DE2519651A1

DE2519651A1 - Magnetische anordnung

Info

Publication number: DE2519651A1
Application number: DE19752519651
Authority: DE
Inventors: Heinz Dr Rer Nat Wehde
Original assignee: Teldix GmbH
Current assignee: Rockwell Collins Deutschland GmbH
Priority date: 1975-05-02
Filing date: 1975-05-02
Publication date: 1976-11-11
Also published as: CH608868A5; DE2519651B2; FR2309754A1; FR2309754B1

Description

TELDIX GmbH

6900 Heidelberg-1
Grenzhöfer Weg 36

Heidelberg, 50. April 1975 PT-3ch/mo E-352

ι Magnetische Anordnung

Die Erfindung bezieht sich auf eine magnetische Anordnung, insbesondere für einen schnelldrehenden Rotor, enthaltend auf dem Stator und Rotor angeordnete, koaxial ausgebildete Bauteile zur Erzeugung von radialen und axialen Lagerkräften.

Probiemstellung

Eine derartige Magnetische Anordnung ist aus der US-Patentschrift 3 4-73 852 bekannt geworden, wobei zur axialen Stabilisierung des Rotors zwei aktiv geregelte elektromagnetische Lager vorgesehen sind. Die genannten Magnetlager enthalten jeweils auf dem Stator angeordnete Elektromagnete mit Polringen, denen auf dem Rotor liegende ferromagnetische Polringe zugeordnet sind. Aufgrund der koaxialen Ausbildung der Polringe von Rotor und Stator wird auch eine unger^pLte passive Stabilisierung erreicht. Die Steifigkeit dieser Anordnung in radialer Richtung ist jedoch vergleichsweise gering, so daß entsprechende Belastungen, bei-

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spielsweise "beim Durchf ahren von kritischen Drehzahlbereichen die auftretenden Resonanzschwingungen, nicht ohne weiteres aufgenommen werden können. Es sind daher magnetische Anordnungen vorgeschlagen worden - genannt sei hier die US-Patentschrift 3 650 581 -, welche für sämtliche Eichtungen eines Rotors aktiv geregelte Magnetlagersysteme aufweisen. Derartige Anordnungen sind jedoch im Aufbau und in der Herstellung recht aufwendig und erfordern zudem einen erheblichen Energiebedarf zur Erzeugung der erforderlichen Lagerkräfte.

Aufgabe und Lösung

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Die Erfindung geht daher von der Aufgabenstellung aus, die genannten Nachteile zu vermeiden und eine im Aufbau einfache sowie kostengünstige Anordnung zu schaffen, welche auch in den nicht geregelten Richtungen eine große Stabilität aufweist. Diese Aufgabe wird gemäß des ersten Patentanspruches dadurch gelöst, daß auf dem Stator unter Bildung eines ringförmigen Zwischenraumes wenigstens zwei Permanentmagnetringe angeordnet sind, welche im wesentlichen axial oder radial magnetisiert sind, daß zur Erzeugung von Zugkräften auf dem Rotor den genannten Magnetringen gegenüberliegende Polringe

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zugeordnet sind, welche vorzugsweise/axial oder radial magnetisierte Permanentmagnete ausgebildet sind, und daß in dem genannten Zwischenraum wenigstens eine elektrische Wicklung vorgesehen ist, zur Schwächung oder Verstärkung der Magnetfelder der Permanentmagnetringe.

Vorteile und Weiterbildungen

Die erfindungsgemäße Anordnung zeichnet sich durch einen einfachen und kostengünstigen Aufbau aus, wobei auch für große Lagerkräfte nur ein vergleichsweise geringer Energiebedarf erforderlich ist. Hierbei werden die geforderten statischen Lagerkräfte mittels der Permanentmagnetringe aufgebracht, während mittels der elektrischen Wicklungen die überlagerten dynamischen Lagerkräfte zur Stabilisierung aufgebracht werden. Die Anordnung der Wicklungen zwischen den Mag-

