DE2442517A1 - Verfahren zur zuechtung von kristallen - Google Patents

Verfahren zur zuechtung von kristallen

Info

Publication number
DE2442517A1
DE2442517A1 DE2442517A DE2442517A DE2442517A1 DE 2442517 A1 DE2442517 A1 DE 2442517A1 DE 2442517 A DE2442517 A DE 2442517A DE 2442517 A DE2442517 A DE 2442517A DE 2442517 A1 DE2442517 A1 DE 2442517A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
solution
tio
crystal
grown
temperature
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE2442517A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2442517B2 (de
Inventor
Timothy Michael Bruton
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Gloeilampenfabrieken NV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Gloeilampenfabrieken NV filed Critical Philips Gloeilampenfabrieken NV
Publication of DE2442517A1 publication Critical patent/DE2442517A1/de
Publication of DE2442517B2 publication Critical patent/DE2442517B2/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B17/00Single-crystal growth onto a seed which remains in the melt during growth, e.g. Nacken-Kyropoulos method
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B29/00Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
    • C30B29/10Inorganic compounds or compositions
    • C30B29/16Oxides
    • C30B29/22Complex oxides
    • C30B29/32Titanates; Germanates; Molybdates; Tungstates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B9/00Single-crystal growth from melt solutions using molten solvents

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)

