DE2504601A1 - Elektrooptische anzeigevorrichtung und verfahren zur herstellung derselben - Google Patents

Description

K.K. Seikosha, 2-5, Kyobushi, Chuo-ku, Tokyo, Japan

Elektrooptische Anzeigevorrichtung und Verfahren zur Herstellung derselben.

Die Erfindung betrifft eine elektrooptische Anzeigevorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Hauptanspruchs und ein Verfahren. zur Herstellung derselben.

Die Erfindung befaßt sich mit einer Anzeigevorrichtung, welche eine elektrooptische Substanz, wie beispielsweise flüssige Kristalle, verwendet, sowie mit einem Verfahren zur Herstellung derselben.

Es ist wohl bekannt, bei elektrooptischen Anzeigevorrichtungen, welche einen flüssigen Kristall oder einen ähnlichen Stoff verwenden, das sogenannte dynamische Aussteuerungsverfahren für die Anzeige einer Vielzahl von Ziffern oder Nummern zu benutzen.

Diese bekannte Technik ist jedoch, wie die folgenden Darlegungen zeigen sollen, nicht vorteilhaft. Es müssen dort die gleichen Segmente elektrisch gekoppelt werden. Wenn es hierbei erwünscht ist, die Verdrahtungen ohne Kreuzungen in

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einer identischen Ebene zu verlegen, müßten sich diese durch Anstände zwischen den Segmenten erstrecken. Diese Abstände zwischen den Segmenten sollen jedoch möglichst klein sein, damit man die angezeigten Zahlen bzw. Ziffern leicht sehen kann. Aus diesen Gründen ist es unvermeidlich, daß die Leitungsdrähte einen sehr kleinen Durchmesser haben. Der Leitungsdraht hat daher einen sehr hohen Widerstandswert, so daß die angelegte Spannung herabgesetzt wird. Desweiteren neigen diese Drähte zum Brechen. Daneben besteht aufgrund der geringen Abstände die Gefahr, daß der Draht in Berührung mit dem benachbarten Segment an der gleichen Ebene tritt.

Es sind Versuche bekanntgeworden, diese Nachteile zu beheben. Sie bestehen zum einen darin, die Drähte von allen Segmenten einmal aus einer Zelle herauszuführen und sie dann durch andere Drähte zu verbinden. Eine andere Möglichkeit besteht darin, alternierend isolierende Schichten und leitende Schichten für die Verbindungen durch Mehrschichten-Drucfcvorgänge zu bilden.

Bei diesen Techniken benötigt man jedoch für den Vielschichten-Druckvorgang und für das Löten viel Zeit und eine Menge von Arbeit. Dies wirkt sich auf die Wirtschaftlichkeit der Herstellung nachteilig aus.

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine elektrooptische Anzeigevorrichtung in Vorschlag zu bringen, in der die Verdrahtungen äußerst einfach sind und die Verdrahtungen zu einer externen Schaltung äußerst leicht durchgeführt werden können. Diese Aufgabe wird durch den Gegenstand des Hauptanspruchs gelöst. Mit der Erfindung werden Verdrahtungen auf einem Elektrodensubstrat einfach und genau. Desweiteren wird der Herstellungsprozeß vereinfacht.

Der Erfindung liegt desweiteren die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung einer derartigen elektrooptischen Anzeigevorrichtung zu schaffen, bei dem das Verdrahten, äußerst einfach ist und das eine erhöhte Wirtschaftlichkeit in der Herstellung aufgrund einfacher Arbeitsschritte ermöglicht. Diese Aufgabe wird durch den Gegenstand des Anspruchs 2 gelöst.

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Mit der Erfindung wird desweiteren ein Verfahren zur Herstellung einer elektrooptischen Anzeigevorrichtung geschaffen, bei dem die eine Anzeige bewirkenden Elektrodensegmente und die gemeinsamen Elektroden in parallelem Zustand außerordentlich genau befestigt bzw. festgeklebt werden können und bei dem die Verdrahtung zu einer außen befindlichen Schaltung äußerst einfach durchzuführen ist.

Mit der Erfindung wird ferner eine elektrooptische Anzeigevorrichtung geschaffen, bei der ein Auftreten von Kurzschlüssen in der Verdrahtung vollständig verhindert wird.

