164 A DE2620164 A DE 2620164A DE 2620164 B1 DE2620164 B1 DE 2620164B1
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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Überwachung von stromstarken Glimmentladungen in einem Rezipienten zur Behandlung von Werkstücken, bei dem die Werkstücke zunächst einem Aufheizprozeß und anschließend der eigentlichen Behandlung unterworfen werden und Fehlentladungen unter Verwendung einer aufsummierenden Schaltungsanordnung durch kurzzeitiges Unterbrechen des Betriebsstromes gelöscht werden.The present invention relates to a method for monitoring high-current glow discharges in a recipient for the treatment of workpieces, in which the workpieces first undergo a heating process and then subjected to the actual treatment and false discharges using an accumulating circuit arrangement by briefly interrupting the operating current to be deleted.

Bei der Behandlung von Werkstücken mittels stromstarker Glimmentladungen zum Nitrierhärten, Metallisieren, Glühen, Härten, Karburieren, Entkohlen od. dgl. der Werkstücke werden diese in einem Rezipienten in einem Aufheizprozeß aufgeheizt, wonach die eigentliche Behandlung stattfindet. Eventuell während des gesamten Prozesses auftretende Lichtbogen, die die Werkstücke nachteilig beeinflussen könnten, werden ständig beispielsweise durch einen Schnellschalter, wie er in der DT-AS 12 75 228 beschrieben ist, oder durch eine ähnliche Schaltung, die eine aufsummierendeWhen treating workpieces by means of high-current glow discharges for nitriding hardening, Metallizing, annealing, hardening, carburizing, decarburizing or the like of the workpieces are all in one Recipients heated up in a heating process, after which the actual treatment takes place. Possible arcs occurring during the entire process, which could adversely affect the workpieces, are constantly, for example, by a quick switch, as described in DT-AS 12 75 228, or through a similar circuit that is a summing

ίο Schaltungsanordnung verwendet, wie sie in der FR-Zusatzpatentschrift 71 673 beschrieben ist, abgeschaltet. Hierbei wird der Speisestrom kurzzeitig abgeschaltet, jedoch nach einer geringen Zeitspanne, in der ein aufgetretener Lichtbogen normalerweise gelöscht ist, wieder eingeschaltet. Fehlentladungen infolge des Zündens von Lichtbogen treten im allgemeinen nur während des Aufheizprozesses auf, bei dem unter anderem die Oberfläche der Werkstücke durch Abstäuben gereinigt wird. Diese Fehlentladungen treten außerdem statistisch verteilt an der gesamten Oberfläche der Werkstücke auf. Bei der dem Aufheizprozeß nachfolgenden eigentlichen Behandlung der Werkstükke sollten normalerweise keine Fehlentladungen auftreten. Es wurde nun festgestellt, daß bei der eigentlichen Behandlung im Anschluß an das Aufheizen trotzdem auftretende Lichtbogen bevorzugt an derselben Stelle auftreten, d. h., daß es sich hierbei nicht um statistisch verteilte, sondern um lokale Lichtbogen handelt, so daß sich auf die Dauer eine lokale Überhitzung des Werkstückes an der Stelle ergibt, an der sich der Lichtbogen entzündet. Hierdurch kann das Werkstück zerstört werden. Derartige lokale Lichtbogen haben ihre Ursache beispielsweise in nichtentferntem öl, das sich z. B. in Bohrungen des Werkstückes befindet, oder in Lunkern od. dgl. Ein Auslösen einer auf Fehlentladungen ansprechenden Schalteinrichtung kann beim Auftreten solcher lokaler Fehlentladungen die Werkstücke auf die Dauer nicht schützen, da die Fehlentladungen nicht wie beim Aufheizprozeß statistisch verteilt überall auf der Oberfläche der Werkstücke auftreten. Zum Festelllen derartiger lokaler Fehlentladungen ist bisher eine Bedienungsperson notwendig, die die Glimmentladung beobachtet und gegebenenfalls den Glimmentladungsprozeß abbricht.ίο Circuit arrangement used as shown in the FR additional patent specification 71 673 is described, switched off. In this case, the feed current is briefly switched off, but after a short period of time in which an arc that has occurred is normally extinguished is turned on again. Incorrect discharges as a result of arc ignition generally only occur during the heating process, during which, among other things, the surface of the workpieces through Dusting is cleaned. These false discharges also occur in a statistically distributed manner over the entire surface of the workpieces. During the actual treatment of the workpieces following the heating process normally no false discharges should occur. It has now been found that the actual Treatment of arcs that occur after heating, preferably at the same point occur, d. That is, that this is not a statistically distributed but a local arc, so that In the long run, there will be local overheating of the workpiece at the point where the Arc ignited. This can destroy the workpiece. Have such local arcs their cause, for example, in not removed oil, which z. B. is located in bores of the workpiece, or in voids or the like. A switching device responding to faulty discharges can be triggered if it occurs Such local incorrect discharges do not protect the workpieces in the long term, since the incorrect discharges do not occur statistically distributed everywhere on the surface of the workpieces as in the heating process. To the Establishing such local incorrect discharges has hitherto been necessary for an operator to conduct the glow discharge observed and possibly interrupts the glow discharge process.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die es ermöglichen, Werkstücke bei der metallurgischen Behandlung gegen Beschädigungen durch lokale Fehlentladungen zu schützen und die Glimmentladungsbehandlung ohne Beaufsichtigung durch Bedienungspersonal durchführen zu können.The object of the present invention is therefore to provide a method and a device of the type mentioned at the beginning Kind of creating that make it possible to protect workpieces in the metallurgical treatment against damage to protect by local false discharges and the glow discharge treatment without supervision to be carried out by operating personnel.

Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß erfindungsgemäß von jeder Fehlentladung in einer Pulsformerstufe ein jeweils gleiches zeit- und amplitudenmäßig definiertes Signal erzeugt wird und die nach Beendigung des Aufheizprozesses auftretende Anzahl von Signalen während eines vorgebbaren Zeitintervalls aufsummiert und bei Überschreiten einer ebenfalls vorgebbaren Anzahl der Betriebsstrom unterbrochen und/oder eine Störmeldung abgegeben wird.This object is achieved in that, according to the invention, every faulty discharge in a pulse shaper stage a signal that is defined in terms of time and amplitude is generated and that after termination The number of signals occurring during the heating process is added up during a predeterminable time interval and when a likewise predeterminable number is exceeded, the operating current is interrupted and / or a Fault message is issued.

Die bei der eigentlichen Behandlung der Werkstücke auftretenden Fehlentladungen werden somit erfaßt und der Glimmentladungsprozeß gegebenenfalls abgebrochen, wenn bei einer größeren Anzahl von auftretenden Fehlentladungen in einem vorgegebenen Zeitintervall (z. B. 200 Fehlentladungen/min), die jeweils mit Hilfe einer darauf ansprechenden Schaltungsanordnung gelöscht werden, die Gefahr besteht, daß es sich um lokaleThe incorrect discharges occurring during the actual treatment of the workpieces are thus detected and the glow discharge process may be interrupted if a larger number of occurrences occurs Incorrect discharges in a specified time interval (e.g. 200 incorrect discharges / min), each with the help a responsive circuit arrangement are deleted, there is a risk that it is local

ORIGINAL INSPECTEDORIGINAL INSPECTED

Fehlentladungen handelt, die zur lokalen Überhitzung und dadurch zur Zerstörung des entsprechenden Werkstücks führen können, wobei während der eigentlichen Behandlung der Werkstücke kein Bedienungspersonal erforderlich ist, das den Glimmentladungsprozeß beobachtetFaulty discharges act, which lead to local overheating and thereby to the destruction of the corresponding Workpiece can lead, with no operating personnel during the actual treatment of the workpieces is required that observes the glow discharge process

