DE2615681C2 - Anzeigevorrichtung mit einem Gasentladungsraum als Elektronenquelle, mit einem Elektronennachbeschleunigungsraum und mit einem Leuchtschirm - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Anzeigevorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Derartige Anzeigevorrichtungen sind bereits in einigen Ausführungen bekanntgeworden; man vergl. hierzu beispielsweise die DE-AS 18 11 272, die DE-OS 24 12 869 oder die US-PS 38 00 186. Sie arbeiten nach folgendem Prinzip: Elektronen eines im Gasentladungsraum erzeugten Plasmas gelangen durch selektiv angesteuerte Matrixpunkte der Steuerstruktur in den Nachbeschleunigungsraum, nehmen dort Energien von einigen keV auf, treffen schließlich auf eine Anode und erzeugen dort auf dem zwischen der Anode und einer Frontplatte befindlichen phosphoreszierenden Leuchtschirm einen Lichtpunkt Mit solchen Zwei-Kammer-Anzeigevorrichtungen, bei denen die Gasentladung lediglich als Elektronenquelle dient, lassen sich hohe Leuchtstärken erzielen, insbesondere dann, wenn man das Plasma zwischen ein:r großflächigen, parallel zur Matrix verlaufenden Kathode und jeweils einer selektiv angesteuerten Zeile (Hilfsanode) brennen läßt (keilförmige Längsentladung nach DE-OS 24 12 869).

Trotz der theoretisch zu erwartenden hohen Lichtausbeuten ist bislang ein auf dem Prinzip der getrennten Elektronenerzeugung und 'beschleunigung beruhende Anzeigevorrichtung noch nicht zur Fertigungsreife gebracht worden, da eine Reihe von technologischen Problemen noch nicht befriedigend gelöst werden konnte. Eine dieser Schwierigkeiten besteht darin, daß bekanntlich im Betrieb der Anzeigevorrichtung aus der Kathode ständig Metallatoine herausgeschlagen wer* den (sog. »Kathodensputtern«), die dann im Gasentladungsraum herumvagabundieren und, wenn sie sich auf der Steuerstruktur niederschlagen, zu Kurzschlüssen und damit zu einer Verschlechterung der optischen Darstellung bis hin zum vollständigen Funktionsausfall lühren können (vergl. hierzu auch »Advances in Electronics and Elektron Physics« 35 (1974) S. 191 bis 267, insbesondere Abschnitt II.D). Besonders gefährdet ist die Steuerstruktur, wenn die Entladung in Form des an sich vielversprechenden Längsplasmas gemäß DE-OS 24 12 869 realisiert wird, da hier aufgrund der großflächigen Emissionsfläche mit relativ großen Snutterraten zu rechnen ist.

Bei den bisher vorgeschlagenen Steuerstrukturen — beidseitig mit den Le'nrrn der Matrix versehene Isolierstoffplatten — könnte man durch Vergrößerung der Pattenlöcher gegenüber den Leiteröffnungen (DE-AS 18 11 272) die Strecken zwischen den Zeilenleitern und den Spaltenleitern leidlich kurzschlußsicher machen; nach wie vor bleibt aber noch die Gefahr eines Kurzschlusses zwischen benachbarten Zeilenleitern.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine Anzeigevorrichtung der eingangs genannten Art dahingehend zu verbessern, daß keine Kurzschlüsse zwischen den Leitern der Steuerstruktur auftreten.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst

Bei der vorgeschlagenen Anzeigevorrichtung liegen die Stützen zwischen Zeilen- und Spaltenleitern derart verborgen hinter den Zeilenleitern, daß sie von den diffundierenden und sich durchaus nicht gradlinig ausbreitenden Metallatomen aus der Kathodenoberfläche nur äußerst selten erreicht werden; damit können sich auf diesen isolierenden Stützen keine leitenden, Kurzschlüsse herbeiführenden Filme :'jsbilden. Hinzukommt, daß die Matrixpunkte keine Seitenwände enthalten, die sich durch hindurchtretende Elektronen negativ aufladen und dadurch einen Elektronendurchgang behindern könnten.

Bevorzugte Ausführungen der erfindungsgemäßen Anzeigevorrichtung sind in den Ansprüchen 2 bis 6 angegeben, besonders rationelle Herstellungsverfahren sind Gegenstand der Ansprüche 7 bis 12. Die vorgeschlagene Anzeigevorrichtung findet vor allem als Fernsehbildschirm Verwendung.

