DE2612012C3 - Elektronische Steuer- und Regelvorrichtung für den Abstand bzw. die Parallelität zweier Reflektoren eines optischen Gerätes - Google Patents
Elektronische Steuer- und Regelvorrichtung für den Abstand bzw. die Parallelität zweier Reflektoren eines optischen GerätesInfo
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 11
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 claims 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 6
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000001208 nuclear magnetic resonance pulse sequence Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
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-
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- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/086—One or more reflectors having variable properties or positions for initial adjustment of the resonator
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Description
Die Erfindung betrifft eine elektronische Steuer- und Regelvorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Aus der Zeitschrift »Optics Communications«, Band 2, Nr. 2, Juli 1970, Seiten 73 bis 76 ist ein
Fabry-P6rot-Interferome\er zur Untersuchung der Brillouin-Streuung bekannt, bei dem der Abstand der
beiden Spiegel durch Verschieben des einen Spiegels mittels einer piezoelektrischen Spiegelhalterung periodisch elektronisch verstellt wird, um den interessierenden Spektralbereich abzutasten, und bei dem ferner die
Parallelität der beiden Spiegel mittels einer auf die Halterung des anderen Spiegels wirkenden Regelschaltung aufrechterhalten wird. Die Regelschaltung enthält
zwei Teile, von denen der eine auf eine erste
piezoelektrische Verstellvorrichtung wirkt und die
Verkippung des betreffenden Spiegels um eine x-Achse regelt, während der andere auf eine zweite piezoelektrische Verstellvorrichtung wirkt und die Verkippung des
betreffenden Spiegels um eine zur *-Achse senkrechte
y-Achse regelt Das Regelsignal wird von der aus dem
Interferometer austretenden Meßstrahlung abgeleitet und dadurch erzeugt, daß der zur Regelung der
Parallelität dienende Spiegel während alternierender
Abtastperioden einmal um die eine und das andere Mal
um die andere Kippachse geringfügig hin- und hergekippt wird und durch Vergleich der sich für die
beiden Verkippstellungen ergebenden Intensitäten einer Rayleigh-Linie jeweils ein Verstellsignal solchen
is Vorzeichens erzeugt wird, daß die Verkippung in
Richtung einer Vergrößerung der Intensität erfolgt
Bei einer Steuer- und Regelvorrichtung der obengenannten Art müssen beide Spiegel durch piezoelektrische Verstellelemente oder wirkungsgleiche Vorrich-
tung verstellbar sein, sie eignet sich daher nicht für den
re Interferometer, bei denen nur der eine Spiegel mit
richtung zur Abstands- und Parallelitätsregelung von Interferomterspiegeln braucht zwar nur der eine der
beiden Spiegel durch drei Piezoelemente verstellbar gelagert sein. Diese bekannte Vorrichtung arbeitet mit
einer Abtastung verschiedener Punkte der Rayleigh-Li
nie und erlaubt nur dann eine Regelung der Spiegel-Par
allelität, wenn gleichzeitig die axiale Drift des Interferometers bezüglich der Lichtquellenwellenlänge
mit geregelt wird, was zu einer beträchtlichen Einengung des Regelbereiches der Parallelitätsregelung
bzw. der Zeitdauer einer Messung führt Verschiebungen der lnterferometertransmissionsfrequenz bezüglich
der Grundfrequenz der von einem Laser stammenden einfallenden Strahlung, z. B. infolge von Temperatur-
und Luftdurckschwankungen, erfordern nämlich zur
Kompensation weitaus größere Verstellungen als sie
zur Regelung der Spiegelparallelität erforderlich sind, da die Spiegelparallelität nur durch die differentielle
Veränderung der drei Spiegelauflagepunkte, z. B. infolge unterschiedlicher thermischer Expansion, beein
flußtwird.
Der Erfindung liegt dementsprechend die Aufgabe zugrunde, eine elektronische Steuer- und Regelvorrichtung der eingangs genannten Art derart auszugestalten,
daß sie für Interferometer verwendet werden kann, bei
denen nur einer der beiden Spiegel gesteuert verstellbar
ist
Diese Aufgabge wird durch eine Einrichtung der eingangs genannten Art erfindungsgemäß mit den
kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.