Damit das erfindungsgemäße Verfahren nicht gesondert am Ende des Aufheizprozesses in Gang gesetzt werden muß, kann das Aufsummieren der Fehlentladungen bereits während des Aufheizprozesses vorgenommen werden, wobei die vorgegebene Anzahl an auftretenden Fehlentladungen, bei deren Überschreiten der Glimmentladungsprozeß abgebrochen und/oder eine Störmeldung abgegeben wird, beim Aufheizprozeß derart groß gewählt wird, daß kein Abschalten eintreten kann, wobei sie als Funktion des ablaufenden Prozesses etwa entsprechend dem Verlauf der Temperatur oder der Zeit gesenkt wird. Durch letzteres kann zugleich erreicht werden, daß bei einem besonders starken Auftreten von Fehlentladungen auch während des Aufheizprozesses ein Abbrechen des Glimmentladungsprozesses vorgenommen wird. Hierdurch wird auch noch ein zusätzlicher Schutz der Werkstücke während des Aufheizprozesses gewährleistet, was vor allem für einen automatischen Betrieb der Glimmentladungsbehandlung wichtig ist.So that the method according to the invention is not started separately at the end of the heating process must be, the accumulation of the false discharges can be done during the heating process the specified number of false discharges occurring when exceeded the glow discharge process is aborted and / or a fault message is issued during the heating process is chosen so large that no shutdown can occur, it being a function of the ongoing process is lowered approximately in accordance with the course of the temperature or the time. Through the latter can at the same time can be achieved that with a particularly strong occurrence of false discharges even during the Heating process, the glow discharge process is canceled. This will also an additional protection of the workpieces during the heating process is guaranteed, which is mainly for automatic operation of the glow discharge treatment is important.

Eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens kann entweder analog oder digital arbeiten. Eine analog arbeitende Vorrichtung ist daher durch ein ÄC-Glied mit einem nachgeschalteten Komparator gekennzeichnet, dessen zweiter Eingang an einer Vergleichsspannung liegt und der Ausgang des !Comparators mit einem Schaltglied verbunden ist Die Vergleichsspannung kann dabei über Potentiometer einstellbar sein.A device for performing the method can operate either analog or digital. One analog working device is therefore characterized by an ÄC element with a downstream comparator, the second input of which is connected to a comparison voltage and the output of the! comparator to a Switching element is connected. The comparison voltage can be set using a potentiometer.

Eine digital arbeitende Vorrichtung kann durch einen Zähler mit einem einstellbare einstellbaren Schwellwert zum Zählen der Signale gekennzeichnet sein, der mit einer Löscheinrichtung gekoppelt ist, die den Inhalt des Zählers periodisch nach einer einstellbaren Zeit At löscht und dessen Ausgang mit einem Schaltglied verbunden istA digitally operating device can be characterized by a counter with an adjustable adjustable threshold value for counting the signals, which is coupled to a deletion device which deletes the content of the counter periodically after an adjustable time At and whose output is connected to a switching element

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnungen näher erläutert.The invention is explained in more detail below with reference to the drawings.

Fig. 1 zeigt ein Schaltbild einer analog arbeitenden Vorrichtung zur Überwachung von stromstarken Glimmentladungen;Fig. 1 shows a circuit diagram of an analog operating Device for monitoring high-current glow discharges;

Fig.2 zeigt ein Diagramm zur Erläuterung der Wirkungsweise der Vorrichtung von F i g. 1, wobei auf der Abzisse die Zeit t und auf der Ordinate die Spannung t/aufgetragen ist;FIG. 2 shows a diagram to explain the mode of operation of the device from FIG. 1, the time t being plotted on the abscissa and the voltage t / being plotted on the ordinate;

Fig.3 zeigt ein Schaltbild einer gegenüber Fig. 1 modifizierten Vorrichtung;FIG. 3 shows a circuit diagram of one compared to FIG. 1 modified device;