Description

PHB.32367. Va/EVPI.
Di pi.-Ing. HORSTAUER. O//oci7
PIf-I1; ν !t AhZO I / 28.8.1974.
Anmelder: N. V. PH.UrS' GLOElAMPtNFABRIEKEN
Akte: PHB-32.367
Anmeldung vom« 3· Sept. 1974
Verfahren zur Züchtung von Kristallen
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Züchtung eines Einkristalls aus Wismuttitanat (Bi^TioO^) , auf einen durch ein derartiges Verfahren gezüchteten Einkristall aus ΒϊκΤϊ^Ο.ρ sowie auf ein optisches Speicherelement mit einem derartigen Einkristall,
Einkristalle aus BiiTi0O10 wurden bisher durch spontane Bekeiraung gezüchtet, dadurch, dass eine Lösung von TiD„ in Bi^O« mit mindestens 10 Mol«/& in einem zugeschmolzenen Platintiegel auf 13000C erhitzt wurde, Dieses Verfahren geht aber langsam vor sich und liefert keine reproduzierbaren Kristalle mit' -nützlichen Abmessungen, wobei die erhaltenen Kristalle eine Dicke von 100/um aufweisen, was für Herstellung zu dünn ist,
509811/0836'
■ · · PHB.32367.
- 2 - . 28.8.74.
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Züchtung eines Einkristalls aus Bi^Ti^CKp aus Lösungen von TiO^. in Bi2°3 1^1*3 BigO^-EgO«,-Mischungen, das dadurch gekennzeichnet ist, dass die Temperatur der Lösung auf einen Wert eingestellt wird, die um nicht mehr als 50C die Sättigungstemperatur der Lösung überschreitet; dass die eingestellte Temperatur aufrechterhalten wird, während der Sättigungsgrad der Lösung dadurch erhöht wird, dass polykristallines TiO_ in der Lösung eingetaucht wird; dass das ungelöste polykristalline TiO2 aus der Lösung entfernt wird, und dass dann ein Bij/TioO.. .,-Keimkristall bei der genannten eingestellten Temperatur in die Lösung eingeführt und anschliessend die Lösung langsam abgekühlt wird. Die Lösung besteht vorzugsweise aus einer Lösung von TiO2 in Bi2C5 mit 12 - 17 Mol.# Ti0 2·
Wenn nach einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemässen Verfahrens das Bi2O- B„0„ enthält, stellt sich heraus, dass Kristalle bei einer niedrigeren Temperatur als bei Anwendung von Bi-O« allein gezüchtet werden können und dass die Durchsichtigkeit der erhaltenen Kristalle besser als die Durchsichtigkeit von Kristallen ist, die aus Bi2O,. allein gezüchtet sind. Vorzugsweise wird eine Lösung mit 12 Mol. fo TiO2, 78 ■- 44 Mol,$ BipO- und 10-44 M0I-.5S Bp0T verwendet. Der Keimkristall kann in die Lösung eingeführt werden, wenn 'diese gesättigt oder untersättigt.ist. Der Kristall kann· in einer Atmosphäre gezüchtet
509811/083 6
PHB.32367.
werden, die Luft enthält, die gegebenenfalls mit höchstens 0,5 Atm. Sauerstoff angereichert ist.
Durch das erfindungsgemässe Verfahren sind auf reproduzierbare Weise Kristalle mit Abmessungen von 15x10x1 ram und einer hohen Güte gezüchtet. Die Zeit pro Behandlung betrug 5 Tage im Vergleich zu 20 Tagen bei Anwendung des obengenannten spontanen Bekeimungsverfahrens. . Die Erfindung wird nachstehend beispielsweise an Hand der Zeichnung naher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 einen Teil des Phasendiagramms des Systems
Fig. 2 eine Ansicht eines Gerätes zum Durchführen des erfindungsgemässen Verfahrens,
Fig. 3 einen Teil des Schnittes durch das Gerät nach Fig. 2 längs der Linie III-III in Fig. 2 mit der Anordnung eines Keimkristallhalters und einer polykristallinen TiO„-Quelle in bezug auf eine Abstützung,
Fig. h eine Ansicht einer Muffe, die einen Teil des Gerätes nach den Fig. 2 und 3 bildet, und Fig. 5 das Phasendiagramm des ternären Systems
- TiO2.
BEISPIEL 1
Einkristalle aus Bij,Tio012 werden unter Vervendung des Gerätes nach'den Fig. 2 und 3 gezüchtet. Ein Ofen wird dabei verwendet, der aus einem, senkrecht angeordneten Rohr aus Aluminiumoxid besteht, das mittel Erhitzungselemente 2
509811/0 836
• ■ ' PHB.32367.
aus Siliciumcarbid erhitzt wird und in einer Ofenumhüllung 3 untergebracht ist. Ein zylindrischer Platintiegel 5 mit einem Durchmesser von 35 nun und einer Höhe von 35 1111D, der von einem Fussgestell 6 abgestützt wird, enthält eine Lösung 4, aus der der Kristall gezüchtet wird. Ein Thermoelement 7 wird am Boden des Tiegels 5 festgeschweisst und die Leitungen 8 des Thermoelementes erstrecken sich durch die Bohrung des Fussgestells 6 bis ausserhalb der Ofenumhüllung 3.
Eine polykristalline Quelle 9 und ein Bi^Ti^O.. --Keimkristall 10 werden an einem"20 mm langen Platindraht mit einem Durchmesser von 0,5 nun mittels Querstücke 11 und 12 aufgehängt, die von keramischen Stäben 13 bzw, 14 mit einem Durchmesser von 4 mm getragen werden und sich durch Oeffnungen in einer keramischen Deckplatte 15 auf dem oberen Ende des Rohres 1 erstrecken. Ein Fenster 16 aus Siliciumoxid ist in der mittleren Zone der Deckplatte 15 angeordnet, um die Lösung 4 während des Vorgangs beobachten zu können. Die keramischen Stäbe 13» 14 sind mit Stahlstäben mit (nicht dargestelltem) Gewinde 17» 18 verbunden, die durch Messingmuffen 19 bzw, 20 geführt sind'und von einer Aluminiumplattform 21 getragen werden, die von vier■AluminiumsehenkeIn 22 abgestützt wird, die auf der Ofenumhüllung 3 ruhen. Die senkrechten Lagen der polykristallinen Quelle 9 und des Keimkristalls 10 in bezug auf die Lösung 4 sind mit Hilfe von Muttern .23» 24 eingestellt, die mit den Gewindestäben 17
509811/0836
PUB.32367.
bzw» 18 zusammenarbeiten. Die Gewindestäbe 17» 18 sind mit je radial verlaufenden Einstellstiften 25 bzw. 26 versehen, die in Schlitze 27, 28 in den Muffen 19, 20 passen und mit deren Hilfe die polykristalline Quelle 9 und der Keimkristall in die gewünschten Lagen gesetzt werden können.
Fig. 4 zeigt den Schlitz 27 in der Muffe 19, wobei sich die Stifte 25 in dem Schlitzteil 29 befinden, wenn die' polykristalline Quelle 9 die in Fig. 3 mit vollen Linien dargestellte Lage einnimmt. Die polykristalline Quelle 9 wird in die in Fig. 3 mit gestrichelten Linien dargestellte Lage gesetzt, dadurch, dass der Stab 17 gehoben wird, wodurch der Stift 25 am oberen Ende des Schlitzteiles 29 befindlich ist und der Stab 17 gedreht wird, so dass der Stift 25 durch den Schlitzteil 30 geführt wird, wonach der Stab 17 gesenkt wird, so dass der Stift 25 im Schlitzteil 31 befindlich ist. Der Schlitz 28 ist dem Schlitz 27 ähnlich und mit diesem Schlitz kann der Keimkrist'all auf ähnliche Weise positioniert werden.
150 g eines Gemisches von "Grade -I" Bi2O,, und TiO2 mit 17 MoI.50 TiO2 wird hergestellt und die Stoffe werden gemischt und in einen Platintiegel 5 eingeführt. Das·Gemisch wird in dem Tiegel durch Erhitzung in Luft in einem Muffelofen bei 95O0C gesintert, um die Masse kompakt zu machen. · Der Tiegel 5 wird dann in das in den Fig. 2 bis 4 gezeigte Gerät gesetzt und 24 Stunden lang auf eine Temperatur von 10°C oberhalb der Liquidustemperatur (die für eine I7 "-"· ^
509811/0836
PHB.32367.
TiOg-Lösung 93O0C ist) erhitzt, um eine homogene Lösung herzustellen. Die Atmosphäre im Gerät während des ganzen Kri-stallzüchtungsvorgangs besteht aus Luft, Die Lösung h wird dann auf 50C·oberhalb der Liquidustemperatür gekühlt und die polykristalline TiO2-Quelle 9» die aus einem Stab mit einem Gewicht von 2 g besteht, wird in die Lösung h eingeführt und darin 1 Stunde lang eingetaucht gehalten. Die Lösung h bleibt in gesättigtem oder etwas ungesättigtem Zustand zurück, nach dem Entfernen der polykristallinen Quelle 9 aus der Lösung. Ein Bi^Ti„012-Keimkristall 10 mit einem Gewicht von 80 mg wird anschliessend in die Lösung h eingeführt und der Tiegel 5 wird um 0,5 °C/Stunde abgekühlt. Der Keimkristall 10 ist eine Platte mit einer (001)-Fläche, die zu der Oberfläche der Lösung h parallel liegt. Die Abkühlung wird mit dieser Geschwindigkeit 40 Stunden lang fortgesetzt, wonach der gezücht.ete Kristall aus der Lösung h entfernt wird, wobei die Temperatur des Tiegels von 8000C an um 500C pro Stunde herabgesetzt wird, wonach die Speisung für die Erhitzungselemente 2 abgeschaltet wird. Der gezüchtete Kristall wird innerhalb des Rohres 1 auf Zimmertemperatur abgekühlt und alle festklebende erstarrte Lösung wird dadurch entfernt, dass der Kristall in 18 Gew.^ HCl auf· .8O0C 6 Stunden lang eingetaucht wird.
Es hat sich herausgestellt, dass Bi^Ti^O 2-Kristalle mit Abmessungen· von 10 χ 10 χ 1 mm auf reproduzierbare Weise mittels dieses Verfahrens gezüchtet werden können. Dieselbe
5098 11/0836
• ■ · PHB.32367.
- 7 ·* " 28.8,74.
Schmelze kann aufs neue verwendet werden, obgleich die Liquidustemperatur nach jeder Behandlung abnimmt, je nachdem der Titangehalt der Lösung kleiner wird. BEISPIEL 2 .
Einkristalle aus Bi^Ti^O^g werden aus einer Lösung
von TiOp in einem Gemisch von P2^T όω& Bi2O,, gezüchtet* Ein Platintiegel mit einem Durchmesser von 50 mm und einer Höhe von 50 mm wird in dem im Beispiel 1 an Hand der Pig. und 3 gezeigten Gerät verwendet. Ein Gemisch von 172 g BipO„, 31 g H3BO3 und 7 g TiO2 (all diese Stoffe sind "Grade-I" Stoffe der Firma Johnson und Matthey Chemicals Ltd) wird in dem Platintiegel angebracht und der gefüllte Tiegel wird in Luft auf 9500C in einem Muffelofen erhitzt, um die Masse kompakt zu machen. Der Tiegel_ wird dann zu dem in d^en Fig. bis k dargestellten Gerät befördert und 16 Stunden lang auf eine Temperatur von 100C oberhalb der Liquidustemperatur erhitzt. Die Lösung k wird dann auf 50C oberhalb der Liquidustemperatur abgekühlt. Das Eintauchen der polykristallinen TiO2-Quelle 9, die Kristallzüchtung, die Abkühlung und das Spülen des gezüchteten Kristalls erfolgen auf die im Beispiel i beschriebene Weise, ·
Kristalle mit ähnlichen Abmessungen, aber mit einer besseren Durchsichtigkeit als bei Anwendung von Bi20„-Ti02 ohne BoO„ werden nun erhalten, 'die eine vollständigere Fazettierung aufweisen, ·
Einkristalle, die durch das erfindungsgemässe Verfahren hergestellt sind, können in optischen Speicherelementen verwendet werden.
5098 11/0836 .

