DE2408367B2 - Magnetkopfanordnung und verfahren zu ihrer herstellung - Google Patents

Magnetkopfanordnung und verfahren zu ihrer herstellung

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DE2408367B2 DE19742408367 DE2408367A DE2408367B2 DE 2408367 B2 DE2408367 B2 DE 2408367B2 DE 19742408367 DE19742408367 DE 19742408367 DE 2408367 A DE2408367 A DE 2408367A DE 2408367 B2 DE2408367 B2 DE 2408367B2
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Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Magnetkopfanordnung zur Verwendung bei Magnetplattenspeichern mit einem Tragsegment aus nichtmagnetischem Material und mit einem Magnetkopf, der so in ein Loch des Tragsegments eingesetzt ist daß die Kopfspiegelfläche bündig mit der Vorderseite des Tragsegments ist, und der in einen Block aus nichtmagnetischem Material eingebettet ist der mit einem metallischen Überzug versehen ist sowie auf ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Magnetkopfanordnung.
Derartige Magnetkopfanordnungen werden insbesondere zum Ablesen oder Beschreiben von sehr schnell ablaufenden Magnetplatten in Datenspeichern verwendet, wobei die Tragsegmente infolge eines Luftkisseneffektes in einem Abstand von einigen Mikron von der Oberfläche der Magnetplatte schweben, so daß im Betrieb keine mechanische Berührung zwischen der Magnetkopfanordnung und der Magnetplatte besteht. Damit ein genau definierter Abstand zwischen der den Luftspalt aufweisenden Stirnfläche des Magnetkopfes und der Aufzeichnungsschicht der Magnetplatte gewährleistet ist muß der Magnetkopf in dem Loch des Tragsegments so montiert werden, daß seine Stirnfläche genau in einer Ebene mit der Vorderfläche des Tragsegments liegt; zur Erzielung dieses Ergebnisses werden diese Flächen nach der Montage des Magnetkopfes gewöhnlich noch geschliffen. Die Befestigung des Magnetkopfes muß aber auch so erfolgen, daß die genaue koplanare Lage über einen längeren Zeitraum und unter wechselnden Betriebsbedingungen, insbesondere unabhängig von Temperaturschwankungen, aufrechterhalten bleibt.
Es ist bekannt den Magnetkopf in dem Loch des Tragsegments durch Kleben mit einem Kunstharz zu befestigen; hierbei besteht aber die Gefahr, daß durch Schwinden des Kunstharzes im Laufe der Zeit die
genaue Lage des Magnetkopfes gestört wird, oder daß ojgar Kunstharz aus der Klebestelle austritt und den Betrieb der Magnetkopfanordnung stört Diese Nachteile werden mit einer anderen bekannten Befestigungsart vermieden, bei welcher der Magnetkopf mit Hilfe eines Glases, das so gewählt ist, daß die Abkühlungssoannungen möglichst gering sind, in das Loch eingeschweißt wird. Hierbei besteht aber das Problem, daß die Schnyi'ztemperatur der verwendbaren Gläser in der Größenordnung von 5000C liegt, wodurch sie für das Einschweißen von Magnetköpfen ungeeignet sind, die aus dünnen Schichten in integrierter Technik hergestellt sind.
Ferner kann bei diesen bekannten Magnetkopfanordnungen im allgemeinen nur der an der Rückseite des Tragsegments vorstehende Teil des Magnetkopfes abgeschirmt werden, beispielsweise durch eine Kappe aus Magnetmaterial hoher Permeabilität; da der Magnetkopfblock und das Tragsegment aus einem unmagnetischen Material, wie Aluminium. Keramik oder Glas bestehen, ist somit der Magnetkopf gerade in seinem Luftspaltbereich, der gegen die Einwirkung äußerer Magnetfelder am empfindlichsten ist, nicht abgeschirmt
Aus der DL-PS 45 378 ist andererseits ein Magnetkopf bekannt bei dem der den Magnetkern und die Wicklung umschließende Block, der aus Gießharz gefertigt ist zusätzlich von einer magnetischen Abschirmung umgeben ist die entweder dadurch gebildet ist. daß der vormontierte Magnetkopf vor dem Umgießen in ein tiefgezogenes metallisches Abschirmgehäuse eingesetzt wird, oder dadurch, daß auf den fertigen Magnetkopfblock ein metallischer Überzug durch Metallspritzen oder durch stromloses Metallisieren aufgebracht wird
Bei Magnetköpten fur Magnettongeräte, die also nicht zur Befestigung in Tragsegmenten bestimmt sind, ist bereits eine mehrfache Abschirmung zur Beseitigung des Einflusses von Störfelciern bekannt So ist in der US-PS 3 359 b29 ein Magnetkopf beschrieben, bei dem die Einzelteile in einem Gehäuseteil aus Mu-Metall zusammengebaut werden, worauf die ganze Anordnung in ein kastenförmiges Außengehäuse eingesetzt wird, das gleichfalls aus Mu-Metall besteht. Aus der OE-PS 204 300 ist es bekannt, bei einem Magnetkopf für Magnettongeräte eine den Magnetkern samt Spule umschließende innere Abschirmung aus ferromagneti schem Material mit möglichst hoher Anfangspermeabilität, z. B. Mu-Metall. und eine die innere Abschirmung umgebende äußere Abschirmung aus feuomagnetischem Material mit hoher Sättigungsgrenze vorzusehen; vorzugsweise ist dabei die innere Abschirmung aus zwei voneinander magnetisch getrennten Lagen gebildet, die aus in sich geschlossenen konzentr .sehen Ringen bestehen.