Fig.4 zeigt ein Diagramm zur Erläuterung der Wirkungsweise der Vorrichtung der F i g. 3, wobei auf der Abzisse die Zeit t und auf der Ordinate die Spannung t/aufgetragen ist;FIG. 4 shows a diagram to explain the mode of operation of the device of FIG. 3, the time t being plotted on the abscissa and the voltage t / being plotted on the ordinate;

Fig.5 zeigt ein Schaltbild einer digital arbeitenden Vorrichtung zur Überwachung von stromstarken Glimmentladungen.Fig.5 shows a circuit diagram of a digitally operating Device for monitoring high-current glow discharges.

Die in F i g. 1 dargestellte Vorrichtung besitzt einen Eingang 1, an dem Impulse entsprechend der Anzahl auftretender Fehlentladungen z. B. von einem Schnellschalter erscheinen. Dem Eingang 1 folgt eine ÄC-Glied 2, 3 nach, dessen Kondensator 3 geerdet ist Das ÄC-Glied ist mit einem Eingang eines Komparators 4 verbunden, dessen anderer Eingang an ein Potentiometer 5 angeschlossen ist. Durch das Potentiometer 5 wird eine Vergleichsspannung Uvgi geliefert, die zur Einstellung der Ansprechempfindlichkeit der Vorrichtung veränderbar ist. Wird die Vergleichsspannung Uvgi von der Spannung am Kondensator 3 überschritten, so liefert der Komparator 4 ein Ausgangssignal an seinem Ausgang A, das zum Abbrechen des Glimmentladungsprozesses führt, da der Ausgang A des Komparators mit einem nicht dargestellten Abschaltglied, beispielsweise einem Relais verbunden ist.The in F i g. 1 device shown has an input 1, at the pulses corresponding to the number of false discharges occurring z. B. appear from a quick switch. The input 1 is followed by an AC element 2, 3, the capacitor 3 of which is grounded. The AC element is connected to one input of a comparator 4, the other input of which is connected to a potentiometer 5. The potentiometer 5 supplies a comparison voltage U vg i , which can be changed to adjust the response sensitivity of the device. If the comparison voltage U vg i is exceeded by the voltage on the capacitor 3, the comparator 4 supplies an output signal at its output A, which leads to the termination of the glow discharge process, since the output A of the comparator is connected to a disconnecting element, not shown, for example a relay .

Wie sich aus F i g. 2 ergibt, steigt bei Eintreffen eines Impulses 7, der vom Schnellschalter herrührt, und am Eingang 1 erscheint und dessen Spannung höher als die Vergleichsspannung Uvgi ist, die durch eine Gerade 8 angedeutet ist, die Spannung am Kondensator 3 entsprechend dem ansteigenden Kurvenstück 9. Anschließend entlädt sich der Kondensator 3 über den Widerstand 2 entsprechend dem Kurvenstück 10. Folgen sehr viele Impulse 7 hintereinander, so findet ein ständiges Ansteigen der Spannung am Kondensator 3 statt, wie in der rechten Hälfte von F i g. 2 angedeutet ist Übersteigt die Spannung am Kondensator 3 die Vergleichsspannung Uvgi, so liefert der Komparator 4 das Abschaltsignal. Die Zeitkonstante des ÄC-Gliedes muß relativ groß gewählt werden, damit die Vorrichtung genügend träge ist und die Vergleichsspannung Urgi in der gewünschten Zeitspanne erreicht werden kann. Allerdings arbeitet eine derartige Vorrichtung nicht mit festen aufeinanderfolgenden Zeitintervallen, sondern das Zeitintervall wird jeweils entsprechend verschoben, da sich der Kondensator 3 zwischen den Impulsen 7 immmer wieder entladen kann.As can be seen from FIG. 2, when a pulse 7 arrives from the high-speed switch and appears at input 1 and whose voltage is higher than the reference voltage U vg i , which is indicated by a straight line 8, the voltage on capacitor 3 increases corresponding to the rising curve segment 9 The capacitor 3 then discharges via the resistor 2 in accordance with the curve section 10. If a large number of pulses 7 follow one another, the voltage on the capacitor 3 increases continuously, as in the right half of FIG. 2 is indicated. If the voltage across the capacitor 3 exceeds the comparison voltage U vg i, the comparator 4 supplies the switch-off signal. The time constant of the ÄC element must be selected to be relatively large so that the device is sufficiently slow and the comparison voltage U rg i can be reached in the desired period of time. However, such a device does not work with fixed successive time intervals, but the time interval is shifted accordingly, since the capacitor 3 can always discharge again between the pulses 7.

