DE2556947B2

DE2556947B2 - Auf Druck ansprechende Kapazität

Info

Publication number: DE2556947B2
Application number: DE2556947A
Authority: DE
Inventors: George T. Grafton Bata; Ralph Wolf Newport News Carp; Michael Gloucester Point Slavin
Original assignee: Bendix Corp
Current assignee: Bendix Corp
Priority date: 1975-01-07
Filing date: 1975-12-18
Publication date: 1979-01-11
Also published as: JPS566694B2; DE2556947C3; FR2297485B1; FR2297485A1; CA1037575A; US3993939A; JPS51125858A; GB1517705A; DE2556947A1

Description

Die Erfindung betrifft eine auf Druck ansprechende Kapazität, bestehend aus einem elektrisch nicht leitenden Substrat mit einer Abstützfläche, einer Elektrode aus einem elektrisch leitendem Film, die an einem Abschnitt der Abstützfläche befestigt ist, und aus einer dünnen flexiblen, elektrisch leitenden Membran, die hermetisch an der Abstützfläche abgedichtet ist und über der Elektrode angeordnet ist, wobei die Membran und die Elektrode die Platten der auf Druck ansprechenden Kapazität bilden und die Kapazität einen Kapazitätswert erreicht, der auf die Druckdifferenz über der Membran in einem vorbestimmten Druckdifferenzbereich bezogen ist.

Druckwandler- oder Abtastvorrichtungen sind seit langem in den verschiedenen Ausführungsformen bekannt. Bei diesen Vorrichtungen hat man auf Druck ansprechende Kapazitäten entwickelt, bei denen eine auf Druck ansprechende und leitende Membran über einer Elektrode abgedichtet befestigt ist, die an einem dielektrischen Substrat befestigt ist, so daß Änderungen im Druckunterschied über die Membran eine Veränderung des Abstandes zwischen der Membran und der ortsfesten Elektrode bewirken, so daß dadurch die Kapazität zwischen der Membran und der ortsfesten Elektrode in Abhängigkeit von dem Druck geändert wird. Eine derartige Vorrichtung ist in dem US-Patent 38 08 480 beschrieben. Diese auf Druck ansprechenden Kapazitäten werden häufig in frequenzbestimmenden Kreisen oder Oszillatoren verwendet, um dadurch ein Frequenzsignal zu erzeugen, welches auf den Druck bezogen ist Es wurde auch bereits vorgeschlagen, die auf Druck ansprechenden Kapazitäten in Brückenschaltungen anzuordnen, um eine auf den Druck bezogene Spannung zu erzeugen.

Ein weiterer Typ eines bekannten auf Druck ansprechenden Kapazitätselements besteht aus einem nachgiebigen dielektrischen Material, welches zwischen wenigstens zwei Elektrodenplatten eingeschlossen ist Durch einen auf die Platte aufgebrachten Druck wird das Dielektrikum nachgiebig zusammengedrückt, und es wird eine auf den Druck bezogene Kapazität erzeugt Ein Beispiel einer derartigen Vorrichtung ist in der US-Patentschrift 33 02 080 beschrieben.

Bei diesen bekannten Typen von auf Druck ansprechenden Kapazitäten wird die Kapazitätsänderung aufgrund einer Druckänderung durch eine Änderung des Abstandes zwischen beispielsweise der ortsfesten Elektrode und der druckempfindlichen Membran bewirkt, wobei diese Membran die zweite Elektrode der Kapazität darstellt Die Kapazitätsänderung über den Druckdifferenzbereich ist dabei relativ eingeschränkt, und zwar insbesondere dort, wo eine auf Druck ansprechende Kapazität mit kleinen räumlichen Abmessungen eingesetzt werden muß.

Aus der US-PS 36 93 059 ist schließlich ein kapazitiver Schalter bekannt, der zum einen aus einem axial verschiebbaren Betätigungsstift mit an einem Ende des Stiftes befestigtem, elastischen U-förmigem Bügel und zum anderen aus mit einem Dielektrikum abgedeckten kapazitiven Kissen besteht, die auf einem Substrat befestigt sind. Bei einer Verschiebung des genannten Stiftes wird der U-förmige verformbare Bügel auf dem kapazitiven Kissen in Abhängigkeit von dem aufgebrachten Druck mehr oder weniger abgerollt, wodurch eine Kapazitätsänderung erzielt wird.

Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht demgegenüber darin, eine auf Druck ansprechende Kapazität der eingangs definierten Art zu schaffen, bei der sich die Membran bei Zunahme der Druckdifferenz über der Membran entsprechend einer zunehmend größeren Berührungsfläche auf dem Dielektrikum bzw. über der Elektrode abrollen kann, um eine druckempfindliche Kapazität mit einem relativ großen Kapazitätsbereich hinsichtlich des Druckdifferenzbereiches zu erhalten, welchem sie ausgesetzt werden kann.

Die Lösung dieser Aufgabe ergibt sich aus dem Kennzeichnungsteil des Anspruches 1.

Das Volumen zwischen der Membran und dem Substrat wird beispielsweise auf einen bestimmten Druck evakuiert, um die Membran in Berührung mit der isolierten befestigten Elektrode zu bringen. Die Membran kann so ausgelegt sein, daß sie in Berührung mit dem Dielektrikum steht, welches auf der festen Elektrode niedergeschlagen ist und zwar entsprechend wenigstens einem Abschnitt des Druckdifferentialbereiches, welchem die Membran ausgesetzt werden kann. Beispielsweise wird die Membran in Berührung mit dem Dielektrikum entsprechend dem gesamten Druckdiffe-

renzbereich gehalten. Die Membran ist optimal so ausgelegt, daß sie einen relativ geringen Kontakt mit dem Dielektrikum am unteren Ende des Druckdifferenzbereiches hat und sich dann in größerem Kontakt bzw. Berührung mit dem Dielektrikum entsprechend einer zunehmend größer werdenden Fläche abrollt, wenn die Druckdifferenz über der Membran zum oberen Ende des Druckdifferenzbereichs zunimmt Auf diese Weise hängt die Kapazitätsänderung der druckveränderlichen Kapazität von einer Verinderur.g der \o effektiven Kapazitätsfläche ab, so daß dadurch ein größerer Bereich der Kapazitätsänderung relativ zur Druckdifferenzänderung erhalten wird, als dies normalerweise bei einer druckempfindlichen Kapazität der Fall ist, deren Kapazitätswert sich mit dem Abstand zwischen den Platten ändert

Besonders vorteilhafte Weiterbildungen und Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen 2 und 3.

Im Folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen unter Hinweis auf die Zeichnungen näher erläutert Es zeigt:

F i g. 1 den Gegenstand in einer Schnittdarstellung, wobei ein relativ niedriges Druckdifferential über der Membran aufgebracht ist; Fig.2 die Vorrichtung gemäß Fig. 1, wobei ein

größeres Druckdifferential über der Membran herrscht, Fig.3 die Vorrichtung gemäß Fig. 1, wobei ein

relativ hohes Druckdifferential über der Membran

aufgebaut ist, jo

Fig.4 eine Draufsicht auf die Vorrichtung gemäß F i g. 1 in aufgebrochener Darstellung, um eine Elektrode und die an dem Substrat befestigten Bahnen zu zeigen,

Fig.5 eine Einrichtung zum Betreiben des Gegenstands,

Fig.6 eine Draufsicht auf die Vorrichtung gemäß F i g. 5, und

Fig.7 ein Schema einer elektrischen Schaltung, welches vorteilhaft verwendet werden kann, um die Ausgangsgröße der Vorrichtung hinsichtlich Druckdifferentialänderungen zu linearisieren.

In den verschiedenen Figuren sind gleiche Elemente mit den gleichen Bezugszeichen versehen.

Gemäß Fig. 1 ist eine druckveränderliche Kapazität veranschaulicht Die gezeigte Kapazität besteht aus einem dünnen, ebenen und plattenförmigen, jedoch elektrisch nicht leitenden Substrat 10 mit einer Tragfläche 10.3, die in bevorzugter Weise relativ glatt und eben ausgebildet ist. Das Substrat 10 besteht aus einem der Substratmaterialien, die dem Fachmann gut bekannt sind, wie beispielsweise ein keramisches Tonerdematerial, wie sich dies noch im einzelnen ergeben wird, ist es wünschenswert, daß das Substrat 10 gegenüber Gasen und Wasserdampf relativ undurchlässig ist und daß es Leiterbahnen oder Leiterflächen aufnehmen kann, die an die Fläche des Substrats angeklebt werden bzw. haften.

