DE2443625A1

DE2443625A1 - Vorrichtung zum belichten von in regelmaessiger verteilung angeordneten flaechenelementen, z.b. halbleiter-elementen

Info

Publication number: DE2443625A1
Application number: DE19742443625
Authority: DE
Inventors: Philip M Ryan
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Priority date: 1973-09-19
Filing date: 1974-09-12
Publication date: 1975-03-20
Also published as: JPS5058986A; JPS5248061B2; JPS5328749B2; JPS5333584A; FR2244202B1; FR2244202A1; CA1013074A; GB1438737A; DE2443625C2; IT1020326B; US3866013A

Description

Böblingen, den 6. September 1974 wi-be/bs

Anmelderin: International Business Machines

Corporation, Armonk , N.Y. 10 504

Amtliches Aktenzeichen: Neuanmeldung Aktenzeichen der Anmelderin: FI 972 159

Vorrichtung zum Belichten von in regelmäßiger Verteilung angeordneten Fläohenelementen, z. B. Halbleiter-Elementen

Bei der Herstellung von Halbleiter-Bauelementen für elektrotechnische Geräte werden auf die Flächenelemente durch Belichtung die gewünschten Muster aufgebracht, um anschließend mittels eines photochemischen Ätzverfahrens ein bestimmtes Schaltungssystem auf dem Element zu erzeugen. Zu diesem Zweck ist es bekannt, die einzelnen Halbleiter-Elemente aufeinanderfolgend durch eine entsprechende Maske hindurch zu belichten. Hierbei ergeben sich jedoch zahlreiche Probleme, insbesondere infolge der sehr hohen Ansprüche an die Genauigkeit in Verbindung mit den sehr geringen Abmessungen. In der USA-Patentschrift 3 644 700 ist eine Vorrichtung beschrieben, die eine wesentliche Verbesserung der früheren Verfahren ermöglicht. Nach der bekannten Anordnung wird mittels eines Elektronenstrahls das Halbleiter-Element belichtet und der strahl mittels eines Raster-Ablenksystems und eines Korrektur-Ablenksystems so bewegt, daß das gewünschte Muster auf dem belichteten Halbleiter-Element entsteht. Dabei sind beide Ablenksysteme an eine von einem Rechner überwachte Steuerschaltung zur Erzeugung der Ablenkspannungen angeschlossen, nämlich eine erste Ablenkschaltung an das Rasterablenksystem zur wiederholten Ablenkung des Elektronenstrahls im Belichtungsmuster und eine zweite an das Korrektur-Ablenksystem angeschlossene Ablenkschaltung zur Ausrichtung der Rasterablenkung nacheinander auf die einzelnen Flächenelemente.

509812/1019

Mittels der bekannten Vorrichtung wird mit den hintereinander geschalteten Ablenksystemen eine hohe Genauigkeit in der Belicntung erreicht, da man einen Elektronenstrahl auf rein elektronischem Wege sehr genau steuern kann«,

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die bekannte Vorrichtung dahingehend zu verbessernj daß bei Änderung des durch die Belichtung zu erzeugenden Musters die Vorschubgeschwindigkeit des Elektronenstrahls nicht mehr durch die zwischenzeitlich erforderliche Zufuhr der Änderungsdaten beeinträchtigt wird. Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß durch die im Patentanspruch 1 angegebene Vorrichtung gelöst worden.

Mit der Vorrichtung nach der Erfindung werden, solange keine Abweichungen im Muster der zu belichtenden Flächen auftreten, die entsprechenden Steuerdaten für die Ablenkschaltungen dem Musterspeicher entnommen, wobei von Zeile zu' Zeile der Speicherinhalt unverändert bleibt. Nur wenn eine Änderung des nusters in einer folgenden Zeile erforderlich ist, wird der Inhalt des Musterspeichers geändert, jedoch nur in dem Umfang, wie es entsprechend der Änderung nötig ist, während alle übrigen Informationen in den zugeordneten Speicherplätzen verbleiben. Dies ermöglicht die Zufuhr der Änderungsdaten aus dem Rechnerspeicher, chne daß die Fortschaltgeschwindigkeit des Elektronenstrahls durch die Datenübermittlung beeinträchtigt wird. Denn in der Zwischenzeit können die unveränderten Informationen aus dem Musterspeicher unterbrechungsfrei entnommen werden. Zur Zufuhr der Änderungsdaten wird nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ein Mustereingabe-Pufferspeicher verwendet, der zunächst die Daten aus dem Rechnerspeicher aufnimmt und sie sodann auf ein entsprechendes Signal hin mit erhöhter Geschwindigkeit in den Musterspeicher einzugeben in der Lage ist.

Ist im Falle schnell aufeinanderfolgender angeforderten Änderungsdaten der Mustereingabe-Pufferspeicher leer, so wird nach einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ein

^FI972159 509812/1019

Unterroutinenspeicher wirksam, bis der Mustereingabe-Pufferspeicher erneut linderungsinformationen zuführen kann.

Dank dem durch die Erfindung verwirklichten Prinzip kann die Arbeitsgeschwindigkeit einer derartigen Elektronenstrahl-Belichtungsanordnung um eine Größenordnung erhöht werden, indem beispielsweise die Belichtungszeit für ein Halbleiterchip anstelle von 2 ns nur noch 200 Nanosekunden beträgt. Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist, daß nicht mehr, wie in der im obengenannten Patent beschriebenen Vorrichtung, der Elektronenstrahl für eine vollständige Zeitspanne, in der er auf eine bestimmte Position gerichtet ist, entweder ein- oder ausgeschaltet ist; er kann vielmehr dank der Erfindung nur für einen Teil einer Zeiteinheit eingeschaltet sein, was inbesondere von Vorteil ist, wenn ein Halbleiterelement ein.Metall enthält, dessen elektronische Reflexionsfähigkeit gegenüber derjenigen des Halbleitermaterials unterschiedlich ist. Sind beispielsweise Gold und Silicium in einem Halbleitermaterial enthalten, so hat bei einheitlicher Belichtungszeit die höhere elektronische Reflexionsfähigkeit des Goldes eine überbelichtung des Resists zur Folge, welcher sich auf dem Gold befindet, wenn für den gesamten Bereich des Resists die gleiche Belichtung angewendet wird. Durch eine entsprechende differenzierte Steuerung der Belichtungszeit des Elektronenstrahls, je nachdem, ob er sich über einem metallhaltigen Bereich oder einen siliciumhaltigen Bereich befindet, kann eine derartige überbelichtung des Resists vermieden werden. Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnungen an einem Ausführungsbeispiel beschrieben.

Es zeigen:

Fig· 1 eine schematische Darstellung einer Vor

richtung zur Steuerung eines Elektronenstrahls bei der Bearbeitung eines flächenförmigen Werkstücks und die

^rI972lM 509812/1019

Fign. 2Au. 2B ein Bockdiagramra der Steuerschaltung für den

Elektronenstrahl in der Vorrichtung gemäß Fig. 1

In Fig. 1 ist ein Elektronstrahlgenerator 10 gezeigt, der auf bekannte Art einen Elektronenstrahl 11 aus geladenen Teilchen erzeugt.

