DE2322392A1

DE2322392A1 - Verfahren und anlage zur verminderung der verschleppung des aetzmittels beim betrieb einer aetzmaschine mit spuelzone und nachgeschalteter regenerationseinrichtung

Info

Publication number: DE2322392A1
Application number: DE19732322392
Authority: DE
Inventors: Rainer Haas
Original assignee: HOELLMUELLER MASCHBAU H
Current assignee: HOELLMUELLER MASCHBAU H
Priority date: 1973-05-04
Filing date: 1973-05-04
Publication date: 1974-11-14

Description

Verfahren und Anlage zur Verminderung der Verschleppung des Ätzmittels beim Betrieb einer Ätzmaschine mit Spülzone und nachgeschalteter Regenerationseinrichtung.
Die vorliegende Erfindung betrifft ein zum Betrieb einer Ätzmaschine geeignetes Verfahren, bei dem der mit einer Spülzone ausgestatteten Ätzmaschine eine Regenerationseinrichtung nachgeschaltet ist, von der aus das in dieser regenerierte Ätzmittel wieder der Ätzmaschine zugeführt wird.
Bei dem Betrieb von Ätzmaschinen besteht immer wieder die Schwierigkeit, daß das in der Spülzone der Ätzmaschine umgewälzte Spülwasser eine größere Menge Ätzmittel aufnimmt und somit dem Abwasser nicht mehr zugeführt werden darf, ohne zuvor ausreichend von dem Ätzmittel befreit zu werden.
Der Erfindung liegt somit die rufgabe zugrunde, diese Schwierigkeit zu beseitigen und ein Verfahren zu schaffen, bei dem das von dem ätzmittel versetzte Spülwasser mindestens teilweise noch einer anderen Wiederverwendung zugeführt wird.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß nun dadurch gelöst, daß das Spülwasser mindestens teilweise der Regenerationseinrichtung zugeführt und entsprechend mit Frischwasser ergänzt wird.
Bei diesem Verfahren wird also der Regenerationgseinrichtung nicht etwa Frischwasser, sondern das zum Teil mit Ätzmittel versetzte Spülwasser zugeführt, wobei dann der bereits in dem Spülwasser befindliche Anteil des Ätzmittels gleichzeitig mit dem Xtzmittel regeneriert wird, das von der itzmaschine direkt zur Regenerationseinrichtung gelangt.
Bei diesem Verfahren ist es weiterhin möglich, die zur Ätzmaschine gehörige Spülzone in mindestens zwei voneinander getrennten Teil zonen aufzuteilen, wobei dann das Spülwasser der ersten Spülzone mindestens teilweise der Regenerationseinrichtung und das Spülwasser der zweiten Spülzone dem Abwasser und beiden Spülzonen unabhängig voneinander wieder Frischwasser zugeführt wird.
Attird beispielsweise ein alkalisches Xtzmittel verwendet, so ist es erfindungsgemäß weiterhin von Vorteil, wenn das mit der alkalischen Ätzlösung angereicherte Spülwasser durch die Zugabe einer Säure mindestens teilweise neutralisiert, vorzugsweise jedoch bis zu einem pH-Wert von etwa 3,0 bis 4,0 angesäuert, teilweise der Regenerationseinrichtung zugeführt und durch Frischwasser ergänzt wird. Mit dieser Art der Handhabung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es insbesondere möglich, als Ätzmittel eine Chloridionen enthaltende ammoniakalische Ätzlösung und zur Regeneration der während des Atzprozesses entstehenden Kupfer-I-Verbindung eine chlorhaltige Verbindung, wie beispielsweise Salzsäure (HC1), Ammoniumchlorid (NH4Cl) oder auch Natriumchlorid (NaCl) od. dgl., zu verwenden.
Auch kann bei diesem erfindungsgemäßen Verfahren das Spülwasser noch teilweise einer die Regenerationsflüssigkeit automatisch ansetzenden Einrichtung zugeführt werden.
Zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist eine aus einer atzmaschine, mindestens einer Spülzone sowie einer Regenerationseinrichtung bestehende Anlage geeignet, bei der der Sumpf der Spülzone über eine absperrbare Leitung mit der Regenerationseinrichtung, insbesondere dem zu dieser gehörigen, der Aufnahme des wassers vorgesehenen Dosierbehälter, verbunden und an eine ebenfalls absperrbare, Frischwasser zuführende leitung angeschlossen ist, wobei dann die in den beiden Leitungen befindlichen Absperrorgane einerseits in Abhängigkeit des Wasserbedarfes der Regenerationseinrichtung und andererseits in Abhängigkeit des jeweiligen Spülwasserniveaus steuerbar sind. Durch eine derartige Gestaltung ist also einerseits eine ausreichende Versorgung der Regenerationseinrichtung mit durch Xtzmittel versetztem Spülwasser gewährleistet, andererseits aber wird das von der Spülzone abgenommene Spülwasser regelmäßig durch Frischwasser ergänzt, so daß auch hier jederzeit eine ausreichende Menge Spülwasser vorhanden ist.
Ist, wie oben schon angedeutet wurde, die Spülzone in mindestens zwei Teilzonen aufgeteilt, so ist der Sumpf der unmittelbar der Ätzinaschine benachbarten Spülzone mit der Regenerationseinrichtung verbunden, der Sumpf der anderen Spülzone dagegen direkt an das Abwasser angeschlossen.
Um hierbei möglichst von vorne herein ein Verschleppen des lLtzzittels zu verhindern, ist es weiter von Vorteil, wenn zwischen der Ätzmaschine und der Spülzone oder aber auch deren Teilzonen jeweils eine den Übertritt des Xtsmittels bzw. des Spülwassers hemmende Atguetscheinrichtung angeordnet sind.
Schließlich ist es auch noch von Vorteil, wenn zwischen der Spülzone und der Regenerationseinrichtung eine die Regeneration des Ätzmittels bewirkende Flüssigkeit automatisch ansetzende Einrichtung angeordnet ist. Diese Einrichtung kann dabei beispielsweise aus zwei Behältern bestehen, die wechselweise einerseits an die Spülzone und andererseits an die Regenerationgseinrichtung angeschlossen sind, wobei in dem an die Spülzone angeschlossenen Behälter durch Lösen eines Regenerationsmittels in dem zugeführten Spülwasser die Regenerationsflüssigkeit erzeugt und aus dem anderen Behälter die bereits in diesem befindliche Regenerationsflüssigkeit abgezogen und der Regenerationseinrichtung zugeführt wird. Dieses wechselweise Ansetzen der Regenerationsflüssigkeit wird dabei durch in den Behältern angeordnete Niveauschalter gesteuert, die wechselweise ein Umsteuern der Zufluß- und Abflußventile bewirken.
Eine andere Gestaltung der die Regenerationsflüssigkeit ansetzenden Einrichtung kann beispielsweise auch aus einem mit der Regenerationseinrichtung verbundenen Vorratsbehälter sowie einem wieder mit diesem über eine absperrbare Leitung verbundenen Ansetzbehälter bestehen, der einerseits mit dem Sumpf der Spülzone verbunden und dem andererseits eine das Regenerationsmittel automatisch zugebende Einrichtung zugeordnet ist. Diese Zugabeeinrichtung besteht dabei zweckmäßig aus einem Vorratsbehälter sowie einer zugehörigen automatischen Dosiereinrichtung, wobei dann der Vorratsbehälter eine durch einen Motor angetriebene, das Regenerationsmittel einer Rutsche zuftilirende Förderschnecke aufweist. Die Dosiereinrichtung selbst besteht vorteilhaft aus einer Waage, deren Waagschale dann nach der Aufnahme einer vorbestimmten Menge des Regenerationsmittels umgekippt und dieses Regenerationsmittel in den unter ihr befindlichen Ansetzbehälter fallen läßtr wo das Regenerationsmittel durch das dem Ansetzbehälter zugeführte Spülwasser gelöst wird.
Weitere Einzelheiten sowohl des erfindungsgemäßen Verfahrens als auch der zugehörigen Anlagen sind der Beschreibung von zwei nachstehend behandelten beispielsweisen Ausführungsformen zu entnehmen.
Bs zeigen: Sig. 1 das Schema einer eraten Anlage, Fig. 2 das Schema einer zweiten Anlage und Fig. 3 das Schema einer anderen Ansetzeinrichtung.