Die Erfindung soll im folgenden anhand besonders zweckmäßiger Ausführungsbeispiele in Verbindung mit den Figuren der Zeichnung näher erläutert werden. In den Figuren sind einander entsprechende Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen. Es zeigt

F i g. 1 ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Anzeigevorrichtung in einem Seitenschnitt;

F i g. 2 aus dem Ausführungsbeispiel der F i g. 1 einen Ausschnitt der Steuerstruktur, im Schnitt II-lI;

Fig.3 die Steuerstruktur aus der Fig. 1 im Schnitt IH-III;

F i g. 4 die Steuerstruktur eines zweiten Ausführungsbeispiels, in der gleichen Darstellungsweise wie Fig.3;

Fig.5 ein weiteres Ausführungsbeijpiel, ir*- der Darstellungsweise der Fig. 1, teilweise weggebrochen;

Fig.6 vom Ausführungsbeispiel der Fig.5 die Steuerstruktur, in einem teilweise weggebrochenen Seitenschnitt

Die Figuren der Zeichnung sind teilweise stark vereinfacht Alle für das Verständnis der vorliegenden Erfindung nicht unbedingt erforderlichen Teile einer Anzeigevorrichtung wie beispielsweise Elektrodenzuleitungen oder Organe des Ansteuerkreises sind nur angedeutet oder vielfach auch ganz weggelassen.

Die Anzeigevorrichtung der F i g. 1 ist als Fernsehbildschirm vorgesehen. Sie enthält eine Hülle 1 mit Seitenwandungen 2, einer Frontplatte 3, einer Rückplatte 4 und rückwärtigen Stützstreben 5 sowie einer Steuerstruktur 6, einer Kathode 7 und einer Anode 8. Die Steuerstruktur 6 durchsetzt die Seitenwandungen 2 der Hülle 1 und teilt das Hülleninnere in einem vom Betrachter aus gesehen hinteren Raum (Gasentladungsraum 9) und einen vorderen Raum (Nachbeschleunigungsrauin SO).

Die Steuerstruktur selbst enthält eine Schar von Spaltenleitern 11 und eine Schar von Zeilenleitern 12.

die zusammen eine Matrix bilden. Im Bereich dieser Matrix sind die Zeilenleiter 12 von den Spaltenleitern 11 durch Stützen 13 voneinander distanziert. Leiter 11, 12 und Stützen 13 sind in der Fig. I nur schematisch dargestellt, ihre genaue Form geht aus den F i g. 2 und 3 hervor. Die Enden der Zeilen- bzw. Spaltenleiter sind durch die Seitenwandungen 2 der Hülle 1 geführt und stehen mit einem die Hülle 1 umgebenden äußeren Rahmen 14 der Struktur in fester Verbindung. Auf diesem Rahmen 14 befinden sich auch die bauelemente für den Ansteuerkreis der Matrix; sie sind in der Figur nur angedeutet und summarisch mit dem Bezugszeichen 15 versehen. Rahmen. Bauelemente und Leiterenden sind zur Erhöhung der mechanischen Stabilität und zum Schutz gegen atmosphärische Einflüsse zusammen mit der Hülle in einen Kunstharzmantel 16 eingebettet.

Die als Flächenkathode ausgebildete Kathode 7 ist im Gasendladungsraum 9 angeordnet, sie liegi an der Innenseite der Rückplatte 4 an und überdeckt den

einzelnen Stegen 21 versehen. Die schlitzartige Ausbildung sowie die Vergitterung der Spaltenleiteröffnungen tragen dazu bei, daß die Matrixpunkte mit einem nur geringen Spannungshub von wenigen 10 V sauber geschaltet werden können: nicht oder nur halb angesteuerte Öffnungen sind für die Elektronen aus dem Entladungsraum unpassierbar, während durch voll angesteuerte Öffnungen große Elektronenströme in den Nachbeschleunigungsraum 9 geschleust werden.

