DE2442408A1

DE2442408A1 - Verfahren zur betaetigung eines gaslasers

Info

Publication number: DE2442408A1
Application number: DE2442408A
Authority: DE
Inventors: Ethan Dexter Hoag; Henry Ellsworth Pease
Original assignee: Avco Everett Research Laboratory Inc
Current assignee: Avco Everett Research Laboratory Inc
Priority date: 1973-09-04
Filing date: 1974-09-03
Publication date: 1975-03-06
Also published as: SE393901B; DE2442408C2; CH585979A5; JPS5755239B2; USB394350I5; GB1448536A; US3982200A; FR2242791A1; FR2242791B1; IL45517A; SE7410615L; IL45517A0; JPS5056892A; CA1015436A; IT1020421B

Description

1 BERLIN 33 8 MÜNCHEN 80

Auguste-Viktoria-StraBe 65 _n n||CPU|/C Λ DADTMCD PienzenauerstmBe 2

Pat.-Anw. Dr. Ing. Ruschke L)T. KUoL-MM: Ot TAKIINtK Pat.-Anw. Dipl.-lng.

Pat.-Anw. Dipl.-lng. P AT F N TA N W Ä I TE ^{HatlS E# Ruschke}

Olaf Nuschke ΓΑΙ CIN IAINVVALI C .„,980324

roiefon: 030/1»»« BERLIN - MÜNCHEN ^TeIefon: ^089/987268

Telegramm-Adresse: Telegramm-Adresee:

Quadratur Berlin Qudadratur München

TELEX: 183786 TELEX: 522767

Avco Everett Research Laboratory, Inc., Everett, Massachusetts, U.St.A.

V/erfahren zur Betätigung eines Gaslasers

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Betätigung eines Gaslasers mit einer Beschleunigungskammer und einer von dieser durch ein dünnes Diaphragma getrennten Trägerkammer. Ein derartiger Gaslaser ist z.B. in der US-PS 3 7o2 973 beschrieben.

In einem elektronenstrahlstabilisierten Gaslaser sind zwei benachbarte Hammern vorgesehen, uobei in und/oder durch die eine Hammer - die Haupt- ader Trägerkammer - das Lasermedium in Abhängigkeit vom Aufbau des Lasers strömt und in der anderen Hammer - der Beschleunigungskammer - der Elektronenstrahl erzeugt wird. Diese beiden Hammern sind voneinander durch ein elektronendurchlässiges, gasundurchlässiges Diaphragma getrennt, das gewöhnlich von einer nadellochfreien Aluminiumfolie einer Dicke von o,1 bis o,5 mol gebildet uiird. Die Beschleunigungskammer muß auch bis zu einem Hochvakuumniveau von ungefähr 1o Torr evakuiert und bei diesem Niveau gehalten werden. Auf der anderen Seite uiird die Haupt- oder Trägerkammer bis auf den Arbeitsdruck des Lasergases von ungefähr 1/1o Atmosphären (5o bis 1oo Torr) evakuiert. Im Dauerzustandsbetrieb ergibt sich daher ein erwartetes Druckgefälle von ungefähr 1/1o Atmosphären bis 9d Torr) an dem Diaphragma. Letzteres ist so ausgelegt, daß es' diesem

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erwarteten Druckqefälle widersteht, jedoch nicht einem wesentlichen größeren Druckgefälle. Die Bemessunqsbegrenzung uird vorgenommen, um größere Dicken als notwendig zu vermeiden, da bei gegebener Beschleunigungsspannung weniger Elektronen durch eine dickere Folie oder ein anderes Diaphragma in die Hammer eindringen wurden, was ein Senken der oberen Leistungsgrenze des Laserstrahls zur Folge haben würde.

