DE2350516B2

DE2350516B2 - Verfahren und vorrichtung zum bestimmen der kristallographischen orientierung eines einkristalls

Info

Publication number: DE2350516B2
Application number: DE19732350516
Authority: DE
Inventors: Henri Prof.; Darces Jean-Francois; Besancon; Exertier Jean-Yves Valence; Merigoux (Frankreich)
Original assignee: Merigoux, Henri, Prof., Besancon (Frankreich)
Priority date: 1972-10-11
Filing date: 1973-10-09
Publication date: 1977-05-26
Also published as: FR2203515A5; US3870880A; CH574107A5; DE2350516A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Bestimmen der kristallographischen Orientierung eines Einkristalls nach der Gattung des Hauptanspruchs. Ferner bezieht sich die Erfindung auf eine Vorrichtung zur Ausführung dieses Verfahrens.

Aus der GB-PS 11 50 243 ist schon ein Verfahren zum Bestimmen der kristallographischen Orientierung eines Einkristalls mittels Röntgenreflexionen bekannt. Dieses Verfahren und die Vorrichtung zu seiner Ausführung beschränken sich aber auf die Feststellung einer einzigen kristallographischen Richtung, nämlich der Z-Achse der einzelnen Kristallproben, die so ausgebildet sein massen, daß ihre X-Achse eine vorgeschriebene Richtung zu der Kristallhalterung aufweist. Es ist also nicht möglich, eine vollständige Bestimmung der kristallographischen Orientierung eines Einkristalls beliebiger geometrischer Gestalt in einem Arbeitsgang durchzuführen; hierzu müssen nämlich die Reflexionswinkel in zwei zueinander senkrechten Ebenen bestimmt werden.

Das erfindungsgemäße Verfahren mit den kennzeichnenden Merkmalen des Hauptanspruchs hat demgegenüber den Vorteil, daß die kristallographische Orientierung eines Einkristalls beliebiger geometrischer Gestalt in einem einzigen Arbeitsgang durchgeführt werden kann; Voraussetzung ist nur, daß der Einkristall wenigstens eine ebene Fläche aufweist, die als Grundfläche in einer Bezugsebene benutzt werden kann.

Erfindungsgemäß geht man so vor, daß während des Aufsuchens der Reflexionsmaxima in der Horizontalebene, bei dem der Kristall, dessen Grundflächennormale in horizontaler Richtung ausgerichtet ist, in bekannter Weise um eine vertikale Achse gedreht wird, gleichzeitig mit hoher Geschwindigkeit um eine horizontale Achse umläuft. Dadurch wird erreicht, daß unabhängig von der ursprünglichen Orientierung der Kristallachser zur Halterung sämtliche kristallographisch möglicher Reflexionsebenen und die entsprechenden Reflexions winkel aufgefunden werden. Hierbei sind jeder Refle xionselbene bekanntlich zwei Reflexionswinkel zugeord net, so daß man eine gute Kontrolle hat.

Nach Beendigung dieser Arbeit wird eine passende Reflexionsebene aufgesucht, deren räumliche Orientie rung nunmehr vollständig bestimmt werden soll. Dei Kristall wird durch Drehen um die vertikale Achse in die vorher beobachtete Lage des betreffenden Reflexions winkeis gebracht und anschließend in langsam« Drehung um die horizontale Achse versetzt. Bei zwe bestimmten Winkelstellungen muß nur die vorhe während des raschen Umlaufs beobachtete Reflexioi wieder auftreten. Die Ablesung dieser Winkelstellungei ergibt die gewünschte Orientierung der betreffendei Reflexionsebene hinsichtlich eines zweiten geometri sehen Parameters; hieraus kann die räumliche Lage de Reflexionsebene vollständig berechnet werden.