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netringen ergibt in vorteilhafter Weise eine kompakte Bauweise. Aufgrund der angegebenen Anordnung der Magnetringe wird weiterhin erreicht, daß die geometrischen Achsen und die Symmetrieachsen der Magnetfelder exakt fluchten, so daß "beispielsweise "bei axial magnetisierten Permanentmagnetringen Zentrierungsfehler weitgehend vermieden werden. Dies wird durch Verwendung von Scheiben oder Ringen aus magnetisierbarem Material eingebracht werden, in einfacher Weise realisiert, wobei nach Einbringen der Zwischenräume die Magnetisierung der Ringe vorgenommen wird. Es hat sich als sehr vorteilhaft erwiesen die Permanentmagnetringe von Rotor und Stator direkt einander gegenüberliegend anzuordnen, um eine große Steifigkeit in der zur Magnetisierungsrichtung senkrechten Richtung zu erreichen. Die Verwendung von zwei derart ausgebildeten Magnetlagern an beiden Rotoren, zur Erzeugung von einander entgegenwirkenden axialen Zugkräften, ergibt eine an sich instabile Lagerung des Rotors. Die Anordnung wenigstens einer regelbaren elektrischen Wicklung ermöglicht jedoch in überraschender Weise eine stabile Lagerung des Rotors. Das gleiche gilt für radial magnetisierte Permanentmagnetringe, wobei die Wicklung über den Umfang in getrennt regelbare Segmente aufgeteilt ist. Durch Ausbildung der Polflächen der Magnetringe als Ringe oder zylindrische Flächen wird bevorzugt eine große Steifigkeit senkrecht zur Magnetisierungsrichtung erreicht.Es hat sich darüberhinaus als sehr vorteilhaft erwiesen zusätzlich zu den angegebenen Magnetlagern mechanische Lagerungen vorzusehen, welche einerseits als bekannte Notlauflager wirksam werden und andererseits auch bevorzugt zur Dämpfung von Schwingungen des Rotors ausgebildet sind. Dies ist vor allem während des Hochlaufes des Rotors beim Durchfahren der kritischen Drehzahlen von Bedeutung, da hierbei die mechanischen Lagerungen die Steifigkeit erhöhen, ohne daß besondere aufwendige Dämpfungsglieder erforderlich sind. Ein derart ausgebildetes Hybridlager zeichnet sich durch eine hohe Belastbarkeit und durch äußerst geringe Verluste aus. Gemäß einer bevorzugten Ausbildung wird die mechanische Lagerung statorseitig mittels Magnetkräften beeinflußt, um insbesondere für höherfrequente Schwingungen eine wirksame

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Dämpfung zu erzielen. Hierfür sind "bevorzugt aktiv regelbare Elektromagnete vorgesehen, wobei die Magnetkräfte in Abhängigkeit der.Bewegungen des statorseitigen Lagerteils, beispielsweise des Lagerringes steuerbar sind. Diese Dämpfungsvorrichtung kann unabhängig von der Ausbildung oder dem Vorhandensein von Magnetlagern grundsätzlich bei beliebig ausgebildeten Lagerungen vorgesehen sein.

Ausführungsbeispiele

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der in der Zeichnung dargestellten und bevorzugten Ausführungsbeispiele näher erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 - eine prinzipielle Darstellung der magnetischen

Anordnung mit axial magnetisierten.Magnetringen . in einem Schwungrad

Fig. 2 - eine magnetische Anordnung mit radial magnetisierten Magnetringen

Fig. 3 - eine prinzipielle Anordnung einer magnetischen Anordnung in einer Turbo-Molekularpumpe

Fig.,, 4 - eine magnetische Anordnung zur aktiven Dämpfung eines mechanischen Lagers.

In Fig. 1 ist ein Schwungrad dargestellt enthaltend einen Stator 1 und eine um eine Drehachse 2 drehbar angeordneten Rotor 3 mit einer ringförmigen Schwungmasse 4-, welche mittels gewickelten Kohlestoffbändern 5 befestigt ist. Derartige Schwungräder werden häufig bei hohen Drehzahlen betrieben und werden in der Raumfahrttechnik zu Stabilisierungszwecken von Flugkörpern oder auch als Energiespeicher verwendet. Wesentlich ist bei solchen Schwungrädern vor allem ein geringer Energieverbrauch sowie eine extrem lange Lebensdauer. An dem in der Zeichnung oberen*Ende des als eine Welle