Der Elektronenstrahl 11 wird zur Formung durch eine öffnung 12 in einer Platte 14 geleitet und hat vorzugsweise quadratische Form und eine Größe, die gleich der Mindestzeilenbreite des zu bildenden Musters ist.

Der Elektronenstrahl 11 läuft zwischen zwei Löschplatten 16 hindurch, die bestimmen, wann der Strahl auf das Material trifft und v/ann er gelöscht wird. Die Löschplatten 16 werden durch eine Analogeinheit 17 von Schaltungen gesteuert, die einen Teil eines digitalen Steuergerätes 18 bilden. Das digitale Steuergerät 18 ist an einen Computer 19 angeschlossen.

Der Elektronenstrahl 11 läuft dann durch eine kreisförmige öffnung 21 in einer weiteren Platte 22. Diese steuert den Strahl 11 so, daß nur die geladenen Teilchen, die durch die Zentren der Linsen (nicht dargestellt) gelangen, benutzt werden, so daß ein quadratischer Punkt ohne Verzerrung erzeugt wird.

Als nächstes wird der Strahl 11 durch magnetische Ablenkspulen 23, 24, 25 und 26 gerichtet. Die magnetischen Ablenkspulen 23 und 24 steuern die Ablenkung des Strahles 11 in der X~Richtung, während die magnetischen Ablenkspulen 25 und 26 die Ablenkung des Strahles 11 in Y-Richtung steuern. Die Ablenkspulen 23 bis 26 wirken somit zur Bewegung des Strahles 11 bei horizontaler Abtastung zur entsprechenden Ablenkung des Strahles zusammen. Während der Strahl 11 im wesentlichen rasterartig bewegt v/erden kann, wird er doch vorzugsweise in einer Vorwärts- und Rückwärts-·

FI 972 159 . . _Λ

509812/1019

abtastung so bewegt, daß er sich in entgegengesetzten Richtungen auf benachbarten Zeilen bewegt.

Anschließend gelangt der Strahl 11 in den Raum zwischen elektrostatischen Ablenkplatten 27, 28, 29 und 30, wobei die Platten 27 und 28 den Strahl in X-Richtung ablenken und die Platten 29 und in Y-Richtung. Die Platten 27 bis 30 werden für jede gewünschte Verschiebung des Strahles an jeder vorgegebenen Position oder auf Punkte benutzt, auf die er bewegt werden soll.

Der Strahl 11 wird dann auf ein Objekt gerichtet, wie z. B. ein Halbleiter-Chip mit einer Widerstandsschicht, die durch den Strahl 11 belichtet wird. Das Objekt liegt auf einem Tisch 31, der sich in Zyklen A, B und C in X- und Y-Richtung bewegen läßt (nicht dargestellt), wie im USA-Patent 3 644 700 beschrieben.

Die dargestellte Anordnung betrifft die Steuerung des Strahles während des B-Zyklus beim Schreiben des Chip-Husters durch Belichtung -der Photowider-standsschicht.

Gemäß Fig. 2A enthält das digitale Steuergerät 18 einen Musterspeicher 40, dessen Kapazität für Datenwörter genau so groß oder größer ist als die Anzahl vorbestimmter Positionen oder Punkte, auf die der Strahl 11 während seiner horizontalen Abtastung entlang einer Zeile bewegt wird, d. h._f jede vorbestimmte Position oder jeder Punkt, auf die der Strahl 11 während dieser Bewegung in X-Richtung entlang einer Zeile bewegt wird, steht in Beziehung zu einem Wort des MusterSpeichers 40. .

Der Musterspeicher 40 ist direkt mit einem Kanal 41 des Computers 19 verbunden (Fig. 2B), wenn ein Schalter 42 durch eine interne Steuerverriegelung mit der Bezeichnung EIL (ENABLE INITAL LOAD) aktiviert wird. Mit der Betätigung des Schalters 42 kann eine erste Information vom Kanal 41 des Computers 19 direkt in den Musterspeicher 40 gegeben werden. Das erste Schreiben von Information in den Musterspeicher 40 erfolgt jedoch normalerweise

FI 972 159 _A ,„_Λ,_ft

509812/1019

während einer ersten Abtastung durch den Strahl 11, d. n„, während der Strahl 11 in einer Richtung abtastet, wird in den liuster-speicher 40 Information für die Abtastung in der Gegenrichtung geschrieben, da während der Abtastung in der einen Richtung kein Chip-Muster geschrieben wird.

Wenn der Schalter 42 eingeschaltet wird, gelangt eine Information vom Kanal 41 des Computers 19 gleichzeitig auf einen Unterroutinenspeicher 43 (Fig. 2B). Die gesamte für das Musterscheiben des Chips in Unterroutinenspeicher zu speichernde Information wird zu diesem Zeitpunkt an den Unterroutinenspeicher 43 gegei-ien. Bei Beendigung der Informationsübertragung an den Musterspeicher und den Unterroutinenspeicher 43 wird durch eine Signal vom iianal 41 des Computers 19 der Schalter 42 durch die interne ateuerver riegelung geschlossen.

Außer bei Einschaltung des Schalters 42 empfängt der Musterspeicher 40 seine Information entweder über den Kanal 41 des Computers 19 von einem Mustereingabe-Pufferspeicher 44 oder vorn Unter routinenspeicher 43. Der Unterroutinenspeicher 43 liefert nur Daten, wenn durch die notwendige Fortschreibung der Information im Speicher 40 auf den neuesten Stand die Daten ir.i Mustereingabe-Pufferspeicher 44 vollständig entnommen sind.

Der Mustereingabe-Pufferspeicher 44 überträgt die Information über den Mustereingabedecodierer 45 an einen Selektor 46. üie Information vom Mustereingabepuffer 44 wird vom Selektor 46 an den Musterspeicher 40 über ein Belichtungsfortschreibe-Register und/oder ein Versetzungsfortschreibe-Register 48 nur geleitet, wenn ein Fortschreibezähler 49 auf Null steht und eine Unter·" routinenverriegelung 50 nicht betätigt ist, damit Information vom Unterroutinenspeicher 43 geliefert werden kann. Die Unterroutinen verriegelung 50 ist mit einem Decodierschalter 51 zum Empfang des notwendigen Signales verbunden, wenn die Unterroutinenverriegelung 50 zu betätigen ist, damit die Information vom Unterroutinenspeicher 43 geliefert werden kann.

FI 972 159 509 8-12/101S SAD O

VJenn Inforiaation an den Musterspeicher 40 zu geben ist, wird sie vom Selektor 46 durch das Belichtungsfortschreibe-Register 47 an einen Belichtungswähler 52 (Fig. 2Λ) und durch das Versetzungsfortschreibe--Register 48 an einen Versetzungswähler 53 geleitet. Die '.Zähler 52 uni 53 sind über ein Mustereingaberegister 54 mit dem .iusterspeicher 49 verbunden.

