DE2606024A1 - Verfahren und vorrichtung zum pruefen von substratplaettchen - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum pruefen von substratplaettchen

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DE2606024A1
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Walter Dr Schmidt
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Prolizenz AG
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9501—Semiconductor wafers

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CH593478A5 (nl) 1977-11-30
NL7700025A (nl) 1977-07-22
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