Wesentliche Merkmale der Erfindung sind somit in der Schaffung einer Anzeigevorrichtung und eines Verfahrens zur Herstellung derselben zu sehen, bei dem eine Mehrzahl von Elektrodensegmenten auf einem von zwei Elektrodensubstraten gebildet wird, während die gemeinsamen Elektroden auf dem anderen Substrat den Elektrodensegmenten gegenüberliegend angebracht werden, wobei verschiedene, die Verdrahtungen bildenden Teile der elektrischen Schaltung an beiden Elektrodensubstraten erstellt werden und ein Dichtungsmaterial ein Ausfließen von einer Substanz mit einem elektrooptischen Effekt verhindert, das auf einem der Elektrodensubstrate aufgebracht" wird. Desweiteren sind elektrische Kontakte .aus einem leitenden Klebstoff vorgesehen,welche dazu dienen, die beiden Elektrodensubstrate miteinander zu verbinden, während sie übereinandergelegt werden. Die beiden resultierenden Elektrodensubstrate werden einander gegenübergelegt und durch Thermokompressionsverkleben miteinander verbunden und die den elektrooptischen Effekt aufweisende Substanz wird im Inneren des von dem Dichtungsmaterial abgegrenzten Raumes eingeschlossen.

Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung werden aus der beiliegenden Zeichnung von einer Ausführungsform der Erfindung ersichtlich.

Fig. 1 zeigt eine Draufsicht auf eines der beiden Elektrodensubstrate. Fig. 2 zeigt eine Draufsicht auf das andere der beiden Elektrodensubstrate.

Fig. 3 zeigt eine Draufsicht auf eine Anordnung, die sich ergibt, wenn die beiden Elektrodensubstrate miteinander verbunden sind."

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Fig. 4 zeigt eine Draufsicht, aus der die Stellen ersichtlich sind, .an denen sich ein leitender Klebstoff befindet.

Fig. 5 zeigt eine Draufsicht auf ein Dichtungsmaterial.

Fig. 6 zeigt eine Draufsicht, aus der die Lagen des Dichtungsmaterials und einer nicht leitenden Substanz ersichtlich sind.

Im folgenden soll die in den Zeichnungen 1 bis 6 dargestellte Ausführungsform der Erfindung näher erläutert werden. Sie zeigt eine in Form einer Anzeigetafel ausgebildete Zelle. Diese Zelle besteht aus zwei Elektrodensubstraten 1 und 2. Das Elektrodensubstrat 1 ist in Fig. 1 dargestellt. Es besteht aus einem nicht leitenden durchsichtigen Glas. Auf ihm sind durchsichtige Dünnfilmelektroden 3, 4, 5 und 6 angebracht, welche vier Ziffern auf der Anzeigetafel entsprechen. Die Dünnfilmelektroden sind derart ausgebildet, daß eine dünne Schicht aus Indiumoxid, Zinnoxid oder einem ähn-T i chen Stoff aufgesprüht oder durch Vakuumverdampfung aufgebracht ist und uaß die dünne Schicht geätzt ist. Die Dünnfilmelektroden 3 bis 6 sind aus Elektrodenbereichen für die Anzeige aufgebaut, die jeweils sieben Elektrodcnsegmente 7 bis 13, 14-20, 21-27 und 28 - 34 bilden. Die Elektrodensegmente sind mit Leitungsbereichen 7a, 8a, .... und 34a versehen. Drei derselben, die Leitungsbereiche 16a, 24a und 26a, erstrecken sich zu einer Kante des Glases, wie dies im unteren Teil von Fig. 1 dargestellt ist. Unter den Elektroden 3 bis 6 an den entsprechenden Ziffern sind Leitungsbereiche 35a, 36a, 37a und 38a angebracht, welche dazu dienen, Verbindungen mit in Fig. 2 dargestellten gemeinsamen Elektroden 35, 36, 37 und 38 herzustellen, wie dies später noch näher erläutert wird. Desweiteren sind vier für Kupplungszwecke vorgesehene Leitungsbereiche 39, 40, 41 und 42 vorgesehen, wobei sich diese alle zu dem unteren Ende des Substrats 1 erstrecken.