Zur Ausführung des geschilderten Verfahrens bedien man sich mit Vorteil eines Goniometers, bei dem eil Drehteller mit horizontaler Achse zur Aufnahme de

Kristallproben um die vertikale Achse des Goniometers drehbar ist und das dadurch gekennzeichnet ist, daß der Drehteller in einem lösbaren und versetzbaren Spindelstock gelagert und mit zwei wahlweise einschaltbaren Antriebsvorrichtungen für zwei verschiedene Drehgeschwindigkeiten verbunden ist, sowie daß eine Skala zur Feststellung der Drehwinkellage des Drehtellers vorgesehen ist Ähnliche Goniometer, bei denen eil? Drehteller mit horizontaler Achse zur Aufnahme der Kristallproben ebenfalls um die vertikale Achse drehbar ist, sind bekannt, z. B. aus CH-PS 4 88 180 oder GB-PS 7 26 886. Diese Vorrichtungen sind aber für andere Zwecke (Topographie von Kristallen oder Untersuchung von Kristalliten) bestimmt und demgemäß auch mechanisch anders ausgerüstet

Die Erfindung ist auch in dem Sonderfall anwendbar, daß der Einkristall bereits fest in einer Vorrichtung montiert ist wenn nur diese Vorrichtung eine ebene Fläche aufweist; in diesem Falle wird die Orientierung des Kristalls in bezug auf diese Räche als Grundfläche geliefert. Ferner ist es möglich, in an sich bekannter Weise durch Parallelverschiebungen des Kristalls die fehlorientierten Zonen der einzelnen Reflexionsebenen ausfindig zu machen.

In der Zeichnung zeigt

F i g. 1 eine schematische Profilansicht und

F i g. 2 eine perspektivische Ansicht einer Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens.

Das dargestellte Gerät weist einen Sockel 1 auf, auf dem ein Zahnkranz 2 mit schraubenförmiger Verzahnung befestigt ist. Ein Tragarm 3 für den Röntgendetektor 14 ist drehbar um die Achse des Sockels 1 gelagert. Ferner ist ein weiterer Tragarm 4 für den Prüfkristall ebenfalls drehbar um die Sockelachse gelagert.

Ein Spindelstock 5, der auf dem Tragarm 4 angebracht ist, weist eine Spindel 6, einen die Kristallprobe aufnehmenden Teller 7, ein Schneckenrad 8, sowie eine den schnellen Antrieb der Spindel 6 bewirkende Riemenscheibe 12 auf. Die Befestigung des Kristalls auf dem Teller 7 kann mit Hilfe bekannter Mittel erfolgen. Der Teller 7 kann mit zwei verschiedenen Geschwindigkeiten gedreht werden. Die langsame Drehung wird über das Schneckenrad 8 und eine Schnecke 9 von einem Schrittschaltmotor 10 erzeugt. Die schnelle Drehung wird nach Ausschaltung der Schnecke 9 durch einen Motor 13 hervorgerufen, der die Spindel mittels der Riemenscheibe 12 antreibt. Eine Skalenscheibe 11 ist mit der Schnecke 9 verbunden, um die Drehwinkel der Spindel 6 ablesen zu können.

Es sei bemerkt, daß der Spindelstock 5 mit den zugehörigen Teilen 6 bis 12 mit jedem beliebigen Goniometer verbunden werden kann, das z. B. auskuppelbare Theta- und Doppelthetabewegungen ausführt. Es genügt hierzu, den Spindelstock auf dem Probenträger oder einem gleichwertigen Teil des Goniometers zu befestigen.

Zum Antrieb der Motoren der hier beschriebenen Vorrichtung dienen zwei unabhängige Stromquellen. Der Motor 13 für die schnelle Drehung wird mit Gleichstrom gespeist, während der Schrittschaltmotor 10 für den Antrieb der Schnecke 9 und weitere Schrittschaltmotoren 15, welche die Arme 3 und 4 betätigen, von einem Impulsgenerator mit veränderlicher Frequenz gespeist werden. Die Antriebsvorrichtung gestattet die gleichzeitige oder getrennte Inbetriebsetzung dieser Motoren in beiden Drehrichtungen.

Es ist auch möglich, die Motoren von den durch sie aneetriebenen Teilen zu trennen. Wenn der lösbare Spindelstock S bis 13 mit einem anderen Goniometer verbunden wird, kann die hier beschriebene Antriebsvorrichtung weiterhin benutzt werden; es genügt hierzu, die Steuerung für die Motoren 15 wegzulassen.
Eine nicht dargestellte Ablesevorrichtung für die elektronische Winkelanzeige kann mit irgendeinem Gerät verbunden werden, das zum Empfang und zur Verarbeitung dieser Informationen eingerichtet ist Es sind solche Winkelablesevorrichtungen für die Drehwinkel um die Achse des Sockels 1 für die Arme 3 und 4, sowie für die Drehbewegung des die Kristallprobe tragenden Tellers 7 um die Achse der Spindel 6 vorgesehen. Die Anzeige wird für beide mit Hilfe von elektromechanischen Wandlern gesteuert, welche einerseits mit der Skalenscheibe 11 für den Teller 7 und andererseits mit Stifttrommeln 17 zusammenwirken. Letztere sitzen auf den Antriebsschnecken 18 für die drehbaren Arme 3 und 4. Die Anzeige der Bruchteile eines Grades geschieht unmittelbar mittels der auf die