Die länglichen Leiteröffnungen 20 erstrecken sich längs der Spalten und sind in den geradzahligen Zeilen gegenüber den ungeradzahligen Zeilen versetzt angeordnet. Auf dies·· Weise lassen sich pro Flächeneinheit, insbesondere pro Zeile, sehr viele Matrixpunkte unterbringen und können zugleich die Lochberandungen den erforderlichen Abstand zueinander einhalten (zu geringe Berandungsabstände würden zu kapazitiven Kopplungen und damit zu einer höheren Belastung der Stromquelle führen).

gungsanode) 8 überzieht einen auf der Innenseite der Frontplatte 3 befindlichen phosphoreszierenden Leuchtschirm 17 und erstreckt sich ebenfalls über den gesamten Matrixbereich. Für die erforderliche Distanzierung der Steuerstruktur 6 von der Nachbeschleunigungsanode 8 ist zwischen Steuerstruktur 6 und Frontplatte 3 ein weiterer Rahmen 18 mit vergrößerter Weglänge eingesetzt. Die Spaltenleiter werden durch Stifte 19 gegen die Frontplatte abgestützt. Diese Stifte 19 sollten von den gleichen Orten wie die Stützen 13 ausgehen, damit die einzelnen Spaltenleiter möglichst geringen Biegekräften ausgesetzt sind. Statt der Stifte könnten natürlich auch andere Abstandselemente, beispielsweise in Siebdruck- und Sintertechnik aufgebrachte Glaspfosten verwendet werden.

In der geschilderten Ausführung bestehen die einzelnen Teile aus folgenden Materialien:

Für die Hülle 1 einschließlich der Frontplatte 3 und der Rückplatte 4 sowie für den Rahmen 18 und die Stützen 13 der Steuerstruktur 6 ist ein geeignetes Glas gewählt, die Stifte, Pfosten oder dergleichen sind aus Keramik oder ebenfalls aus Glas. Die Kathode 7 besteht aus einem wenig sputternden Kaltkathodenmaterial wie beispielsweise Nickel oder Aluminium, die Anode 8 aus einer mit einer phosphorezierenden Schicht 17 bedeckten SnO2-Schicht. Die phosphoreszierende Schicht 17 besteht aus Cr-Wolframat (Zn-Silikat, Y-Vanadat). Das Material der Zeilen- und Spaltenleiter ist beispielsweise galvanisch abgeschiedenes Nickel oder Nickel/Eisen, als Füllgas kann ein Neon-Argon-Gemisch. Nj oder ein anderes Edelgas genommen werden. Der Fülldruck liegt bei einigen Hunder; Pascal.

Zum Betrieb der Anzeige kann man für die einzelnen Elektroden folgende Potentiale wählen: Für die Flächenkathode -200 bis -300 V, für die jeweils angesteuerte Zeile Erdpotential, für die nicht angesteuerten Spalten —30 V, die bei voller Durchsteuerung Erdpotential annehmen, und für die Nachbeschleunigungsanode 2 bis 5 kV. Die nicht angesteuerten Zeilen nehmen das Potential ihrer Umgebung an, sie »schwimmen« und beeinflussen die zwischen der Flächenkathode und der angesteuerten Zeile keilförmige brennende Gasentladung nicht

Den F i g. 2 und 3 entnimmt man, daß die Zeilen- und Spalten'eiter an ihren Kreuzungspunkten gelocht sind (Öffnungen 20), Diese Öffnungen haben eine Schlitzform mit abgeschrägten Schützenden, die Öffnungen 20 der Spaltenleiter 11 sind zusätzlich mit einem Gitter aus als Stütze 13 mit dienende Abschnitte 22, 23 mit rechteckigen Querschnitten aus (in den F i g. 2 und 3 ragen diese Abschnitte 22, 23 aus der Zeichenebene heraus). Die Längsseiten dieser Rechteckprofile liegen r> parallel zur Längserstreckung der die Abschnitte 22, 23 tragenden Leiter 11,12, so daß sich beim Zusammensetzen der beiden Strukturhälften jeder Abschnitt 22, 23 mit einem anderen kreuzen und sich mit diesem Partner zu einer S-'ütze 13 ergänzen kann.

jo Die geschilderte Steuerstruktur läßt sich folgendermaßen besonders einfach herstellen:

Zunächst wird auf einem metallischen Hilfsträger ganzflächig eine Schicht eines zweiten Metalls stromlos oder galvanisch abgeschieden. Mit Hilfe der Fotätztechnik werden dann in an sich bekannter Weise aus der abgeschiedenen Metallschicht die Leiterbahnen selektiv herausgeätzt. Nach diesem Schritt druckt man mittels Siebdruck den Leiterbahnen kurze stabförmige Stützenabschnitte 22, 23 aus Glas auf. Sodann werden die beiden Hilfsträger so übereinander gelegt, daß sich möglichst jeder Stützenabschnitt 22, mit einem gegenüberliegenden Abschnitt 23 kreuzt. Dann verschmilzt man die jeweils eine volle Stütze 13 bildenden Abschnitte 22, 23 miteinander. Schließlich werden noch ■π die beiden metallischen Hilfsträger selektiv weggeätzt. Für das genannte Verfahren müssen solcne Trägermaterialien bzw. Schichtmaterialien gewählt werden, die sich gegeneinander und gegebenenfalls auch gegen Glas selektiv ätzen lassen. Als Trägermetall kann beispielsweise Kupfer, als .Schichtmetall Nickel oder Nickel/ Eisen genommen werden. Es sind aber auch andere Werkstoffpaarungen möglich.