Das andere Elektrodensubstrat 2 ist in Fig. 2 dargestellt. Es besteht aus Keramik, Glas oder ähnlichem. Es ist mit den gemeinsamen Elektroden 35, 36, 37 und 38 versehen, welche derartige Lagen einnehmen, daß sie den durchsich-

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tigen Elektroden 3, 4, 5, und 6 gegenüber zu liegen kommen., welche jeweils aus den genannten sieben Segmenten bestehen. Die gemeinsamen Elektroden 35 mit 38 bestehen aus einem durchsichtigen Elektroden film oder einem undurchsichtigen Elektrodenfilm aus Nickel, Aluminium, Silber, Gold, Platin oder einem ähnlichen Material. Die Elektroden sind mit Anschluß-Leitungs— bereichen 35b, 36b, 37b und 38b versehen, deren untere Enden derartige Lagen einnehmen, daß sie auf die oberen Enden der Leitungsbereiche 35a, 36a, 37a und 38a zu liegen kommen. Rund um die gemeinsamen Elektroden 35 bis 38 sind für Kopplungszwecke oder Verbindungszwecke vorgesehene Leitungsbereiche 43, 44, 45, 46, 47, 48 und 49 angebracht, welche von den Leitungsbereichen 7a bis 34a der entsprechenden Elektrodensegmente 7 bis 34 auf dem anderen Elektrodensubstrat 1 gemeinsame miteinander verbinden. So sind beispielsweise die Elektrodenbereiche 8a, 15a, 22a und 29a der entsprechenden Elektrodensegmente 8, 15, 22 und 29 von dem Leitungsbereich 48 verbunden. Die Art dieser Verbindung ist aus Fig. 3 ersichtlich.

In diesem Falle wird ein elektrisch leitender Klebstoff durch Siebdruck oder ein anderes geeignetes Verfahren auf Kopplungsbereiche 5Q - 87 der Leitungsbereiche 7a - 34a, der Leitungsbereiche 35a - 38a sowie 35b - 38b und der für Kopplungszwecke vorgesehenen Leitungsbereiche 39 - 49 aufgebracht. In Fig. 4 sind lediglich die Stellen dargestellt, an denen der Klebstoff aufgedruckt wird.

Man erkennt aus Fig. 3, daß ein Dichtungsmaterial 88 an vorbestimmten Lagen des Elektrodensubstrats 1 aufgetragen oder durch Siebdruck aufgebracht ist. Das Dichtungsmaterial nimmt eine Gestalt ein, für deren Verlauf es ausreicht, wenn sie aus Bereichen 88b, 88c, 88e und 88f besteht, welche die Elektroden umgeben. Es ist jedoch wünschenswert, wenn, wie in Fig. 5 gezeigt, zusätzliche Bereiche 88a und 88d an den äußeren Kanten der beiden Elektrodensubstrate vorgesehen sind, so daß das gesamte Gebiet der Verdrahtung eingeschlossen ist.

Die Kombination zwischen den Elektrodensubstraten 1/2 und den Kopplungsbe-

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reichen 50 bis 87 aus einem leitfähigen Klebstoff, sowie dem Dichtungsmaterial 88 kann durch das Druckverfahren festgeklebt werden, wobei jedoch die Aufbringung oder ähnliches nicht auf das Vorstehende begrenzt ist, während das Dichtungsmaterial und der leitfähige Klebstoff an das Substrat 2 festgeklebt werden können.

Ein wichtiges Erfordernis der vorliegenden Erfindung beruht darin, daß das Dichtungsmaterial 88 sowie die Kopplungsbereiche 50 - 87 aus leitendem Klebstoff sich bezüglich der Thermokompression ähnlich verhalten. Zur Erfüllung dieses Erfordernisses kann die Maßnahme dienen, daß man eine Substanz, mit der ein Siebdrucken möglich ist und die eine hohe Haftfestigkeit aufweist, im vorhinein als Dichtungsmaterial 88 auswählt und eine geeignete Menge von metallischem Pulver wie Ag-reduziertem Pulver,Au-PuIver, Pd/Ag-Pulver und Nickelpulver in das Dichtungsmaterial einmischt, wobei das so gebildete Material für die Kopplungsbereiche 5O - 87 als leitfähiger Klebstoff verwendet wird.