;o Schrittschaltmotoren gegebenen Impulse. Falls der Spindelstock 5 bis 13 an einem anderen Goniometer angebracht ist, beschränkt sich die Anzeigevorrichtung auf die Skalenscheibe 11 für den Drehwinkel des Tellers 7.

Für die drehbaren Teile, also für die Arme 3 und 4 und den Teller 7, sind die Nullage anzeigende Marken vorgesehen.

Die Kristallprobe wird mit Hilfe bekannter Befestigungsmittel auf dem Teller festgehalten. Dieser ist auswechselbar, d. h. daß für jede Befestigungsart der Probe ein besonderer Teller vorgesehen sein kann.

Der Teller 7 kann mit einem die Proben in der Telierebene verschiebbaren Schlitten versehen sein. Diese Verschiebung kann in einer einzigen Richtung

vs erfolgen (x-Verschiebung) oder aber in zwei Richtungen, die rechtwinklig aufeinanderstellen (x-y-Verschiebung). Die Verschiebung kann entweder bei stillstehendem oder bei sich drehendem Teller bewirkt werden, letzteres mit Hilfe einer Kupplungsvorrichtung.

Schließlich ist die Vorrichtung mit einer Röntgenstrahlquelle 16 versehen.

Vorgehen zur Bestimmung einer
Kristallorientierung

Prinzip

Die Reflexionsgesetze der Röntgenstrahlen an den Kristallebenen zeigen, daß es nur sehr wenige für die Reflexion günstige Einfallswinkel gibt und daß der

so Winkelbereich dieser Reflexionen sehr eng ist. Dank dieser Eigenschaften ermöglicht die Beobachtung der Reflexionsebenen mit Hilfe geometrischer Überlegungen die Auffindung der Orientierung des Kristallgitters in bezug auf die geometrische Form der Probe. Das Ziel

ss des durchzuführenden Vorganges besteht somit darin, die für diese Bestimmung erforderlichen Reflexionen rasch ausfindig zu machen.

Nachdem ein gewisser Reflexionswinkel gewählt worden ist, versucht man, die Probe in die für diese

6< Beobachtung günstige Lage bzw. Lagen im Raum zu bringen.

Die Vorderfläche der Probe wird mit Hilfe einer entsprechenden Verschiebung des gesamten Spindelstocks 5 in die Achse des Sockels 1 gebracht. Der Teller

(>.'» 7 wird auf schnelle Drehung eingestellt, und der Probentragarm 4 überstreicht den gesamten freien Winkelbereich des Zahnkranzes 2.
Wenn die Reflexion beobachtbar ist, muß sie für eine

bestimmte Lage des Probentragarmes 4 innerhalb des soeben beschriebenen Winkelbereiches sichtbar sein. Die Reflexion ist hierbei an zwei verschiedenen Stellen beobachtbar. Die Winkeldifferenz, die den beiden Beobachtungen entspricht, ist eine für die weiteren ^s Betrachtungen wertvolle Größe.

Bemerkung 1

Die aus diesen Messungen erhaltenen Auskünfte führen lediglich zur Kenntnis der Orientierung der i< > Normale des Kristallplättchens bzw. der Tangentialebene des Plättchens an der Auftreffstelle der Röntgenstrahlen in bezug auf eine Reflexionsebene.

Bemerkung II

Durch Ausnutzen der Redundanz der Informationen ist es möglich, unvollständige Messungen, d. h. diesem Vorgehen nicht genau entsprechende Messungen zu verwenden. Es genügt dabei eine Anzahl Beobachtungen vorzunehmen, welche größer als die theoretisch -ό erforderliche Anzahl ist Die Verarbeitung der gesamten Angaben liefert die gewünschte Richtung.

