DE2425887C2 - Schleifmaterial mit eingekapselten Schleifkörnern und dessen Verwendung zum Beschichten von Folien - Google Patents

Schleifmaterial mit eingekapselten Schleifkörnern und dessen Verwendung zum Beschichten von Folien

Info

Publication number
DE2425887C2
DE2425887C2 DE2425887A DE2425887A DE2425887C2 DE 2425887 C2 DE2425887 C2 DE 2425887C2 DE 2425887 A DE2425887 A DE 2425887A DE 2425887 A DE2425887 A DE 2425887A DE 2425887 C2 DE2425887 C2 DE 2425887C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
abrasive
capsules
abrasive grains
grains
encapsulated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE2425887A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2425887A1 (de
Inventor
Des Erfinders Auf Nennung Verzicht
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
3M Co
Original Assignee
Minnesota Mining and Manufacturing Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Minnesota Mining and Manufacturing Co filed Critical Minnesota Mining and Manufacturing Co
Publication of DE2425887A1 publication Critical patent/DE2425887A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2425887C2 publication Critical patent/DE2425887C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09KMATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K3/00Materials not provided for elsewhere
    • C09K3/14Anti-slip materials; Abrasives
    • C09K3/1454Abrasive powders, suspensions and pastes for polishing
    • C09K3/1472Non-aqueous liquid suspensions
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09KMATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K3/00Materials not provided for elsewhere
    • C09K3/14Anti-slip materials; Abrasives
    • C09K3/1436Composite particles, e.g. coated particles

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)