Um andererseits zu bewirken, daß die gleiche Zahl an Elektronen durch eine dickere DiaphragmafDlie tritt, müßte eine höhere Beschleunigungsspannung anaelegt werden. Dies würde wiederum die Erzeugung energiereicherer Röntgenstrahlen (X-Strahlen) erfordern. Wenn die Folie zerbricht, muß sie ausgewechselt werden, was ein Entlüften und einen Zeitverlust von mehreren Stunden mit sich bringt, die zum Auswechseln eines Diaphragmas notwendig sind. Bei vielen Verfahren ist eine kontinuierliche Instandhaltung einer derartigen Lasereinrichtung unter l/akuumbedingungen erwünscht.

Ein entscheidendes Ziel der Erfindung ist es, für sehr dünne Folien oder andere Zwischenwandungen zur Trennung der beiden Kammern eines Gaslasers zu sorgen. Ein weiteres Ziel der Erfindung ist es, für eine V/errinaerung der notwendigen Beschleunigungsspannung für einen Gaslaser zu sorgen.

Ferner ist es ein Ziel der Erfindung, für eine Reduktion einer zufälligen Röntgenstrahlenerzeugung in einem Gaslaser zu sorgen. Ein weiteres Ziel der Erfindung ist es schließlich, die Lebensdauer des Diaphragmas im Gaslaser zu erhöhen und insbesondere Instandsetzungen oder Auswechslungen des Diaphragmas und damit ein Außerbetriebsetzen des Lasers auszuschließen.

Die Erfindung schafft ein l/erfahren zum Betätigen eines Gaslasers mit einer Beschleunigungskammer und einer von letzterer durch ein dünnes Diaphragma getrennten Trägerkammer, daß sich dadurch kennzeichnet, daß fortlaufend Druckproben aus jeder Hammer während ihrer gleichzeitigen Evakuierung entnommen werden, daß ein fortlaufendes Druckgefällesignal erzeugt wird, d'aß letzteres zwecks Modulierung der Evakuierungsgeschwindigkeit der Beschleunigungskammer während der anfänglichen Evakuierung der beiden Kammern verwendet wird, daß die fortlaufende Erzeugung des Druckgefällesignals fortgesetzt und letzteres

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ORIGINAL INSPECTED

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zur Modulierung der Geschwindigkeit der kliederfüllung der Trägerkammer mit dem Lasermedium verwendet wird, uorauf mährend des Laserbetriebs die fortlaufende Erzeuquno eines Druckgefällesignals fortgesetzt und der Druck in der Trägerkammer dadurch moduliert wird, und daß mährend der genannten Arbeitsstufen ein Druckqefälle innerhalb 2/1o einer Atmosphäre am Diaphragma aufrechterhalten wird.

Die ßeschleunigunnskammer und die Haupt- oder Trägerkammer werden vorzugsweise durch aetrennte Pumpen oder Pumpensysteme evakuiert. Der Unterschied hinsichtlich der Größe der Kammern und der Temperaturen darin sowie der Unterschied hinsichtlich der Geschwindigkeiten, mit denen die Pumpen jeweils arbeiten, bewirken, daß die Kammern mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten evakuiert werden, und daß letztere sich bei unterschiedlichen Höhen verändern. Während des Betriebs des Lasers kann der Druck in der Trägerkammer in einem dynamischen Gleichgewicht gehalten werden, indem gleichzeitig Lasergas in dif? Kammer zugeführt und aus letzterer abgezogen wird. Nach Betrieb des Lasers können beide Kammern wieder belüftet, d.h. mit Luft ader einem Inertnas wiedergefüllt werden. Bei allen diesen Arbeitsvorgängen besteht die Gefahr der Bildung vorüberqehender Druckgefälle an der Trennwand, die über dem Nennberstdruck liegen können, falls das Diaphragma derart ausgebildet ist, daß es nicht mit einem Sicherheitsfaktor für Nenndruckgefälle insgesamt oder teilweise ausoelent ist, um obengenannte Probleme einer Überspannung und ninp.r zugeordneten Röntaenstrahlerzeugung bei dickeren Diaphragmen zu vermeiden.

t-ine Differenrriruckzelle findet vorzuasweise Anwendung, um für ein kontinuierlichpn Gigna; nrmartianal zur Diffsrenz der Drucke in den beiden Kammern zu SDrI¹Ci-. Hi er hei '> inn es sich entweder um ein elektrisches oder pneumatisches 3in,r handed, ^:» nachdem wie es anfänolich in einem auf ein Druckgefälle ansrrr":hendnn Mtv rößenwandler erzeunt wird.

