DE2546902A1 - Vorrichtung zur umlenkung eines elektronenstrahls, vorzugsweise fuer bewegliche verdampferanordnungen in vakuumbedampfungsanlagen - Google Patents

Vorrichtung zur umlenkung eines elektronenstrahls, vorzugsweise fuer bewegliche verdampferanordnungen in vakuumbedampfungsanlagen

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Wolfgang Dipl Ing Erbkamm
Gerhard Dipl Phys Dr Rer Geske
Robert Dipl Phys Dr Guenther
Guenter Dipl Phys Jaesch
Anton Dipl Ing Sandner
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
    • C23C14/30—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation by electron bombardment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
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