Die Dicken der Elektroden 3-6 und 35 - 38 sowie der Leitungsbereiche 11a 33a, 35b - 38b und 43 - 49, die auf beiden Elektrodensubstraten 1 und 2 aufgebracht sind, betragen annähernd lOO bis 3OOO S, während die Abstände zwischen den Dünnfilmelektroden 3-6 und den gemeinsamen Elektroden 35 und 38, die von dem Dichtungsmaterial 88 bestimmt werden, annähernd 5 bis 100 .um betragen. Selbst wenn daher die Elektrodensubstrate 1 und 2 mit nach innen gekehrten Elektrodenseiten verbunden sind, besteht keine Gefahr, daß ein Kurzschluß in den Elektroden auftritt.

Bei Jem erfindungsgemäßen Herstellungsverfahren werden die Dünnfilmelektroden 3-6 '■!•-»wie die Leitungsbereiche auf dem einen Elektrodensubstrat 1, wie in Fig. 1 dargestellt, durch das den Ätzvorgang enthaltende Verfahren hergestellt. Die in Fig. 4 dargestellten Kopplungsbereiche 5O - 87 aus einem leitenden Klebstoff werden auf das gebildete Substrat festgeklebt. Auf das andere Elektrodensubstrat 2 werden die gemeinsamen Elektroden 35 mit 38 sowie die für die Kopplung dienenden Leitungsbereiche 43 - 49, wie in Fig. 2 dargestellt, aufgebracht, wobei das Dichtungsmaterial 88, wie in Fig. 5 dargestellt, aufgeklebt wird. Die Elektrodensubstrate 1 und 2 werden mit nach innen gekehrten Elektroden so aufeinandergelegt, daß Justierpunkte 89, 90 und

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91, 92 übereinander zu liegen kommen. Der Vorgang der Thermokompressions-Verklebung wird unter den geeignetsten Erhärtungsbedingungen durchgeführt. Ein Stoff, der einen elektrooptischen Effekt zeigt, wie beispielsweise ein flüssiger Kristall, wird über eine der Einspritzbohrungen 93 und 94 von Fig. 1 in den Zwischenraum eingespritzt/ der von den Bereichen 88b, 88c, 88e und 88f des Dichtungsmaterials, begrenzt ist. Diese einen elektrooptischen Effekt aufweisende Substanz wird hermetisch abgeschlossen in diesem Raum gehalten. Aufdiese Weise werden die Verbindung der einander gegenüberliegenden Leitungsbereiche und Elektroden und die Abdichtung durch den Thermokompressions-Verklebevorgang hergestellt.

Die auf diese Weise fertiggestellte Vorrichtung ist in Fig. 3 dargestellt. Die gesamte Verdrahtung ist an einer Gruppe von Eingangsanschlüssen 95 auf einer identischen Ebene des einen Elektrodensubstrats 1 angeschlossen.

Wenn die Bereiche 88b, 88c, 88e und 88f in der oben beschriebenen Weise angeordnpt und ausgebildet sind, genügt das Dichtungsmaterial 88 für einen hermetischen Einschluß des flüssigen Kristalls. Wenn die Leitungsbereiche ebenfalls von dem Dichtungsmaterial eingeschlossen sind, nämlich von den Bereichen 88a und 88d, wobei in einigen Fällen die den Leitungsbereichen entsprechenden Zwischenräume evakuiert oder mit einem Gas, beispielsweise Stickstoff, gefüllt sind, verhindert das Dichtungsmaterial ein Eindringen von Schmutz usw. Da sich das Dichtungsmaterial 88 über einen weiteren Bereich erstreckt, lassen sich die Elektrodensubstrate 1 und 2 mit außerordentlich gleichmäßigen Abständen miteinander verbinden.

Durch die Anbringung der Bereiche 88a und 88d für das Dichtungsmaterial 88 gelingt es de.^vfeiteren, gleichmäßige Abstände innerhalb der beiden Elektrodensubstrate mit außerordentlicher Genauigkeit einzuhalten, wenn die Elektrodensubstrate 1 und 2 für den Thermokompressions-Verklebevorgang ausgerichtet werden.