Ein leitender Film 12, der eine Platte oder Elektrode der druckvariablen Kapazität darstellt, ist auf der Fläche 10a aufgedruckt, aufgedampft oder abgelagert, so daß er an dieser haftet Ein dielektrischer Film 14 ist über der Elektrode 12 und ebenso einer Fläche um die Elektrode auf der Fläche 10a abgelagert oder als Belag aufgebracht. Das Dielektrikum besteht geeignet aus einem Siliziumoxid wie dem Fachmann auf dem Gebiet der Dickfilmtechnik gut bekannt ist, wobei die Elektrode 12 und das Dielektrikum 14 durch Dickfilmtechniken niedergeschlagen oder aufgedruckt werden. Bei einer tatsächlichen realisierten Vorrichtung bestand das Dielektrikum aus einer Dickfilmpaste, die erhältlich ist

Eine dünne, flexible und elektrisch leitende Membran 16 enthält einen flexiblen zentralen Abschnitt 16a, und zwar den Abschnitt innerhalb des Kreises 16f, und enthält einen relativ starren Umfangsabschnitt 166, der aus einem aufrecht stehenden abgewinkelten Abschnitt 16c und einem nach außen weisenden abgewinkelten Abschnitt 16d besteht Der Abschnitt der Membran 16e zwischen dem aufrecht stehenden Abschnitt 16c and dem zentralen Abschnitt 16a bildet den Übergang zwischen dem relativ steifen Abschnitt der Membran und dem relativ flexiblen Abschnitt der Membran und ist speziell so ausgebildet, daß der zentrale Abschnitt 16a gegen das Dielektrikum 14 rollen kann bzw. gedrückt wird, wenn der Druckunterschied über der Membran zunimmt Der nach außen zeigende Umfangsabschnitt 16</ der Membran ist hermetisch gegen die Fläche 10a abgedichtet Bei einer druckvariabJen Kapazität, die tatsächlich hergestellt wurde, war die Membran mit Hilfe eines vorgefertigten, halb ausgehärteten Epoxy-Klebemittels auf Glasbasis befestigt Das Klebemittel wurde dann voll ausgehärtet, um die hermetische Abdichtung zu vervollständigen.

Das Volumen 18 unterhalb der Membran 16 wird evakuiert und kann erneut bis zu einem vorbestimmten Druck mit einem Standardgas gefüllt werden, wenn dies gewünscht wird. Mittel zur Evakuierung des Volumens 18 sind nicht gezeigt da derartige Einrichtungen dem Fachmann gut bekannt sind. Beispielsweise kann die Membran 16 eine zentral gelegene öffnung aufweisen, wobei die Kapazität in einer Vakuumkammer zusammengebaut wird, die ausgepumpt ist, um den Raum 18 über die genannte öffnung in der Membran zu evakuieren, wobei danach die genannte öffnung mit Lötmetall verschlossen wird. Bei der tatsächlich ausgeführten auf Druck ansprechenden Kapazität wurde ein Auspumprohr verwendet, welches in F i g. 5 zu sehen ist und welches im folgenden mehr im einzelnen erläutert werden soll.

F i g. 1 zeigt den Zustand der Membran der druckverändei liehen Kapazität, wenn die Druckdifferenz über der Membran sich am unteren Ende ihres Bereiches befindet. Wenn die Druckdifferenz über der Membran zunimmt, so rollt die Membran zu einer zunehmend größer werdenden Berührungsfläche mit dem Dielektrikum 14 ab, wie dies in den F i g. 2 und 3 dargestellt ist, so daß die effektive Fläche der Kapazitätsplatten dadurch erhöht wird. Es ergibt sich somit, daß der Konstrukteur dabei aufpassen muß, daß diese Membran abrollen kann, wie dies erläutert wurde, wenn der Druck über der Membran geändert wird, so daß die Membran nicht als solche relativ zur ortsfesten Elektrode verschoben wird.