Bemerkung IH

Wenn bei einem gegebenen Reflexionswinkel Cdrei ^s Reflexionslagen beobachtet werden konnten, sind so viele neue Reflexionswinkel, wie erforderlich, zu berücksichtigen.

Es bleibt die Bestimmung der Orientierung einer anderen der Probe zugeordneten Richtung. Hierzu wird v> der Probentragarm 4 auf eine Reflexionslage eingestellt, die bei der raschen Drehung des Tellers 7 bestimmt wurde. Anschließend wird die langsame Drehbewegung statt der raschen Drehbewegung eingeschaltet. Man läßt den Teller sich so lange drehen, bis die Reflexion wieder auftritt. Diese Reflexionslage muß notwendig gefunden werden. Nun wird die Stellung des Tellers 7 abgelesen. Der Nullpunkt dieser Drehwinkellage entspricht derjenigen Lage, bei welcher die Seitenkante des Kristallplättchens (wenn man diese als Bezugsrich- -10 tung verwenden will) horizontal ist. Dieser Zahlenwert ist weiter verwendbar.

Bemerkung I

Es ist möglich, die Reihenfolge der durchgeführten Messungen zu ändern, insbesondere die Messungen zur Bestimmung der Orientierung der Normale auf die Kristalloberfläche und diejenigen hinsichtlich einer ausgezeichneten Richtung der Kristalloberfläche.

Bemerkung II

Es ist auch hier möglich, »unvollständige« Informationen zu verwenden, unter der Voraussetzung, daß mehr Informationen als erforderlich berücksichtigt werden.

Mit den bekannten Vorrichtungen kann die Orientierung nur bis auf eine Umdrehung um eine dem Kristall zugeordnete Richtung ermittelt werden. In der beschriebenen Vorrichtung wird dank der Kenntnis zweier Richtungen die vollständige Orientierung der Probe im Raum ermittelt und zwar für einen losen oder fest eingebauten KristalL

Der Obergang von der schnellen zur langsamen Drehgeschwindigkeit erlaubt einen Zeitgewinn bei den Messungen und ermöglicht eine große Auswahl unter den mathematischen Lösungen, welche hernach für die ^ft5 Bestimmung der Orientierung verwertbar sind. Von dem Kristallsystem, dem der Probekristall angehört, oder von der vorliegenden Orientierung her sind keinerlei Einschränkungen vorhanden.

Da die Probe eine beliebige geometrische Gestalt haben kann, besteht die Möglichkeit, auch die Orientierung einer nicht ebenen, sondern zylindrischen Lamelle festzustellen; in diesem Falle kann die Richtung der Mantellinien ermittelt werden. Außerdem besteht die Möglichkeit, die Orientierung mehrerer Richtungen in der Ebene der Probe zu ermitteln, insbesondere wenn eine Probe mehrere Bezugsrichtungen aufweist.

Wie erwähnt sind folgende Meßwerte für die Weiterverarbeitung brauchbar:

Die der Winkeldifferenz für zwei zusammengehörige Reflexionslagen des Tragarmes 4 entsprechende Zahl, wenn der Probenteller 7 auf die größere Drehzahl eingestellt ist und die der Winkellage des Tellers 7 entsprechende Zahl, wenn die Reflexion der Röntgenstrahlen bei der langsamen Drehung auftritt. Diese Zahlen sind noch nicht unmittelbar verwendbar; sie müssen transformiert werden, damit die Orientierung der Probe ermittelt werden kann. Diese Transformation kann auf graphischem Wege mittels eines Wulff-Netzes oder auf numerischem Wege mittels eines Elektronenrechners vorgenommen werden.

Vorgehen zur Prüfung der Kristallqualität

Eine Probe kann einen Einkristall darstellen, aber trotzdem Fehler aufweisen. Eine Lokalisierung dieser Fehler ist sehr wichtig. Der zu lokalisierende Fehlertyp ist derjenige, der durch unterschiedliche Einkristallzonen gebildet wird. Die Ursache dieses Fehlers kann mit einer Zwillingskristallbildung zusammenhängen oder auch nicht. Es ist alsdann möglich, die unterschiedliche Orientierung der verschiedenen Zonen und ihre Lage hinsichtlich der Probenbegrenzung zu bestimmen.