Das Ausnann: s ι nr dEr Differenzdruckzellp kann einer Programmreglereinrichtunr ίύηηΡΓπ in- ,jprden, die einen wirksanEn Sollwert zur Verhinderunn eines Druckaefalles .-m ^chen den Kammern oder Einer Überschreitung eines voraenenenen Werten ajf'wpist. Bei Bildung einen nrüHer als gewünschten oder vurneaebenen Druckr.efiillps bewirkt der Programmrealer eine Betätigung der Ventile

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in den Pumpensystemen (eingeschlossen die Gasrückfüllsteuerung) für jede Hammer, um diese Pumpensysteme zu steuern. Eine solche Steuerung kann eine Aussteuerung von Strömungsventilen oder eine Aussteuerung von Pumpengeschwindigkeiten einschließen, indem durch Aus- oder Einschalten der Pumpen ihre Geschwindigkeit oder die von ihrer Betätigung bewirkte Gasströmung eingestellt wird.

Beim Anfahren ist der Druck anfänglich in beiden Hammern gleich. D.h. das Druckgefälle an dem Disphragma ist Mull. Beide Pumpensätze der Pumpenstationen werden in Betrieb gesetzt und arbeiten jeweils mit weit geöffneten Ventilen. Wegen der Art und der Dimensionierung der Pumpen sowie der Dimensionierung der Hammern und deren Honduktanz wird die Beschleuniqungskammer schneller evakuiert als die Trägerkammer. Der Druck fällt in der Beschleunigungskammer schneller als in der Trägerkammer, bis das Druckgefälle zwischen ihnen einen Sollwert erreicht, bei dem der Programmregler ein Steuersignal erzeugt, das eine Verringerung der Pumpengeschwindigkeit und eine Modulation in der Weise bewirkt, daß das Druckgefälle am Diaphragma im wesentlichen konstant gehalten wird. Bei Fortfahren der Evakuierung verändern sich die Pumpmengen bei niedrigeren Drucken, die·in den angeführten Drückbereichen einbezogen sind.

Wenn der absolute Druck in der Trägerkammer unter den Sollwert z.B. des Betriebsdrucks der Trägerkammer von annähernd 7o Torr fällt, kann das ausgesteuerte Ventil zu einem vollgeöffneten Zustand moduliert und beide Hammern mit der maximal möglichen Geschwindigkeit evakuiert werden, der nur von der Pumpenleistung und den Leitungsimpedanzen bestimmt wird. Ηίει^εΐ handelt es sich um eine Anfanqsreinigungsphase, die dazu bestimmt ist, jegliche Luft, Wasser-dampf* oder andere fremde Dämpfe aus den beiden Hämmern zu entfernen.

Im Zeitpunkt, in dem die Trägerkammer ein geeignetes Reinigungsdruckniveau (d.h. ein Mikron) erreicht, wird die Beschleuniaungskammer είηεη Druck in der Größenordnunq von 1o Torr eingenommen haben. Diese Druckdifferenz tritt auf, weil Pumpen, die zum Evakuieren der Beschleunigungskammer am besten geeignet sind, für ein schnelleres Pumpen bei niedrigen Drucken ausgelegt sind, als Pumpen, die am besten für ein Evakuieren der Trägerkammer geeignet sind.