Der Kapazitätswert, aufgetragen gegenüber den Druckkennlinien der Vorrichtung, ändert sich mit Temperaturschwankungen. Die Temperaturempfindlichkeit wird dadurch hervorgerufen, daß es nicht möglich ist, den Wärmeausdehnungskoeffizienten des Substrats dem Wärmeausdehnungskoeffizienten der Membran anzupassen. Die Membran wird in geeigneter Weise aus einer Ni-Span-C-Legierung hergestellt, einem Material, dessen linearer Wärmeausdehnungskoeffizient genau gesteuert wird, um seine physikalischen Eigenschaften gleichmäßig zu halten. Die Wärmeausdehnungskoeffizienten der Substrat-Materialien wer-

—^muzTET-z

den jedoch nicht genau gesteuert, so daß es dadurch erforderlich wird, die thermische Empfindlichkeit durch besondere Gestaltung der Kapazität zu verbessern. Speziell läßt sich die thermische Empfindlichkeit dadurch verbessern, daß die Kapazität so gestaltet wird, daß der Umfang der Membran relativ frei für eine Bewegung in einer Richtung ist, die parallel zur Ebene der Membran verläuft Es ist natürlich auch erforderlich, daß der Umfang der Membran relativ fest gegenüber einer Bewegung senkrecht zur Ebene der Membran ist, um sicherzustellen, daß die Membran abrollen kann und also nicht körperlich nach oben und unten verschoben wird, wenn sich die Druckdifferenz über der Membran ändert.

Die Membran gemäß Fig. 1 erfüllt vollständig diese Anforderungen. Insbesondere ermöglicht der Übergangsabschnitt 16e; daß der zentrale Abschnitt 16a der Membran sich ausdehnen und zusammenziehen kann, und zwar relativ unbehindert, und sich also in einer Richtung parallel zur Ebene des zentralen Abschnitts der Membran bewegen kann, da eine Biegung des Umfangsabschnitts 166 um die Linie hervorgerufen wird, welche das obere Ende des Zwischenabschnitts 16e definiert, und ebenso um die Linie, welche den Schnittbereich des nach oben ragenden Abschnitttes 16c und des nach außen zeigenden ringförmigen Abschnitts 16c/definiert. Wie sich nunmehr jedoch klar ergibt, ist der zentrale Abschnitt 16a der Membran hinsichtlich Kräften, die senkrecht zur Ebene des zentralen Abschnitts der Membran wirken, beim Kreis 16/am steifsten, und dieser wird zunehmend weniger steif in Richtung zur Mitte der Membran hin. Ein einheitlich nach unten auf die Membran ausgeübter Druck bewirkt somit, daß das Zentrum der Membran um eine größere Strecke ausgelenkt wird als der verbleibende Abschnitt der Membran mit dem Ergebnis, daß die Membran mit zunehmender Druckdifferenz über der Membran über eine nahe bei dieser verlaufenden Fläche abrollt.

Bei einem in der Praxis hergestellten druckvariablen Kapazitätselement mit den Merkmalen, wie sie sich aus F i g. 1 ergeben, wobei diese Kapazität einer Druckdifferenz über der Membran von 150 bis 800 Torr ausgesetzt wurde, ergab sich ein Kapazitätsbereich von 100 bis 250 Picofarad. Die Membran bestand aus einem 0,008 cm dicken Ni-Span-C-Material. Bei einem ebenen zentralen Abschnitt 16a, der einer Druckdifferenz über die Membran von null entsprach, ergab sich eine Trennung zwischen der Membran und dem Dielektrikum von 0,008 cm. Der Gesamtdurchmesser betrug 3 cm und die Gesamthöhe betrug 0,14 cm. Der Durchmesser des zentralen Abschnittes 16a betrug 2,1 cm. Der Radius des dazwischenliegenden Abschnitts 16e betrug 0,09 cm, während die Rundungsgradien 0,03 cm betrugen.

Fig.4 zeigt eine Draufsicht auf die druckvariable Kapazität von Fig. 1, die ein Substrat 10 mit einer typischen Elektrode 12 und einer daran befestigten dielektrischen Abdeckung oder Oberzug 14 besitzt Die Membran 16 ist der Übersichtlichkeit halber in aufbebrochener Darstellung veranschaulicht Die Elektrode 12 besitzt eine Leiterbahn 12a, durch die eine elektrische Verbindung unter der Membran möglich wird Die Leiterbahn 12a besitzt auch in geeigneter Weise einen dielektrischen Überzug, um diese dort zu isolieren, wo sie unter dem nach außen ragenden es ringförmigen Abschnitt 16dhindurchläuft