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUSCHE;
    1. Verfahren zur Züchtung eines Einkristalls aus BirTi^O aus Lösungen von TiOp in. Bi2O- und Bi2O--BpO„ Mischungen, dadurch gekennzeichnet, dass die Temperatur der Lösung auf einen Wert eingestellt wird, der nicht mehr als 5°C oberhalb der Sättigungstemperatur der Lösung liegt j dass die eingestellte Temperatur aufrechterhalten wird, während der Sättigungsgrad der Lösung durch Eintauchen polykristallinen Titanoxide (TiO2) in die Lösung erhöht wird; dass das ungelöste polykristalline TiO2 aus der Lösung entfernt wird, wonach ein Bij-TioO..2-Keimkristall in die die genannte eingestellte Temperatur aufweisende Lösung gebracht wird, und dass dann die Lösung langsam gekühlt wird, 2, Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Lösung aus einer Lösung, von TiO2 in Bi_0~ mit 12-17 Mol.# TiO2 besteht.
    3» Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Lösung 12 llol.fi TiO2, 78 - hk Mol.# Β^ζ°η und 10 - 44 Mol.^S B2O enthält.
    4» Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Kristall in Luft gezüchtet wird.
    5· Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,
    dadurch gekennzeichnet, dass die Lösung gesättigt wird, ehe der Keimkristall in die Lösung ejjngeführt wird.
    50 98 11/083 6
    Pirn. 32367 - "9 - 28.8.7^.
    6. Einkristall aus Bi^Ti^O.. _ , der durch ein Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche gezüchtet ist.
    7· Optisches Speicherelement, das einen Einkristall aus BijjTi^O nach Anspruch 7 enthält.
    509811/0836
    Leerseite
DE2442517A 1973-09-11 1974-09-05 Verfahren zum Züchten eines Bi4 Ti3 O12 -Einkristalls Withdrawn DE2442517B2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB4262973A GB1381430A (en) 1973-09-11 1973-09-11 Method of growing crystals