Die in der Fig. 1 schematisch dargestellte Anlage besteht aus der mit 1 bezeichneten atzmaschine sowie den beiden dieser Xtzmaschine 1 nachgeschalteten Spülzonen 2 und 3. Zwischen der Xtzmaschine 1 und der ersten Spülzone 2 sowie dieser Spülzone 2 und der folgenden Spülzone 3 befinden sich jeweils mit 4 und 5 bezeichnete Abquetscheinrichtungen. Diese Einrichtungen 4 und 5 sind jeweils mit mehreren hintereinander angeordneten Walzenpaaren 6 ausgestattet, durch die das in Richtung des Pfeiles 7 durchlaufende Ä.tzgut 8 kontinuierlich hindurchgeführt -wird, wobei die noch an dem Atzgut 8 hängende Ätzlösung bzw. das noch an diesem hängende Spülmittel abgestreift und dem Sumpf der Xtzmaschine 1 bzw. dem Sumpf der ersten Spülzone 2 wieder zugeführt wird. Weiterhin gehört zu dieser Anlage auch noch eine mit 9 bezeichnete Regenerationseinrichtung, die über die Leitungen 10 und 11 mit dem Sumpf 12 der Xtzmaschine 1 verbunden ist. Oberhalb des mit 13 bezeichneten Sumpfes dieser Regenerationseinrichtung 9 befinden sich drei mit 14 bis 16 bezeichnete Dosierbehälter, von denen die Behälter 14 und 16 der-AuSnahme d-er Regenerationsmittel und der Behälter 15 der Aufnahme von einer Verdünnung der regenerierten Ätzlösung 17 dienen. Dieser Dosierbehälter 15 ist dabei mittels einer Leitung 18 mit dem Sumpf 19 der ersten Spülzone 2 verbunden.
Wird der Ätzmaschine 1 in Richtung des Pfeiles 7 das nur schsmatisch dargestellte Ätzgut 8 zugeführt, so gelangt dieses nach dem Passieren der mit 20 bezeichneten Düsenstöcke zur ersten Abquetscheinrichtung 4, in der die hintereinander angeordneten Walzenpaare 6 die noch an dem Ätzgut 8 anhaftende Ätzlösung 17 abstreifen und die sich in dieser Einrichtung 4 sammelnde Ätzlösung 17 wieder dem Sumpf 12 der Xtzmaschine 1 zugeführt wird. Nach dem Verlassen dieser ersten Abquetscheinrichtung 4 gelangt das Ätzgut 8 zur ersten Spülzone 2, in der es beiderseits von dem aus den beiden Düsenstöcken 21 austretenden Spülwasser 22 beaufschlagt und so von der eventuell noch anhaftenden Ätzlösung 17 befreit wird. Diese Ätzlösung 17 gelangt dann zusammen mit dem Spülwasser 22 in den zu dieser Spülzone 2 gehörigen Sumpf 19, um anschließend im Umwälzverfahren über die Pumpe 23 sowie die Zweigleitung 24 wieder zu den beiden Düsenstöcken 21 zu gelangen.
Nach dem Passieren der ersten Spülzone 2 wird das Ätzgut 8 der zweiten Abquetscheinrichtung 5 zugeführt, wobei durch die Walzenpaare 6 jetzt das noch an dem Ätzgut 8 anhaftende Spülwasser abgestreift wird und wieder in den Sumpf 19 der ersten Spülzone 2 zurückfließt. Hieran anschließend gelangt das Ätzgut 8 zur Spülzone 2, in der es von dem aus den beiden Nsenstöcken 25 austretenden, über eine Speiseleitung 26 zugeführten Frischwasser beiderseits beaufschlagt wird.
Da das-in dieser zweiten Spülzone 3 kontinuierlich zugeführte und wieder abfließende Spülwasser nur noch eine Eupferkonzentration aufweist die kleiner als 1 mg/l ist, kann dieses Spülwasser bedenkenlos direkt über die Leitung 27 an das Abwasser abgegeben werden. Die Regelung der Zugabe des Frischwassers sowie der Abfluß desselben erfolgt dabei über zwei mit 28 und 29 bezeichnete Ventile.
Im Verlauf des oben angedeuteten Ätzvorganges wird die in dem Sumpf 12 der Xtzmaschine 1 befindliche Ätzlösung 17 kontinuierlich durch die Leitung 10 abgezogen und dem Sumpf 13 der Regenerationseinrichtung 9 zugeführt, um nach der im Sumpf 13 erfolgten Regeneration wieder zur Ätzmaschine 1 zu gelangen. Der fluß des Ätmittels 17 wird dabei durch das in der Leitung 10 liegende Ventil 30 sowie die in der Leitung 11 angeordnete Pumpe 31 gesteuert.