In der DL-PS 33 097 ist schließlich ein Gehäuse zur Aufnahme von einem oder mehreren Magnetkopfsystemen beschrieben, in dem 2.wischen den zur Aufnahme der Magnetkopfsysteme bestimmten Kammern Abschirmbleche aus magnetischem Material angeordnet sind, die durch Abstandsrahmen und Zwischenleisten im richtigen Abstand voneinander gehalten werden.
Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung einer Magnetkopfanordnung, bei der eine sichere und präzise Lage des Magnetkopfes in dem Tragsegment über lange Betriebszeiträume und unter schwankenden Betriebsbedingungen gewährleistet ist und zugleich der Luftspaltbereich des Magnetkopfes gut gegen äußere Magnetfelder abgeschirmt ist, sowie eines Verfahrens zur Herstellung einer solchen Magnetkopfanordnung.
Bei einer Magnetkopfanordnung der eingangs angegebenen Art wird dies nach der Erfindung dadurch erreicht daß der metallische Oberzug des Magnetkopfblocks eine in Form eines in sich geschlossenen Ringes um den Magnetkopfblock verlaufends dünne Schicht aus anisotropem magnetischem Material hoher Permeabilität ist, daß auf die Innenwand des den Magnetkopfblock aufnehmenden Loches im Tragsegment eine dünne Schicht aus anisotropem magnetischem Material hoher Permeabilität in Form eines um die ganze Innenwand verlaufenden in sich geschlossenen Ringes aufgebracht ist, und daß die beiden Schichten aus anisotropem magnetischem Material durch eine dazwischenliegende Schicht aus Hartlot miteinander verbunden sind.
Bei der Magnetkopfanordnung nach der Erfindung bilden die Schichten aus anisotropem magnetischem Material hoher Permeabilität eine wirksame Abschirmung für den den Magnetkreis, die Wicklung und den Luftspalt enthaltenden Teil des Magnetkopfes, und sie steilen zugleich einen wesentlichen Bestandteil der mechanischen Verbindung zwischen Magnetkopf und Tragsegment dar. Die Montage des Magnetkopfes ist durch die zwischen den anisotropen magnetischen Schichten liegende Hartlotschicht vervollständigt, wodurch eine dauerhafte und zeitlich unveränderliche mechanische Verbindung sichergestellt ist. Die Hartlotschicht ergibt infolge ihres geringen spezifischen Widerstandes zugleich eine gute Abschirmung gegen elektrische Felder.
Ein wesentlicher Vorteil dieser Magnetkopfanord nung besteht darin, daß die Verbindung mittels dts Hartlots bei verhältnismäßig niedrigen Temperaturen hergestellt werden kann, die auch für integrierte Dünnschicht-Magnetköpfe verträglich ist.
Ein bevorzugtes Verfahren zur Herstellung einer Magnetkopfanordnung nach der Erfindung besteht darin, daß auf die Innenwand des Loches im Tragsegment eine dünne Schicht aus anisotropem magnetischem Material hoher Permeabilität aufgebracht wird, daß wenigstens auf den vom Loch aufgenommenen Teil der Oberfläche des Magnetkopfblocks eine dünne Schicht aus anisotropem magnetischem Material hoher Permeabilität aufgebracht wird, daß auf jede der Schichten aus anisotropem magnetischem Material eine dünne Schicht aus Hartlot aufgebracht wird, dessen Schmelzpunk· niedriger als die Schmelzpunkte der nichtmagnetischen Materialien des Tragsegments und des Magnetkopfblocks ist, und daß nach dem Einsetzen des Magnetkopfblocks in das Loch die ganze Anordnung bis zum Schmelzpunkt des Hartlots erhitzt wird.