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Da ein Druck von 1o~ Torr im Vergleich zu einem Druck von 7o Torr (Betriebadruck) sehr viel geringer ist, wird die Beschleunigungskammer als Bezugskammer zur Festlegung des absoluten Druckes in der Trägerkammer verwendet. Daher entspricht das Druckgefälle am Diaphragma in der Tat dem absoluten Druck in der Trägerkammer.

Nach Vollendung dieser Reinigungsphase ist die Beschleunigungskammer im wesentlichen betriebsbereit, und die Trägerkammer ist nun Für die zweite Phase bereit. Um dies auszuführen, wird nun die Ventilsteuerung von dem Druckventil der Beschleunigungskammer auf das Gasfüllventil umgeschaltet. Dies geschieht in der Weise, daß, falls der absolute Trägerdruck (d.h. das jetzt am Diaphragma vorliegende Druckgefälle) unter 7o Torr liegt, das Füllventil, das den in die Trägerkammer abgegebenen Lasergasstrom steuert, weit geöffnet ist. Wenn sich der Druck des Lasergases dem gewünschten Wert von 7o Torr nähert, wird das Füllventil veranlaßt, sich zu schließen und bei Erreichen des Druckes von 7o Torr ist es schließlich vollkommen geschlossen. Das Signal, das von dem Programmregler zu dem gesteuerten Ventil (d.h. in diesem Fall dem Füllventil) geleitet wird, wird vorzugsweise auch auf einen Druckschalter eingegeben, der eingestellt wird, um Lasergasgebläse in der Trägerkammer mit einem Druck gerade unterhalb des Sollwertes einzuschalten. Hierdurch wird eine wesentliche Kosteneinsparung bei der Herstellung des Lasers erzielt, da auf diese Weise die Notwendigkeit eines anderen kostenintensiven Druckschalters zur Erzielung der genannten Funktion eingespart wird.

Das System ist nun für die dritte Phase fertig, d.h. für den wirksamen Betrieb eines Lasers. Wenn ein Laser effektiv in Betrieb ist, ist eine konstante elektrische Entladung in dem Laserstrahlbereich des Lasers vorhanden. Dies bewirkt, daß sich bestimmte chemische Veränderungen in dem Lasergasgemisch vollziehen. Diese fremden Gassorten bauen im allgemeinen den Betrieb des Lasers ab und aus diesem Grund wird das Gas vorzugsweise konstant wieder aufgefüllt. Die dritte Phase der Steuerungsfolge wird in folgender Weise durchgeführt. Stromab vom Füllventil ist eine Mischsammelleitung vorgesehen, die alle geeigneten Gase bei konstanter Geschwindigkeit zuführt und mischt. In der dritten Phase ist das Füllventil weit geöffnet und der Pragrammregler wird vom Füllventil auf das zwischen der Trägerkammer und der Trägerpumpe angeordnete TrMgerkammerventil umgeschaltet, so daß das zugemessene Lasergas mit konstanter und geeigneter d.h. für ein Füllen mit einer geeigneten Lasergasmischung

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Geschwindigkeit eingeführt wird, während die Auspumpgeschwindigkeit reguliert wird, um einen geeigneten Druck in der Trägerkammer mittels Modulierung des Evakuierungsventils aufrechtzuerhalten.

Die vierte und letzte Phase ist die der Entlüftung. Wenn die Vorrichtung zwecks Bedienung außer Betrieb gesetzt wird, ist sie zu öffnen und die beiden Kammern sind auf atmosphärischen Druck zu fluten. Um dies auszuführen, wird der Programmregler auf ein Beschleunigungsventil umgeschaltet, das Helium oder ein anderes Inertgas in die Beschleunigungskammer einströmen läßt. Wenn die Entlüftungsphase eingeleitet wird, wird ein Ventil geöffnet, das Luft in die Trägerkammer einströmen läßt. Da der Druck in der Trägerkammer ansteigt, steuert der Programmregler das Füllventil der Beschleunigungskammer in einer Weise, um ein konstantes Druckgefälle von annähernd 1/1o Atmosphären am Diaphragma bei Füllung beider Kammer aufrechtzuerhalten. Dies entspricht der anfänglichen Evakuierungsphase in umgekehrter Weise.

Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung der einzigen Figur der Zeichnung, die ein schematisches Schaubild eines zwei Kammern aufweisenden Gaslasers mit einer Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens gemäß der Erfindung darstellt.

Die Trägerkammer 1o wird über ein einen Ventilantrieb 13 aufweisendes Ventil sowie ein Pumpensystem 1*t mit einem atmosphärischen Endauslaß 15 evakuiert.

Die Trägerkammer 1a kann ein abdichtbares Gehäuse mit entfernbaren Endteilen oder dgl. aufweisen, das die notwendigen Komponenten für einen Gasentladunqslaser mit zwei elektrisch auspumpbaren Kammern sowie mit Elektronenstrahlstabilisierung enthält.

Die zum Zwecke der Erfindung erforderlichen, sich im Gehäuse befindlichen Komponenten können als eine Trägerkammer angesehen werden, da das gesamte Innere des Gehäuses den gleichen Druck aufweist, der in dem Laserstrahlbereich erforderlich ist, eingeschlossen ein Wärmeaustauscher, Gebläse oder Pumpen zur Zirkulation des Lasergases, Elektroden, die einen Teil des elektrischen Pumpenkreises bilden, ein optischer Hohlraum und Kanäle, die ein Gasströmungssystem oder einen Windkanal innerhalb der Trägerkamner zur Schaffung einer Gas-*

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strömung durch den Laserstrahlbereich an dem optischen Hohlraum bilden.

Die Kammer 1o kann mit einem Lasergas über ein einen Antrieb 17 aufweisendes Ventil 16 gefüllt werden. Ein derartiges Lasergas kann in einem Verhältnis von 3:2:1 von Helium:Stickstoffkohlendioxid oder irgendeinem Kohlenmonoxid, Wasserdampf, Schwefeldioxid, Zyanid, Distickstoffoxid, Wasserstoff, Argon, Verbindung des letzteren oder einem anderen Gas oder bei dieser Technik an sich bekannten Verbindungen aufweisen. Am Ende eines vollständigen Verwendunqszyklus kann die Trägerkammer insgesamt oder teilweise durch ein geeignetes Uiederfüllinertgas über ein Wentil 18 oder alternativ in der weise gelüftet werden, daß sie einfach über ein Ventil 18a mit der Außenluft in Verbindung gesetzt wird, wobei jedoch der erstere Uleg bevorzugt wird, da eine Entlüftung mit Inertgas eine schnellere Wiederaufnahme des nächsten Zyklus ermöglicht und die Reinheit der Trägerkammer nach anfänglicher Durchführung eines ersten Pumpenzyklus aufrechterhält.

Eine Beschleunigungskammer 2o, die eine Elektronenquelle 21 (eingeschlossen Elektronenbeschleunigunqselemente) enthält, wird über ein einen Antrieb 23 aufweisendes Ventil 22 und ein Pumpensystem Zk mit einem Endauslaß 25 evakuiert. Am Ende des vollständigen Arbeitszyklus kann die Beschleunigungskammer vollständig oder teilweise mit einem Gas von einer geeigneten Inertgasquelle über ein einen Antrieb 27 aufweisendes Ventil 26 gefüllt werden.

Die beiden Kammern 1o und 2o sind durch eine geeignet gelagerte, dünne Folie 3a, vorzugsweise durch eine Aluminiumfolie von einer Dicke zwischen 1/1o und 1/2 mil bei nadellachfreier Qualität, druckgasisoliert. Die Folie ermöglicht den von der Elektronenquelle 21 erzeugten Elektronen, in die Trägerkammer 1o einzudringen.