Gemäß Fig.3 wird eine Vorrichtung zur Überwachung von stromstarken Glimmentladungen verwendet, bei der die Anzahl an auftretenden Glimmentladungen, bei deren Überschreiten der Glimmentladungsprozeß abgebrochen werden soll, entsprechend der Temperatur geändert wird, indem im Rezipienten beispielsweise an der Oberfläche der zu behandelnden Werkstücke eine Temperaturmessung vorgenommen wird, wobei die sich aufgrund dieser Temperaturmessung ergebende Spannung IM von einer vorgegebenen positiven Vergleichsspannung U0Vg/, die über Widerstände 5', 5" an den zweiten Eingang des Komparators 4 gelegt sind, abgezogen wird, wobei die sich hieraus ergebende Differenzspannung die auf den Komparator 4 gegebene Vergleichsspannung Uvgi darstellt. Da zu Anfang die Temperatur im Rezipienten klein ist, kommt praktisch nur U0 ¥giz\mi Tragen. Mit steigender Temperatur sinkt die Sollkurve 11 (Fig.4) für die jeweils gültige Vergleichsspannung ab und mündet bei Erreichen der Solltemperatur asymptotisch in eine Gerade 8 entsprechend der Vergleichsspannung Urgi von F i g. 2. Der parallel zur Zeitachse verlaufende Teil der Sollkurve 11 entspricht dem stationären Betrieb der Glimmentladung während der metallurgischen Behandlung der Werkstücke, bei der normalerweise keinerlei Fehlentladungen antreten sollten. Während des Aufheizens treten jedoch häufig statistisch verteilte Lichtbogen auf, die zu einem Aufladen des Kondensators 3 führen. Die Spannung am Kondensator 3 ist beispielhaft durch die Kurve 12 veranschaulicht, die unterhalb der Sollkurve 11 liegt Sollten jedoch unverhältnismäßig viele Fehlentladungen schon während des Aufheizprozesses im Rezipienten auftreten, wie es im Zeitintervall ij, £2 von F i g. 4 dargestellt ist, so kann bereits während des Aufheizprozesses ein Überschreiten der durch die Sollkurve 11 gegebenen Vergleichsspannung durch die Spannung am Kondensator 3 erfolgen, wodurch ebenfalls ein Abbrechen des Glimmentladungsprozes-According to FIG. 3, a device for monitoring high-current glow discharges is used, in which the number of glow discharges that occur and when exceeded, the glow discharge process is to be aborted, is changed according to the temperature by measuring the temperature in the recipient, for example on the surface of the workpieces to be treated is undertaken, the voltage IM resulting from this temperature measurement being subtracted from a predetermined positive comparison voltage U 0 Vg /, which are applied to the second input of the comparator 4 via resistors 5 ', 5 ", the resulting differential voltage being the The comparison voltage U vg i given to the comparator 4. Since the temperature in the recipient is low at the beginning, practically only U 0 ¥ giz \ mi comes into play and ends asymptotically i when the target temperature is reached n a straight line 8 corresponding to the comparison voltage U rg i of F i g. 2. The part of the nominal curve 11 running parallel to the time axis corresponds to the steady-state operation of the glow discharge during the metallurgical treatment of the workpieces, in which normally no faulty discharges should occur. During the heating, however, statistically distributed arcs often occur, which lead to the capacitor 3 being charged. The voltage at the capacitor 3 is exemplified by the curve 12, which is below the target curve 11, however, should a disproportionate number of false discharges occur in the recipient during the heating process, as is the case in the time interval ij, £ 2 of FIG. 4 is shown, the voltage on the capacitor 3 can already exceed the reference voltage given by the setpoint curve 11 during the heating process, which also causes the glow discharge process to be aborted.