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ausgebildeten Stators 1 befindet sich ein erstes Magnetlager 6, wobei ein Lagerschild 7 des Stators und eine Buchse 8 des Rotors vorhanden sind zur Aufnahme von Platten 9 aus Weicheisen. Auf den Platten 9 ist jeweils eine Scheibe 10 aus magnetisierbarem Material, vorzugsweise Samarium-Kobalt angeordnet, welche mit ringförmigen Nuten 11 versehen sind. Es sind somit einander gegenüberliegende Polringe 12, 13 auf Stator und Rotor vorhanden, deren ringförmige Polflächen 14, 15 unter Bildung eines kleinen Luftspaltes in Radialebenen liegen. Ferner sind die Polringe im wesentlichen axial, d.h., in Richtung der Drehachse magnetisiert und somit als Permanentmagnete ausgebildet, wobei die Magnetisierungsrichtung bzw. Polarität in'den Polflächen mit N und S bezeichnet sind. Aufgrund des angegebenen Aufbaus der Pol- oder Magnetringe wird in bevorzugter Weise erreicht, daß die geometrische Längsachse der Polringe sowie die

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Symmetrieachse des eingeprägten Magnetfeldes exakt übereinstimmen; dies ist im Hinblick auf die genaue Zentrierung des Rotors von außer .ordentlicher Bedeutung. Am unteren Ende ist ein weiteres Magnetlager 16 vorgesehen, welches im Aufbau und Wirkungsweise dem oben beschriebenen Magnetlager entspricht. Aufgrund der angegebenen Magnetisierung der Permanentmagnetringe übe? die genannten Magnetlager auf den Rotor axial gerichtete Zugkräfte aus, welche zunächst eine instgfc» ile Lagerung bewirken. Zur Stabilisierung des Rotors in axialer Richtung sind in den Nuten 11 der Statorscheibe elektrische Ringwicklungen 17 vorgesehen, welche mit einer bekannten Regel- und Verstärkereinrichtung 18 verbunden sind. Es ist weiterhin ein Sensor 19 vorgesehen zur Erfassung der axialen Position bzw. Bewegungen dos Rotors. In Abhängigkeit der Signale des Sensors 19 werden mittels der Regeleinrichtung 18 in den Wicklungen 17 Ströme fließen, zur Schwächung bzw. Verstärkung der auf den Rotor wirkenden Magnetfelder, welcher somit seine dargestellte Lage beibehält. Aus den obigen Ausführungen ergibt sich, daß die Polringe auf dem Rotor nicht unbedingt als Permanentmagnete ausgebildet sein müssen, sondern auch aus ferromagnetischen Material bestehen könnenΐ Die Verwendung von Permanentmagneten auf Rotor und Stator ergibt jedoch in bevorzugter Weise bei geringem Bauvolumen große Lager-

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kräfte. Außer den axial gerichteten Kräften werden aufgrund der koaxialen Ausbildung der Magnetringe auch radiale Lagerkräfte erzeugt, welche eine passive Stabilisierung des Rotors in radialer Richtung bewirken. Es sei besonders darauf hingewiesen, daß zwischen den Magnetringen des Rotors und Stators ferromagnetisches Material, wie es häufig zur FeIdlinienführung vorgesehen ist, nicht vorhanden ist, so daß hierdurch in vorteilhafter Weise große radiale Lagerkräfte aufgebracht werden.

Anstelle der Magnetlager 6, 16 kann auch ein Magnetlager gemäß Fig. 2 vorgesehen werden, wobei die aktive Lagerregelung in radialer Richtung erfolgt. Der Rotor 20 enthält einen Ring 22 aus Weicheisen, auf welchem ein Ring 23 aus magnetisierbarem Material angeordnet ist. Der genannte Ring 23 weist auf der Außenfläche Ringnuten 24 auf, so daß Polringe 26 vorhanden sind, welche in radialer Richtung magnetisiert sind. Der Stator 21 enthält einen Außenring 27 mit radial magnetisieren Polringen 28. In ringförmigen Nuten 25 zwischen den Polringen sind vier elektrische Wicklungen 30 angeordnet, die sich in Umfangsrichtung etwa über 90° erstrecken, wobei jeweils zwei diametral gegenüberliegende ein .Wicklungspaar ergeben. Jedes Wicklungspaar ist getrennt über Sensoren, welche die radiale Lage oder Bewegung "des Rotors überwachen, sowie über Regeleinrichtungen derart ansteuerbar, daß der Rotor die gewünschte Lage einnimmt, bzw. beibehält. Auch bei diesem Ausführungsbeispiel bewirken die durch die genannten Wicklungen 30 fließenden Ströme eine Verstärkung bzw. Schwächung der durch die Permanentmagnetringe erzeugten Magnetfelder und somit auch der auf den Rotor ausgeübten Kräfte in radialer Richtung. Eine passive Stabilisierung in axialer Richtung wird aufgrund der koaxialen Ausbildung der Permanentmagnetringe 26, 28 bewirkt. D.e genannten Wicklungen können auch in den Ringnuten 24 zwischen den innen liegenden Magnetringen 26 angeordnet werden, so daß der dargestellte Stator den Rotor und der dargestellte Rotor den Stator ergibt.