Eine auf ein Druckgefälle ansprechende Zelle 3o kann einen Balg oder ein Diaphragma mit einer Kammer auf jeder Seite des letzteren aufweisen, wobei diese Kammern mit den Kammern 1o bzw. 2o verbunden sind und eine herkömmlich balg- oder diaphragmabetätigte Stange oder eine elektrische oder pneumatische Abtasteinrichtung (nicht dargestellt) aufweisen, um ein Ausgangssignal zu erzeugen. Als Zelle 32 wird eine an sich bekannte Vorrichtung mit einer Gasquelle gewählt, die in Übereinstimmung mit der Druckdifferenz zwischen den

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beiden Eingängen der Vorrichtung modulierbar ist. UJIe dargelegt wurde, werden die Eingangsdrucke über Druckleitungen zu den Kammern 1o und 2o angeliefert.

Der Ausgang der Zelle 32 wird einem Programmregler 34 eingegeben, der z.B. eine herkömmliche logische Schaltung aufweisen kann, die durch verschiedene, für den Betrieb des Lasers vorgesehene Steuerschalter betätigbar ist. Derartige Schalter (nicht dargestellt) können z.B. Schalter zum Ein- und Ausschalten des Systems, zum Evakuieren einer Kammer, zum Gaseinfüllen, zum Ein- und Ausschalten des Gebläses, zum Öffnen und Schließen eines Austrittsfensters, zum Ein- und Ausschalten der Trägerspannung, zum Ein- und Ausschalten des Elektronenstrahls, zum Uiedereinfüllen usw. aufweisen. Daher werden bei Betätigung des Laserbetriebsschalters oder der Schalter die geeigneten Ventilantriebe, wie in der Zeichnung dargestellt, betätigt. Die einzelnen Einrichtungen zur Erzielung der gewünschten Programmsteuerung können beliebige Form oder beliebigen Aufbau, wie z.B. eine Handbetätigung, einen logischen Schaltkreis oder elektrische sowie pneumatische Systeme aufweisen.

Der Prograrnmregler wird wahlweise zur Betätigung irgendeines Ventilantriebs 13, 17, 23 und 27 auf letzteren im Sinne einer Ventilschließung ader -öffnung geschaltet.

Der Proqrammregler 3k schaltet die Steuerung zwischen vier Stellungen I, II, III und IV. In Stellung I ist die Steuerung zu dem Antrieb 23 parallelgeschaltet, um das Ventil 22 abzuschalten, wenn der Sollwert des Programmreglers (typischerweise 1/1o Atmosphären) erreicht, wodurch die Evakuierungsqeschwindigkeit der Beschleuniqungskammer im Verhältnis zu der der Träqerkammer verlangsamt wird. In Stellung II wird das Sinnal zu dem Antrieb 17 abgeleitet, um das Ventil 16 zwecks Füllung der Trägerknmmer auf für einen Betrieb des Lasers geeigneten Druck zu öffnen oder zu schließen. Das von der Differentialzelle 32 zum Programmregler 3k geleitete Signal wird auch einem Druckschalter 1oo eingegeben. Wenn der Druck einen vorbestimmten Wert erreicht, der an den Betriebswert herankommt, wird der Druckschalter 1oo bestätigt, wodurch wiederum ein Relais (nicht dargestellt) betätigt wird, das ein Gebläse 1o1, das einen Teil des in der Trägerkammer 1o angeordneten Uindkanals 1o2 aufweist, einschaltet. In Stellung III wird die Programmsteuerung zu dem Ventil 12 über den Antrieb 13 geschaltet. Gleichzeitig wird das Ventil 16 durch ein getrenn-

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tes, nichtmodulierendes Signal geöffnet, sd daß Lasergas mit konstant bemessener Geschwindigkeit in die Trägerkammer 1q eintritt. Nun uird in letzterer der Druck durch Modulation des Ventils 12 konstant gehalten. In Stellung IV uiird die Programmsteuerung auf das Ventil 26 über den Antrieb 27 umgeschaltet und das Ventil 18 oder 18a ist geöffnet, wodurch Luft oder Uiederfüllgas in die Trägerkammer 1o führbar ist.