ses oder eine Störmeldung bereits während des Aufheizprozesses vorgenommmen wird, so daß die Werkstücke auch beim Aufheizprozeß vor allem beim vollautomatischen Betrieb der Glimmentladung zusätzlich geschützt sind.ses or a fault message is already made during the heating process, so that the Workpieces also during the heating process, especially in the fully automatic operation of the glow discharge are protected.

Außerdem ist es möglich, daß vorgesehen wird, daß der Widerstand 2 oder der Kondensator 3 oder beide prozeßgemäß geändert werden.It is also possible that it is provided that the resistor 2 or the capacitor 3 or both be changed in accordance with the process.

Eine digital arbeitende Vorrichtung ist in Fig.5 dargestellt, bei der der Eingang 1 für die vom Schnellschalter kommenden Impulse mit einem Zähler 20 verbunden ist, der zum Zählen von durch die Fehlentladungen ausgelösten Impulsen dient Der Zähler 20 ist mit einer Löscheinrichtung 21 gekoppelt, die den Inhalt des Zählers periodisch jeweils nach einer Zeit At löscht, während der Ausgang des Zählers mit einem nicht dargestellten Abschaltglied, beispielsweise einem Relais, verbunden ist, das bei Überschreiten der vorgegebenen Anzahl von Fehlentladungen in den vorgegebenen Zeitintervall den Glimmentladungsprozeß abbricht. Um diese digital arbeitende Vorrichtung entsprechend der Vorrichtung von F i g. 3 auch während des Aufheizprozesses verwenden zu können, können die entsprechenden Ausgänge des Zählers für die Zahlen 2°, 21, ..., 2" mit ersten Eingängen einer entsprechenden Anzahl von Und-Gattern 22 verbunden werden, deren zweite Eingänge beispielsweise entsprechend der Temperatur der Werkstücke im Rezipienten oder dem Zeitverlauf des Glimmentladungsprozesses angesteuert werden, so daß sich eine Sollkurve entsprechend der Kurve 11 von Fig.4 für die Anzahl der Fehlentladungen ergibt, bei deren Überschreiten der Glimmentladungsprozeß abgebrochen wird. Die Ausgänge der Und-Gatter 22 sind über Dioden 23 mit dem mit dem Abschaltglied verbundenen Ausgang A verbunden. Die Dioden 23 verhindern dabei, daß sich die UND-Gatter gegenseitig beeinflussen.A digitally operating device is shown in FIG. 5, in which the input 1 for the pulses coming from the high-speed switch is connected to a counter 20 which is used to count the pulses triggered by the incorrect discharges. The counter 20 is coupled to a quenching device 21 which periodically clears the content of the counter after a time At , while the output of the counter is connected to a disconnection element (not shown), for example a relay, which interrupts the glow discharge process when the specified number of incorrect discharges is exceeded in the specified time interval. In order to use this digitally operating device according to the device of FIG. 3 can also be used during the heating process, the corresponding outputs of the counter for the numbers 2 °, 2 1 , ..., 2 "can be connected to first inputs of a corresponding number of AND gates 22, the second inputs of which, for example, according to the Temperature of the workpieces in the recipient or the time course of the glow discharge process are controlled, so that a target curve results according to curve 11 of Figure 4 for the number of false discharges, when exceeded, the glow discharge process is aborted. The outputs of AND gates 22 are over Diodes 23 are connected to the output A, which is connected to the switch-off element. The diodes 23 prevent the AND gates from influencing one another.

