DE2504076A1 - Anordnung und verfahren zur kontaktpruefung von halbleiterschaltungen - Google Patents

Anordnung und verfahren zur kontaktpruefung von halbleiterschaltungen

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    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
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