Die aeue Information braucht nur entweder die Belichtung des Strahles 11 oder·seine Versetzung auf den neuesten Stand zu bringen, sie kann natürlich auch beides tun. Der Fortschreibezähler 4b) (Fig. 2;,) geht jedoch jedesmal auf Null, wenn die Belichtung oder die Versetzung auf den neuesten Stand gebracht werden muß, unü betätigt einen i3ull -Detektor 55, der dann den Selektor 46 zur übertragung von Information an mindestens eines der Register 47 oder 48 einschaltet.

Das Belichtungsfortschreibe-Register 47, das Versetzungsfortschreibe-liegister 48, der Fortschreibezähler 49, der Belichtungswähler 52, der Versetzungswähler 53 und der Hull-Detektor 55 v/erden alle durch den Decodierschalter 51. abgeschaltet, wenn eine interne Steuerverriegelung mit der Bezeichnung EPU TENABLE PATTi]Ri; UPDATES) abgeschaltet wird, um ein Fortschreiben der Information im Musterspeicher 40 zu gewünschten Zeitpunkten zu verhindern. Wenn also der Schalter 42 betätigt wird, wird eine Fortschreibung durch Abschalten der internen Steuerverriegelung über di über den Decodierschalter 51 verhindert, und zwar während der ersten Abtastung durch den Strahl 11 nach Abschalten des Schalters 42.

Das Belichtungssignal bestimmt, ob der Strahl 11 während der ganzen Zeit, an der er an einer vorbestimmten Position steht, ein- oder ausgeschaltet gehalten wird oder ob er während Teiles dieser Zeit eingeschaltet gehalten wird. Die Gesamtzeit von dem Moment an, an den· der Strahl 11 eine vorgegebene Position erreicht,

bad

B09812/1019

bis zu dem Zeitpunkt, an dem der Strahl 11 auf der nächsten vorgegebenen Position steht, wird in sechzehn Teile unterteilt, von denen in den ersten vierzehn der Strahl aufleuchten kann, während er in den letzten beiden Teilen auf die nächste vorbestiromte Position Jazw. Punkt weitergeschaltet wird. Wenn der Strahl 11 in einer kürzeren Zeit als in den vierzehn Teilen belichten soll, erfolgt die Belichtung so, daß der Strahl 11 seine Belichtungszeit zu dem Zeitpunkt beendet, an dem er in die nächste vorgeschriebene Position vorgeschaltet wird. Wenn der Strahl 11 z. E. in nur sechs Teilen belichten soll, wird er in den ersten acht Teilen dunkel getastet und dann für die nächsten sechs Teile hell getastet.

Die Zeiteinteilung für diese sechzehn Teile kommt von einem X-Zähler. Der X-Zähler liefert während jedes Zeitabschnittes oder Punktintervalles sechszehn Zeitsignale.

Das Versetzungsignal bestimmt, ob der Strahl 11 versetzt wird und wie weit. Der Strahl 11 wird während seiner Vorschaltung von einer vorbestimmten Position in die nächste in den beiden letzten Abschnitten versetzt.

Die Daten enthalten Information für die Versetzung des Strahles in der X-Richtung und in der Y-Richtung. Die Versetzung in X-Richtung erfolgt in der Bewegungsrichtung des Strahles 11, während die Y-Richtung rechtwinkelig dazu in der Ebene des Materials verläuft, auf das der Strahl 11 gerichtet ist.

Der Strahl 11 kann in Schritten versetzt v/erden, die ihn in seiner Bewegungsrichtung entweder beschleunigen oder verzögern, relativ zu einer vorgegebenen Position, in die er sich bewegt, und in Schritten, die den Strahl 11 zu jeder Seite der X--Richtung bewegen, in der er sich bewegt. Wenn der Strahl 11 sich vorwärts bewegt, ist eine positive Versetzung in X-Richtung eine Beschleunigung des Strahles in die Richtung, in der er sich bewegt, während

^{FI 972 159} 509812/1019

eine negative Versetzung den Strahl in seiner Bewegungsrichtung verzögert. Wenn sich der Strahl 11 rückwärts bewegt, ist eine positive Versetzung in X-R*ichtung eine Verzögerung des Strahles, während eine negative Versetzung in X~Richtung eine Beschleunigung des Strahles 11 ist. Positive und negative Versetzungen erfolgen also immer in derselben Richtung, ungeachtet der Bewegungsrichtung des Strahles 11. Eine positive Versetzung in Y-Richtung versetzt Jen Strahl 11 i;iimer oberhalb seiner Bewegungsrichtung, während die negative Versetzung in Y-Richtung den Strahl immer unter seine Bewegungslinie versetzt.

Der Fortschreibungszähler 49 empfängt ein Taktsignal vom X¹-Zähler jedesmal, wenn der Strahl 11 auf die nächste vorbestimmte Position bewegt wird. Wenn der Fortschreibungszähler 49 nicht abgeschaltet ist, während der Decodierschalter 51 abgeschaltet ist, wird er während jeder Schrittbewegung des Strahles 11 um eine Zahl heruntergesetzt.

Wenn der Fortschreibungszähler 49 durch das Heruntersetzen auf den Wert Null kommt, bewirkt der Null-Detektor 55 die Entnahme von Fortschreibeinf orrnation vom Selektor 46. Der Selektor 46 überträgt die Information vom Mustereingabe-Pufferspeicher 44 erst, wenn die Unterroutinenverrriegelung 50 betätigt wird.

Die Unterroutinenverriegelung 50 wird am Anfang vom Decodierscnalter 51 betätigt, wenn der Null-Detektor 55 sein Signal erzeugt und damit anzeigt, daß der Fortschreibezähler 49' auf Null steht. Die Information vom Mustereingabe-Pufferspeicher 44 über den Selektor 46 zum üecodierschalter 51 enthält eine Adresse zur übertragung an ein Unterroutinenadress-Register 57 sov/ie die Daten zur Betätigung der Unterroutinenverriegelung 50, wenn der Fortschreibezähler 49 auf Null geht. Diese Daten wählen eine bestimmte Adresse im Unterroutinenspeicher 43, von der Information durch ein Unterroutinenausgabe-Register 58 an den Selektor 46 zu liefern ist zur Fortschreibung des Belichtungsforschreibe-Registers 47 und/oder des Versetzungsfortschreibe-Registers 48 und des Fortschreibezählers 49.

FI 972 159

£09812/1019

Die vom Unterroutinenspeicher 43 bei der ersten Betätigung der Unterroutinenverriegelung 50 übertragene Information enthält Daten, mit denen bestimmt wird, ob die Unterroutinenverriegelunrj

50 eingeschaltet bleibt. Wenn das der Fall ist, v/erden beim nächsten Mal, bei dem der Null-Detektor 55 betätigt wird, weil der Fortschreibe zäh ler 49 auf Null geht, die Daten wieder νοια Unterroutinenspeicher 43 in den Selektor 46 und nicht vorn iiustereingabe-Pufferspeicher 44 übertragen.