Bei der Herstellung der Struktur ließe sich ein

Arbeitsgang einsparen, wenn man auf die Hilfsträger nicht erst eine Schicht ganzflächig aufbringt und diese Schicht dann selektiv ätzt sondern gleich die Leiter in ihrer endgültigen Form galvanoplastisch abscheidet Die Spaltenleiter 11 könnten nach dem Abiösen der

Hilfsträger auf ihren der Nachbeschleunigungsanode

w) zugewandten Seiten noch einmal mit ähnlichen Stiften bzw. Glaspfosten versehen werden, die dann zur Beabstandung der Steuerstruktur 6 von der Frontplatte dienen würden. Diese Distanzierungselemente 19 sollten gegenüber den Stützenabschnitten der Spalten-

oi leiter möglichst wenig versetzt sein.

Die erforderliche Distanzierung der Steuerstruktur vor allem gegen die Nachbeschleunigungsanode 8 kann auch auf andere Weise erfolgen, beispielsweise mittels

zwischen die Anode 8 und die Kathode 7 gesetzten, die .Steuerstruktur 6 durchdringenden Stützplatten.

Wenn die Leiter miteinander verfestigt und gegebenenfalls mit Distanzierungsstiften ausgerüstet sind, werden ihre Enden zunächst an einem ersten Rahmen (Spannrahmen) fixiert. In diesem Zustand werden die Leiter dann mit der Hülle verschmolzen bzw. mittels Glaslot verkittet. Der Spannrahmen befindet sich dabei außerhalb der Hülle, er umgibt sie mit einem gewissen Abstand. Nach dem Schmelzen bzw. Verkitten befestigt man die Leiterenden mit dem die Steuerorgane tragenden Rahmen 14. vergießt ihn mit der Hülle 1 und entfernt hiernach den Spannrahmen.

Fig. 4 zeigt eine abgewandelte Steuerstruktur, bei der die Spaltenleiter 11 spaltenparallele Fäden 24 aus einem Glas mit angepaßten thermischen Ausdehnungskoeffizienten tragen. Man erkennt, daß die untereinanderliegenden Leiteröffnungen 20 nicht mehr wie im Beispiel der F i g. 2 und 3 gegeneinander versetzt liegen, ds änderenfsüs die Olasfädcr* 'ede zweite η<*γ untereinanderliegenden Öffnungen 20 durchdringen und dann bei diesen öffnungen die Ventileigenschaften beeinträchtigen würden. Glasfadenstützen haben den Vorteil, daß man den Abstand zwischen den Zeilenleitern 12 einerseits und den Spaltenleitern 1J andererseits verhältnismäßig groß wählen und, wenn man Glasfaden konstanter Dicke nimmt, über große Flächenbereiche in einem definierten Maß halten kann. Die Zeilenleiter liegen den Glasfaden entweder direkt auf oder tragen ebenfalls Glasfaden bzw. Stützenabschnitte, die die Glasfaden der Spaltenleiter kreuzen.

We η auch durchgehende Glasfaden von den Zeilenleitern nicht vollständig überdeckt werden können, so ist die Gefahr eines sputterbedingten Kurzschlusses — insbesondere bei Verwendung zusätzlicher Stützenabschnitte — noch immer außerordentlich gering.

Beim Ausführungsbeispiel der Fig. 5 ragt der Rahmen 14 in das Hülleninnere hinein und bildet eine unmittelbare Begrenzung der Bildmatrix. Eine solche Gestaltung hat einen besonders günstigen Aufbau (einwandfreie Durchführung der Zuleitungen, Ansteuerbauelemente außerhalb der Hülle auf der gleichen Folie, mechanisch robuste und leicht zu handhabende Steuerstruktur) und kann vor allem besonders bequeni hergestellt werden: Man geht von einer zusammenhängenden Glasfolie aus und erzeugt auf der Unter- und Oberseite dieser Folie die Leiterbahnen, am besten durch Fotoätztechnik oder Galvanoplastik. Dann ätzt man die Folie selektiv, beispielsweise mit Flußsäure. Die

in Glasätzung erfolgt nun nicht nur durch die Leiteröffnungen sondern durch die Lücken zwischen den einzelnen Leiterbahnen hindurch. Bei richtig gewählter Ätzdauer entsteht durch Unterätzung automatisch ein System aus vollständig verdeckten, voneinander isolierten Säulen

ii mit eingeschnürten Taillen. Diese auf besonders elegante Weise erzeugte Stützenanordnung verfügt über eine über den gesamten Matrixbereich hinweg gleichmäßig hohe Kurzschlußfestigkeit.