Hierzu 2 Blatt ZeichnungenFor this purpose 2 sheets of drawings

Claims (6)

Patentansprüche:Patent claims: 1. Verfahren zur Überwachung von stromstarken Glimmentladungen in einem Rezipienten zur Behandlung von Werkstücken, bei dem die Werkstücke zunächst einem Aufheizprozeß und anschließend der eigentlichen Behandlung unterworfen werden und Fehlentladungen unter Verwendung einer aufsummierenden Schaltungsanordnung durch kurzzeitiges Unterbrechen des Betriebsstromes gelöscht werden, dadurch gekennzeichnet, daß von jeder Fehlentladung in einer Pulsformerstufe ein jeweils gleiches zeit- und amplitudenmäßig definiertes Signal erzeugt wird und die nach Beendigung des Aufheizprozesses auftretende Anzahl von Signalen während eines vorgebbaren Zeitintervalls aufsummiert und bei Überschreiten einer ebenfalls vorgebbaren Anzahl der Betriebsstrom unterbrochen und/oder eine Störmeldung abgegeben wird.1. Method for monitoring high-current glow discharges in a recipient for treatment of workpieces in which the workpieces first undergo a heating process and then the proper treatment and false discharges using a summing Circuit arrangement can be deleted by briefly interrupting the operating current, characterized in that one of each faulty discharge in a pulse shaper stage the same time and amplitude defined signal is generated and after the termination of the The number of signals occurring during the heating process is added up during a predeterminable time interval and the operating current is interrupted when a predetermined number is exceeded and / or a fault message is issued. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die vorgebbare Anzahl von Signalen während des Aufheizprozesses so groß gewählt wird, daß keine Unterbrechung des Betriebsstromes und/oder keine Störmeldung erfolgt, und im Verlauf des Aufheizprozesses auf einen konstanten Wert abgesenkt wird.2. The method according to claim 1, characterized in that the predeterminable number of signals is chosen so large during the heating process that no interruption of the operating current and / or there is no fault message, and to a constant value during the heating process is lowered. 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die vorgebbare Anzahl von Signalen in Abhängigkeit von der Temperatur der Werkstücke abgesenkt wird.3. The method according to claim 2, characterized in that the predeterminable number of signals in Depending on the temperature of the workpieces is lowered. 4. Vorrichtung zum Überwachen von stromstarken Glimmentladungen in einem Rezipienten zur Behandlung von Werkstücken zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch ein RC-Glied (2,3) mit einem nachgeschalteten Komparator (4), dessen zweiter Eingang auf einer Vergleichsspannung (Uvgi) liegt und der Ausgang (A) des Komparators (4) mit einem Schaltglied verbunden ist.4. Device for monitoring high-current glow discharges in a recipient for treating workpieces for performing the method according to one of claims 1 to 3, characterized by an RC element (2,3) with a downstream comparator (4), the second input of which has a comparison voltage (U vg i) and the output (A) of the comparator (4) is connected to a switching element. 5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichsspannung (Uvg) über ein Potentiometer (5) einstellbar ist.5. Apparatus according to claim 4, characterized in that the comparison voltage (U vg ) is adjustable via a potentiometer (5). 6. Vorrichtung zum Überwachen von stromstarken Glimmentladungen in einem Rezipienten zur Behandlung von Werkstücken zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch einen Zähler (20) mit einem einstellbaren Schwellwert zum Zählen der Signale, der mit einer Löscheinrichtung (21) gekoppelt ist, die den Inhalt des Zählers (20) periodisch nach einer einstellbaren Zeit (Δ t) löscht und dessen Ausgang (A) mit einem Schaltglied verbunden ist.6. Device for monitoring high-current glow discharges in a recipient for treating workpieces for carrying out the method according to one of claims 1 to 3, characterized by a counter (20) with an adjustable threshold value for counting the signals, which is provided with an erasing device (21) is coupled, which deletes the content of the counter (20) periodically after an adjustable time (Δ t) and whose output (A) is connected to a switching element.
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