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2442517A1 true DE2442517A1 (de) 1975-03-13
DE2442517B2 DE2442517B2 (de) 1978-04-20

Family

ID=10425283

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2442517A Withdrawn DE2442517B2 (de) 1973-09-11 1974-09-05 Verfahren zum Züchten eines Bi4 Ti3 O12 -Einkristalls

Country Status (7)

Country Link
US (1) US3962027A (de)
JP (1) JPS5055587A (de)
BE (1) BE819706A (de)
DE (1) DE2442517B2 (de)
FR (1) FR2243019B1 (de)
GB (1) GB1381430A (de)
NL (1) NL7411911A (de)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3584240D1 (de) * 1984-12-29 1991-10-31 Sony Corp Verfahren zur herstellung von feinen wismuttitanatpulvern.
US4721539A (en) * 1986-07-15 1988-01-26 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Large single crystal quaternary alloys of IB-IIIA-SE2 and methods of synthesizing the same
US5514484A (en) * 1992-11-05 1996-05-07 Fuji Xerox Co., Ltd. Oriented ferroelectric thin film
US7340303B2 (en) * 2001-09-25 2008-03-04 Cardiac Pacemakers, Inc. Evoked response sensing for ischemia detection
US20090036564A1 (en) * 2007-08-03 2009-02-05 Feng-Huei Lin Bio-Degenerable Bone Cement and Manufacturing Method thereof