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Eine Kurzschlußbildung zwischen den Elektroden wird noch sicherer verhindert, während gleichzeitig die Stabilität der Anordnung verbessert wird, wenn bei der Aufbringung des Dichtungsmaterials 88 auf das Elektrodensubstrat 1 in der vorstehend beschriebenen Weise gleichzeitig eine elektrisch nicht leitende Substanz durch einen Druckvorgang auf Bereiche aufgebracht wird, an denen sich die Verdrahtung, d. h. die Leitungsbereiche des Substrates 1 würfelförmig mit der Verdrahtung, d. h. den Leitungsbereichen auf dem Substrat 2 schneiden, beispielsweise auf einen Bereich 96, an dem sich der Leitungsbereich 35a und die Leitungsbereiche 45 und 46 schneiden. Es werden daher die Bereiche 96 bis 117, an denen sich die Verdrahtungen, d. h. die Leitungsbereiche schneiden, im vorhinein festgestellt. Die nicht leitende Substanz wird dann auf diese Bereiche durch Drucken aufgebracht, so daß man die in Fig. 6 dargestellte Anordnung erhält. Die Lagen der einzelnen Bereiche sind auch in Fig. 1 deutlich dargestellt.

Die nicht leitende Substanz und das Dichtungsmaterial müssen nicht verschiedene Substanzen sein. Es ist vielmehr möglich, daß sie identische Substanzen sind.

Man erkennt aus den vorstehenden Darlegungen, daß sich bei der vorliegenden Erfindung die Verdrahtung äußerst einfach gestaltet. Aufgrund des einfachen Herstellungsverfahrens erhält man eine große Wirtschaftlichkeit bei der Herstellung. Darüber hinaus lassen sich beide Elektroden in parallelem Zustand extrem genau miteinander verbinden bzw. verkleben und auch die Verdrahtung mit einer externen Schaltung ist äußerst einfach. Desweiteren läßt sich ein Auftreten von Kurzschlüssen in den Leitungsbereichen der Verdrahtung vollständig verhindern.

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Claims (4)

1. Patentansprüche

   l.yElektrooptische Anzeigevorrichtung, gekennzeichnet durch zwei einander gegenüberliegende Elektrodensubstrate (1, 2), die zwischen sich einen hermetisch abgeschlossenen Raum festlegen, in dem eine Substanz eingeschlossen ist, die einen elektrooptischen Effekt zeigt, durch eine Mehrzahl von Anzeigeelektroden (3 bis 6) , von denen jede aus einer Mehrzahl von Elektrodensegmenten (7 bis 13; 14 bis 2O, 21 bis 27, 28 bis 34) gebildet ist, Leitungsbereiche (7a bis 34a), die aus den entsprechenden Anzeigeelektroden (3 bis 6) herausführen, und Anschlußleitungsbereiche (35a, 36a, 37a, 38a)., Wobei die Anzeigeelektroden (3 bis 6) die Leitungsbereiche (7a bis 34a) und die Anschlußleitungsbereiche (35a bis 38a, 39 bis 42) auf dem einen Elektrodensubstrat (1) vorgesehen sind; durch gemeinsame Elektroden (35 bis 38), die den.entsprechenden Anzeigeelektroden (3 bis 6) gegenüberliegen, Anschlußleitungsbereiche (35b bis 38b), die mit den Anschlußleitungsbereichen (35a bis 38a) verbunden sind sowie Verbindungslei tungsbereiche (43 bis 49), welche gemeinsame der Leitungsbereiche (7a bis 34a) verbinden, wobei die gemeinsamen Elektroden {35.bis 38), die zweiten Änschlußleitungsbereiche (35b bis 38b) und die Verbindungsleitungsbereiche (43 bis 49) auf dem anderen Elektrodensubstrat (2) vorgesehen sind; durch ein Dichtungsmaterial (88), was beide Elektrodensubstrate (1, 2) so abdichtet, daß ein Nach-außen-Fließen der einen elektrooptischen Effekt aufweisenden Substanz vermieden wird; sowie durch einen elektrisch leitenden Klebstoff, der Kopplungsbereiche (5O bis 87) an vorbestimmten Lagen der Anschlußleitungsbereiche, der Leitungsbereiche und der Verbindungsleitungsbereiche von beiden Elektroden elektrisch miteinander verbindet, sowie dadurch, daß der elektrisch leitende Klebstoff und das Dichtungsmaterial bezüglich ihrer Thermokompressions-Klebebedingungen sich ähnlich verhalten.
2. 2. Verfahren zur Herstellung einer elektrooptischen Anzeigevorrichtung, insbesondere nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß.auf einem ersten -