Die elektronische Steuer- und Regelvorrichtung gemäß der Erfindung ermöglicht es sowohl die
Parallelität als auch den Abstand des Interferometerspiegel durch Verstellung nur eines der beiden Spiegel
zu regeln bzw. zu steuern.
Bezüglich der als zweites erwähnten bekannten Steuer- und Regelvorrichtung hat die Erfindung den
Vorteil, daß sie einfacher ist und den dieser bekannten Vorrichtung eigenen Beschränkungen des Regelbereiches nicht unterliegt
Die Unteransprüche betreffen Weiterbildungen und vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung.
Im folgenden wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher
erläutert; es zeigt
F i g. 1 ein Schaltbild einer elektronischen Steuer- und Regelvorrichtung gemäß der Erfindung;
Fig.2 eine graphische Darstellung ies zeitlichen
Verlaufes von Signalen, die beim Betrieb der Vorrichtung gemäß F i g. 1 auftreten, und
F i g. 3 eine graphische Darstellung zur Erläuterung des für die eine Kippvorrichtung vorgesehenen Teiles
der Parallelitätsregelschaltung.
Die Schaltungsanordnung gemäß F i g. 1 enthält einen Eingangsverstärker 10, dem ein Signal vom Ausgang
eines nicht dargestellten Photomultipliers (SEV) zugeführt ist, der auf die aus dem Interferometer austretende
Meßstrahlung anspricht
Das Ausgangssignal des Eingangsverstärkers 10 wird den Signaleingängen zweier Torschaltungen 12, 14
zugeführt, deren Steuereingänge 12a bzw. 14a durch eine Steuerlogik oder Programmeinheit gesteuert
werden. Die Signaleingänge derTorschaliangen 12 und 14 sind mit jeweils einem Spitzenspannungsspeicher 18
bzw. 20 verbunden, an die wiederum die beiden Eingänge eines Differenzverstärkers 22 angeschlossen
sind. Der Ausgang des Differenzverstärkers ist an die Signaleingänge zweier weiterer Torschaltungen 24, 26
angeschlossen, deren Steuereingänge wieder durch die Programmeinheit 16 gesteuert werden und deren
Ausgänge jeweils mit einem Integrator 28 bzw. 30 verbunden sind. Der Ausgang des Integrators 28 ist mi;
einem von drei Eingängen eines Kippspannungssummierers
32 verbunden, dessen zweiten Eingang eine periodische Verstellspannung fx-Störwertspannung)
und dessen drittem Eingang eine xo-Vorspannung, die
die N.illage der Kippung um die x-Achse bestimmt,
zugeführt sind.
Der Ausgang des Integrators 30 ist in entsprechender Weise einem von drei Eingängen eines y-Kippspannungssummierers
34 zugeführt, dessen zweitem Eingang eine periodische Verstellspannung (y-Störwertspannung)
und dessen drittem Eingang eine yo-Vorspannung
zugeführt sind.
Die Programmeinheit 16 liefert außer den x- und y-Verstell- oder Störwertspannungen und den Schaltspannungen
für die Torschaltungen auch eine Synchronisationsspannung für einen Sägezahngenerator 36, der
eine im wesentlichen sägezahnförmige Spannung liefert, welche die Verstellung eines von zwei Reflektoren eines
optischen Gerätes, z. B. des einen Spiegels eines Fabry-Perot-Inlerferometers steuert Die Sägezahnspannung
wird in einem Verstärker 38 nochmals verstärkt.
Der verstell- und regelbare Reflektor oder Spiegel ist,
wie in F i g. 1 rechts schematisch dargestellt ist, durch drei Piezoelemente A, B und C verstellbar, die drei
Punkte des Spiegels in Richtung einer optischen Achse O (die senkrecht zur Zeichenebene der F i g. 1 verläuft)
zu verschieben gestatten. Die drei Piezoelemente sind an den Ecken eines gleichseitigen Dreiecks angeordnet
Die Kippachse χ soll definitionsgemäß die beispielsweise durch das Piezoelement C gehende Winkelhalbierende
des Dreiecks sein, während die y-Achse senkrecht zur x-Achse durch den Schnittpunkt der drei Winkelhalbierenden
verlaufen soll, durch den auch die optische Achse Ogeht.
Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel der Erfindung erfolgt sowohl die axiale Verschiebung des
durch die Piezoelemente A, B und C gelagerten Reflektors als auch die Kippung dieses Reflektors um
die x- sowie die y-Achse mittels einer auf die drei Piezoelemente A, Bund Cwirkenden Matrixschaltung,
der als Eingangssignale die Ausgangssignale der Kippspannungssummierer 32 und 34 und des Verstärkers
38 zugeführt sind. Die Matrixschaltung enthält zwei
durch das Ausgangssignai des x-Kippspannungssummierers
32 gespeiste Verstärker 40 und 42, die die ihnen zugeführte Ausgangsspannung mit dem Faktor +'/2
bzw. — 1J2 multiplizieren. Weiterhin enthält die Matrixschaltung
zwei Verstärker 44,46, denen die Ausgangsspannung des j«-Kippspannungssummierers 34 zugeführt
ist und die diese Spannung mit dem Faktor +'/3 bzw. — ^multiplizieren.
Die Matrixschaltung enthält ferner zwei addierende Spannungsverstärker 48 und 50 mit je drei Eingängen
und einen addierenden Spannungsverstärker 52 mit zwei Eingängen.
Je ein Eingang der Verstärker 48, 50 und 52 ist mit dem Ausgang des Verstärkers 38 für das die axiale
Verschiebung des Reflektors bewirkende Sägezahnsigna! verbunden. Die anderen beiden Eingänge des
Spannungsverstärkers 48 sind mit dem Verstärker 40 bzw. 44 verbunden. Die anderen beiden Eingänge des
Spannungsverstärkers 50 sind mit den Ausgängen des Verstärkers 42 und 44 verbunden, während der zweite
Eingang des Verstärkers 52 mit dem Ausgang des Verstärkers 46 verbunden ist Es dürfte unmittelbar
einleuchtend sein, daß eine Spannung vom Ausgang des x-Kippspannungssummierers eine Verkippung des Spiegels
um die x-Achse bewirkt, da die Piezoelemente A und B gegenläufig gesteuert werden, während das
Piezoelement C unbeeinflußt bleibt und als ruhender Lagerpunkt für die Verkippung um die x-Achse wirkt
Die Spannung vom Ausgang des y-Kippspannungssummierers
34 bewirkt eine gleichsinnige Verstellung der Piezoelemente A und B um einen bestimmten Betrag
sowie eine gegensinnige Verstellung des Piezoelementes Cum das Doppelte dieses Betrages, da der Abstand
des Piezoelementes C von der y-Achse doppelt so groß
ist wie der der Piezoelemente A und B. Die Sägezahnspannung vom Verstärker 38 wirkt auf alle
drei Piezoelemente gleichsinnig, so daß der Spiegel in Richtung der optischen Achse unter Erhaltung seiner
Parallelität verschoben wird.
Die beschriebene Anordnung arbeitet folgendermaßen: Die in Fig.2a dargestellte Sägezahnspannung
bestimmt die axiale Verschiebung des Reflektors und damit die Abtastperiode. Für einen Regelzyklus werden
vier Abtastperioden benötigt. Während der ersten Periode liefert die Programmeinheit 16 an den
x-Kippspannungssummierer 32 eine Verstell- oder x-Störwertspannung eines vorgegebenen Wertes an
einer ersten, z. B. positiven Polarität und während der zweiten Sägezahnperiods eine Verstellspannung des
vorgegebenen Wertes und entgegengesetzten Vorzeichens. Während der dritten und vierten Sägezahnperiode,
also während der zweiten Hälfte des Regelzyklus, ist die x-Störwertspannung gleich Null.