Wählt man für die in F i g. 5 dargestellte Ausführung Lsiierformen "emäß den F i". 2 und 3 so verbleiben b**i genauer Einhaltung der Ätzzeit Säulen an den Stellen, an denen die breiten Öffnungsrandbereiche der Spaltenleiter den großen Zeilenleiterflächen zwischen den Öffnungen gegenüberliegen. Man kann den Stützen 13 aber auch eine andere Form und Verteilung geben, wenn man vor der Glasätzung die leitertragende Folienoberfläche, vor allem die spaltenseitige Fläche, an geeigneten Stellen mit einem gegen das Ätzmedium beständigen Lack abdeckt, der nach dem Ätzprozeß

w wieder entfernt wird, [line dieser Stellen ist in der F i g. 3 strichpunktiert eingetragen und mit 25 beztichnet. Von der gewählten Größe des Lackflecks hängt dann der Grad der Unterätzung ab. Beispielsweise lassen sich genau symmetrische. Stützenprofile erzeugen (Fig.6).

^J> Bei geeigneter Maskierung ist dann auch kein Grund mehr vorhanden den Lochrändern Bereiche mit verschiedener Breite zu geben. Im übrigen spielt es für die Anwendung der Ätztechnik keine Rolle, in welchem Muster die Leiteröffnungen angeordnet sind, ob sie

⁴⁽¹ beispielsweise zueinander versetzt oder in Reihe liegen.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

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Claims (13)

Patentansprüche;

1. Anzeigevorrichtung mit einem Gasentladungsraura als Elektronenquelle, mit einem Elektronen- nachbeschleunigungsraum und mit einem Leuchtschirm, die folgende Merkmale hau

A) eine gasgefüllte gasdichte Hülle,

B) eine das HüUeninnere in den Gasentladungsraum und den Nachbeschleunigungsraum unterteilende Steuerstruktur mit

1) je einer Anzahl zueinander paralleler Zeilenleiter sowie dazu senkrechter, von den Zeüenieitern über elektrisch isolierendes Material beabstandeter Spaltenleiter und

2) durchgehenden öffnungen in den Zeilen- und Spaltenleitern an den Kreuzungspunkten derselben,

C) einen nut einer Flächenelektrode, der Nachbeschleunignngsanode, versehenen Leuchtschirm im Nachbeschleunigungsraum, wobei die Nachbeschleunigungsanode zu den ihr benachbarten Leitern der Steuerstruktur einen entsprechend der anliegenden Nachbeschleunigungsspannung von einigen kV derart bemessenen Abstand einhält, daß eine Gasentladung im Nachbeschleunigungsraum sicher ausgeschlossen ist,

D) eine im Gasentladungsraum angeordnete Gasentladur.gskathode, die vorzugsweise als eine parallel zur Ebene der Stellerstruktur verlaufende Flächenkathode ausgebildet ist, sowie eine Gasentladungsanode,, die zueinander in einem eine normale Glimmentladung ermöglichenden Abstand liegen,

und die dadurch gekennzeichnet ist, daß

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E) das elektrisch isolierende Material zumindest im Bereich der aus den Zeilenleitern (12) und Spaltenleitern (11) gebildeten Matrix ans einzelnen Stützen (13) besteht, die von dem Gasentladungsraum (9) zugewandten Zeilenleitern (12) der Steuerstruktur praktisch vollständig verdeckt werden, und

F) die Zeilsnfeiter (12) und die der Nachbeschleunigungsanode (8) zugewandten Spaltenleiter (11) selbsttragend ausgebildet sind. so

2. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Stützen (13) aus zwei in Richtung der Matrixnormalen verlaufenden, miteinander und mit je einem Leiter verfestigten Abschnitten (22, 23) bestehen, die jeweils einen länglichen Querschnitt haben und gegeneinander um ihre Längsachse verdreht sind.

3. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Stützen aus in der eo Matrixebene verlaufenden, mit mehreren Leitern verfestigten Fäden (24) aus einem bezüglich des thermischen Ausdehnungskoeffizienten an die Leiter angepaßten Glas gebildet sind.

4. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Glasfaden (24) eine vorgegebene Dicke haben.

5. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch

gekennzeichnet, daß die Stützen (13) dadurch gebildet sind, daß mit den Leitern eines der beiden Leitertypen (Zeilenleiter 12 oder Spaltenleiter U) Fäden (24) verfestigt sind, die sich parallel zu diesen Leitern erstrecken und aus einem bezüglich des thermischen Ausdehnungskoeffizienten an die Leiter angepaßten Glas bestehen, und daß an den Leitern des anderen Leitertyps Stützenabschnitte (22) fixiert sind, die einen länglichen Querschnitt haben, die Glasfaden (24) kreuzen und mit diesen fest verbunden sind.

6. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Stützen (13) in Form von Säulen ausgebildet sind, deren Profil sich von den beiden, den Leitern anliegenden Säulenenden zur Säulenmitte hin stetig verjüngt

7. Verfahren zur Herstellung der Steuerstruktur einer Anzeigevorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zunächst auf zwei metallische Hilfsträger jeweils eine Schicht eines zweiten Metalls ganzflächig abgeschieden wird, wobei das Trägermaterial gegen das Schichtmateria] sowie gegen Glas und das Schichtmaterial gegen das Trägermaterial selektiv geätzt werden können, daß daraufhin auf der Metallschicht des einen Hilfsträger die Zeilenleiter und auf der Metallschicht des anderen Hilfsträgers die Spaltenleiter selektiv hcrausgeätzt werden, daß sodann die Glasstützen auf die Zeilenleiter oder Spaltenleiter, gegebenenfalls Glasstützenabschnitt auf beide Leitertypen, aufgedruckt und verschmolzen werden, daß anschließend beide Hilfsträger selektiv weggeätzt werden und daß gegebenenfalls hiernach die Glasstützenabschnitte beider Leitertypen aufeinandergesetzt und miteinander verschmolzen werden.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Leiter auf den Hilfsträgern nicht durch ganzflächiges Abscheiden einer Metallschicht und nachfolgendes Herausätzen gebildet sondern direkt in einem Arbeitsgang gak anoplatisch erzeugt werden.

9. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß als Trägermetall Kupfer und als Schichtmetall Nickel oder Nickel/Eisen verwendet werden.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß zunächst auf zwei metallische Hilfsträger jeweils eine Schicht eines zweiten Metalls ganzflächig abgeschieden wird, wobei das Trägermaterial gegen das Schichtmaterial sowie gegen Glas und das Schichtmaterial gegen das Trägermaterial selektiv geätzt werden können, daß daraufhin auf der Metallschicht des einen Hilfsträgers die Zeilenleiter und auf der Metallschicht des anderen Hilfsträger die Spaltenleiter selektiv herausgeätzt werden, daß sodann die Glasfaden zwischen die Zeilenleiter einerseits und die Spaltenleiter andererseits gelegt und verschmolzen werden, gegebenenfalls die Glasfaden auf die Zeilenleiter oder Spaltenleiter gelegt und verschmolzen werden und Glasstüizenabschnitte auf die Leiter des jeweils anderen Leitertyps aufgedruckt und verschmolzen werden und hiernach die Glasfaden mit den Glasstützenabschnitten verschmolzen werden.

11. Verfahren zur Herstellung einer Anzeigevorrichtung nach einem der Ansprüche I oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß zunächst eine durchgehende Glasfolie auf der einen Seite mit Zeilenleitern

und auf der anderen Seite mit Spaltenleitern versehen wird und daß darm das Glas im Bereich der Matrix so lange einem selektriv wirkenden Ätzmedium ausgesetzt wird, bis von der Folie nur mehr einzelne, verdeckte Stützen und vorzugsweise ein den Matrixbereich umgebender, die Leiterenden tragende»- Rahmen (Steuerrahmen) zurückbleiben,

12, Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß zur Gestaltung der Stützenform und -anordnung vor dem Atzprozsß die "> leitertragende, vorzugsweise die steuerelektrodenseitige, oberfläche der Glasfolie im Bereich der Matrix an einzelnen Stellen mit einem Film aus einem gegen das Ätzmedium beständigen Material abgedeckt wird und daß nach dem Ätzprozeß das '5 ätzbeständige Material wieder entfernt wird.

13. Anzeigevorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, gekennzeichnet durch ihre Verwendung als Fernsehbildschirm.

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