Sinkt infolge dor Regeneration der Ätzlösung 17 das Niveau des in dem Dosierbehälter 15 befindlichen Wassers ab, so wird ein in der Leitung 18 liegendes, niveaugesteuertes Ventil 32 geöffnet, so daß nunmehr aus dem Sumpf 19 der Spülzone 2 mit Ätzlösung 17 versetztes Spülwasser 22 in den Dosierbehälter 15 gelangt, um zur gegebenen Zeit der zu regenerierenden Ätzlösung 17 zugesetzt zu werden. Gleichzeitig wird ein in einer Frischwasser in Richtung des Pfeiles 33 zuführenden Speiseleitung 34 liegendes Ventil 35 geöffnet, so daß die Menge des in der Spülzone 2 umgewälzten Spülwassers 22 um gerade die-Menge ergänzt wird, die zum Dosierbehälter 15 abgeflossen ist.
Die folgende Fig. 2 zeigt eine erweiterte Gestaltung der erfindungsgemäßen Anlage, wobei die gleichen Bauteile wiederum durch die gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet sind.
Diese zweite Ausführungsform ist insbesondere dann geeignet, wenn ein alkalisches Ätzinittel, beispielsweise eine Chloridionen enthaltende ammoniakalische Ätzlösung verwendet und zur Regeneration der während des Ätzprozesses entstehenden Eupfer-I-Verbindung eine chlorhaltige Verbindung wie beispielsweise AmmoniumchLorid (NH401) benutzt wird.
Davon abgesehen, daß bei dieser zweiten Ausführungsform die beiden Spülzone 2 und 3 jeweils mit mehreren Vielfachdüsenstöcken 21 und 25 ausgestattet sind, so ragt im vorliegenden Ball in den Sumpf 19 der Spülzone 2 noch eine mit 36 bezeichnete pH-Wert-Elektrode, deren Regler 37 eine mit 38 bezeichnete Pumpe steuert, die in einer mit 39 bezeichneten Leitung liegt, die einen beispielsweise Salzsäure 40 enthaltenden Behälter 41 mit dem Sumpf 19 dieser Spülzone 2 verbindet.
Infolge der Verschleppung der alkalischen ätzlösung 17 reichert sich das in dem Sumpf 19 der Spülzone 2 befindliche Spülwasser 22 mit dieser Ätzlösung 17 an, so daß der pH-Wert des Spülwassers 22 ansteigt. Dieser Anstieg des pH-Wertes wird dabei mittels der pH-Wert-Elektrode 36 festgestellt, die nach dem überschreiten eines vorbestimmten pH-Wertes über den zugehörigen Regler 37 die in der Leitung 39 liegende Pumpe 36 in Betrieb setzt und somit die Zugabe einer Teilmenge der in dem Behälter 41 befindlichen Salzsäure 40 und damit in entsprechender Weise eine Neutralisation des in der Spülzone 2 umgewälzten ,Spülwassers 22 bewirkt. Sobald -der pK-,iiert des Spülwassers 22 ausreichend abgesunken und diese durch die pH-liert-Elektrode 36 festgestellt ist, wird mittels des auf den vorgegebenen pH-Wert eingestellten Reglers 37 die Pumpe 38 wieder stillgesetzt und so die weitere Zugabe von Salzsäure 40 unterbunden. Durch die Beigabe der Salzsäure 40 kann gegebenenfalls sogar eine Ansäuerung des Spülwassers 22 bis zu einem pH-Wert von beispielsweise 3,0 bis 4,0 erfolgen.
5Zie weiter aus der Fig. 2 ersichtlich ist, so sind bei dieser Ausführungsform zwischen der ersten Spülzone 2 und der Regenerationseinrichtung 9 zwei mit 42 und 43 bezeichnete Behälter angeordnet, die wechselweise dem Ansatz einer der Regenerationseinrichtung beizugebenden Regenerationsflüssigkeit dienen und in denen zwei über ein gemeinsames Ventil 44 an der Leitung 18 angeschlossene Zweigleitungen 45 und 46 münden.
Weiter stehen diese beiden Behälter 42 und 43 über zwei weitere Zweigleitungen 47 und 48 sowie ein gemeinsames Nangnetventil 49 und eine Speiseleitung 50 mit der Regenerationseinrichtung 9 in Verbindung, der über diese Leitung 50 die in diesen Behältern 42 bzw. 43 angesetzte Regenerationsflüssigkeit 51 zugeführt wird.
Beim Start dieser Ansetzeinrichtung wird zunächst einmal in den Behälter 42 eine vorbestimmte Menge Ammoniumchloridsalz (NH4Cl-Salz) eingegeben und in Frischwasser zur Lösung gebracht.