Wenn der Null-Detektor 55 wieder ein Signal erzeugt, weil der Fortschreibezähler 49 auf Null geht und die Unterroutinenverriegelung 50 eingeschaltet ist, wird ein Schalter 59 betätigt, weil die Unterroutinenverriegelung 50 bereits betätigt ist und der Null-Detektor 55 ein Signal erzeugt. Die Betätigung des Schalters 59 veranlaßt eine Erhöhung des Inhaltes des Unter-· routinenadress-Registers 57, wodurch die nächste Adresse im Unter-· routinenspeicher 43 adressiert und die dortstehende Information durch das Unterroutinenausgabe-Register 58 an den Selektor 46 gegeben wird, von wo die Daten an das Belichtungsfortschreibebe-Register 47 und/oder das Versetzungsfortschreibe-Register 48 und den Fort-· Schreibezähler 49 übertragen werden.

Der Unterroutinenspeicher 43 wird mit jeder Betätigung des l.^Tull-Detektors 55 durch Erhöhen der Adresse kontinuierlich zum Empfang von Information von dort adressiert, und zwar über den Schalter 59 welcher geöffnet bleibt, bis die Daten vom Unterroutinenspeicher 43 keine Betätigung der Unterroutinenverriegelung 50 mehr enthalten» Wenn das nicht erfolgt, resultiert die nächste Betätigung des Null-Detektors 55 in einer Informationslieferung vom Mustereingabe-Pufferspeicher 44 an den Selektor 46, wobei diese Information entweder Daten vom Mus tereingabe--Puff er speicher 44 an das Belichtungsfortschreibe-Register 47 und/oder das Versetzungsfortschreibe-Register 48 und den Fortschreibezähler 49 liefert oder die Unterroutinenverrlegelung 50 über den Decodierschalter

51 betätigt und eine andere Adresse im Unterroutinenadrcss-Register 57 wählt, um Daten vom Unterroutinenspeicher 4 3 zu übertragen, uie FI 972 159

S09812/1019

mj) OüKälMAL

Betätigung der ünterroutinenverrxegelung 50, bei der der Unterroutinenspeicher 43 mit einer vollkommen verschiedenen Adresse adressiert v/ird, erfolgt, wenn die Daten nicht von der nächsten Adresse iiu Unterroutinenspeicher 43 kommen sollen, wie es bei der Erhöhung der Adresse durch den geöffneten Schalter 59 der Fall wäre.

wie bereits gesagt, kann die Information an den Musterspeicher durch aas -lustereingabe-Register 54 (Fig. 2Λ) nur gegeben werden, wenn die Wähler 52 und 53 geöffnet sind. Auch wenn die Wähler 52 und 53 Information vom Belichtungsfortschreibe-Register 47 und/oder dem Versetzungsfortschreibe-Register 48 zur Übertragung an das Mustereingaberegister 54 empfangen, öffnen sie zur Übertragung dieser Information nur, wenn sie auch ein Signal vom Musterausgabe-Register 62 erhalten. Damit ist sichergestellt, daß die Leitung im Musterspeicher 40, die die neue Information empfängt, ihre gespeicherte Information bereits an das Musterausgabe-Register 62 übertragen hat.

Wenn die Information im Belichtungsfortschreibe-Register 47 und/ oder dem Versetzungsfortschreibe-Register 48 Null ist, dann wird die Information für die Belichtung und/oder die Versetzung vom Musterausgabe-Register 62 durch den Belichtungswähler 52 und/ oder den Versetzungswähler 53 an das Mustereingabe-Register 54 übertragen. Diese Null im Register 47 oder 48 tritt auf, wenn derselbe Punkt in der nächsten Zeile unverändert ist.

Beim Auslesen der Information aus dem Musterspeicher 40 wird eine Paritätsprüfung durchgeführt. Wenn ein Fehler vorliegt, wird der Strahl 11 durch einen Fehlerdetektor 63 abgeschaltet (Fig. 2B), an den bei Paritatsprüffehlern ein Signal übertragen wird. Ähnlich wird nit einer Gültigkeitsprüfung festgestellt, ob die neue Information vom Mustereingabe-Register 54 richtig ist.

972 159

509812/1019

Wenn sie nicht richtig ist, wird ein Signal an den Fehlerdetektor 63 übertragen, um so den Strahl 11 abzuschalten, und an den Computer 19, so daß dieser eine Fehlerwiederholungsfolge aufnehmen kann.

Die Belichtungsinformation vom Musterausgaberegister 62 wird durch den Belichtungsdecodierer 64 (Fig. 2A) und einen Belichtungsschalter 65 an die Analogeinheit 17 übertragen. Gleichzeitig wird die Versetzungsinformation vom Musterausgabe-Register 62 an die Analogeinheit 17 durch einen Versetzungsschalter 66 gegeben.

Wenn entweder der Belichtungsdecodierer 64 oder der Belichtungsschalter 65 abgeschaltet werden, kann kein Signal übertragen werden, um den Strahl 11 einzuschalten. Wenn der Versetzungsschalter 66 abgeschaltet ist, kann keine die Versetzung betreffende Information an die Analogeinheit 17 übertragen v/erden.

Der Belichtungsdecodierer 64 wird durch eine interne Steuerverriegelung abgeschaltet - Bezeichnet mit EBODSR (ENABLE BEAiI OFF DURItJG SAWTOOTH RESET -- wenn der Strahl 11 auf die nächste vorbestimmte Position vorgeschaltet wird. Der Strahl 11 muß also beim Vorschalten zwangsweise abgeschaltet sein. Der Zustand dieser Verriegelung ist während einer gegebenen Zeile konstant.

Während der Belichtungsdecodierer 64 ein Signal übertragen kann, um den Strahl 11 einzuschalten, wenn die interne Steuerverriegelung den Belichtungsdecodierer 64 nicht abgeschaltet hat, bestimmen die Daten vom Musterausgabe-Register 62, ob der Belichtungsdecodierer 64 eingeschaltet ist oder ausgeschaltet bleibt, wenn das entsprechende Taktsignal vom X'-Zähler am Belichtungsdecodierer 64 empfangen wird. Wenn der Strahl 11 für die gesamte Periode eingeschaltet werden soll, zeigen die Daten vom Musterausgabe-Register .62 dieses an, so daß der Belichtungsdecodierer 64 eingeschaltet wird, sobald der Strahl 11 fertig vorgeschaltet

972 159 5098 12/1019

wurde. Wenn der Strahl 11 nur während eines Teiles dieser Periode eingeschaltet werden soll, in der er sich in einer vorbestimmten Position befindet, wird ein Grau-Register 67 durch die Daten vom Musterausgabe-Register 62 so betätigt, daß der Belichtungsdecodierer 64 nur für den Teil der Periode eingeschaltet wird, in dem der Strahl 11 auftreffen soll, und zwar durch Zusammenarbeit mit dem Taktsignal vom X'-Zähler.

