DE2534752B2 - Vorrichtung zum tiegelfreien zonenschmelzen eines halbleitermaterialstabes mit einer fernsehkamera zur optischen ueberwachung der erstarrungsfront - Google Patents

Vorrichtung zum tiegelfreien zonenschmelzen eines halbleitermaterialstabes mit einer fernsehkamera zur optischen ueberwachung der erstarrungsfront

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DE2534752B2 DE19752534752 DE2534752A DE2534752B2 DE 2534752 B2 DE2534752 B2 DE 2534752B2 DE 19752534752 DE19752534752 DE 19752534752 DE 2534752 A DE2534752 A DE 2534752A DE 2534752 B2 DE2534752 B2 DE 2534752B2
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    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B13/00—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
    • C30B13/28—Controlling or regulating
    • C30B13/30—Stabilisation or shape controlling of the molten zone, e.g. by concentrators, by electromagnetic fields; Controlling the section of the crystal

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