Description

Polierarbeiten werden im allgemeinen in der Weise ausgeführt, daß eine aus einem feinen Schleifmittel und einem Schmiermittel bestehende Paste ständig der gesamten Fläche einer sich drehenden ebenen Polierscheibe zugeführt wird, wobei ein Werkstück gegen die mit der Paste bedeckte Fläche gedrückt wird. Bei diesem Verfahren wird die Fläche der Polierscheibe natürlich abgenutzt und muß daher von Zeit zu Zeit erneuert werden. Viele Partikel gleiten von der Polierfläche zu rasch ab und bleiben daher wirkungslos. Da die Paste zur Verminderung der Kosten üblicherweise wieder in Umlauf gesetzt wird, werden die anfangs feinen Schleifpartikel im Gebrauch noch kleiner, wodurch der Wirkungsgrad herabgesetzt wird, so daß sich die Politur am Werkstück ständig ändert.
Außerdem ist die Verwendung feiner Schleifpartikel in beschichteten Schleifwerkzeugen schwierig, und es ist ebenso schwierig, ein Produkt mit gleichbleibender Schleifwirkung herzustellen. Da außerdem die Körner an der Oberfläche im Gebrauch stumpf werden, während die tiefer sitzenden Schleifkörner mit dem Werkstück nicht in Berührung gelangen, ist die Dicke des Belags im allgemeinen gleich dem doppelten Durchmesser eines jeden einzelnen Schleifkorns. Außerordentlich kleine Schleifkörner, z. B. in der Größenordnung von 3 μπι, befinden sich in solchen dünnen Schleifmittelbelägen, so daß der gesamte Schleifmittelbelag bei einem unbeabsichtigten ungeschickten Handhaben des Werkstückes zerstört werden kann. Besteht der Untergrund aus Tuch oder einem Gewebe, so können die Schleifkörner in den Untergrund hineingedrückt werden und nicht in das Werkstück.
Die Verwendung feiner Schleifkörner stellt daher immer eine Schwierigkeit dar, sowohl für die Hersteller als auch für die Benutzer von Polierpasten und beschichteten Schleifmittelprodukten.
Die obengenannten Schwierigkeiten werden erfindungsgemäß durch das in Anspruch 1 angegebene Schleifmaterial beseitigt, das aus eingekapselten Schleifmitteln und Schleifhilfsmitteln besteht, einfach herzustellen ist und in dem sehr verschiedenartige Schleifkörner und Schleifhilfsmittel verwendet werden können. Die Kapseln stellen ein wirksames Mittel zum Handhaben feiner Schleifkörner dar und sind im wesentlichen kugelförmig, so daß sie leicht zu handhaben sind und als Schleifmittel in einer Trägerflüssigkeit zum Läppen und Polieren dispergiert werden können. Um mit Sicherheit eine gleichmäßige Leistung zu erhalten, werden sowohl das Schleifmittel als
ι auch das Schleifhilfsmittel in vorherbestimmten Anteilen innig miteinander vermischt. Unaufgebrochene Kapseln sind wesentlich größer als die einzelnen eingekapselten Schleifkörner und können daher aus der Trägerflüssigkeit leichter ausgeschieden und zurückgewonnen werden.
Bei beschichteten Schleifwerkzeugen werden erfindungsgemäß die feinen Schleifkörner durch die verhältnismäßig großen Kapseln ersetzt, wodurch ein dickerer und kratzfesterer Schleifbelag erzeugt werden kann, als es bisher möglich war. Im Gebrauch brechen die Kapseln allmählich auf, und das Schleifmittel, das vom Beschichtungsharz an der Gebrauchsstelle nicht länger festgehalten wird, bildet einen lokkeren Belag, der als beschichtetes Schleifmittel geeignet ist. Wird als Schleifhilfsmittel beispielsweise Wachs oder Pech benutzt, kann der Arbeitsfläche eine Flüssigkeit zugeführt werden, die zwar die Schleifspäne, nicht aber das Schleifmineral entfernt. Die Kapseln ermöglichen ferner die Verwendung von korrodierenden oder giftigen Schleifhilfsmitteln ohne Gefährdung der Arbeiter oder der Maschinen, da das Schleifhilfsmittel nicht als gesonderte Flüssigkeit gehandhabt wird.
Die Kapseln, die sowohl feine Schleifkörner als auch flüssige Schleifhilfsmittel oder solche mit einem niedrigen Schmelzpunkt enthalten, werden im wesentlichen kugelförmig mit den mäßig großen Durchmessern von 10-200 μηι ausgestaltet. Die kleineren Kapseln mit einem Durchmesser von beispielsweise 10-30 um sind für die kleineren Schleifkörner in der Größenordnung von 0,5-5 μιη geeignet, während größere Kapseln entweder feine oder grobe Schleifkörner enthalten können. Die Kapsel ist jedoch in allen Fällen mindestens doppelt so groß wie die eingekapselten Schleifkörner, so daß die Kapsel im allgemeinen mehrere Schleifkörner enthält. Die Kapseln sind im allgemeinen kugelförmig, welche Form der leichteren Handhabung wegen vorzuziehen ist. Befriedigend sind auch ellipsenförmige oder unregelmäßig abgerundete Kapseln.