Ein Ausführungsbeispiel ist in der Zeichnung dargestellt. Darin zeigen:
F1 g. 1 teilweise im Schnitt eine Magnetkopfanordnung nach der Erfindung mit einem Tragsegment und einem in ein Loch des Tragsegmentes eingesetzten Magnetkopfblock,
Fig.2 eine perspektivische Ansicht des in der Anordnung von F i g. 1 vorgesehenen integrierten Magnetkopfes,
F i g. 3 eine vergrößerte Teilschnittansicht der Anordnung von F i g. 1
F i g. 4 bis 6 in Teilansichten gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens nach der Erfindung hergestellte Montageelemente und
Fig.7 den Flußverlauf, wonach der Kopfaufbau durch eine Abschirmung in der Anordnung gemäß F i g. 1 wirksam geschützt ist.
Fig. 1 zeigt einen Magnetkopfblock 1, der in einem Loch eines Tragsegmentes 10 so befestigt ist, daß die Kopfspiegelfläche bündig mit der Unterseite des Tragsegmentes abschließt Der in den F i g. 2 und 3 in näheren Einzelheiten dargestellte integrierte Magnet kopfblock 1 enthält einen eigentlichen Magnetkopf 2, der in an sich bekannter Weise aus einer Flachwicklung besteht, die teilweise zwischen zwei ferromagnetische Schichten eingefügt ist, welche einen Luftspalt an der Kopfspiegelfläche bilden. Der Magnetkopf 2 ist mit seinen biegsamen Anschlußleitern 5, 6 und 7 in einen Block eingeschlossen, der aus zwei Schichten 3 und 4 aus ij einem Glas mit einem verhältnismäßig niedrigen Schmelzpunkt gebildet ist der ungefähr 2500C nicht überschreitet.
Die Befestigung des auf diese Weise gebildeten Magnetkopfblocks 1 in dem Loch des Tragsegments 10, das aus unmagnetischem Material besteht, geschieht in folgender Weise:
In einer ersten Verfahrensstufe wird die Innenwand des Loches mit einer dünnen Schicht 8 aus einem anisotropen magnetischen Material mit sehr hoher i$ Permeabilität metallisiert, beispielsweise mit dem unter der Handelsbezeichnung »Permalloy« bekannten Material. Ene gleichartige Schicht 9 wird auf den Außenflächen des Magnetkopfblocks 1, die gegenüber den Wänden des Loches zu liegen kommen, bis zu einer Höhe gebildet die mindestens gleich und tatsächlich ein wenig größer ist als die Höhe des Loches. Die Dicke jeder Schicht liegt beispielsweise in der Größenordnung von 5 μπι. Jede dieser Schichten 8 und 9 bildet tatsächlich einen in sich geschlossenen Ringkern mit rechteckigem Querschnitt wie in F i g. 7 als Einzelheil dargestellt ist: in diesem Ringkern kann die Magnetisierung M nur die Orientierung annehmen, die der Richtung entspricht in der sich der Magnetfluß in dem magnetischen Kreis schließen kann. In der Richtung y ist die remanente Magnetisierung Null.
Auf jede der Schichten 8 und 9 wird in einer zweiten Verfahrensstufe eine Schicht aus einem metallischen Hartlotmaterial bei niedriger Temperatur aufgebracht und zwar die Schicht 11 auf die Schicht 9 und die Schicht 12 auf die Schicht 8. Das Hartlotmaterial kann in bekannter Weise beispielsweise aus Indium, Zinn oder jeder anderen Metallmischung bestehen, die ein Hartlot mit einem Schmelzpunkt unter 2500C bildet und wenig in das Material der Schichten 8 und 9 diffundiert. Die so Dicke der Hartlotschichten 11 und 12 kann in der Größenordnung der Dicke der Schichten 8 und 9 liegen.
