DE2524982A1 - Verfahren zur bestimmung der relativen dicke von teilen eines auf einer ebenen spiegelnden reflexionsflaeche abgelagerten lichtdurchlaessigen filmes - Google Patents

Verfahren zur bestimmung der relativen dicke von teilen eines auf einer ebenen spiegelnden reflexionsflaeche abgelagerten lichtdurchlaessigen filmes

Info

Publication number
DE2524982A1
DE2524982A1 DE19752524982 DE2524982A DE2524982A1 DE 2524982 A1 DE2524982 A1 DE 2524982A1 DE 19752524982 DE19752524982 DE 19752524982 DE 2524982 A DE2524982 A DE 2524982A DE 2524982 A1 DE2524982 A1 DE 2524982A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
film
light
carrier
axis
illuminated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19752524982
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Pauline Margaret Toms
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Decca Ltd
Original Assignee
Decca Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Decca Ltd filed Critical Decca Ltd
Publication of DE2524982A1 publication Critical patent/DE2524982A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
DE19752524982 1974-06-07 1975-06-05 Verfahren zur bestimmung der relativen dicke von teilen eines auf einer ebenen spiegelnden reflexionsflaeche abgelagerten lichtdurchlaessigen filmes Pending DE2524982A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB2542074 1974-06-07

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2524982A1 true DE2524982A1 (de) 1976-01-02

Family

ID=10227383

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19752524982 Pending DE2524982A1 (de) 1974-06-07 1975-06-05 Verfahren zur bestimmung der relativen dicke von teilen eines auf einer ebenen spiegelnden reflexionsflaeche abgelagerten lichtdurchlaessigen filmes

Country Status (9)

Country Link
JP (1) JPS5111464A (enrdf_load_stackoverflow)
AU (1) AU8181375A (enrdf_load_stackoverflow)
BE (1) BE829978A (enrdf_load_stackoverflow)
DE (1) DE2524982A1 (enrdf_load_stackoverflow)
DK (1) DK255675A (enrdf_load_stackoverflow)
FR (1) FR2274022A1 (enrdf_load_stackoverflow)
NL (1) NL7506740A (enrdf_load_stackoverflow)
NO (1) NO751987L (enrdf_load_stackoverflow)
SE (1) SE7506493L (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5643685A (en) * 1979-09-19 1981-04-22 Hitachi Ltd Optical character reader
US4785336A (en) * 1986-12-04 1988-11-15 Libbey-Owens-Ford Co. Device for monitoring characteristics of a film on a substrate
FR2716531B1 (fr) * 1994-02-18 1996-05-03 Saint Gobain Cinematique Contr Procédé de mesure d'épaisseur d'un matériau transparent.
RU2168151C2 (ru) * 1999-08-04 2001-05-27 Научно-исследовательский институт радиоэлектроники и лазерной техники Московского государственного технического университета им. Н.Э. Баумана Дистанционный способ измерения толщины пленок
JP2011191252A (ja) * 2010-03-16 2011-09-29 Nippon Steel Engineering Co Ltd 金属の表面品質評価方法および金属の表面品質評価装置

Also Published As

Publication number Publication date
NO751987L (enrdf_load_stackoverflow) 1975-12-09
AU8181375A (en) 1976-12-09
SE7506493L (sv) 1975-12-08
FR2274022B3 (enrdf_load_stackoverflow) 1978-12-29
BE829978A (fr) 1975-10-01
NL7506740A (nl) 1975-12-09
JPS5111464A (enrdf_load_stackoverflow) 1976-01-29
FR2274022A1 (fr) 1976-01-02
DK255675A (da) 1975-12-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Blodgett Properties of built-up films of barium stearate
DE69316275T2 (de) Apparat und Verfahren zur Durchführung von Dickenmessungen einer Dünnfilmschicht mit Verformungen und örtlichen Neigungsveränderungen
DE69414630T2 (de) Vorrichtung zur optischen Beleuchtung und Untersuchung von Defekten in Halbleiterscheiben und Solarzellen
DE3434575C1 (de) Ellipsometrische Vorrichtung zur Untersuchung der physikalischen Eigenschaften der Oberflaeche einer Probe
DE2334325C3 (de) Beleuchtungs- und Betrachtungseinrichtung einer Vorrichtung zum Kopieren eines Maskenmusters
DE69423839T2 (de) Schichtdickenmessung auf einer diffus streuenden Oberfläche
DE2500196C3 (de) Prismenfarbteiler für Farbfernsehkameras
DE2151709A1 (de) Vorrichtung zum Messen der Stellung eines Tisches unter Verwendung von Interferenzstreifen
DE2312659B2 (de) Fluessigkristallzelle
DE3913228A1 (de) Spektroskopiesystem diffuser reflexion und verfahren zum erhalten eines diffusen reflexionsspektrums
DE2524982A1 (de) Verfahren zur bestimmung der relativen dicke von teilen eines auf einer ebenen spiegelnden reflexionsflaeche abgelagerten lichtdurchlaessigen filmes
DE3834948A1 (de) Verfahren zum messen des brechungsindex einer duennschicht
DE1923645A1 (de) Beschichtungsverfahren fuer optische Linsen u.dgl.
EP0372241B1 (de) Optikanordnung zur dreidimensionalen Formerfassung
DE1622500C3 (de) Vorrichtung zur Messung optischer Wegunterschiede nach der Schlierenmethode
DE1648748C3 (de) Verfahren zum Prüfen eines Stuckes aus gleichmäßig vorgespanntem Glas
DE3246832A1 (de) Strahlteiler
DE102012102756A1 (de) Verfahren zur Detektion vergrabener Schichten
DE1229739B (de) Vorrichtung zur kontinuierlichen Bestimmung des Durchmessers eines duennen Drahtes
DE2848460A1 (de) Betrachter
DE3032988A1 (de) Fluessigkristallanzeige
CH662653A5 (de) Einrichtung zur quermasspruefung eines fuer monochromatische, kohaerente strahlung durchlaessigen oder halbdurchlaessigen fadenfoermigen erzeugnisses.
DE1924311C3 (de) Vorrichtung zur Messung des Brechungsindex von Flüssigkeiten
DE359408C (de) Farbenphotographie
DE933713C (de) Vorrichtung zur Bestimmung von Dichte und Korngroesse von Stauben nicht einheitlicher Korngroesse nach der Streulichtmethode mit photographischer Festhaltung des Pruefzustandes

Legal Events

Date Code Title Description
OHJ Non-payment of the annual fee