Jeder der Schalter 65 und 66 ist mit einer internen Steuerverriegelung verbunden, die die Bezeichnung EBC (ENABLE BEAM CONTROL) trägt. Wenn die Verriegelung eingeschaltet wird, wird die Ausgabe des Belichtungsdecodierers 64 und die Versetzungsinformation vom Musterausgabe-Register 62 an die Analogeinheit 17 übertragen. Wenn diese Verriegelung ausgeschaltet ist, wird keine Belichtungsoder Versetzungsinformation an die Analogeinheit 17 übertragen.

Die beiden Verriegelungen mit der Bezeichnung EPU und EBC sind voneinander unabhängig. Dadurch kann die Strahlsteuerinformation an die Analogeinheit 17 gesendet werden, ohne daß der Musterspeicher 40 auf den neuesten Stand gebracht wird. Außerdem kann dadurch der Musterspeicher 40 auf den neuesten Stand gebracht werden, ohne daß gleichzeitig Strahlsteuerinformation an die Analogeinheit 17 gesendet wird.

Normalerweise ist die Verriegelung EBC abgeschaltet, um die Schalter 65 und 66 bei der ersten Abtastung des B-Zyklus abzuschalten, wenn der Musterspeicher 40 durch den Mustereingabe-Pufferspeicher 44 auf den neuesten Stand gebracht wird. Die Schalter 65 und 66 werden durch die Verriegelung EBC abgeschaltet, bevor der Schalter 42 durch seine interne Steuerverriegelung geöffnet wird, und bleiben in diesem Zustand, bis. sie nach der ersten Abtastung des B-Zyklus eingeschaltet werden.

FI 972 159

509812/1019

~ 14

Xtfährend der Strahl 11 sich in vorwärts und rückwärts gerichteten Abtastungen bewegt, wird der Ilusterspeicher 40 von einem iluster·· adreß-Register 68 adressiert» Bei der Bewegung des Strahles 11 in einer Richtung, vorzugsweise vorwärts, wird die Adresse im Musteradreß-Register 68 jedesmal weitergeschaltet, wenn der Strahl 11 auf die nächste vorgegebene Position bewegt wird. 'Jenn sich der Strahl 11 in der Gegenrichtung bewegt, wird die Adresse im Austeradreß-Register 68 jedesmal heruntergesetzt, wenn der Strahl 11 auf die nächste vorbestimnite Position bewegt wird.

Ein Schalter 69, welcher ein Taktsignal vom X'-Zähler empfängt; erhöht den Inhalt des Musteradreß--Registers 6 8 während Fortschaltens des Strahles 11 in Vorwärtsabtastrichtung, die durch ein Signal von einem Y~Zähler angezeigt wird. Diese Anordnung stellt also sicher, daß das Musteradreß-Register 68 jedes Uort im Muster speicher 40 in der Reihe in einer Aufwärtsrichtung während der Abtastung in einer Richtung, vorzugsweise von links nach rechts, eines Chips eines Haltleiterplättchens auf den Tisch 31 adressieren läßt.

Wenn der Strahl 11 seine Vorwärtsabtastung beendet hat und nach seiner Rückführung die Rückwärtsabtastung beginnen kann, liefert der Y-Zähler ein Signal an den Schalter 69 und den Schalter 70, um den Schalter 69 abzuschalten und die Betätigung des Schalters 70 einzuleiten, sobald ein Taktsignal vom X'-Zähler am Schalter 70 empfangen wird. Durch das öffnen des Schalters 70 wird der Inhalt des Musteradreß-Registers 68 jedesmal heruntergesetzt, wenn der Strahl 11 in der Rückwärtsabtastung von rechts nach links auf die nächste vorbestirnmte . Position zurückschaltet. Dadurch wird der Musterspeicher 40 in einer Richtung adressiert, die derjenigen entgegengesetzt ist, in der er während der Bewegung des Strahles 11 in der Vorwärtsabtastung adressiert wurde» Die in dem Musterspeicher 40 geschriebene Information entspricht also immer dem Punkt der nächsten abzutastenden Zeile. Wenn der Strahl 11 im wesentlichen in Rasterform nur vorwärts bewegt wird, dann wird der Musterspeicher 40 natürlich immer in derselben Richtung adressiert, wodurch nur einer der Schalter 69 oder 70 verwendet

FI 972 159

509812/1019 _{Μ onmmL}

wird, um den Speicherinhalt nur zu erhöhen oder zu verringern, abhängig von der Zugriffsrichtung zum Musterspeicher 40 während jedes Taktsignales vom X'-Zähler.

Während der Rückführung wird ein Schalter 72 durch ein Taktsignal von einem R--Zähler geöffnet, um-entweder" Null einzuschalten, wodurch die erste Zahl.in der Vorwärtsabtastung und die oberste Adresse im Musteradreß-Register 68 dargestellt wird, oder X , wodurch die letzte Zahl in der Vorwärtsabtastung und die unterste Adresse im Musteradreß-Register dargestellt wird, die an das Musteradreß-Register 68 zu liefern ist. Der Y-Zähler ist auch mit einem Selektor 73 verbunden, um die Abtastrichtung zu geben und dadurch während der Rückführung vor dem öffnen des Schalters 72 entweder Null oder X_w wählen zu lassen.

Zu diesem Zeitpunkt ist das Signal vom Y-Zähler dem Signal entgegengesetzt, welches am Ende der Rückführung an die Schalter der 69 und 70 angelegt wurde. Wenn also eine Vorwärtsabtastung beendet wurde, resultiert das Signal vom Y-Zähler in der Wahl einer Null, die während der Rückführung nach einer Vorwärtsabtastung gewählt und durch den Schalter 72 an das Musteradreß-Register geleitet wird, und resultiert in der Wahl von X zur Übertragung durch das Schaltglied 72 an das Musteradreß-Register 68, wenn die Rückwärtsabtastung beendet wurde und die Rückführung erfolgt. Dadurch kann der Musterspeicher 40 während der Vorwärtsabtastung aufeinanderfolgend auf höhere Adressen adressiert werden und während der Rückwärtsabtastung aufeinanderfolgend auf niedrigere Adressen.

I lit einem x--zähler wird jeder Punkt gezählt, auf den sich der Strahl 11 bewegt. Der X-Zähler kann ebenso wie der Y-Zähler, der jede Zeile zählt, in der sich der Strahl 11 bewegt, von 0 bis 4095 zählen. Der X-Zähler zählt eigentlich nur bis X und der

Y-Zähler bis Y^, wodurch die Zahl von Zeilen im B-Zyklus darge-

^FI972159 509812/1019

2U3625

stellt wird. Der X-Zähler, der Y-Zähler der X'-Zähler, der R-Zähler und andere Zähler können in bekannter Weise von einem Oszillator betrieben werden. Diese Zähler bilden die Taktgeberanlage für das ganze System.