Die einzukapselnden Schleifkörner können aus SiIiziumcarbid, Aluminiumoxid, Borcarbid sowie auch aus anderen Schleifkörnern und anderen Gemischen bestehen. Die Kapseln eignen sich besonders gut für die Verwendung mit teuren, schwer zu dispergierenden Schleifkörnern, wie Diamanten oder kubischen Bornitridkörnern.
Die Größe der einzukapselnden Schleifkörner liegt im Bereich von 0,5 μπι bis zu 25 μιη Durchmesser. Bevorzugt sind Schleifkörner, deren Nominaldurchmesser 15 μπι oder weniger beträgt, da diese in nichteingekapselter Form bei beschichteten Schleifmitteln schwieriger zu verwenden sind, bei einer Einkapselung jedoch sehr günstig sind.
Die Schleifkörner werden einem Schleifhilfsmittel, z. B. einem Schleiföl oder einem Schmiermittel, beigemischt oder in diesem dispergiert. Mit dem Ausdruck »Schleifhilfsmittel« sollen alle dieienieen nicht
abschleifend wirkenden Flüssigkeiten oder Feststoffe mit einem niedrigen Schmelzpunkt bezeichnet werden, bei deren Verwendung der geringste Kraftaufwand benötigt wild, der zum Überwinden der Reibung zwischen dem Werkstück und dem Schleifwerkzeug erforderlich ist. Als Beispiele für solche Schleifhiifsmittei werden angeführt Öle mit einer niedrigen Viskosität und hohem Flammpunkt, wie derartige, auf dem Markt befindliche Öle, Diam.antsägenschmiermittel, Karnaubawachs, in Wasser lösliche Öle, Glycerin, Petroleumöl, chlorierte Kohlenwasserstoffe, Paraffin und Pech. Zum Polieren von Materialien, wie Zink, Silizium oder Aluminium können als Schleifhilfsmittel saure oder basische Stoffe verwendet werden (z. B. NaHSO4 oder NaOH).
Die Gewichtsverhältnisse Schleifkörner : Schleifhilfsmittel für verhältnismäßig billige herkömmliche Schleifmittel, wie Siliziumcarbid und Aluminiumoxid, betragen im allgemeinen 40:60% bis zu 60:40% Mineral: Schleifhilfsmittel. Diese Verhältnisse stellen bis zu 10-30 Vol.-% Schleifmineral dar. wobei die Menge des Minerals in diesem Bereich gewählt wird, um die höchste Schleifwirkung zu erzielen und eine Einkapselung der Schleifpasten zu ermöglichen.
Für teurere Schleifkörner, wie kubisches Bornitrid oder Diamant, liegt das Gewichtsverhältnis Schleifmaterial : Schleifmittel normalerweise im Bereich von 1 Teil Schleifmittel: 2 Teilen Schleifhilfsmittel bis zu 1 Teil Schleifmittel : 5 Teilen Schleifhilfsmittel, welche Werte ungefähr 5-15 Vol.-% Schleifmittel entsprechen. Von dem teureren Schleifmittel wird eine kleinere Menge gewählt, mit der eine ausreichende Schleifwirkung erzielt wird, während andererseits die Kosten für den Benutzer gering gehalten werden.
Bei der Zwischenflächeneinkapselung befinden sich zwei komplementär kondensatbildende Materialien in zwei gesonderten und miteinander im wesentlichen nicht vermischbafen Flüssigkeiten. Wird eine der Flüssigkeiten in der anderen Flüssigkeit dispergiert, so bilden sich Tröpfchen, und um diese herum kondensiert sich eine Hüllenwandung, die die Tröpfchen zu Kapseln umschließt.
Die aus einem Schleifmittel und einem Schleifhilfsmittel bestehende Paste wird im allgemeinen dadurch eingekapselt, daß in einem Zwischenflächeneinkapselungsverfahren eine Lösung zugesetzt wird, die aus einem ersten Mittel besteht, das mit einem zweiten Mittel reagiert. Ein Gemisch aus der Paste und einem ersten Reagenzniittel wird unter Umrühren in die zweite Reagenzmittellösung eingetragen. Das Gemisch verteilt sich als Tröpfchen, um die herum das erste und das zweite Reagenzmittel Wandungen bilden, die die Gemischtröpfchen einhüllen.
Die Kapseln werden dann von dem flüssigen Reagenzmittel abfiltriert und können nunmehr als ein Teil einer Paste oder zum Beschichten einer Unterlage nach den herkömmlichen Verfahren verwendet werden, wobei die herkömmlichen Schleifkörner durch die Kapseln ersetzt werden.