Das Niveau dieser als Regenerationsflüssigkeit vorgesehenen Ammoniumchloridlösung 51 wird dabei durch einen von einem Schwimmer 52 getragenen Niveauregler 53 bestimmt, der über einen Schaltkontakt 54 das Öffnen des Magnet ventiles 49 bewirkt, so daß die in diesem Behälter 42 befindliche Regenerationsflüssigkeit nunmehr über die Zweigleitung 47 und die Speiseleitung 50 in Richtung des Pfeiles 55 zur Regenerationseinrichtung 9 gelangen kann. Der Zufluß dieser Regenerationsflüssigkeit wird dabei durch das in der Speiseleitung 50 liegende Magnetventil 56 gesteuert.
Im Anschluß an das erstmalige Ansetzen der Regenerationsflüssigkeit 51 im Behälter 42 wird eine gleichartige Menge des Ammoniumchloridsalzes (NH4Cl-Salz) auch in den Behälter 43 eingegeben. Da in dieser Stellung der zu diesem Behälter 43 gehörige Niveauregler 57 sich in seiner abgesenkten Stellung befindet, ist über dessen Schaltkontakt 58 das Ventil 44 geöffnet, so daß nunmehr in diesen Behälter 43 über die Leitung 18 und die Zweigleitung 46 aus dem Sumpf 19 der Spülzone 2 bereits mit der ätzlösung versetztes Spülwasser 22 einfließt und sich das Ammoniumehloridsalz 59 (SE4Cl-salz) auflöst. Sobald das obere Niveau dieser neu angesetzten Regenerationsflüssigkeit 60 erreicht ist, erfolgt über den Niveauregler 57 ein Umschalten des Ventiles 44, so daß, nach dem das Niveau der in dem Behälter 42 befindlichen Regenerationsflüssigkeit 51 laufend abgesunken ist, das aus der Spülzone 2 abgezweigte Spülwasser 22 nunmehr über die Zweigleitung 45 in diesen Behälter 42 einströmt. Durch das Absenken des Niveaus in diesem Behälter 42 wird jedoch auch das Ventil 49 umgeschaltet, so daß nunmehr die in dem zweiten Behälter 43 angesetzte Regenerationsflüssigkeit 60 über die Zweigleitung 48 und die Speiseleitung 50 zur Regenerationseinrichtung 9 gelangen kann.
Da beide Behälter 42 und 43 jeweils mit einem eigenen Niveauregler 53 bzw. 57 ausgerüstet sind, ist auch bei diesem wechselweisen Auffüllen und Entleeren der beiden Behälter 42 und 43 ein Überlaufen derselben nicht zu befürchten.
Die folgende Fig. 3 zeigt eine etwas andere Gestaltung dieser zum Ansetzen der Regenerationsflüssigkeit dienenden Einrichtung.
In diesem Fall ist ein an die Speiseleitung 50 angeschlossener Vorratsbehälter 61 vorgesehen und über diesem ein Ansetzbehälter 62 angeordnet. Dieser Ansetzbehälter 62 ist dabei mit dem Vorratsbehälter 61 über eine mit 63 bezeichnete Leitung verbunden, in der ein durch einen Niveauregler 64 steuerbares Magnetventil 65 liegt. Die die abgezweigte Spülwassermenge 22 zuführende Leitung 18 dagegen mündet in den Ansetzbehälter 62, wobei das in dieser Leitung 18 liegende Magnetventil 66 durch einen zweiten Niveauregler 67 gesteuert wird.
Oberhalb des Ansetzbehälters 62 ist noch ein weiterer Behälter 68 angeordnet, in dem sich Ammoniumchloridsalz (NH4Cl-Salz) 69 befindet und der mit einer durch einen Elektromotor 70 antreibbaren Förderschnecke 71 ausgestattet istt die das Ammoniumchloridsalz 69 einer mit 72 bezeichneten Rutsche zuführt. Über diese Rutsche 72 gelangt das Ammoniumchloridsalz 69 in die Schale 73 einer mit 74 bezeichneten Wiegeeinrichtung. Sobald/diese Waagschale 73 eine vorbestimmte Menge des Ammoniunchloridsalzes 69 gelangt ist, so führt die Waagschale 79 eine Schwenkbewegung in Richtung des Pfeiles 75 aus, so daß das Ammoniumchloridsalz 69 nunmehr in den Ansetzbhälter 62 fällt und in dem von der Spülzone 2 abgezweigten Spülwasser 22 gelöst wird. Gleichzeitig wird durch die Schwenkbewegung der Waagschale 73 der Motor 70 und damit auch die Förderschnecke 71 stillgesetzt. Das Auflösen des Ammoniuschloridsalzes 69 in dem Spülwasser 22 wird dabei durch eine mittels eines Elektromotors 76 antreibbaren Rührwerkes 77 unterstützt.
Im Gegensatz zu der in der Fig. 2 dargestellten Ansetzeinrichtung wird in diesem Fall die Regenerationslösung 78 nicht wechselweise, sondern chargenweise allein in dem Behälter 62 angesetzt.

Claims

Ansrüc he

1. Verfahren zum Betrieb einer Ätzmaschine mit Spülzone und nachgeschalteter Regenerationseinrichtung, von der aus das regenerierende Ätzmittel wieder der Ä.tzmaschine zugeführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß das-in der Spülzone (2) umgewälzte Spülwasser (22) teilweise der Regenerationseinrichtung (9) zugeführt und entsprechend mit Frischwasser ergänzt wird.

2. Verfahren nach anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Spülzone in mindestens zwei voneinander getrennte Geilzonen (2,3) aufgeteilt ist, wobei dann das Spülwasser (22) der ersten Spülzone (2) mindestens teilweise der Regenerationseinrichtung (9) und das Spülwasser der zweiten Spülzone (3) dem Abwasser und beiden Spülzonen (2,3) unabhängig voneinander entsprechend Frischwasser zugeführt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 und/oder 2, bei dem als Ätzmittel eine alkalische ätzlösung verwendet wird, dadurch gekennzeichnet, daß das mit der alkalischen ätzlösung (17) angereicherte Spülwasser (22) durch die Zugabe einer Saure (40) mindestens teilweise neutralisiert, vorzugsweise jedoch bis zu einem pH-Wert von etwa 3,0 bis 4,0 angesäuert, teilweise der Regenerationseinrichtung (9) zugeführt und durch Brischtflsser ergänzt wird.

4. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Spülwasser (22) teilweise einer die Regenerationsflüssigkeit (51,60,78) automatisch ansetzenden Einrichtung zugeführt wird.

5. Anlage zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, bestehend aus einer itzmaschine, mindestens einer Spülzone und einer Regenerationseinrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß der Sumpf (19) der Spülzone (2) über eine absperrbare Leitung (18) mit der Regenerationseinrichtung (9) verbunden und an eine ebenfalls absperrbare, Brischwasser zuführende Leitung angeschlossen ist, wobei die in den beiden Leitungen befindlichen Absperrorgane einerseits in Abhängigkeit des Wasserbedarfes der Regenerationseinrichtung und andererseits in Abhängigkeit des jeweiligen Spülwasserniveaus steuerbar sind.

6. Anlage nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Sumpf (19) der Spülzone (2) über die Leitung (18) mit dem der Aufnahme von wasser vor esehenen, zur Regenerationseinrichtung gehörigen Dosierbehälter verbunden ist.

7. Anlage nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Spülzone in mindestens zwei Teilzonen (2,3) aufgeteilt und nur der Sumpf (19) der unmittelbar der Ätzmaschine (1) benachbarten Teilzone (2) mit der Regenerationseinrichtung (9) verbunden, der Sumpf der anderen Spülzone (3) dagegen an das Abwasser angeschlossen ist.

3. Anlage nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Ätzmaschine (1) und der Spülzone (2) eine den Übertritt des stzmittels (17) hemmende Abquetscheinrichtung (4) angeordnet ist.

9. Anlage nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Ätzmaschine (1) und der ersten Spülzone (2) und dieser (2) und der folgenden Spülzone (3) jeweils eine den Übertritt der Behandlungsflüssigkeiten (17,22) hemmende Abquetscheinrichtung (4 bzw. 5) angeordnet ist.

10. Anlage nach einem oder mehreren der Ansprüche 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Spülzone (2) und der Regenerationseinrichtung (9) eine die Regeneration des Ätzmittels (17) bewirkende Flüssigkeit (51,60,78) automatisch ansetzende Einrichtung (42,43,61,62) angeordnet ist.

11. Anlage nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die die Regenerationsflüssigkeit (51,60) ansetzende Einrichtung aus zwei Behältern (42,43) besteht, die wechselweise einerseits an die Spülzone (2) und andererseits an die Regenerationseinrichtung (9) angeschlossen sind, wobei in dem an die Spülzone (2) angeschlossenen Behälter (43) durch Lösung eines Regenerationsmittels (59) in dem zugeführten Spülwasser (22) die Regenerationsflüssigkeit (60) erzeugt und aus dem anderen Behälter (42) die bereits in diesem befindliche Regenerationsflüssigkeit (51) abgezogen und der Regenerationseinrichtung (9) zugeführt wird.

12. Anlage nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden zur Ansetzeinrichtung gehörigen Behälter (42,43) mit je einem wechselweise das Umsteuern der Zufluß- und Abflußventile (44,49) bewirkenden Niveauregler (53,57) ausgestattet sind.

13. Anlage nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die die Regenerationsflüssigkeit (78) ansetzende Einrichtung aus einem mit de r Re der Regenerationseinrichtung (9) verbundenen Vorratsbehälter (61) und einem wieder mit diesem über eine absperrbare Leitung (63) verbundenen Ansetzbehälter (62) besteht, der einerseits mit dem Sumpf (19) der Spülzone (2) verbunden und dem andererseits eine das Regenerationsmittel (69) automatisch zugebende Einrichtung (68,71) zugeordnet ist.

14. Anlage nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Zugabeeinrichtung aus einem Vorratsbehälter (68) sowie einer zugehörigen automatischen Dosiereinrichtung (74) besteht, wobei dann der Vorratsbehälter (68) eine durch einen Motor (70) angetriebene, das Regenerationsmittel (69) einer Rutsche (72) zuführende Pörderschnecke (71) aufweist.

15. Anlage nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Dosiereinrichtung aus einer Waage (74) besteht, deren Waagschale (73) nach der Aufnahme einer vorbestimmten Menge des Regenerationsmittels (69) umkippt und das Regenerationsmittel (69) in den unter ihr befindlichen Ansetzbehälter (62) fallen läßt.

L e e r s e i t e