Am Anfang jeder Zeile wird ein LRC-Prüf-Register (Longitudinal-Redundanz-PrüfregisterJ 74 (Fig. 2B) auf lauter Einsen gesetzt. Jedesmal, wenn ein Datenbyte aus dem Mustereingabepufferspeicher 44 zur Decodierung durch den Musterdecodierer 45 entnommen wird, wird es mit dem Inhalt des Longitudinal-Redundanz-Prüfregisters antivalent verknüpft und das Ergebnis invertiert und dann in das Register 74 geschrieben. Wenn der Zeilenendcode vom Mustereingabepufferspeicher 44 auftritt, sollten die Bits aus dem Puffer mit der antivalenten Verknüpfung im Register 74 mit invertierten Ergebnis das Ergebnis Null erzeugen.

Der Fehlerdetektor 63 stellt fest, ob die Ausgabe vom LRC-Prüfregister 74 zu diesem Zeitpunkt Null ist, aufgrund des Empfanges eines Signales vom Muster-Eingabe-Decodierer 45 zu dem Zeitpunkt, an dem die Bits aus dem Zeilenendcode antivalent in das Prüfregister 74 verknüpft werden. Wenn die Ausgabe vom Register 74 Null ist, kann die nächste Zeile durch den Strahl 11 am Ende der Rückführung abgetastet werden.

Wenn die Ausgabe vom LRC-Prüfregister 74 nicht Null ist, schaltet der Fehlerdetektor 63 den Strahl 11 ab, indem er die Verriegelung EBC abschaltet. Der Strahl 11 braucht für die bereits abgetastete Zeile nicht wieder eingeschaltet zu werden, die ganze Fortschreibungsinformation muß jedoch wieder durch den Selektor 46 geleitet werden. Wenn das Prüfregister 74 die Ausgabe Null hat, dann kann die Verriegelung EBC eingeschaltet bleiben.

Der Fehlerdetektor 63 empfängt auch die Ausgabe des Muster-Eingabedecodierers 45 für jede Fortschreibung des Musterspeichers 40. Wenn die Ausgabe des Muster-Eingabedecodierers 45 ungültig ist, schaltet der Fehlerdetektor 63 den Strahl 11 durch Abschalten der Verriegelung ab.

Fi 972 159 B0981 2/1019

Ein Null-Detektor 75, der mit dem Fehlerdetektor 63 verbunden ist und durch dieselbe interne Steuerverriegelung abgeschaltet wird, die auch den Null-Detektor 55 steuert, fühlt die vom Selektor 46 in den Fortschreibezähler 49 gelieferten Daten ab. Wenn der IJull-Detektor 75 in diesen Daten eine Null erkennt, schaltet der Fehlerdetektor 63 den Strahl 11 durch Abschalten der Verriegelung EBC ab.

Der Fehlerdetektor 63 empfängt auch ein Signal, wenn während der übertragung von Daten aus dem Musterspeicher 40 ein Paritätsfehler oder während des Schreibens neuer Daten in den Musterspeicher 40 ein anderer Fehler auftritt. Der Fehlerdetektor 63 schaltet den Strahl 11 ab, sobald er beim Lesen oder Schreiben aus dem bzw. in den Musterspeicher 40 einen Fehler erkennt.

Der Fehlerdetektor 63 kann also mehrere verschiedene Fehler erkennen. Dazu gehören Fehler, die auf eine an den Fortschreibungszähler 49 gelieferte Null zurückzuführen sind, Fehler am Ende einer abgetasteten Zeile, Fehler beim Lesen von Information in eine Zeile des Musterspeichers 4O, Fehler beim Schreiben einer Zeile in den Musterspeicher 40 und Fehler in der Information vom Musterdecodierer 45 zum Fortschreiben des Musterspeichers 40. Alle diese Fehler veranlassen den Fehlerdetektor 63, den Strahl 11 durch Abschalten der Verriegelung EBC abzuschalten.

Die Arbeitsweise der beschriebenen Anordnung ist so, daß der Schalter 42 durch die Verriegelung EIL geöffnet wird _t um Daten an den Unterroutinenspeicher 43 liefern zu können. In einigen Fällen kann Anfangsinformation auch an den Musterspeicher 40 vom Kanal 41 des Computers 19 geliefert werden, die Anfangsinformation wird aber normalerweise an den Speicher 40 vom Musterelngabe-Pufferspeicher 44 während einer Abtastung des Chips durch den Strahl 11 vor dem Schreiben des Musters gegeben.

FI 972 159

609812/1019

Wenn die Information an den Unterroutinenspeicher 43 und den Mus.terspeicher 40 fertig übertragen ist, wird die interne Steuerverriegelung vom Kanal 41 des Computers 19 zurückgestellt und der Schalter 42 geschlossen. Danach wird die interne Steuerverriegelung, die abgeschaltet wurde um das Belichtungsfortschreibe-Register 47,. das Versetzungsfortschreibe-Register 48, den Fortschreibezähler 49, die Wähler 52 und 53 sowie die Null-Detektoren 55 und 75 durch den Decodierschalter 51 abzuschalten, eingeschaltet, um Daten vom Selektor 46 an den Musterspeicher übertragen zu können. Die Schalter 65.und 66 bleiben durch ihre interne Steuerverriegelung normalerweise geschlossen, bis die erste Abtastung B-Zyklus beendet ist»

Die erste Abtastung durch den Strahl 11 während des B-Zyklus erfolgt, nachdem die interne Steuerverriegelung die Informationslieferung vom Selektor 46 an den Decodierschalter 51 gestattet. Während dieser Abtastung empfängt der Musterspeicher 40 Information für die nächste durch den Strahl 11 abzutastende Zeile.

Wenn der Musterspeicher 40 die Daten für die abzutastende Zelle enthält, erhält man die Information vom Musterspeicher 40 für jeden Punkt, auf den der Strahl 11 zu richten ist. Bei der Rückwärtsabtastung wird der Inhalt des Musteradreß-Registers 68 durch öffnen des Schalters 70 heruntergezählt. Wach dem Auslesen, der Information aus dem Musterspeicher 40 zur übertragung an die Analogeinheit 17 durch das Musterausgabe-Register 62 für eine bestimmte vorgegebenen Position des Punktes gestatten die Schalter 52 und 53 Information im Belichtungsfortschreibe-Register 47 und im Versetzungsfortschreibe-Register 48 durch das Mustereingabe-Register 54 auf den Musterspeicher 40 zu übertragen, wenn aufgrund einer Änderung für denselben Punkt in der nächsten Zeile eine Fortschreibung erfolgen muß.

Sobald der Null-Detektor 55 erkannt hat, daß 'der Fortschreibezähler 49 auf Null geht, werden neue Daten an das Belichtungsfortschreibe-Register 47 und/oder das Versetzungsfortschreibe-Regi-

FI 972 159

509 8Ί2/1019

ster 48 und den Fortschreibezähler 49 entweder vom Mustereingabe-Pufferspeicher 44 oder vom Unterroutinenspeicher 43 geliefert. Das hängt davon ab, ob die Unterroutinenverrlegelung 50 betätigt wird oder nicht. Wenn sie betätigt wird, kommt die Information vom Unterroutinenspeicher 43 durch das Unterroutinenausgabe-Register 58, sonst vom Mustereingabe-Pufferspeicher 44.