In diesem Falle sollten die bei der Herstellung von Schleifmitteln verwendeten Harze vor der Benutzung für Polierarbeiten die Bestandteile nicht freisetzen.
In der einzigen Zeichnung ist eine Schleifkapsel nach der Erfindung zum IVü als Schnitt dargestellt.
Nachstehend werden einige bevorzugte Ausführungsbeispiele für die Erfindung beschrieben:
Die in der Zeichnung dargestellte Schleifmittelkapsel 10 enthält eine Anzahl ·ι>η Schleifkörnern 16, die in einem Schleifhilfsmittel 14 dispergiert und von einer Wandung 12 eingehüllt sind.
Im folgenden werden einige Beispiele beschrieben, in denen alle Prozentsätze und Teile auf Gewichtsbasis angegeben sind, sofern nichts anderes vermerkt.
Beispiel 1
Es wurde ein Harnstoff-Fornialdehyd-Vorkondensat zubereitet durch Vermischen von 20 g Harnstoff mit 54 g 37%igem Formaldehyd in Wasser unter Zusatz von 0,4 ml Tetraäthylenamin, um das System basisch zu machen, wobei das Gemisch 1 Stunde lang bei 70 C langsam gerührt wurde. Das Gemisch wurde dann mit 92 ml Wasser verdünnt und die Temperatur auf ungefähr 30c C abgesenkt.
Eine Öl-Schleifrnittel-Paste mit einem Gehalt von 40 g eines im Handel erhältlichen Öls mit niedriger Viskosität und hohem Flammpunkt und 10 g Diamanten von 3 μΐη wurde dem Gemisch zugesetzt, und unmittelbar danach wurden zum Gemisch 50 ml Wasser und 1,8 ml 9%ige Salzsäure gegeben. Das resultierende Gemisch wurde rasch gerührt, wobei sich Tröpfchen der Öl-Schleifmittel-Aufschlämmung bildeten, während die Temperatur 2 Stunden lang bei 40 C gehalten wurde. Diese Temperatur wurde zwei weitere Stunden lang unter ständigem Rühren aufrechterhalten. In der warmen sauren Umgebung kondensierte sich das Harnstoff-Formaldehyd zu einer die Paste umhüllenden Wandung.
Die Lösung wurde dann neutralisiert unter Verwendung von 5 g 8%igem Natriumacetat, wonach die Kapseln mit klarem Wasser filtriert und mehrmals gewaschen wurden. Der Durchmesser der Kapseln betrug 5 bis 150 um. Je nach RührstSrke konnte der Kapseldurchmesser verkleinert oder vergrößert werden.
Herstellung beschichteter Schleifmittel
Eine Aufschlämmung aus Kapseln und basenkatalysiertem Phenolharz mit einem Gehalt von 3 Gewichtsteilen Kapseln und 1 Gewichtsteil Harz mit einer Viskosität von ungefähr 350 mPa-s wurde mit einem Streichmesser auf ein normales feingradiges Diamanttuch (35% Baumwolle, 65% Polyester, einfaches Gewebe) mit einer Dicke von 100 μίτι aufgetragen. Das Material wurde an der Luft bei 80= C getrocknet und 10 Stunden lang bei 100° C ausgehärtet.
Das beschichtete Schleifmaterial nach diesem Beispiel erscheint als ein gröberes Produkt als die Schleifkörner von 3 μτη und gleicht ungefähr einem normalen beschichteten Schleifmittel mit der Körnung 220. Die obere Schicht der Kapseln konnte von einem Finger zerrissen werden. Die physikalischen Merkmale, wie Biegsamkeit, Dicke und Handhabungsfähigkeit, waren mit einem herkömmlichen beschichteten Schleifmaterial vergleichbar.
Wie sich gezeigt hat, war das beschichtete Schleifmittel von großem Nutzen beim Polieren von Siliziumplättchenauf einer ebenen Unterlage unter Benutzung von hin- und herschwingenden Scheiben, die an der Unterseite mit einem Schleifrnittelbelag nach dem voiziehend beschriebenen Beispiel versehen waren. Das beschichtete Schleifmittel nach diesem Beispiel paßt sich der Form des Werkstückes an. und die in diesem Schleifmittel enthaltene Diamantpaste erzeugt eine feine Außenseite.
Beispiel 2
Unter Anwendung des im Beispiel 1 beschriebenen Verfahrens wurde eine Pastenzusammensetzung aus einem Aluminiumoxidschleifmittel von 9 Lim und Ölsäure in einem Gewichtsverhältnis Schleifmittel : Schleifhilfsmittel von 1:1 verwendet.
Die Kapseln wurden mit einem Urethan-Phenoxy-Klebstoff zu einem Gemisch verarbeitet, wobei das Gewichtsverhältnis Kapseln : Harzfeststoffe 3:1 betrug. Das Harz bestand aus 70 Teilen Polyester mit endständigem Hydroxyl und einem Äquivalenzgewicht von ungefähr 15000 und aus 30 Teilen Bisphenol A in einer Verdünnung bis zu 35% Gesamtfeststoffe in Methyläthylketon. Das Harz wurde mit 1 Teil Polyphenylpolyarylpolyisocyanat pro 10 Teile Harz aktiviert.