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   Elektrodensubstrat eine Mehrzahl aus mehreren Elektrodensegmenten gebildeten Anzeigeelektroden, von den Anzeigeelektroden wegführende Leitungsbereiche und Anschluß-Leitungsbereiche angebracht werden;.daß auf einem zweiten Elektrodensubstrat den Anzeigeelektroden gegenüberliegend gemeinsame' Elektroden angebracht werden, sowie Anschluß-Leitungsbereiche und Verbindungs-Lei tungsbereiche , wobei die Anschluß-Leitungsbereiche mit den gemeinsamen Elektroden verbunden werden und derart verlaufen, daß sie an die zuerst genannten Anschluß-Leitungsbereiche anschließbar sind, und wobei die Verbindungs-Leitungsbereiche so ausgebildet sind, daß sie gemeinsame der Leitungsbereiche von den Anzeigeelektroden miteinander verbinden können; daß ein elektrisch leitender Klebstoff auf die Leitungsbereiche und die Verbindungsleitungsbereiche aufgebracht wird; daß anschließend auf zumindest eines der Elektrodensubstrate ein Dichtungsmaterial, das dem elektrisch leitenden Klebstoff bezüglich seines Thermokompressions-Klebeverhaltens sehr ähnlich ist, so aufgebracht wird, daß es eine Substanz einschließen kann, die einen elektrooptischen Effekt aufweist; daß die beiden Elektrodensubstrate mit nach innen gekehrten Elektroden einander gegenübergelegt und mittels Thermokompression .verklebt werden; und daß die einen elektrooptischen Effekt aufweisende Substanz in den zwischen den beiden Elektrodensubstraten gebildeten Zwischenraum eingespritzt und dort hermetisch eingeschlossen wird.
3. 3. Verfahren zur Herstellung einer elektrooptischen Anzeigevorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Dichtungsmaterial derart angebracht wird, daß es die einen elektrooptischen Effekt aufweisende Substanz und die Leitungsbereiche umgibt.
4. 4. Verfahren zur Herstellung einer elektrooptischen Anzeigevorrichtung insbesondere nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß auf einem von zwei einander gegenüberliegenden Elektrodensubstraten eine Mehrzahl von Anzeigeelektroden, von diesen herausführende Leitungsbereiche sowie Anschlußleitungsbereiche angebracht werden, wobei die Anzeigeelektroden jeweils aus einer Mehrzahl von Elektrodensegmenten gebildet werden; daß auf dem

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   anderen Elektrodensubstrat den Anzeigeelektroden gegenüberliegend Gesamtbereichselektroden angebracht werden, sowie Anschluß-Leitungsbereiche und Verbindungs-Leitungsbereiche, wobei die Lage der Anschluß-Leitungsbereiche derart gewählt wird, daß sie mit den entsprechenden Ganzbereichselektroden verbunden sind und an die zuerst genannten Anschluß-Leitungsbereiche anschließbar sind und wobei die Verbindungs-Leitungsbereiche so ausgebildet werden, daß sie gemeinsame der Leitungsbereiche von den Anzeigeelektroden verbinden; daß dann ein elektrisch leitender Klebstoff'auf die Leitungsbereiche und die Verbindungs-Leitungsbereiche aufgebracht wird; daß hierauf zumindest auf eines der Elektrodensubstrate ein Dichtungsmaterial, das bezüglich seines Thermokompressions-Klebeverhaltens dem elektrisch leitenden Klebstoff stark ähnelt, so aufgebracht wird, daß es eine Substanz einschließen kann, die einen elektrooptischen Effekt aufweist; daß eine elektrisch nicht leitende Substanz an Stellen aufgebracht wird, an denen sich die Leitungsbereiche schneiden; daß beide Elektrodensubstrate in eine vorbestimmte Lage zueinander mit nach innen gekehrten Elektroden gebracht und anschließend durch Thermokompression verklebt werden; und daß die einen elektrooptischen Effekt aufweisende Substanz in den Raum zwischen die Elektrodensubstrate eingespritzt und dort hermetisch eingeschlossen wird.

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