J e nachdem, ob ein Teller Verwendung findet, bei dem die Verschiebung der Probe in der Tellerebene mit der Tellerdrehung verknüpft ist oder unabhängig davon stattfindet, ist das Vorgehen verschieden.

a) Vorgehen bei einem Teller, dessen
Verschiebung mit der Drehung verknüpft ist

1. Der Teller wird auf rasche Drehung eingestellt, um die Reflexion der Röntgenstrahlen durch die Kristallprobe aufzusuchen.

2. Die Verschiebung der Probe in der Tellerebene wird mit der Tellerdrehung gekuppelt. Unter dieser Umständen verschiebt sich die Probe langsam ir ihrer bzw. der Tellerebene. Wenn der Kristall vor guter Qualität ist bleibt die Reflexion erhalten Falls der Kristall jedoch eine falsch orientierte Zone aufweist, verschwindet die Reflexion, sobalc diese Zone in den Mittelpunkt des sich drehender Tellers gelangt

3. Die Verschiebung wird ausgekuppelt und dif Orientierung der neuen Zone in der beschriebener Weise bei rascher Tellerdrehung ermittelt

4. Die Verschiebung wird wieder eingekuppelt dit Probe verschiebt sich weiterhin und die Reflexior bleibt bestehen, solange man in dieser neuen Zon« verbleibt Wenn die Reflexion von neuem ver schwindet, wird das beschriebene Vorgehen ir Etappe 3 wieder aufgenommen.

Bemerkung

Es ist darauf zu achten, daß für jede Zone all« erforderlichen Werte erfaßt werden, um die vollständi ge Orientierung dieser Zone zu ermitteln.

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b) Vorgehen bei einem Teller, dessen

Verschiebung nicht mit der Drehung gekuppelt ist

1. Die Reflexion wird zuerst bei rascher Drehung, dann bei langsamer Drehung des Tellers aufgesucht. Wenn die Reflexion gefunden ist, wird die Drehbewegung stillgesetzt.

2. Die Probe wird in der Tellerebene verschoben. Wenn der Kristall von guter Qualtität ist, bleibt die Reflexion erhalten. Wenn der Kristall eine fehlerorientierte Zone besitzt, verschwindet die Reflexion, sobald diese Zone in der Mitte des Tellers anlangt.

3. Wenn die Reflexion verschwindet, wird die Verschiebungsbewegung unterbrochen und die Orientierung der neuen Zone nach dem beschriebenen Verfahren bestimmt. Ist die Reflexion wiedergefunden, so wird die Drehbewegung unterbrochen und die Verschiebung gemäß Etappe 2 wieder aufgenommen.

Auch hier werden selbstverständlich für jede Zone alle zur Bestimmung der Orientierung notwendigen Werte gemessen.

Vür beide Vorgänge a) und b) können eine oder zwei Verschiebungsbewegungen vorgesehen sein, d. h. der Probenträger wird entweder nur in einer Richtung (x-Richtung) verschoben oder in zwei zueinander senkrechten Richtungen (x- und y-Verschiebung). Im letzteren Falle kann anstelle einer linearen Untersuchung eine Prüfung der ganzen Oberfläche der Probe vorgenommen werden.

Nach dem beschriebenen Vorgehen kann die relative Orientierung der Zonen untereinander bestimmt werden, ohne daß es notwendig ist, ihre Orientierung in bezug auf die geometrischen Umrisse der Probe zu kennen. Es genügt, daß die Probe eine ebene Fläche aufweist und daß diese mit Hilfe einer mechanischen Vorrichtung derart gehalten ist, daß die ebene Fläche parallel zu der Tellerebene liegt.

Das Verfahren zum Prüfen der Kristallorientierung

kann sowohl zur Prüfung eines Objektes, dessen Orientierung zu Beginn nicht bekannt ist, als auch zur Prüfung eines Objektes, dessen mutmaßliche Orientie-

ίο rung bekannt ist, angewandt werden.

Im ersten Falle wird das oben erläuterte Verfahren zum Prüfen der Orientierung angewendet. Im zweiten Falle beginnt man vorgängig mit der Bestimmung der Lagen, in denen eine Reflexion beobachtet werden soll Die Abweichung zwischen den beobachteten und berechneten Konditionen führt zur Ermittlung der wahren Orientierung.