Das Ventil 26 steuert dann die Strömung des Rückfüllgases in die Beschleunig gungskammer in einer Weise, daß das Druckgefälle am Diaphragma 3o bei annähernd 1/1o Atmosphären Druck gehalten wird, während die beiden Kammern auf atmosphärischen Druck gefüllt werden.

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Claims

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Patentansprüche

l/erfahren zur Betätigung eines Gaslasers mit einer Beschleunigungskammer und einer von letzterer durch ein dünnes Diaphragma getrennten Hauptkammer, dadurch gekennzeichnet,, daß fortlaufend Druckpraben aus jeder Kammer (1a, 2a) während ihrer gleichzeitigen Evakuierung entnommen werden, daß ein fortlaufendes Druckgefällesignal erzeugt uiird, daß letzteres zwecks Modulierung der Evakuierungsgeschuiindigkeit mährend der anfänglichen Evakuierung der beiden Hammern CIo, 2o) auf ein jeweiliges Minimum verblendet wird, daß die fortlaufende Erzeugung des Druckgefällesignals fortgesetzt und letzteres zur Modulierung der Geschwindigkeit der Idiederfüllung der Hauptkammer (1o) mit dem Lasermedium verblendet wird, biorauf während des Laserbetriebs die fortlaufende Erzeugung des Druckgefällesignals fortgesetzt und der Druck in der Trägerkammer (1o) moduliert biird, und daß während der genannten Arbeitsstufen ein Druckgefälle bis auf 2/1o einer Atmosphäre am Diaphragma aufrechterhalten wird.

2. l/erfahren nach Anspruch I₁ dadurch gekennzeichnet, daß bei fortlaufender Erzeugung des- Druckgefällesignals die üJiederfüllung der Beschleunigungskammer (2o) beim Luftaustritt moduliert wird, indem die Uiederfüllung beider Kammern (1o, 2o) beim Entlüften des Lasers erfolgt und ein Druckgefälle bis zu 2/1a einer Atmosphäre während des Entlüftungsvorgangs aufrechterhalten wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Druckgefällesignal in Form eines pneumatischen Signals erzeugt und daß die Modulation über fortlaufend veränderbare l/ehtilantriebe vorgenommen tdird.

k» Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Druckgefällesignal einer Auslesevorrichtung nach Erreichen des Betriebsdrucks unter Berücksichtigung der Evakuierung der Beschleunigungskamraer eingegeben und eine Anzeigevorrichtung, die den Druck in der Hauptkammer (1o) als brauchbare Ablesemöglichkeit eines absoluten Drucks der Hauptkammer (1o) abgelesen'

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5. V/erfahren nach einem der Ansprüche 1 bis k, dadurch gekennzeichnet, daß uährend des Betriebs des Lasers frisches Lasergas in und verbrauchtes Lasergas aus der Hauptkammer (1g) gepumpt uiird.

G. Uerfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß uährend der gleichzeitigen Evakuierung der Hammern (1o, 2o) die Geschuindigkeit der fortlaufenden Evakuierung der Beschleunigungskammer (.Za) moduliert uird, bis der Druck in der. Hauptkammer (1o) ungefähr ein Mikron und der Druck in der Beschleunigungskammer (2o) ungefähr 1o~ Torr betragen, und daß während des Laserbetriebs die Geschujindigkeit der fortlaufenden Evakuierung der Hauptkammer (1d) moduliert uird, mährend fortlaufend das Lasermedium mit einer vorbestimmten Geschuindigkeit zuecks Aufrechterhaltung des Druckqefälles am Diaphragma bis zu 2/1o einer Atmosphäre eingeführt uird.

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