Aus Messing und nichtrostendem Stahl bestehende Magnetaufzeichnungsköpfe wurden dann von Hand geläppt unter Verwendung des nach diesem Beispiel beschichteten Schleifmittels zum Polieren der Oberfläche, so daß die Magnetköpfe ihre endgültigen Abmessungen erhielten. Die auf diese Weise geläppten Magnetköpfe zeigten bei Betrachtung eine gleichmäßigere Außenseite als Köpfe, die mit einer herkömmlichen Läppfolie bearbeitet werden, die mit Aluminiumoxid von 9 μίτι ohne Einkapselung beschichtet ist.
Das in den Kapseln enthaltene Schmiermittel verminderte die Reibungskräfte zwischen der Läppfolie und dem Aufzeichnungskopf während des Läppens, das daher müheloser durchgeführt werden kann als mit der herkömmlichen Läppfolie.
Beispiel 3
Bei diesem Beispiel wurden die Schleifkapseln nach dem Beispiel 1 durch die Schleifkapseln nach dem Beispiel 2 ersetzt, und zum Herstellen des aus einer mit dem Schleifmittel beschichteten Folie wurde das Verfahren nach Beispiel 2 angewendet.
Das beschichtete Schleifmittel wurde zu einem Ringkörper zugeschnitten. An einer Spindel wurde eine nickeiplattierte Computerspeicherscheibe angebracht, die mit dem drehbar gelagerten Schleifmittel in Berührung gebracht wurde. Die Speicherscheibe und das Schleifmittel wurden im Kontakt miteinander gedreht, um die Scheibenoberfläche unter den folgenden Bedingungen zu polieren:
Drehzahl der Speicherscheibe 40 U/min
Drehzahl des Schleifmittels 1000 U/min
Abmessungen des Schleifmittels
Außer.durchmesser 10,8 cm
Durchmesser des Mittelloches 6.3 cm
Gesamtbelastung 11 kg
Während des Polierens wurde auf die abzuschleifende Fläche ein Kerosin-Schmiermittel aufgetragen. Nach 3 Minuten Polieren wurde die Oberfläche vermessen. Der von der Maschine angezeigte Meßwert
ί betrug ungefähr 2,54x10'μη: Mittelliniendurchschnitt. Unter dieser Zahl liegende Werte sind als gut anzusehen. Das Ergebnis, das mit einer herkömmlichen 3^m-Diamantläppfolie mit der gleichen Ausstattung und in der gleichen Weise erzielt wird, ist
ι mindestens dreimal so hoch.
Beispiel 4
Es wurde Karnaubawachs mit einem Schmelzpunkt von 78C C geschmolzen und Aluminiumoxid von 3 μΐη zugesetzt unter Bildung einer gleichmäßigen Dispersionspaste, deren Gewichtsverhältnis Wachs : Aluminiumoxid 1:1 betrug.
Wasser mit einem kleinen Gehalt eines oberflächenaktiven Mittels wurde auf 90~ C erhitzt, kräftig gerührt unter langsamem Zusetzen der Wachs-Mineralstoff-Paste, wobei das Wachs um das Mineral herum kleine Tröpfchen bildete.
Nach Entfernen der Wärmequelle wurde die Temperatur auf ungefähr 85° C abgesenkt, wonach Wasser von Raumtemperatur zum raschen Abkühlen des Gemisches zugesetzt wurde, um ein Zusammenkleben der Wachspeilen zu verhindern.
Einkapseln der Wachs-Schleifmittel-Perlen
Es wurde das Einkapselungsverfahren nach Beispiel 1 angewendet, wobei die Öl-Schleifmittel-Paste durch die Wachs-Mineralstoff-Perlen ersetzt wurde und NaOH zum Neutralisieren der Lösung diente.
Die eingekapselten Wachs-Mineralstoff-Perlen wurden gesiebt, wobei Kapseln mit einem Durchmesser von 75 μίτι und kleiner gewählt wurden. Die Kapseln wurden im Urethan-Phenoxy-Harz nach Beispiel 2 in einem Gewichtsverhältnis von 3 Teilen Kapseln zu 1 Teil Harzfeststoffe dispergiert. Die Dispersion wurde mit Methyläthylketon bis zu einer Viskosität von ungefähr 350 mPa-s verdünnt und mittels eines Streichmessers auf einer Polyesterfilmunterlage mit einer Dicke von 75 μΐη aufgetragen. Das beschichtete Material wurde 10 Stunden lang bei einer Temperatur von 70" C ausgehärtet.
Unter Anwendung des Läppverfahrens nach Beispiel 2 wurde das beschichtete Schleifmittel nach diesem Beispiel verglichen mit der herkömmlichen 3-μΐη-Aluminiumoxid-Läppfolie bei dem Polieren von aus Messing und nichtrostendem Stahl bestehenden Werkstücken.
Das beschichtete Schleifmitte! nach diesem Beispiel paßte sich der Außenseite des Werkstückes an und erzeugte eine sichtlich bessere Oberfläche.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (5)