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA679071A (en) * 1964-01-28 Robert C. Linares, Jr. Garnet growth from barium oxide-boron oxide flux
GB989907A (en) * 1962-11-16 1965-04-22 Owens Corning Fiberglass Corp Crystalline fibres of titania, zirconia and/or zircon
US3677718A (en) * 1969-05-05 1972-07-18 Corning Glass Works Technique for flux growth of barium titanate single crystals

Also Published As

Publication number Publication date
GB1381430A (en) 1975-01-22
US3962027A (en) 1976-06-08
DE2442517B2 (de) 1978-04-20
FR2243019B1 (de) 1977-11-04
BE819706A (fr) 1975-03-10
FR2243019A1 (de) 1975-04-04
NL7411911A (nl) 1975-03-13
JPS5055587A (de) 1975-05-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2643793C2 (de) Verfahren zum Züchten von einkristallinem Seltenerdmetall-Eisen-Granat
DE1667657B2 (de) Verfahren zur herstellung von siliciumkarbidwhiskers
DE1034772B (de) Verfahren zum Ziehen von spannungsfreien Einkristallen fast konstanter Aktivatorkonzentration aus einer Halbleiterschmelze
DE2122192B2 (de) Verfahren zur Vorbehandlung von beim Züchten von halbleitenden Kristallen als Einschließungsmittel verwendetem Boroxid
DE2442517A1 (de) Verfahren zur zuechtung von kristallen
DE1256202B (de) Verfahren zum Herstellen homogener stabfoermiger Kristalle aus einer Schmelze
DE112008000877T5 (de) Einkristall-Zuchtverfahren und Ziehvorrichtung für Einkristalle
DE2434251A1 (de) Einkristall auf der basis von galliumgranat
DE3111657C2 (de) Verfahren zur Herstellung von Magnetschichten auf Substraten mit Granatstruktur
DE3709731A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur einkristallzuechtung
DE1619993A1 (de) Verfahren zum Zuechten eines stabfoermigen Einkristalls aus Halbleitermaterial durch tiegelfreies Zonenschmelzen
DE1719024A1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Stabes aus Halbleitermaterial fuer elektronische Zwecke
DE2161072B2 (de) Verfahren zur Herstellung eines Einkristalls aus einer Halbleiterverbindung und Schiffchen zur Durchführung dieses Verfahrens
DE3321201C2 (de) Tiegel zum Kristallziehen
DE1233833B (de) Verfahren zur Herstellung eines Einkristalls, insbesondere Halbleitereinkristalls
DE69209564T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Flüssigphasenepitaxie
DE2208150C3 (de) Synthetischer Korund-Einkristall, Verfahren zu seiner Herstellung und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE2217301C3 (de) Verfahren zum epitaktischen Aufwachsen kristallisierbaren Materials
DE2624990A1 (de) Verfahren zur herstellung von puo tief 2
DE2128506A1 (de) Verfahren zum Herstellen von einkristallinen Halbleiterstäben, insbesondere aus Silicium, welche frei von Kristallversetzungen, insbesondere in Form von Swirls, sind
DE2132338A1 (de) Verfahren zum herstellen von halbleiterstaeben durch ziehen aus der schmelze
AT223659B (de) Verfahren zur Herstellung von versetzungsfreiem einkristallinem Silizium durch tiegelfreies Zonenschmelzen
DE1419289A1 (de) Verfahren zum Herstellen dotierter Halbleiterkoerper
DE2137088A1 (de) Verfahren zum Herstellen von Kristallen
DE4112298A1 (de) Verfahren zur herstellung eines rutil-einkristalls

Legal Events

Date Code Title Description
BHJ Nonpayment of the annual fee