In einer dritten Verfahrensstufe wird der mit den Schichten 9 und 11 versehene Magnetkopfblock 1 in das mit den Schichten 8 und 12 bedeckte Loch des Tragsegments 10 eingebracht und darin durch irgendeine geeignete bekannte Vorrichtung zentriert gehalten. Der Querschnitt des Loches ist so bemessen, daß zwischen den Oberflächen der Hartlotschichten 11 und 12 ein Zwischenraum vorhanden ist Eine Hartlotraupe. die vorzugsweise aus dem gleichen Material wie die Schichten 11 und 12 besteht, wird um den über die Oberseite des Tragsegmentes herausragenden Teil des Magnetkopfblocks 1 gelegt Die Anordnung wird vorübergehend auf die Schmelztemperatur des Hartlots gebracht, bei welcher das Material der Hartlotraupe in den Zwischenraum zwischen den Schichten U und 12 eindringt, so daß sich eine Zwischenschicht 13 bildet.
welche die wirksame Verlötung der beiden Teile sicherstellt. Das Eindringen der Hartlotraupe wird durch das Vorhandensein der gleichartigen Schichten 11 und 12 erleichtert, die schließlich mit der Zwischenschicht 13 verschmelzen; dies ergibt eine sehr wirksame Verbindung.
Um die Abschirmung des Magnetkopfes in dem hinter dem Montagebereich gelegenen Bereich zu verbessern, ist die Schicht 8 so ausgebildet daß sie sich in Form einer Schicht 14 von dem Rand des Loches aus über eine bestimmte Breite der Oberfläche des Tragsegments erstreckt, wobei diese Breite praktisch in Abhängigkeit von der Dicke des Tragsegments festgelegt wird. Bei der Bildung der Schicht 12 wird außerdem ein Hartlotauftrag 15 auf die Fortsetzung 14 der Schicht 8 aufgebracht.
Die au» diese Weise erzielte Abschirmung ist magnetisch wirksam, da die Schichten 8—14 und 9 mit hoher Permeabilität äußere Magnetfelder ableiten. Ihr Aufbau ergibt außerdem einen Schutz gegen elektromagnetische Strahlungen, da diese durch die Hartlotschichten auf Grund von deren geringem spezifischen Widerstand aufgefangen werden. Die Schicht 9 ist zwar ebenfalls an der Abschirmung gegen äußere Magnetfelder beteiligt, sie dient jedoch hauptsächlich dem Zweck, das Anbringen der Hartlotschicht 11 an dem Glas der Schichten 3 und 4 des Magnetkopfblocks 1 zu ermöglichen.
Die Rückfläche 16 des Magnetkopfblocks 1 ist bei dem oben beschriebenen Aufbau nicht abgeschirmt. Da der eigentliche Magnetkopf 2 in beträchtlichem Abstand von dieser Fläche liegt, kann eine Abschirmung der Ruckfläche 16 als überflüssig angesehen werden. Bei Bedarf kann die Abschirmung dieser Rückfläche auf eine der m F i g. 3 gestrichelt dargestellten Arten vorgenommen werden. Man kann eine Kappe 18 aus Ferrit oder Mumetall auf die Schichten 14—15 auflöten, vorzugsweise mittels einer ähnlichen zusammengesetzten Schicht 19, die vorher auf die Stirnfläche an der Unterseite der Kappe aufgebracht worden ist Man erhält auf diese Weise eine vollkommen durchgehende magnetische und elektromagnetische Abschirmung des Magnetkopfes, obwohl diese Kappe für das Hindurchführen der Anschlußleiter 5,6 und 7 selbstverständlich durchbohrt werden muß. Abweichend davon kann man direkt auf der Rückfläche 16 des Magnetkopfblocks 1 eine zusammengesetzte Abschirmschicht aus magnetischem Material und aus Hartlot aufbringen, die beispielsweise den Schichten 9 und 11 gleich sind, oder mindestens eine magnetostatische Abschirmschicht mit hoher Permeabilität Die Durchführungen der Anschlußleiter 5,6 und 7 sind vor jedem Kontakt mit der Abschirmschicht geschützt
Vorzugsweise werden im Verlauf der beiden ersten Verfahrensstufen in zwei Schichten, die gleichzeitig mit den Schichten 8 und 14 sowie 12 und 15 erhalten werden, drei Kontakte für die Verbindung des Magnetkopfes mit äußeren elektrischen Schaltungen gebildet. Diese Kontakte 20, 21 und 22 dienen entweder zur Befestigung von Drähten, die zu diesen Schaltungen !uhren, oder zum direkten Anlöten von integrierten Schaltungselementen oder sogar einer vollständigen integrierten Schaltung, die beispielsweise zur Verstärkung des Lesesignals oder des Schreibstroms dient oder eine andere für den Betrieb des Magnetkopf«; erforderliche Aufgabe hat Jeder dieser Kontakte ist so ausgelegt, daß auch das Anschließen der von dem Magnetkopf kommenden Leiter 5, 6 und 7 durch
Hartlöten oder Schweißen möglich ist. Der mittlere Kontakt 20, der für den Masseanschluß vorgesehen ist, besteht vorteilhaft aus einer magnetischen Schicht und einer Hartlotschicht, die mit der Schicht 14 bzw. der Schicht 15 verbunden sind, wodurch elektrische Ladungen, die sich eventuell auf der Abschirmung ansammeln können, nach Masse abgeleitet werden.