Wenn die Abtastung durch den Strahl in jeder Richtung foeeendet ist, erhält man -während der Rückführung durch den Schalter 72 Zugriff zum Musteradreß-Register 68, um die richtige Adresse für den Anfang der nächsten Abtastung zu wählen, und der Schalter 69 oder 70 wird am Ende der Rückführung geöffnet. Der Musterspeicher 40 wird dann in der Richtung adressiert, die der Adressierungsrichtung in der vorhergehenden Abtastung entgegengesetzt ist.

Während der Strahl 11 auf jede vorbestimmte Position vorgeschaltet wird, erhält man das Ausmaß der Belichtung des Strahles 11 sowie die eventuell notwendige Versetzung vom Musterspeicher 40. Auf diese Weise wird die Widerstandsschicht durch den Strahl 11 so belichtet, daß das gewünschte Muster im Chip erzeugt wird.

Die Form der Fortschreibekommandos, die die vom Computer 19 an den Mustereingabedecodierer 45 übertragene Information umfaßt, muß natürlich so gewählt werden, daß sowohl die Geschwindigkeit der

Decodierung durch dem Mustereingabe-Decodierer 45 verbessert als auch das Volumen der zur Erzeugung aller Fortschreibefolge notwendigen Daten möglichst klein gehalten wird. Gleichzeitig müssen die Fortschreibekommandos der Breite der Datenbahn durch den Kanal 41 des Computers 19 entsprechen.

Es kann jede geeignete Form von Fortschreibekommandos so lange verwendet werden, wie die obigen Forderungen für die übertragung der Information vom Computer 19 an den Mustereingabe-Decodierer 45 erfüllt sind. Vorgezogene Fortschreibekommandos um-

FI 972 159

509812/ 1019

fassen jedoch ein Datenbyte (8 Bits), zwei Bytes (16 Bits), drei Byte (24 Bits), abhängig von der Größe der zu übertragenden Information, wobei es drei verschiedene Gruppen von zwei Datenbytes und eine Gruppe von einem Byte und drei Bytes gibt.

Bei Benutzung der vorgezogenen Fortschreibekonunandos ist der Fortschreibezähler 49 zwölf Bits groß und hat einen Zählbereich von 1 bis 4080» Der Fortschreibezähler 49 ist normalerweise jedoch auf einen Wert beschränkt, der nicht größer ist als X .

Der Fortschreibungszähler 49 wird in vier Nieder-Wert-Bits und acht Hoher-Wert-Bits aufgeteilt, wobei die vier Nieder-Wert-Bits einen Bereich von 1 bis 15 Punkten von vorgegebenen Positionen des Strahles 11 und die acht Hoher-Wert-Bits Bits einen Bereich von 16 bis 4080 Punkten oder vorgegebenen Positionen des Strahles 11 in Schritten von jeweils sechzehn angeben. Abhängig von der Anzahl vorgegebener Positionen oder Punkte des Strahles, die der Fortschreibungszähler 49 durch das Fortschreibungskommando zu stellen ist, empfängt der Fortschreibungszähler 49 also entweder vier Bits oder acht Bits. Zwischenv/erte der Fortschrei-bungszahlen zwischen 17 und 4095, die nicht in sechzehner Schritten zu erreichen sind, erhält man mit zwei Fortschreibungskommandos.

Bei der Gruppe von Fortschreibekommandos mit einer Breite von einem Datenbyte sind vier mögliche Zustände dargestellt und durch die ersten vier Bits des Datenbytes gegeben, auf die das Belich-tungsfortschreibungs-Register 47 eingestellt wird. Diese bestehen aus keiner Änderung der Belichtung des Strahles 11, einer Belichtungsänderung des Strahles 11 in den ausgeschalteten Zustand, einer Belichtungsänderung des Strahles 11 in den eingeschalteten Zustand oder einer Belichtungsänderung des Strahles 11 in einen Teil der Zeit, in der der Strahl 11 an der vorgegeben Position belichtet.

FI 972 159

09812/1019

Die letzten vier Bits dieses Fortschreibekommandos mit einem Byte Breite ist eine Vier-Bit-Zahl für die vier Nieder-Wert-Bits des Fortschreibezählers 49. Der Versetzungsfortschreibewiderstand 48 ist auf Null gestellt, so daß keine Änderung vorliegt. Die Form eines jeden dieser Fortschreibekommandos ist also aaaa nnnn, worin aaaa die Bitkonfiguration angibt, die in das Belichtungsfortschreibe-Register 47 zu setzen ist, und nnnn die Vier-Bit-Zahl ist, die in den Fortschreibezähler 49 einzugeben ist.

Eine zweite Gruppe von Fortschreibekommandos hat eine Breite von zwei Datenbytes. Diese Gruppe setzt das Belichtungsfortschreibe--Register in einen von vier möglichen Zuständen, eine vier Bit große Zahl in die vier Niederwert-Bitpositionen des Fortschreibezählers 49 und das Versetzungsfortschreibe-Register 48 mit den zweiten Byte (die letzten acht Bits) des Fortschreibekommandos. Die an das Versetzungsfortschreibe-Register 48 gelieferten Daten können den Strahl 11 in der X-Richtung, in der Y-Richtung oder in beiden Richtungen versetzen. Die Form dieser Datenkommandos ist somit aaaa nnnn bbbbbbbb, worin aaaa die in das Belichtungsfortschreibe-Register 47 einzusetzende Bitkonfiguration, nnnn die in den Fortschreibezähler 49 zu setzende vier Bit große Zahl und die bbbbbbbb in das Versetzungsfortschreibe-Register 48 zu setzenden Daten sind.

Eine weitere Gruppe von Fortschreibungskommandos hat auch eine Breite von zwei Datenbytes, diese Kommandos liefern jedoch keine Information an das Versetzungsfortschreibungs-Register 48, da dieses auf Null gesetzt wird.

Statt dessen zeigen die ersten vier Bits dieser Fortschreibungskommandos an, daß die Fortschreibungszahl in die acht Hoch-Wert-Bits im Fortschreibungszähler 49 zu setzen ist. Die nächsten vier Bits setzen das Belichtungsfortschreibungs-Register 47 in einen seiner vier möglichen Zustände und die letzten acht Bits werden an den Fortschreibungszähler 49 geleitet. Die Form dieser Fortschreibungskommandos ist cccc aaaa nnnnnnnn, worin cccc das Signal

FI972 159

S09812/1Q19

dafür ist, daS der Fortschreibungszähler 49 eine acht Bit große Zahl empfangen soll, aaaa die in das Belichtungsfortschreibe··
Register 47 einzusetzende Bitkonfiguration angibt und nnnnnnnn
die acht Bit große Zahl list, die in die Hoch~Wert--Bitposi~

tionen des FortschreibungsWählers einzusetzen ist.