In Fig.2d ist die Impulsfolge dargestellt, die am
Eingang des Eingangsverstärkers 10 auftritt Die Impulse haben die größte Amplitude, wenn die
Reflektoren des Interferometers genau parallel sind. Die Abhängigkeit der Amplitude der Eingangsimpulse
de* Eingangsverstärkers t0 von der Verkippung des
Reflektors und die x-Achse ist durch die Kurve 54 in
t>5 F i g. 3 dargestellt Hat der Spiegel z. B. eine von der
genau prallelen Lage χι, abweichende Winkellage x2, so
ergibt sich eine Amplitude entsprechend V2, die kleiner ist
als die maximal mögliche Amplitude Vi. Verkippung des
Spiegels durch die jr-Störwertspannung liefert dann z. B.
Impuisamplituden V3 bzw. Vi. Die Tore 12 und 14
werden abwechselnd aufgetastet, so daß die Spitzenspannungsspeicher 18 und 20 die !mpulsamplituden V3
bzw. Va speichern. Der Differenzverstärker 22 bildet die
Differenz dieser beiden Amplitudenwerte, die durch das während der Sägezahnperioden 1 und 2 (sowie 5 und 6
usw.) aufgetastete Tor 24 dem Integrator 28 zugeführt werden. Die in den Spitzenspannungsspeichern 18 und
20 gespeicherten Signale und die Auftastsignale für die Torschaltung sind in F i g. 2 f, e bzw. g dargestellt
Die vom Integrator 28 erzeugte Korrekturspannung
zeigt F i g. 2 i. Wenn die Winkellage des Spiegels der optimalen Lage x\ entspricht, sind die in den Spitzenspannungsspeichern 18 und 20 gespeicherten Signale
gleich groß, und es tritt keine weitere Verkippung des Spiegels um die x-Achse auf.
Die Regelung der Spiegellage bezüglich der y-Achse
erfolgt in genau der gleichen Weise während der Sägezahnperioden 3 und 4 (sowie 7, 8 usw.). Die
y-Verstell- oder Störwertspannung ist in F i g. 2 c dargestellt; F i g. 2 h zeigt die Auf tastimpulse für das Tor
26 und F i g. 2 k die Ausgangsspannung des Integrators 30.
Die beschriebene Ausführungsform läßt sich in der
verschiedensten Weise abwandeln, ohne den Rahmen der Erfindung zu überschreiten. So kann man z. B. statt
einzelner Piezoelemente A, B und C jeweils zwei hintereinandergeschaltete Piezoelemente verwenden
und dem einen Element jedes Paares die Spannung zur Verstellung des Spiegelabstandes vom Verstärker 38
zuführen, während den anderen Piezoelementen der Paare die Spannungen von den Ausgängen dci
Verstärker 40 bis 46 in der in F i g. 1 dargestellten Weise zugeführt werden. Die Spannungsverstärker 48 bis 52
enthalten vorzugsweise Stellglieder zur Verstellung ihres Verstärkungsgrades, damit eine eventuell verschiedene Empfindlichkeit der Piezoelemente kompensiert werden kann. Man kann auch für die Punkte
entsprechend den Piezoelementen A und B drei hintereinandergeschaltete Piezoelemente verwenden
und jedes der drei hintereinandergeschalteten Piezoelemente nur jeweils mit dem Ausgang eines einzigen
Verstärkers koppein.
Die Piezoelemente oder Piezoelementgruppen brauchen selbstverständlich auch nicht an den Ecken eines
gleichseitigen Dreiecks angeordnet sein, man kann vielmehr auch andere Anordnungen wählen, wenn dies
zweckmäßig oder erwünscht sein sollte. In diesem Fall ergeben sich dann andere Werte für die Verstärkungsfaktoren der Verstärker 40 bis 46, die sich aus den
jeweiligen geometrischen Verhältnissen leicht errechnen oder graphisch bestimmen lassen.