Das Aufbringen der Schichten in den beiden ersten Verfahrensstufen kann durch Kathodenzerstäubung erfolgen. to
In den Fig. 4 bis 6 ist gezeigt, wie in diesem Fall eine größere Anzahl der zuvor beschriebenen Magnetkopfanordnungen gleichzeitig hergestellt werden kann.
Die Tragsegmente 10, die vorher jeweils mit Löchern 35 versehen worden sind, werden zwischen zwei dünnen Metallplatten 30 und 31 angeordnet, vgl. F i g. 4. Diese Platten sind an jeder Tragsegmentanbringungsstelle mit Ausschnitten 32, 33, 34 versehen, die die gewünschte Umrißform für die Überzüge auf der Rückfläche der Tragsegmente haben. Die Magnetkopfblöcke 1, die in den Tragsegmenten zu montieren sind, sind andererseits in Löchern einer dünnen Metallplatte 40 befestigt, vgl. Fig.5, beispielsweise mittels eines löslichen Harzes, welches auf der Rückseite der Platte 40 ihre hinteren Enden und die Leiter 5, 6 und 7 mindestens auf einem Teil ihrer Länge umhüllt, wie bei 42 (F i g. 6) schematisch dargestellt ist. Die auf diese Weise ausgerüsteten Metallplatten werden in einer Vakuumkammer zusammen mit einer oder mehreren Kathodenzerstäubungselektroden angeordnet. Wenn das Vakuum hergestellt ist, wird zuerst das magnetische Material aufgebracht und danach wird, ohne das Vakuum zu unterbrechen, durch einfachen Wechsel der aktiven Anode in der Vakuumkammer d;is Hnrtlotmaterial auf die magnetische Schicht aufgebracht.
Wie bereits erwähnt, hat die Schicht aus magnetischem Material, die für die Abschirmung benut/i wird, auch eine mechanische Aufgabe zu erfüllen, da ihr Material, wie etwa Permalloy, sehr gut auf dem für die Umhüllung der Magnetköpfe verwendeten Glas und den gewöhnlich für die Tragsegmente verwendeten Materialien haftet. Es ist nicht erforderlich, die Kopfspiegelfläche zu schützen, da die zusammengesetzte Schicht, die darauf aufgetragen wird, beim Schleifen der Flugfläche des Tragsegments nach der Montage des Kopfes verschwinden wird. Das Schleifen ist erforderlich, um sicherzustellen, daß der Luftspalt des Magnetkopfes genau bündig mit der Flugfläche des Tragsegments abschließt.
Wenn eine Abschirmschicht auf der Rückfläche der Magnetkopfblöcke gebildet werden soll, kann mar entweder eine erneu\e Folge von Auftragsvorgänger durchführen, nachdem die Platte 40 umgedreht worder ist und das Schutzharz außer an den Hindurchführungs stellen der Leiter 5, 6 und 7 entfernt worden ist, odei man kann beispielsweise die Rückfläche außer an dei genannten Stellen von Anfang an harzfrei lassen un< Überzüge auf beiden Seiten der Platten gleichzeitij aufbringen.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (9)

Patentansprüche:
1. Magnetkopfanordnung zur Verwendung bei Magnetplattenspeichern nut einem Tragsegment aus nichtmagnetischem Material und mit einem Magnetkopf, der so in ein Loch des Tragsegments eingesetzt ist, daß die Kopfspiegelfläche bündig mit der Vorderseite des Tragsegmentes ist, und der in einen Block aus nichtmagnetischem Material eingebettet ist, der mit einem metallischen Überzug versehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß der metallische Oberzug des Magnetkopfblocks (1) eine in Form eines in sich geschlossenen Ringes um den Magnetkopfblock (1) verlaufend; dünne Schicht (9) aus anisotropem magnetischem Material hoher Permeabilität ist, daß auf die Innenwand des den Magnetkopfblock aufnehmenden Loches im Tragsegment (10) eine dünne Schicht (8) aus anisotropem magnetischem Material hoher Permea- μ bilität in Form eines um die ganze Innenwand verlaufenden in sich geschlossenen Ringes aufgebracht ist, und daß die beiden Schichten (8, 9) aus anisotropem magnetischem Material durch eine dazwischenliegende Schicht (It, 12,13) aus Hartlot miteinander verbunden sind.
2. Magnetkopfanordnung nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet daß die auf den Magnetkopfblock (1) aufgebrachte Schicht (9) aus anisotropem magnetischem Material auch die freie Rückseite (16)des Magnetkopfblocks bedeckt
3. Magnetkopfanordnung nach Anspruch 1 oder 2. dadurch gekennzeichnet daß der das Loch umge bende Bereich der Rückfläche des Tragsegments (10) mit einer dünnen Schicht (14) aus anisotropem magnetischem Material bedeckt ist, die mit einer Hartlotschicht (15) bedeckt ist
4. Magnetkopfanordnung nach Anspruch 3. gekennzeichnet durch eine magnetostatische Abschirmkappe (18), die auf die das Loch umgebenden Schichten (14, 15) an der Rückfläche des Tragsegments (10) aufgelötet ist.
5. Magnetkopfanordnung nach Anspruch 3 oder 4. dadurch gekennzeichnet daß auf die Rückfläche des Tragsegments (10) Anschlußkontakte (20,21,22) aus übereinanderliegenden Schichten aus anisotropem magnetischem Material und aus Hartlot gebildet sind, und daß die Schichten eines der Anschlußkontakte Fortsetzungen der das Loch umgebenden Schichten (14,15) sind.
6. Verfahren zum Herstellen einer Magnetkopfanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5. dadurch gekennzeichnet daß auf die Innenwand des Loches im Tragsegment (10) eine dünne Schicht (8) aus anisotropem magnetischem Material hoher Permeabilität in Form eines in sich geschlossenen Ringes aufgebracht wird, daß wenigstens auf den vom Loch aufgenommenen Teil der Oberfläche des Magnetkopfblocks (1) eine dünne Schicht (9) aus anisotropem magnetischem Material hoher Permeabilität in Form eines in sich geschlossenen Ringes aufgebracht wird, daß auf jede der Schichten (8, 9) aus anisotropem* magnetischem Material eine dünne Schicht (U, 12) aus Hartlot aufgebracht wird, dessen Schmelzpunkt niedriger als die Schmelzpunkte der nichtmagnetischen Materialien des Tragsegments (10) und des Magnetkopfblocks ist, und daß nach dem Einsetzen des Magnetkopfblocks (1) in das Loch die ganze Anordnung bis zum Schmelzpuakt des Hartlots erhitzt und während des Erhitzens ein zusätzlicher Auftrag (13) aus Hartlot zwischen die beiden Hardotschichten (11,12) eingebracht wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6 zur Herstellung der Magnetkopfanordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet daß die Bildung der auf die Innenwand des Loches aufgebrachten Schichten (8, 12) so durchgeführt wird, daß sich diese Schichten bis über einen Teil der das Loch umgebenden Rückfläche des Tragsegments erstrecken.
8. Verfahren nach Anspruch 7 zur Herstellung der Magnetkopfanordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet daß die Schichten der Anschlußkontakte (20,21,22) im gleichen Arbeitsgang wie die Bildung der das Loch umgebenden Schichten (14,15) erfolgt
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet daß zur Bildung der Schichten (8,9,11,12,14,15) mehrere Tragsegmente (10) und/oder mehrere Magnetkopfblöcke (1) auf Metallplatten (30, 31, 40) montiert werden, welche die nicht zu beschichtenden Stellen der Bauteile abdecken, und daß die Schichten aus anisotropem magnetischem Material und aus Hartlot durch aufeinanderfolgende Kathodenzerstäubung ihrer Bestandteile auf die freiliegenden Flächen der Bauteile aufgebracht werden.
DE19742408367 1973-02-21 1974-02-21 Magnetkopfanordnung und Verfahren zu ihrer Herstellung Expired DE2408367C3 (de)

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FR2218611B1 (de) 1976-09-10
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NL7401882A (de) 1974-08-23
FR2218611A1 (de) 1974-09-13
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