Eine weitere Gruppe von Fortschreibungskommandos hat eine Breite von drei Datenbytes„ Diese Kommandos aeigen mit den ersten vier Bits an, daß in die acht Wert-hohen Bitpositionen des Fortschreibungszählers 49 acht Bits eingesetzt werden, und die nächsten vier Bitpositionen setzen das Belichtungsfortschreibungs-Register 47 in einen seiner vier möglichen Zustände» Die nächsten acht Bits (zweites Byte) werden in den Fortsehreibungszähler 49 zur Anzeige der Periode gesetst, in der das durch die letzten acht Bits gesetzte Versetzungsfortschreibungs-Register 48 dieselbe Versetzungsinformation liefert»

Somit hat jedes Fortschreibungskommando dieser Gruppe die Form
cccc aaaa nnnnnnnn bbbbbbbb, worin cccc das Signal dafür ist, daß der Fortsehreibungszähler 49 eine acht Bit große Zahl empfangen soll, aaaa die Bitkonfiguration angibt, die in das Belichtungs-· fortschreibungs-Register 47 einzusetzen ist, nnnnnnnn die acht
Bit große Zahl ist, die in die acht Hoch-Wert-Bitpositionen des FortschreibungsZählers 49 zu geben ist, und bbbbbbbb die in das Versetzungsfortschreibungs-Register"48 zu setsenden Daten sind.

Eine andere Gruppe von Fortschreibungskommandos, von denen eine Breite von zwei Bytes hat, wird ebenfalls verwendet. Eines dieser Fortschreibungskommandos gibt mit den ersten vier Bits an, daß
die Onterroutinenverriegelung 50 zu verriegeln ist, und die
letzten zwölf sind in das Unterroutinen-Adreß-Register 57 zu
setzen, um ein Wort des Unterroutinenspeichers 43 zu wählen. Die Form diese® Fortschreibungskommandos ist dddd eeee eeeeeeee, worin dddd angibt«, daß die Unterroutinenverriegelung 50 zu verriegeln ist, und eeee eeeeoeee die im Umterroutinen-Ädreß-Register 57 gewählte Adresse ist»

^FI 972 159

Das andere Fortschreibungskommando dieser Gruppe schreibt mit den ersten vier Bits die Durchführung einer Zeilenendprüfung vor, und die nächsten vier Bits werden mit den vier Nieder-Wert-Bits des Y-Zählers während der Rückführung verglichen und zeigen einen Fehler an, wenn im Fehlerdetektor 63 keine Übereinstimmung auftritt, während die letzten acht Bit antivalent mit dem Inhalt des LRC-Prüfregisters -74 und dem invertierten Ergebnis verknüpft werden. Die Form dieses Fortschreibungskommandos ist ffff gggg hhhhhhhh, worin'ffff die Durchführung der Zeilenendprüfung vorschreibt, gggg mit den vier Nieder-Wert-Bits des Y-Zählers während der Rückführung zu vergleichen ist und hhhhhhhh das acht Bit große Datenwort ist, welches antivalent mit dem Inhalt des LRC -Prüfregisters 74 verknüpft wird.

FI 972 159

509812/1019

Claims

PATENTANSPRÜCHE

Vorrichtung zum Belichten von in regelmäßiger Verteilung angeordneten Flächenelementen, z. B. Halbleiter-Elementen, mit vorgegebenen Mustern mittels eines Elektronenstrahls, mit einem Raster-Ablenksystem und mit nachgeschaltetem Korrektur-Ablenksystem für den Elektronenstrahl, welche an eine von einem Rechner überwachte Steuerschaltung angeschlossen sind, welche Ablenkschaltungen zur wiederholten Ablenkung des Elektronenstrahls im Belichtungsmuster und zur Ausrichtung der Rasterablenkung aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerschaltung einen Musterspeicher (40) zur Aufnahme der Steuerinformationen für die Ablenksysteme (23 bis 26, 27 bis 30) für die vorbestimmten einheitlichen StrahlPositionen jedes Belichtungsabschnittes, z. B. jeder Rasterzeile, aufweist sowie Elemente (62, 64, 65) zur Steuerung der Ablenksysteme entsprechend den gespeicherten Steuerinformationen, und daß der Musterspeicher (40) unter der Steuerung eines Musteradressregisters (68) steht, welches synchron mit der Vor- bzw. Rückwärtsbewegung des Elektronenstrahls weiter- bzw. rückschaltbar ist.

Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Bereitstellung der Steuerinformation für den Musterspeicher (40) an den Rechner (19) ein Unterroutinenspeicher (43) angeschlossen ist, welcher alle für die Belichtung eines Musters erforderlichen Daten aufnimmt und diese über einen Selektor (46) abgibt, wenn die in einem parallel angeordneten Mustereingabe-Pufferspeicher (44) befindlichen Daten vollständig entnommen sind.

Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der an den Rechner (19) angeschlossene Mustereingabe-Pufferspeicher (44) die enthaltenen Infor-

509812/1019

-·*«■- 24A3625 -Λ*

xnationen über einen Mustereingabe-Codierer (45) dem Selektor (46) zuführt, der über ein Belichtungsfortschreibe-Register (47) bzw. ein Versetzungsfortschreibe-Register (48) mit dem Musterspeicher (40) verbunden ist und die Informationen nur dann übertragt, wenn die Zufuhr von Informationen vom Unterroutinenspeicher (43) mittels einer ünterroutinenverriegelung (50) gesperrt ist.

4. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß zur Eingabe der Daten vom Unterroutinen-Speicher (43) und vom Mustereingabe-Pufferspeicher (44) in den Musterspeicher (40) diesem ein Mustereingabe-Register (54) vorgeschaltet ist, welches die Daten vom Selektor (46) über das Belichtungsfortschreibe-Register (47) und einen Belichtungswähler (52) oder über das Versetzungsfortschreibe-Register (48) und einen Versetzungswähler (53) zuführt.

5. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekenn-. zeichnet, daß ein Fortschreibezähler (49) zur Steuerung des Datenflusses vom Unterroutinenspeicher (43) bzw. Mustereingabe-Pufferspeicher (44) zum Musterspeicher (40) vorgesehen ist, welcher unter der Steuerung eines Änderungsschalters (42) und eines Decodierschalters (51) jeweils bei Änderung der Belichtungs- oder Versetzungsdaten durch Rückschaltung auf Null gesetzt wird.

6. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß dem Unterroutinenspeicher (43) ein Unterroutinen-Adressregister (57) und ein Unterroutinen-Ausgaberegister (48) zugeordnet sind, wobei das Unterroutinen-Adressregister (47) unter der Steuerung eines von dem Decodierschalter (71) gesteuerten Schalters (59) weitergeschaltet wird und bei Fortschaltung des Unterroutinen-Adressregister (57) die in der betreffenden Adresse des Unterroutinenspeichers (43)

^FI972159 509812/1019

stehende Information über das Unterroutinen-Ausgaberegister (58) dem Selektor (46) zuführt.

7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Darstellung der Bewegungen des Elektronenstrahls ein X- und ein Y-Zähler angeordnet sind, welche über Schalter (69, 70) die Fortschaltung bzw. Rückschaltung des Musteradressregisters (68) steuern.

^FI972159 509-812/1019