Die Erfindung wurde oben in Anwendung auf ein Fabry-Perot-Interferometer erläutert Sie läßt sich
selbstverständlich in entsprechender Weise auch auf andere Interferometer und andere optische Geräte
anwenden, bei denen die Winkellage eines optischen Elementes bezüglich einer Achse und der Ort des
Elementes auf dieser Achse regel- bzw. verstellbar sein sollen, z. B. beim optischen Resonator eines durchstimmbaren Lasers u. a, m.
Claims (4)
1. Elektronische Steuer- und Regelvorrichtung für den Abstand und die Parallelität zweier Reflektoren
eines optischen Gerätes, mit einer auf eine elektrisch steuerbare Reflektorhalterung wirkende Steuerschaltung zur Änderung des Abstandes der Reflektoren längs einer optischen Achse, und einer auf eine
elektrisch steuerbare Reflektorhaltening wirkenden Kippregelschaltung zur Aufrechterhaltung der Parallelität der Reflektoren durch Kippen des betreffenden Reflektors um zwei aufeinander und auf der
optischen Achse wenigstens annähernd senkrecht stehende Kippachsen, dadurch gekennzeichnet, daß die zur Abstandsänderung dienende Steuerschaltung (36, 38) und die die Parallelität
der Reflektoren aufrechterhaltende Regelschaltung (13 bis 34) auf die Halterung ein und desselben
Reflektors wirken, der durch drei elektrisch steuerbare, im Dreieck angeordnete Halterungselemente (A, B, C) gehaltert ist
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Regelschaltung für jede Kippachse ein eigenes
Stellsignal liefert, dadurch gekennzeichnet, daß die
Stellsignale über eine Matrizierungsschaltung (40 bis 52) auf die Halterungselemente (A, B, C) wirken.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, bei der die elektrisch verstellbaren Halterungselemente an den
Ecken eines gleichseitigen Dreiecks angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Matrizierungsschaltung einen ersten Verstärker mit dem
Verstärkungsfaktor + '/2, einen zweiten Verstärker
mit dem Verstärkungsfaktor -1Z2, einen dritten
Verstärker mit dem Verstärkungsfaktor +V3 und
einen vierten Verstärker mit dem Verstärkungsfaktor -2Ii enthält, daß das Stellglied für eine
Kippachse (x) den Eingängen des ersten und zweiten Verstärkers zugeführt ist; daß das Stellsignal für die
andere Kippachse (y)den Eingängen des dritten und vierten Verstärkers zugeführt ist; daß die Ausgangssignale des ersten und dritten Verstärkers ein erstes
Halterungselement (A) steuert; daß die Ausgangssignale des zweiten und dritten Verstärkers ein
zweites Halterungselement (B) steuert und daß das Ausgangssignal des vierten Verstärkers ein drittes
Halterungselement (Q steuert.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterungselemente über addierende Verstärker (48,50,52) gesteuert sind.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2612012A DE2612012C3 (de) | 1976-03-20 | 1976-03-20 | Elektronische Steuer- und Regelvorrichtung für den Abstand bzw. die Parallelität zweier Reflektoren eines optischen Gerätes |
US05/778,988 US4149118A (en) | 1976-03-20 | 1977-03-18 | Electronic control and regulation system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2612012A DE2612012C3 (de) | 1976-03-20 | 1976-03-20 | Elektronische Steuer- und Regelvorrichtung für den Abstand bzw. die Parallelität zweier Reflektoren eines optischen Gerätes |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2612012A1 DE2612012A1 (de) | 1977-09-29 |
DE2612012B2 DE2612012B2 (de) | 1978-06-08 |
DE2612012C3 true DE2612012C3 (de) | 1979-02-08 |
Family
ID=5973089
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2612012A Expired DE2612012C3 (de) | 1976-03-20 | 1976-03-20 | Elektronische Steuer- und Regelvorrichtung für den Abstand bzw. die Parallelität zweier Reflektoren eines optischen Gerätes |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4149118A (de) |
DE (1) | DE2612012C3 (de) |
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-
1976
- 1976-03-20 DE DE2612012A patent/DE2612012C3/de not_active Expired
-
1977
- 1977-03-18 US US05/778,988 patent/US4149118A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |