DE2335302A1 - Verfahren und einrichtung zur herstellung von als technische rohmaterialien verwendbaren legierungsmengen durch niederschlag aus einer dampfphase im vakuum - Google Patents

Verfahren und einrichtung zur herstellung von als technische rohmaterialien verwendbaren legierungsmengen durch niederschlag aus einer dampfphase im vakuum

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Robert Lewis Bickerdike
Garyth Hughes
William Norman Mair
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    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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