Eine kreisförmige Bahn 48, die an dem Substrat befestigt ist, umgibt die Elektrode 12. Die Bahn 48 umfaßt einen geradlinigen Abschnitt 48a Die Bahn 48 besitzt allgemein die gleiche planare Größe wie der nach außen zeigende ringförmige Abschnitt 16c/ der Membran. Die Membran ist über einen auf Glas gelagerten Epoxy-Klebstoffilm an dem Substrat abgedichtet, welcher entsprechend den Abmessungen des nach außen weisenden Abschnitts 16c/ vorgestanzt ist, und wird zwischen diesem und der Bahn 48 angeordnet und ausgehärtet, um die Bindung zu vervollständigen. Die Membran kann dann an der geradlinigen Leiterbahn 48a angelötet werden, um eine elektrische Verbindung mit dieser herzustellen. Der Epoxy-Film schafft eine zusätzliche Isolation zwischen der Membran und der Bahn 12a und ist auch an die Räume 106 auf beiden Seiten der Bahn 12a angepaßt, um die Membran hermetisch an dem Substrat abzudichten.

Gemäß F i g. 5 ist eine Einrichtung zum Betreiben des Gegenstandes von F i g. 1 gezeigt, wobei F i g. 6 eine Draufsicht auf die Vorrichtung gemäß F i g. 5 zeigt. Die Membran 16 ist an dem Substrat 10 befestigt. Eine Kappe 50 mit einer öffnung 50a zur Herstellung einer Strömungsverbindung mit dem Volumen 52 unter der Kappe 50 ist hermetisch mit dem Substrat 10 mit Hilfe eines O-Ringes 56 in einer Nut 54 abgedichtet Leitungen können nun von der öffnung 50a zu einer Druckquelle vorgesehen werden, die überwacht werden soll. Eine weitere steife Kappe 58 ist hermetisch mit der gegenüberliegenden Fläche des Substrats 10 abgedichtet, um dazwischen ein Volumen 64 zu bilden. Eine öffnung 62 in dem Substrat verbindet das Volumen 64 mit dem Raum unterhalb der Membran 16. Das Rohr 60 kann dazu verwendet werden, das Volumen 64 und den Raum unterhalb der Membran 16 auszupumpen, und kann dann abgedichtet werden. Alternativ kann das Rohr 60 mit einer zweiten Druckquelle verbunden werden, so daß die Membran 16 in Abhängigkeit von der Druckdifferenz der zwei Druckquellen in Anlage gerollt wird.

Die Kappe 58 ist besonders dann vorteilhaft, wenn die Kapazität evakuiert und das Rohr 60 abgedichtet ist, da das Volumen 64 um ein Vielfaches größer ist als das Volumen unterhalb der Membran 16. Auf diese WEise werden die Einflüsse irgendeines Lecks unter der Membran weitgehend gedämpft

Überprüft man erneut die F i g. 1 bis 3, so wird es offensichtlich, daß bei Änderung des Druckes über der Membran 16 der Durchmesser des Abschnitts der Membran verändert wird, welcher in Berührung mit dem Dielektrikum steht In der Tat variierte der Duchmesser bei der hergestellten druckvariablen Kapazität nahezu linear mit dem Druck. Natürlich ändert sich auch die Kapazität linear mit der effektiven Kapazitätsfläche, die sich ihrerseits mit dem Quadrat des zuvor erwähnten Durchmessers verändert Die Kapazität wird demnach mit dem Quadrat des Druckes über der Membran verändert Wenn es wünschenswert ist, eine druckvariable Kapazität herzustellen, deren Kapazitätswert sich linear mit der Druckdifferenz ändert, so kann die feste Elektrode so gestaltet werden, daß ihre effektive Fläche sich linear mit dem Durchmesser ändert Wenn es nicht wünschenswert ist, die feste Elektrode so zu gestalten, jedoch eine lineare Kapazitätsänderung in Abhängigkeit von dem Druck dennoch erforderlich ist, gibt es die Möglichkeit eine elektronische Schaltung zu verwenden, wie sie beispielsweise in Fig.7 schematisch gezeigt ist, um eine Linearisierung zu erreichen. Gemäß dieser Figur wird eine Kapazität 68 mit der Kapazität C durch einen

Strom / aus einer konstanten Stromquelle 66 geladen. Die Kapazität wird über den Widerstand 64 mit dem Wert R entladen, wenn ein elektronischer Schalter 62' geschlossen wird. Der Schalter 62' wird während der Ausgangsimpulse des Wellengenerators 60' geschlossen, wobei die Breite der Ausgangsimpulse linear auf die Kapazität bezogen ist. Die Kapazität für die Steuerung des Rechteckwellengenerators 60' wird natürlich von einer druckvariablen Kapazität erhalten. Bei diesem Stromlaufplan ist angenommen, daß Crealtiv groß ist, so daß die Spannung an die Kapazität 68 einen Gleichgewichtswert e_c erreicht. Bei einer Analyse der Betriebsweise der Schaltung gemäß Fig. 7 ist zu beachten, daß der Schalter 62' für eine Periode / offen ist und für eine Periode (To— i) geschlossen ist, wobei 7ö die konstante Wiederhoifoige des Rechteckweiiengenerators60'ist.