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Gemäß Fig. 1 sind weiterhin Schulter-Rillenkugellager 37» vorgesehen, welche bei normaler Funktion der oben beschriebenen Magnetlager den Rotor nicht tragen. Diese Kugellager

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dienen vielmehr infolge eines entsprechend großen Lagerspiels zur Begrenzung der Bewegungen des Rotors. Das Lagerspiel ist dabei derart gewählt, daß auch bei ausgeschalteter Statorwicklung die Magnetringe nicht in Berührung gelangen, und die Kugellager als Notlauflager in Funktion treten. Weiterhin dienen die genannten Kugellager zur Begrenzung des Rotors in radialer Richtung, so daß insbesondere während der Hochlaufphase des Rotors beim Durchfahren von kritischen Drehzahlen die auftretenden Resonanzschwingungen begrenzt, d.h., wirksam gedämpft werden. Hiermit ist eine vorteilhafte Lösung der bekannten Schwingungsprobleme mit einem geringen Aufwand geschaffen. Die Kugeln 39 sind bevorzugt aus einem eisenfreien und z^:ihharten Werkstoff wie Oxydkeramik - genannt sei hier Aluminiumoxyd - Siliziumnitrit hergestellt während die Lagerringe in bekannter Weise aus Stahl hergestellt sind. Derartige Kugellager benötigen kexn Schmiermittel und zeichnen sich dennoch"durch eine große Belastbarkeit aus. Zum Antreiben des Rotors ist weiterhin ein elektrischer Antrieb vorgesehen,

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wobei auf dem Rotor in/kannter Weise radial magnetisierte Permanentmagnete 41 und auf dem Stator eine elektrische Antrieb swicklung 42 vorgesehen sind. Die Antrieb swicklung ist auf einem zylindrischen Statorkörper 43 aus Keramik angeordnet, so daß Wirbelstrom- oder Hystereseverluste infolge der vorbeidrehenden Permanentmagnete vermieden werden.

In Pig. 3 ist die magnetische Anordnung für eine Turbomolekularpumpe dargestellt, enthaltend einen Rotor 50 sowie einen Stator 51· An beiden Enden des Rotors befinden sich Magnetlager 52, 53? welche im wesentlichen den gleichen Aufbau aufweisen wie im o.a. Ausführungsbeispiel. Es sind jeweils Scheiben 54» 56 aus magnetisierbarem Material auf dem Stator bzw. Rotor vorgesehen. Weiterhin sind in den genannten Scheiben ringförmige Polringe 62, 64 mit ebenen Polflächen vorhanden. Die genannten Polringe sind in Richtung der Drehachse 67 magnetisiert, wobei die gegenüberliegenden Polflächen der Stator- und Rotormagnete entgegengerichtete Polaritäten aufweisen·! In den Nuten 59 der unteren Statormagnetscheibe 54- sind elektrische Ringwick-

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lungen 69 angeordnet zur Regelung der Magnetkräfte des Magnetlagers 53· Hierfür ist eine Regel- und Verstärkereinrichtung 70 vorgesehen, welche durch die Signale eines Sensors 71 in Abhängigkeit von der axialen Stellung bzw. Bewegung des Rotors angesteuert wird. Die schematisch dargestellte !Turbomolekularpumpe ist am oberen Ende (gem. Fig. 3) mit einem zu evakuierenden Raum (Hochvakuum) verbunden, wobei die Strömungsrichtung der Gase bzw. Moleküle durch die Pumpe mittels des Pfeiles 72 angedeutet ist. Das erste Magnetlager, welches ungeregelt, also rein passiv, in axialer und radialer Richtung wirksam ist, befindet sich somit auf der Ansaugseite der Pumpe, wobei besondere Durchführungen von Kabeln oder ähnlichem nicht vorhanden sind. Da auch das Kugellager 75 völlig schmiermittelfrei und praktisch wartungsfrei arbeitet, kann somit das Hochvakuum nicht durch Fremdmoleküle verseucht werden. Es sind weite- .din Schulter- Rillenkugellager 73 "und 74- vorgesehen, welche in Funktion und Wirkungsweise den oben bereits beschriebenen Kugellagern entsprechen. Zur einfachen Einstellung des Lagerspiels sind die statorseitig vorgesehenen Lagerringe 75, 76 zum einen mittels Scheibenfedern 77, 78 und zum andern mittels dünnen, ringförmigen Blechen 79, 81 im Stator eingespannt. Durch Verwendung von Blechen 79, 81 entsprechender Dicke, wobei zum Austausch lediglich Schrauben 85, 86 sowie Lagerschilder 87, 88 gelöst werden müssen, kann die Einstellung des Lagerspiels ohne weiteres vorgenommen werden. Zum Antrieb des Rotors sind auf einem glockenförmigen Rotorteil 90 radial magnetisierte Permanentmagnete 91 abwechselnder Polarität vorgesehen, welchen eine mehrphasige Antriebswicklung 92 zugeordnet ist. Der derart ausgebildete Antriebsmotor wird nach Art eines bürstenlosen Gleichstrommotors "betrieben.

Fig. 4- zeigt eine bevorzugte Ausbildung, wobei das Schulter-Rillenkugellager gemäß Fig. 2 in einer Ringnut 94- des Stators 51 mit Schiebesitz angeordnet ist und mittels Federn 98 abgestützt ist. In der Ringnut sindweiterhin Elektromagnete 95 vorgesehen, welche jeweils um 90° xjiber den Umfang verteilt

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angeordnet sind. Durch Ansteuern der Wicklungen 97 der genannten Elektromagnete werden in radialer Richtung auf den Lagerring 76 Magnetkräfte ausgeübt, welche durch die Größe der V/icklungsströme vorwählbar sind. Hierzu sind "bekannte Sensoren (nicht dargestellt) vorgesehen, insbesondere zur Erfassung der Bewegungen des Lagerringes. Auf diese sehr vorteilhafte Weise wird die Steifigkeit der mechanischen Lagerung "beeinflußt, so daß insbesondere höher frequente Schwingungen- und Nutations- oder Präzisionsschwingungen des Rotors aktiv gedämpft werden. I¹Ur einen Fachmann ergibt sich hieraus auch die Lehre, Schwingungen in axialer Richtung oder durch entsprechende Anordnungen von Elektromagneten für das Kugellager 73 am anderen Ende des Rotors bzw. auch für anders ausgebildete mechanische Lagerungen eine aktive Dämpfung von Schwingungen beliebiger Wirkungsrichtung zu erzielen.

- Patentansprüche -

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Claims

E-352 Patentansprüche

1.) Magnetische Anordnung, insbesondere für einen schnelldrehenden Rotor, enthaltend auf dem Stator und Rotor angeordnete, koaxial ausgebildete Bauteile zur Erzeugung von radialen und axialen Lagerkräften, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Stator (1) unter Bildung eines ringförmigen Zwischenraumes (11, 25) wenigstens zwei Permanentmagnetringe (12, 28) angeordnet sind, welche im wesentlichen axial oder radial magnetisiert sind, daß zur Erzeugung von Zugkräften auf dem Rotor (3) den genannten Magnetringen gegenüberliegende Polringe (13> 26) zugeordnet sind, welche vorzugsweise als axiale oder radial magnetisierte Permanentmagnete ausgebildet sind, und daß in dem genannten Zwischenraum (11, 25) wenigstens eine elektrische Wicklung (17» 30) vorgesehen ist, zur Schwächung oder Verstärkung der Magnetfelder der Permanentmagnetringe .
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2. Magnetische Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß vorzugsweise im Bereich der beiden Rotorenden jeweils die genannten axial magnetisierten Permanentmagnete und Polringe (12, 13) angeordnet sind, wobei die beiden derart ausgebildeten Magnetlager (6, 16) axiale und"gegeneinander gerichtete Zugkräfte ausüben, welche mittels der in wenigstens einem ringförmigen Zwischenraum vorgesehenen elektrischen Wicklung (1?) regelbar sind, und daß aufgrund der koaxialen Ausbildung der genannten Ringe eine passive Stabilisierung des Rotors in radialer Richtung bewirkt wird.