Patentansprüche:
1. Schleif material, bestehend aus Kapseln von IU bis 200 μίτι Durchmesser, die Schleifkörner von 0,5 bis 25 μίτι Durchmesser und ein Schleifhilfsmittel enthalten, wobei die Kapseln mindestens den doppelten Durchmesser der Schleifkörner haben.
2. Schleifmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schleifkörner aus Diamant bestehen.
3. Schleifmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Schleifhilfsmittel aus Karnaubawachs besteht.
4. Schleifmittel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapseln eine umhüllende Wandung aus Harnstoff-Formaldehyd-Harz aufweisen.
5 Verwendung des Schleifmittels nach Anspruch 1 bis 4 zusammen mit einem aushärtbaren Bindemittel zum Beschichten einer biegsamen Folie.
DE2425887A 1973-05-29 1974-05-28 Schleifmaterial mit eingekapselten Schleifkörnern und dessen Verwendung zum Beschichten von Folien Expired DE2425887C2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US05/364,671 US4112631A (en) 1973-05-29 1973-05-29 Encapsulated abrasive grains and articles made therefrom

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2425887A1 DE2425887A1 (de) 1974-12-19
DE2425887C2 true DE2425887C2 (de) 1982-10-21

Family

ID=23435551

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2425887A Expired DE2425887C2 (de) 1973-05-29 1974-05-28 Schleifmaterial mit eingekapselten Schleifkörnern und dessen Verwendung zum Beschichten von Folien

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4112631A (de)
JP (1) JPS5020390A (de)
DE (1) DE2425887C2 (de)
GB (1) GB1450851A (de)
NL (1) NL7406645A (de)

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3380356D1 (en) * 1982-09-01 1989-09-14 Unilever Nv Abrasive agglomerates for use in scouring cleaning compositions
US4738689A (en) * 1984-03-20 1988-04-19 General Electric Company Coated oxidation-resistant porous abrasive compact and method for making same
DE3447833A1 (de) * 1984-12-29 1986-07-10 Allan Gerhard 8047 Karlsfeld Frühauf Tuch o.dgl. mit einen wirkstoff enthaltenden mikrokapseln
US4652275A (en) * 1985-08-07 1987-03-24 Minnesota Mining And Manufacturing Company Erodable agglomerates and abrasive products containing the same
JPS6352971A (ja) * 1986-08-19 1988-03-07 Daitoo:Kk デイスク形研磨材の形成方法
US4930266A (en) * 1988-02-26 1990-06-05 Minnesota Mining And Manufacturing Company Abrasive sheeting having individually positioned abrasive granules
US5378251A (en) * 1991-02-06 1995-01-03 Minnesota Mining And Manufacturing Company Abrasive articles and methods of making and using same
US5589194A (en) * 1993-09-20 1996-12-31 Minnesota Mining And Manufacturing Company Method of encapsulation and microcapsules produced thereby
JPH09232260A (ja) * 1996-02-22 1997-09-05 Sony Corp 研磨板、その製造方法および研磨方法
US6790126B2 (en) 2000-10-06 2004-09-14 3M Innovative Properties Company Agglomerate abrasive grain and a method of making the same
ATE382671T1 (de) 2000-10-16 2008-01-15 3M Innovative Properties Co Verfahren zur herstellung von agglomeratteilchen
EP1326940B1 (de) 2000-10-16 2010-03-31 3M Innovative Properties Company Verfahren zur herstellung von keramischen agglomeratteilchen
US6645624B2 (en) 2000-11-10 2003-11-11 3M Innovative Properties Company Composite abrasive particles and method of manufacture
US7632434B2 (en) 2000-11-17 2009-12-15 Wayne O. Duescher Abrasive agglomerate coated raised island articles
US8545583B2 (en) 2000-11-17 2013-10-01 Wayne O. Duescher Method of forming a flexible abrasive sheet article
US7520800B2 (en) * 2003-04-16 2009-04-21 Duescher Wayne O Raised island abrasive, lapping apparatus and method of use
US8062098B2 (en) 2000-11-17 2011-11-22 Duescher Wayne O High speed flat lapping platen
US8256091B2 (en) 2000-11-17 2012-09-04 Duescher Wayne O Equal sized spherical beads
JP2009302338A (ja) * 2008-06-13 2009-12-24 Sumco Corp ウェーハの研磨方法および該方法により製造されるウェーハ
JP2009302409A (ja) * 2008-06-16 2009-12-24 Sumco Corp 半導体ウェーハの製造方法
JP5600867B2 (ja) * 2008-06-16 2014-10-08 株式会社Sumco 半導体ウェーハの製造方法
JP2009302410A (ja) * 2008-06-16 2009-12-24 Sumco Corp 半導体ウェーハの製造方法
US9044292B2 (en) 2010-08-11 2015-06-02 3M Innovative Properties Company Dental articles including a ceramic and microparticle coating and method of making the same
EP2603159A1 (de) 2010-08-11 2013-06-19 3M Innovative Properties Company Ästhetische und abriebfeste beschichtete zahnartikel und herstellungsverfahren dafür
US8980122B2 (en) * 2011-07-08 2015-03-17 General Engineering & Research, L.L.C. Contact release capsule useful for chemical mechanical planarization slurry
WO2018222857A1 (en) * 2017-06-01 2018-12-06 Corning Research & Development Corporation Polishing/lapping film with micro-encapsulated chemistries preventing debris entrainment