Es gelten dann folgende Beziehungen:

Hierin bedeuten

AQ] = die der Kapazität 68 während der Periode t

hinzugefügten Ladungen
und
AQ₂ = die von der Kapazität 68 während der Periode

(To—t)entfernten Ladungen.
Bei Gleichgewicht gilt:

Il + I / -

woraus man erhält:

c, = Rl

T₁,

Da t einen Impuls darstellt, dessen Impulsbreite proportional zu einer Kapazität Q ist, die sich mit dem Druck ändert, und wenn 7ö die Breite dieses Impulses

sein würde, wenn der Wert der Kapazität gleich Q, erreichen soll, gilt:

Rl

C₁

C₁₁

Wenn weiter C, durch die l'unklion:

definiert ist, wobei C_m Po und K Konstanten sind, und wenn P den Druck über der Membran bedeutet, dann wird

ι-,. = Rl

Wenn die V.'iederholperiodc 7;, so gewählt ist. daß

C_n = C_m.
so wird

Aus der zuvor angeschriebenen Definition ergibt sich, daß e_ceine lineare Funktion von Pist.

Γ) Es wird somit eine druckveränderliche Kapazität geschaffen, bei welcher eine auf Druck anspreche de Membran an einem Substrat befestigt ist, welches mit einem Dickschichtmetallüberzug ausgestattet ist, der mit einem dielektrischen Oberzug bedeckt ist, so daß die

;o Membran und der Dickschichtüberzug eine druckveränderliche Kapazität bilden. Druckunterschiedsänderungen über der Membran zwingen diese dazu, an der Isolationsschicht abzurollen, so daß also die fläche der Membran, die mit dem Dielektrikum in Berührung

4") gelangt, geändert wird und damit auch die Kapazität geändert wird.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Auf Druck ansprechende Kapazität, bestehend aus einem elektrisch nicht leitenden Substrat mit einer Abstützfläche, einer Elektrode aus einem elektrisch leitenden Film, die an einem Abschnitt der Abstützfläche befestigt ist, und aus einer dünnen, flexiblen, elektrisch leitenden Membran, die hermetisch an der Abstützfläche abgedichtet ist und über ι ο der Elektrode angeordnet ist, wobei die Membran und die Elektrode die Platten der auf Druck ansprechenden Kapazität bilden und die Kapazität einen Kapazitätswert erreicht, der auf die Druckdifferenz über der Membran in einem vorbestimmten Druckdifferenzbereich bezogen ist, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Membran (16) und der Elektrode (12) ein die Gesamtfläche der Elektrode (12) überdeckender dielektrischer Film (14) vorgesehen ist, daß die Membran (16) an ihrem Umfang ortsfest gehaltert ist, daß die Steifigkeit der Membran (16) vom Umfangsbereich zum mittleren Bereich hin abnimmt, und daß wenigstens ein Teil der Membran (16) derart nahe bei der Elektrode (12) angeordnet ist, daß sich die Membran (16) bei Aufbringen eines Druckes auf ihren mittleren Bereich über der Elektrode (12) bzw. auf dem dielektrischen Film (14) abrollen kann.

2. Kapazität nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Umfangsabschnitt (166) der Membran (16) aus einem aufrechtstehenden, abgewinkelten Abschnitt (16c) und einem nach außen weisenden, abgewinkelten Abschnitt (t6d) besteht und daß in spannungslosem Zustand der Übergangsabschnitt (16e) zwischen dem aufrechtstehenden Abschnitt (16c) und dem zentralen Abschnitt (16a) und der zentrale Abschnitt (16a) der Membran schalenförmig gestaltet ist

3. Kapazität nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein kappenförmiges, steifes Abdichtteil (58) hermetisch an der Fläche des Substrat (10), die der Membran (16) gegenüberliegt, abgedichtet ist, und daß durch das Substrat (10) ein Druckausgleichskanal (62) hindurchreicht.

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