3. Magnetische Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Permanentmagnetringe (12, 13) von Rotor und Stator jeweils in einer Scheibe (10) aus magnetisierbarem Werkstoff angeordnet sind, in welcher die Zwischenräume als ringförmige Nuten (11) ausgebildet sind, und daß die jeweils benachbarten der derart gebildeten koaxialen Magnetringe unterschiedlichen Durchmessers einander entgegengerichtet magnetisiert sind.

4-. Magnetische Anordnung nach Anspruch 3» dadurch gekenn-609846/0532 / _ΛΛ

zeichnet, daß die genannten Scheiben (10) bzw. Magnetringe jeweils auf einer Platte (9) aus Weicheisen angeordnet sind.

5. Magnetische Anordnung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die axial magnetisiert en Magnetringe im wesentlichen ringförmige Polflächen (14, 15) aufweisen, welche in einer Radialebene liegen.

6. Magnetische Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die im wesentlichen radial magnetisiert en Permanentmagnete und Polringe (26, 28) radial gerichtete Zugkräfte ausüben, daß statorseitig in=,den Zwischenräumen (25) über den Umfang verteilt vorzugsweise vier elektrische Wicklungen (30) vorgesehen sind, zur Regelung der radial gerichteten Zugkräfte, und daß aufgrund der koaxialen Ausbildung der genannten Magnetringe, mit im wesentlichen zylindrischen Polflächen eine passive Stabilisierung des Rotojrs in axialer Richtung bewirkt wird.

7· Magnetische Anordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die genannten Permanentmagnetringe von Rotor und iStator jeweils in einem Ring aus magnetisierbarem Werkstoff angeordnet sind, in welchem die Zwischenräume als' ringförmige Nuten ausgebildet sind, und daß die in axialer Richtung jeweils benachbarten Magnetringe entgegengerichtet radial magnetisiert sind.

8. Magnetische Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die auf Rotor und Stator einander zugeordneten Permanentmagnetringe und Scheiben bzw. Ringe aus magnetisierbarem Werkstoff zumindest näherungsweise gleiche geometrische Abmessungen aufweisen.

9. Magnetische Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß an sich bekannte mechanische Lagerungen (37» 38) vorgesehen sind zur Begrenzung der Bewegungen des Rotors bezüglich des Stators

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in axialer und/oder radialer Richtung und somit als Rotlauf lager "bzw. zur Dämpfung von Schwingungen wirksam sind.

10. Magnetische Anordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die mechanischen Lagerungen (37, 38) als zwei vorzugsweise an den beiden Rotorenden angeordnete Schulter-Rillenkugellager ausgebildet sind.

11. Magnetische Anordnung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Wälzkörper (39) der mechanischen Lagerungen (37» 38) aus einem eisenfreien, zähharten Werkstoff, wie insbesondere aus Oxydkeramik oder Siliziumnitrit bestehen, und die Lagerringe in bekannter Weise aus einem metallischen Werkstoff, insbesondere Stahl hergestellt sind.

12. Magnetische Anordnung, insbesondere nach Anspruch 9» dadurch gekennzeichnet, daß die mechanische Lagerung statOrseitig mittels Magnetkräften beaufschlagbar ist zum Zwecke der Dämpfung von Schwingungen.

13· Magnetische Anordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzeugung der Magnetkräfte auf dem Stator Elektromagnete (95, 97) vorgesehen sind, welche vorzugsweise in Abhängigkeit der Schwingungsamplituden des statorseitigen Lagerringes (76) ansteuerbar sind.

14. Magnetische Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß insbesondere bei Anwendung in einer Turbo-Vakuumpumpe das erste Magnetlager (52), welches nur Permanentmagnete aufweist, auf der Ansaugseite der Pumpe (Hochvakuum) angeordnet ist und das zweite Magnetlager (53) auf der Ausgangsseite der Pumpe ■(Vorvakuum) angeordnet ist, welches statorseitig die genannten elektrischen Wicklungen (69) aufweist.

Heidelberg, 30. April 1975

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