Diese beiden Fälle können beispielsweise in Laboratorien für Kristallographie, sowie bei der Lösung fabrikatorischer Probleme bezüglich der Kristalle vorkommen, beispielsweise bei der Überwachung des Zerschneidens oder Sägens von Kristallen, sowie der Steuerung dieses Vorganges. Als Anwendungsgebiete seien beispielsweise die Krislallsynthese, die Prüfung von Resonatoren und elektronischen Bauteilen, die Zerschneidung von Einkristallen usw. genannt.

Die Prüfung der Kristallqualität findet ihre Anwendung in Laboratorien und Fabrikationsstätten für die Herstellung synthetischer Einkristalle, beispielsweise hydrothermische Synthesen, Oberflächenvergütung usw.

Das Verfahren kann zur Bestimmung der Qualität eines synthetischen Kristalls verwendet werden, bevor dieser in Scheibchen oder Lamellen zerteilt wird.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

709 521/36!

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Claims

Patentansprüche:

1. Verfahren zum Bestimmen der kristallographischen Orientierung eines Einkristalls beliebiger geometrischer Gestalt mit einer ebenen Grundfläche, bei dem der Kristall, dessen Grundflächennormale in horizontaler Richtung ausgerichtet ist, so um eine vertikale Achse gedreht wird, daß mindestens ein Teil des Winkelbereichs der reflektierten ic Röntgenstrahlung überstrichen wird, um Reflexionen zu erhalten, welche die Bestimmung der Orientierung einer kristallographischen Richtung ermöglichen, dadurch gekennzeichnet, daß man den Kristall während der Drehung um die vertikale Acbse mit so hoher Geschwindigkeit um eine horizontale Achse umlaufen läßt, daß die Reflexionen einen über die Probe gemittelten Wert liefern, daß danach der Kristall wieder in die Beobachtungslage einer der festgestellten Reflexionsrichtungen gebracht und nunmehr in dieser Lage mit geringer Geschwindigkeit gedreht wird, bis die genannte Reflexion wiedergefunden ist, und daß diese Drehwinkellage des Kristalls abgelesen wird, um die Orientierung einer weiteren kristallographisehen Richtung zu bestimmen.

2. Verfahren nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß der Kristall während oder nach dem Aufsuchen der Reflexionsrichtungen einer Verschiebungsbewegung senkrecht zu der horizontalen Umlaufachse unterworfen wird, um mit Hilfe des Reflexionsverlustes alle fehlorientierten Zonen des Kristalls ausfindig zu machen.

3. Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens nach Anspruch 1, bei der ein Drehteller mit horizontaler Achse zur Aufnahme der Kristallproben um die vertikale Achse eines Goniometers drehbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Drehteller (7) in einem lösbaren und versetzbaren Spindelstock (5) gelagert und mit zwei wahlweise einschaltbaren Antriebsvorrichtungen (10, 13) für zwei verschiedene Drehgeschwindigkeiten verbunden ist, sowie daß eine Skala (11) zur Feststellung der Drehwinkellage des Drehtellers vorgesehen ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehspindel (6) einerseits mit einer motorgetriebenen Treibscheibe (12) für die schnelle Drehung und andererseits mit einem Schrittschaltmotor (10) für den langsamen Antrieb verbunden ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Motor (13) für den schnellen Antrieb mit Gleichstrom gespeist wird, daß der Schrittschaltmotor (10) von einem Impulsgenerator mit veränderlicher Frequenz gespeist wird und daß beide Motoren umsteuerbar sind.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Goniometer einen Sockel (1) mit einem festangeordneten Zahnkranz (2), einen drehbar auf diesem Sockel gelagerten Tragarm (3) für einen Röntgenstrahldetektor (14), <<o der mit einer Verzahnung versehen ist, die mit dem Zahnkranz (2) in Eingriff steht, und einen weiteren, drehbar auf dem Sockel (1) angelenkten Tragarm (4), der den Spindelstock (5) aufnimmt, umfaßt, sowie das die beiden Tragarme (3, 4) je durch einen ^ Schrittschaltmotor (15) unter Speisung durch einen Impulsgenerator veränderlicher Frequenz in beiden Richtuneen antreibbar sind.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 6_: dadurch gekennzeichnet, daß der Drehteller (7) eine Vorrichtung zum Verschieben des Kristalls in der Tellerebene aufweist, die mit der Drehbewegung des Tellers gekuppelt sein kann.