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2806772A (en) * 1954-09-15 1957-09-17 Electro Refractories & Abrasiv Abrasive bodies
US2904419A (en) * 1957-02-26 1959-09-15 Lea Mfg Company Packaged buffing compound
US2986455A (en) * 1958-02-21 1961-05-30 Carborundum Co Bonded abrasive articles
US3202533A (en) * 1962-07-24 1965-08-24 Ibm Method of encapsulating liquids
US3502453A (en) * 1968-08-22 1970-03-24 Minnesota Mining & Mfg Abrasive article containing hollow spherules filled with lubricant
US3692690A (en) * 1970-05-27 1972-09-19 Ncr Co Encapsulation process by complex coacervation using polymers and capsule product therefrom
US3816331A (en) * 1972-07-05 1974-06-11 Ncr Continuous encapsulation and device therefor

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
NICHTS-ERMITTELT

Also Published As

Publication number Publication date
US4112631A (en) 1978-09-12
NL7406645A (de) 1974-12-03
JPS5020390A (de) 1975-03-04
GB1450851A (en) 1976-09-29
DE2425887A1 (de) 1974-12-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2425887C2 (de) Schleifmaterial mit eingekapselten Schleifkörnern und dessen Verwendung zum Beschichten von Folien
DE3687864T2 (de) Erodierbare agglomerate und dieselben enthaltenden schleifmittel und methoden zur herstellung.
DE2813258C2 (de) Schleifkörper
AT501411B1 (de) Poröses schleifwerkzeug und verfahren zur herstellung hiervon
EP0626987B1 (de) Beschichtbare gemische enthaltend erodierfähige füllstoffagglomerate, verfahren zu ihrer herstellung, schleifkörper mit gehärteten versionen davon und verfahren zur herstellung der körper
EP2551057B1 (de) Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Schleifmittels, beschichtetes Schleifmittel und Verwendung eines beschichteten Schleifmittels
DE102008029517A1 (de) Schleifmittel für einen Strahlprozess sowie Strahlbehandlungsverfahren unter dessen Verwendung
DE2065836A1 (de) Verfahren zum schleifen von gegenstaenden aus gehaerteten stahllegierungen
DE2608273B2 (de) Blatt- oder bandfoermiges schleifwerkzeug, verfahren und vorrichtung zum herstellen des schleifwerkzeugs
DE2443949C3 (de) Verfahren zur Herstellung von Diamantenteilchen und deren Verwendung
DE10197149B4 (de) Beschichtetes Schleifmittel und Verfahren zur Herstellung
DE10246402B4 (de) Duftende, strukturierte Schleifmittel
DE2312052A1 (de) Schleifmittel
CH511678A (de) Schleifkörper
DE3111232A1 (de) Schleifpapiere oder -leinen
WO2002016082A1 (de) Honwerkzeug
DE1906721A1 (de) Schleifkoerper
DE2016600C3 (de) Schleifpapier oder Schleifleinen
AT260062B (de) Schleifkörper
DE2366256C2 (de) Blatt- oder bandförmiges Schleifwerkzeug mit einer auf einer Unterlage gebundenen Schicht von Einzelschleifkörpern
DE2417196B2 (de) Verfahren zur herstellung von schleifkoerpern auf unterlage
DE2001612C3 (de) Bindemittel für flexible Schleifvorrichtungen
CH476550A (de) Schleifmittel
EP3960370A1 (de) Verfahren zum aufbringen einer wirkstoff-beschichtung auf ein schleifmittel
DE7606014U1 (de) Blatt- oder bandfoermiges schleifwerkzeug

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
D2 Grant after examination
8339 Ceased/non-payment of the annual fee